JPH03297161A

JPH03297161A - 吸着位置決め機構

Info

Publication number: JPH03297161A
Application number: JP10094490A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Sakamoto; 哲也坂本
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1990-04-16
Filing date: 1990-04-16
Publication date: 1991-12-27
Anticipated expiration: 2012-08-27
Also published as: JP2646800B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、オープントップソケットへの半導体装置の
挿入およびオープントップソケットからの抜き取りを行
う吸着位置決め機構に関するものである。

（従来の技術）第４図は従来の半導体装置の吸着位置決め機構を示す部
分断面図であり、この図において、１は半導体装置、５
１はこの半導体装置１を吸着する吸着パッド、５２は前
記半導体装置１を位置決め補正する位置決め爪で、位置
決め枠５２ａが形成されている。また、第５図に示すよ
うに、位置決め爪５２は吸着パッド５１の中心に向って
スライドする構成となっている。

次に、動作について説明する。

半導体装置１は吸着完了した吸着パッド５１と共に上昇
し、位置決め爪５２に設けられた位置決め枠５２ａで案
内され、位置決め補正される。すなわち、半導体装置１
を吸着後、第５図に示すように、−泗方より吸着パッド
５１の中心に向って位置決め爪５２がスライドし、位置
決め枠５２ａで半導体装置１をガイドすることによって
、半導体装置１は所定位置に位置決め補正される。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のように構成された従来の半導体装置の吸着位置決
め機構は、位置決め補正の精度が悪く、また、その補正
値が小さい。さらに、吸着パッド５１の上下駆動と位置
決め爪５２の駆動が別々に行われるためタイミング合せ
が難しく、スピードを速くすることができない。さらに
、吸着位置決め機構が複雑になり、かつ大型化する等の
問題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、オープントップソケットへの被吸着体の挿
入、抜き取りを高い精度をもフて実行し得る吸着位置決
め機構を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る吸着位置決め機構は、被吸着体を吸着す
る吸着パッドと、この吸着パッドを上下動させるピスト
ンと、複数の位置決め爪が回動自在に取り付けられたス
ライダと、ピストンが下降、上昇することにより各位置
決め爪を開閉させるコロと、各位置決め爪で位置決め補
正された被吸着体が挿入、＊脱されるオープントップソ
ケットの接触子開閉フタを押えるプッシャと、を備えた
吸着位置決めユニットと；吸着パッドの真空穴に連通ず
る真空穴が形成されたロンドに取り付けられ吸着位置決
めのユニットをクランプするクランパを備えたクランプ
ユニットと；からなるものである。

〔作用〕

この発明においては、吸着パッドと連動し、同一駆動で
被吸着体を位置決め爪により位置決め補正し、また、吸
着パッドと連動してオープントップソケットのフタを開
閉し、被吸着体のオープントップソケットへの装脱が行
われる。

