JPH03261186A - Pulse power device - Google Patents
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- Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、パルス電源装置に係り、特に、パルスＣＯ２
レーサ、金属蒸気レーザ、エキシマレーザの電源やパル
スガスレーザの予備電離用のＸ′ａ源の電源等に用いら
れる高電圧、短パルス、高繰り返しパルス電源装置に関
するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a pulse power supply device, and particularly to a pulse power supply
The present invention relates to a high-voltage, short-pulse, high-repetition pulse power supply device used as a power source for lasers, metal vapor lasers, excimer lasers, and X'a sources for pre-ionization of pulsed gas lasers.
近年、パルスＣＯ２レーザ、金属蒸気レーザ。 In recent years, pulsed CO2 lasers and metal vapor lasers.
エキシマレーザの電源やパルスガスレーザの予備電離用
のＸ線源の電源においては、高電圧、大電流、短パルス
、高繰り返しが要求されている。従来、このような用途
には、サイラトロンを使用した容量移行型電源が使われ
ていたが、特にスイッチ素子としてサイラトロンを用い
た場合、装置の寿命がサイラトロンによって決まってし
まうという欠点があった（１０６〜１０７シヨツト）。High voltage, large current, short pulses, and high repetition rates are required for the power source of excimer lasers and the power source of X-ray sources for preionization of pulsed gas lasers. Conventionally, capacitance transfer type power supplies using thyratrons have been used for such applications, but they have the disadvantage that the life of the device is determined by the thyratrons, especially when thyratrons are used as switching elements (106 ~107 shots).
そこで最近では、固体素子と磁気パルス圧縮回路とを組
み合わせたパルス電源が開発されている。Therefore, recently, a pulse power source that combines a solid-state element and a magnetic pulse compression circuit has been developed.
この方式の代表的な例としては、特開平１−１３２１８
５号がある。A typical example of this method is Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-13218.
There is No. 5.
上記方式の電源の構成を第５図に示す。図において、１
は充電電源、２は充電抵抗、３はスイッチ素子、４はコ
ンデンサ、５はトランス、６，８゜１ｏは磁気パルス圧
縮回路のコンデンサ、７，９゜１１は磁気パルス圧縮回
路の可飽和リアクトル。The configuration of the power supply of the above method is shown in FIG. In the figure, 1
is a charging power source, 2 is a charging resistor, 3 is a switch element, 4 is a capacitor, 5 is a transformer, 6, 8° 1o is a capacitor of the magnetic pulse compression circuit, and 7, 9° 11 is a saturable reactor of the magnetic pulse compression circuit.
１２はコンデンサ、１３は負荷、２６はインダクタンス
、２７は抵抗、２８は電源、３５，３６゜３７は可飽和
リアクトル７．９．１１の二次巻線である。これら二次
巻線の回路は、可飽和リアクトルの動作磁束密度を大き
くするリセット回路となっている。12 is a capacitor, 13 is a load, 26 is an inductance, 27 is a resistor, 28 is a power supply, 35, 36° 37 is a secondary winding of the saturable reactor 7.9.11. These secondary winding circuits serve as a reset circuit that increases the operating magnetic flux density of the saturable reactor.
このような構成の従来の回路において、充電抵抗２とト
ランス５とを介しコンデンサ４を充電したエネルギーは
、スイッチ素子３を閉しると、トランス５の昇圧作用に
より、トランス５の漏れインダクタンスとコンデンサ４
とコンデンサ６の容量とによって決まる時間で、コンデ
ンサ６に高電圧パルスとして移送される。In the conventional circuit with such a configuration, when the switching element 3 is closed, the energy that has charged the capacitor 4 via the charging resistor 2 and the transformer 5 is transferred to the leakage inductance of the transformer 5 and the capacitor due to the step-up action of the transformer 5. 4
is transferred to the capacitor 6 as a high voltage pulse for a time determined by the voltage and the capacitance of the capacitor 6.
可飽和リアクトルの磁化曲線を第６図に示す。The magnetization curve of the saturable reactor is shown in FIG.
可飽和リアクトル７は、最初、リセット回路の働きによ
り、点Ａの位置に磁化されているとする。It is assumed that the saturable reactor 7 is initially magnetized at a point A by the action of the reset circuit.
コンデンサ６の電圧が高くなると、可飽和リアクトル７
の印加電圧の時間積分値に比例して、可飽和リアクトル
７の磁束密度が増大する。点Ａから点Ｂまでの比較的イ
ンダクタンスの小さい領域に有る可飽和リアクトル７は
、更に磁束密度が増大すると、点Ｂから点Ｃの間のイン
ダクタンスが大きい領域に進む。When the voltage of capacitor 6 increases, saturable reactor 7
The magnetic flux density of the saturable reactor 7 increases in proportion to the time integral value of the applied voltage. As the magnetic flux density further increases, the saturable reactor 7 located in the region of relatively small inductance from point A to point B advances to the region of large inductance between point B and point C.
このため、可飽和リアクトル７に流れる電流が非常に小
さくなり、コンデンサ４の電荷はほとんどコンデンサ６
に移る。更に磁束密度が増大すると、可飽和リアクトル
７の磁束密度が飽和し、点Ｃよりも右側に移動するので
、可飽和リアクトル７のインダクタンスは小さくなる。For this reason, the current flowing through the saturable reactor 7 becomes extremely small, and the charge on the capacitor 4 is almost completely absorbed by the capacitor 6.
Move to. When the magnetic flux density further increases, the magnetic flux density of the saturable reactor 7 becomes saturated and moves to the right of point C, so that the inductance of the saturable reactor 7 becomes smaller.
可飽和リアクトル７が飽和状態になれば、コンデンサ６
からの電圧、電流パルスは、可飽和１ノアクトル７の飽
和インダクタンスおよびコンデンサ６．８の容量によっ
て決まるパルス幅に圧縮されながら、コンデンサ８に移
送される。When the saturable reactor 7 becomes saturated, the capacitor 6
The voltage and current pulses are transferred to the capacitor 8 while being compressed to a pulse width determined by the saturation inductance of the saturable inductor 7 and the capacitance of the capacitor 6.8.
可飽和リアクトル７から可飽和リアクトル１１までのイ
ンダクタンスを順に小さく設定しておくと、パルスは幅
を順次圧縮されながら、負荷１３に移送される。If the inductances from the saturable reactor 7 to the saturable reactor 11 are set to be sequentially smaller, the pulse is transferred to the load 13 while its width is sequentially compressed.
この種のパルス電源装置において重要な点は、急俊な高
電圧パルス波形を得ることである。An important point in this type of pulse power supply device is to obtain a sharp high voltage pulse waveform.
上記従来の回路においては、負荷に供給するパルスの高
電圧化、短パルス化に伴って、トランスと可飽和リアク
トルの容量が増加し、磁気パルス圧縮回路の段数も増加
する。In the conventional circuit described above, as the voltage of the pulse supplied to the load becomes higher and the pulse becomes shorter, the capacity of the transformer and the saturable reactor increases, and the number of stages of the magnetic pulse compression circuit also increases.
特に、可飽和リアクトルにおいては、
Ｎ−Ａ＝Ｖ・τ／２ΔＢ −（１）ただし、Ｎ：
可飽和リアクトルの巻線の巻数Ａ：磁性コアの有効断面
積
■＝可飽和リアクトルに印加される
ピーク電圧
τ：可飽和リアクトルの電圧保持時間
ΔＢ＝磁束密度の変化量
の関係を満足するように、ＮとＡとを決めている。In particular, in a saturable reactor, N-A=V・τ/2ΔB-(1) However, N:
Number of turns A of the winding of the saturable reactor: Effective cross-sectional area of the magnetic core ■ = Peak voltage applied to the saturable reactor τ: Voltage holding time of the saturable reactor ΔB = Amount of change in magnetic flux density. , N and A are determined.
したがって、可飽和リアクトル７においては、トランス
５の漏れインダクタンスとコンデンサ４゜６とで決まる
電圧保持時間が長いため、ＮとＡとが増大し、非常に大
きな物になってしまう。高電圧になるほど、スイッチ素
子動作制限と昇圧比の増加によるトランスの漏れインダ
クタンスの増大の影響により、この傾向は顕著になる。Therefore, in the saturable reactor 7, since the voltage holding time determined by the leakage inductance of the transformer 5 and the capacitor 4.6 is long, N and A increase and become very large. As the voltage becomes higher, this tendency becomes more pronounced due to the effect of increasing the leakage inductance of the transformer due to the restriction of the operation of the switching element and the increase in the step-up ratio.
このように、従来のトランスと磁気パルス圧縮回路とに
より高電圧パルス電源を構成する方式では、トランスと
可飽和リアクトルとが大きくなるという問題があった。As described above, the conventional method of configuring a high voltage pulse power source using a transformer and a magnetic pulse compression circuit has a problem in that the transformer and saturable reactor become large.