（実施例）以下、この発明の一実施例を図面について説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示す半導体装置の吸着位
置決め装置の縦断面図である。第１図において、１は半
導体装置、２はこの半導体装置１を吸着する吸着パッド
、３は前記半導体装置１を位置決め補正する位置決め爪
、４はこの位置決め爪３を保持する支軸、５はスペーサ
、６は前記位置決め爪３が支軸４により取り付けられた
スライダ、７はこのスライダ６の最大ストローク長、８
は前記位置決め爪３を閉にさせるコロ、９は前記位置決
め爪３を開にさせるバネ、１０は前記コロ８が取り付け
られたコロ取付は具、１１は前記スライダ６を下方へ押
し下げるバネ、１２は前記スペーサ５を支えるＣ型止め
輪、１３は前記スライダ６の上下動をガイドするチュー
ブ、１４は前記位置決め爪３が取り付けられたスライダ
６を上下動させるピストン、１５はこのピストン１４が
摺動するシリンダチューブ、１６は前記ピストン１４の
最大ストローク長、１７は前記吸着パッド２に設けられ
た真空穴、１８は前記ピストン１４を上昇させるための
空気を送る空気穴、１９は前記ピストン１４を下降させ
るための空気を送る空気穴、２０は図示しない真空部分
を前記吸着パッド２と連結させるロッド、２１はこのロ
ッド２０を保持するリニアベアリング、２２は前記シリ
ンダチューブ１５に取り付けられたクランプヘッド、２
３はこのクランプヘッド２２をクランプする鋼球、２４
は前記リニアベアリング２１および鋼球２３が取り付け
られたクランパ、２５は前記クランパ２４に取り付けら
れたバネ受、２６は前記クランパ２４を上方へ押し上げ
るバネ、２７は前記クランパ２４が摺動するフランジ、
２８は前記吸着パッド２に取り付けられたベアリング、
２９はこのベアリング２８が摺動するガイド溝、３０は
前記吸着パッド２に取り付けられたＣ型止め輪、３１は
前記ロンド２０に取り付けられたＣ型止め輪、３２は前
記ロッド２０を下方へ押し下げるバネ、３３は前記ロン
ド２０に取り付けられたストッパ用Ｃ型止め輪、３４は
カラー　３５はセンサケーブルのホルダ、３６はこのホ
ルダ３５を下方に押し付けるバネ、３７は前記シリンダ
チューブ１５およびフランジ２７が取り付けられた取付
はブロック、３８はセンサ、３９はこのセンサ３８を保
持するセンサホルダ、４ｏは前記スライダ６に取り付け
られたプッシャ、４１はオープントップソケット、４２
はこのオープントップソケット４１に付属している接触
子開閉フタ、４３は接触子、４４は継手、４５は前記取
付はブロック３７を取り付けるブロックホルダ、４６は
前記オープントップソケット４１のフタ開閉ストローク
長、４７は前記プッシャー４０と接触子開閉フタ４２の
隙間、４８は挿入ストローク長である。

また、第２図の４９は抜取りストローク長である。

なお、吸着バッド２１位置決め爪３．コロ８等で第３図
に示す吸着位置決めユニットＩが構成され、ロッド２０
．鋼球２３等で同じくクランプユニットＩＩが構成され
る。

以下、この発明の動作を第１図、第２図について説明す
る。

空気穴１９より圧空が入るとピストン１４は下方に押さ
れ、最大ストローク長１６だけ摺動する。この摺動に従
って、押し縮められていたバネ１１はスライダ６を最大
ストローク長７だけ押し下げる。そしてスライダ６に取
り付けられたプッシャ４０は隙間４７分下降後、オープ
ントップソケット４１の接触子開閉フタ４２をフタ開閉
ストローク長４６だけ押し下げ、接触子４３を開にする
。また、上記動作でスライダ６が下降すると、それに取
り付けられた位置決め爪３も下降する。

その結果、コロ８より位置決め爪３は外れることになり
、バネ９で押されている位置決め爪３は、支軸４を中心
に回転し、位置決め爪３の先端は開く。一方、吸着パッ
ド２はピストン１４が下降すると、バネ３２がロッド２
０を下方に押し下げるので、挿入ストローク長４８だけ
下降して、半導体装置１をオープントップソケット４１
の中に挿入する（第２図）。その後、吸着パッド２の真
空を切り、そのままの状態でブロックホルダ４５を上昇
させると、プッシャ４０が上昇するにつれて接触子開閉
フタ４２も上昇し、接触子４３は閉じる。吸着パッド２
は最大ストローク長１６と挿入ストローク長４８の差の
分だけ半導体装置１の表面に接触しバネ３２で押し付け
ている。そして接触子４３が完全に閉になった後、上昇
する。

オープントップソケット４１の中に挿入された半導体装
置１を抜き取る場合は、空気穴１９より圧空を送りプッ
シャ４０が下降し、接触子開閉フタ４２を押し下げ接触
子４３を開にした後、吸着パッド２が下降し、半導体装
置１に接触し、真空により吸着する。吸着したことを真
空スイッチ等で検知後、空気穴１８に圧空な送りピスト
ン１４を上昇させる。ピストン１４は抜取りストローク
長４９だけ先に吸着パッド２を上昇させ、次に残りのス
トロークでスライダ６を最大ストローク長７分上昇させ
る。その結果、半導体装置１は吸着パッド２に吸着され
、オープントップソケット４１より抜き取られる。さら
に、スライダ６が上昇すると、それに取り付けられた位
置決め爪３も上昇し、コロ８に乗り上げるようになり、
支軸４を中心に回転し、位置決め爪３の先端は閉じて半
導体装置１を位置決めする。

なお、第３図に示すように、吸着位置決めユニットエを
交換する場合は、バネ受２５を下方に押し下げてやるこ
とによりクランプユニットＩＩのクランパ２４が下降し
、鋼球２３は広い隙間へ移動する。そして、クランプヘ
ッド２２から外れることになり吸着位置決めユニットＩ
は下方へ抜ける。取り付ける場合も前記と逆の順序で行
える。

また、上記実施例では、ピストン１４の駆動に圧空を使
用しているが、これに限らず油圧でもよい。

また、半導体装置１の吸着位置決めについて説明したが
、吸着位置決めする必要のあるものであれば何でもよい
。

なお、上記実施例において、不良ソケットを検知するセ
ンサを吸着位置決めユニットＩ側に設けておくことによ
り、被吸着体の装着前に不良ソケットを検知できる。

〔発明の効果）以上説明したように、この発明は、被吸着体を吸着する
吸着パッドと、この吸着パッドを上下動させるピストン
と、複数の位置決め爪が回動自在に取り付けられたスラ
イダと、ピストンが下降。

上昇することにより各位置決め爪を開閉させるコロと、
各位置決め爪で位置決め補正された被吸着体が挿入、ｌ
！脱されるオープントップソケットの接触子開閉フタを
押えるプッシャと、を備えた吸着位置決めユニットと；
前記吸着パッドの真空穴に連通ずる真空穴が形成された
ロンドに取り付けられ前記吸着位置決めのユニットをク
ランプするクランパを備えたクランプユニットと；から
なるので、タイミングのミスがなく、高精度の位置決め
が実現できるとともに、構成がコンパクトにでとる。

また、クランプ機構によるワンタッチ取り外し機構を設
けたので、機種の切り替え、段取り替えが簡単に行える
効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による吸着位置決め状態を
示す半導体吸着位置決め機構の縦断面図、第２図はオー
プントップソケットへ挿入時の状態を示す縦断面図、第
３図は取り外し状態を示す部分断面側面図、第４図は従
来の半導体吸着位置決め機構を示す断面図、第５図は、
第４図の動作を説明するための断面図である。図において、■は吸着位置決めユニット、ＩＩはクラン
プユニット、１は半導体装置、２は吸着パッド、３は位
置決め爪、４は支軸、５はスペーサ、６はスライダ、７
．１６は最大ストローク長、８はコロ、９．１１，２６
，３２．３６はバネ、１０はコロ取り付は具、１２．３
０，３１゜３３はＣ型止め輪、１３はチューブ、１４は
ピストン、１５はシリンダチューブ、１７は真空穴、１
８．１９は空気穴、２０はロッド、２１はリニアベアリ
ング、２２はクランプヘッド、２３は鋼球、２４はクラ
ンパ、２５はバネ受、２７はフランジ、２８はベアリン
グ、２９はガイド溝、３４はカラー　３５はホルダ、３
７は取付はブロック、３８はセンサ、３９はセンサホル
ダー　４０はプッシャ、４１はオープントップソケット
、４２は接触子開閉フタ、４３は接触子、４４は継手、
４５はブロックホルダ、４６はフタ開閉ストローク長、
４７は隙間、４８は挿入ストローク長、４９は抜取りス
トローク長である。なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。第１図

Claims

【特許請求の範囲】

　被吸着体を吸着し、前記被吸着体を位置決め補正する
吸着位置決め機構において、前記被吸着体を吸着する吸
着パッドと、この吸着パッドを上下動させるピストンと
、複数の位置決め爪が回動自在に取り付けられたスライ
ダと、前記ピストンが下降、上昇することにより前記各
位置決め爪を開閉させるコロと、前記各位置決め爪で位
置決め補正された前記被吸着体が挿入、離脱されるオー
プントップソケットの接触子開閉フタを押えるプッシャ
と、を備えた吸着位置決めユニットと；前記吸着パッド
の真空穴に連通する真空穴が形成されたロッドに取り付
けられ前記吸着位置決めユニットをクランプするクラン
パを備えたクランプユニットと；からなることを特徴と
する吸着位置決め機構。