本発明の目的は、回路構成を合理化することにより部品
を削減し小型化したパルス電源装置を提供することであ
る。An object of the present invention is to provide a pulse power supply device which is miniaturized by reducing the number of parts by rationalizing the circuit configuration.
本発明は、上記目的を達成するために、充電電源と、こ
の充電電源にコンデンサを介してその一次巻線が接続さ
れたトランスと、前記コンデンサの充電電源側でトラン
スの一次巻線に並列接続されたスイッチング手段とから
なり、トランスの二次巻線から負荷に高電圧のパルスを
供給するパルス電源装置において、前記トランスのコア
を可飽和磁性体としたパルス電源装置を提案するもので
ある。In order to achieve the above object, the present invention includes a charging power source, a transformer whose primary winding is connected to the charging power source via a capacitor, and a charging power source side of the capacitor connected in parallel to the primary winding of the transformer. The present invention proposes a pulse power supply device comprising a switching means which supplies high voltage pulses from a secondary winding of a transformer to a load, in which the core of the transformer is made of a saturable magnetic material.
より幅の狭いパルスが必要な場合は、コンデンサとトラ
ンスの一次巻線との間に可飽和リアクトルからなる磁気
パルス圧縮回路を直列接続する。If a narrower pulse is required, a magnetic pulse compression circuit consisting of a saturable reactor is connected in series between the capacitor and the primary winding of the transformer.
また、前記コンデンサとトランスの一次巻線との間に二
つの可飽和リアクトルを直列接続し、それら可飽和リア
クトル間の接続点と前記トランスの一次巻線の他端との
間にコンデンサを接続した磁気パルス圧縮回路を備える
ことも可能である。Further, two saturable reactors are connected in series between the capacitor and the primary winding of the transformer, and a capacitor is connected between the connection point between the saturable reactors and the other end of the primary winding of the transformer. It is also possible to provide a magnetic pulse compression circuit.
いずれかのパルス電源装置においても、前記トランスの
リセット回路を装備できる。Any of the pulse power supply devices can be equipped with a reset circuit for the transformer.
これらのパルス電源装置は、レーザ発振装置の高電圧パ
ルス電源として利用できる。These pulse power supply devices can be used as high voltage pulse power supplies for laser oscillation devices.
すなわち、本発明は、可飽和磁性体のコアを有する高電
圧パルス電源用トランスを用いる点に特徴がある。That is, the present invention is characterized in that it uses a high voltage pulse power transformer having a core made of a saturable magnetic material.
本発明による可飽和磁性体のコアを用いたトランスは、
パルススイッチング回路から供給されるパルスを昇圧す
るとともに、可飽和磁性体が飽和することによりインダ
クタンスが小さくなり、トランスの二次側回路において
、パルス幅を短くすることが可能となる。A transformer using a core of saturable magnetic material according to the present invention is
As the pulses supplied from the pulse switching circuit are boosted and the saturable magnetic material is saturated, the inductance is reduced, making it possible to shorten the pulse width in the secondary circuit of the transformer.
また、前記トランスにリセット回路を接続すると、トラ
ンスの磁束密度を制御し、ジッダを低減することが可能
となる。Furthermore, by connecting a reset circuit to the transformer, it becomes possible to control the magnetic flux density of the transformer and reduce jitter.
さらに、前記トランスの一次巻線側に可飽和リアクトル
を含む磁気パルス圧縮回路を併設すれば、二次巻線側で
高電圧となったパルスを圧縮していた従来例と比較して
、パルス幅を効率良く圧縮できる小型かつ軽量のパルス
電源装置が得られる。Furthermore, if a magnetic pulse compression circuit including a saturable reactor is installed on the primary winding side of the transformer, the pulse width will be increased compared to the conventional example in which high voltage pulses are compressed on the secondary winding side. A small and lightweight pulse power supply device that can efficiently compress the energy can be obtained.
次に、図面を参照して１本発明の詳細な説明する。 Next, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１図は、本発明によるパルス電源装置の一実施例の構
成を示すブロック図である。図において、トランス５の
一次巻線には、充電電源ｌと充電抵抗２とコンデンサ４
とが直列に接続されている。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a pulse power supply device according to the present invention. In the figure, the primary winding of the transformer 5 includes a charging power source 1, a charging resistor 2, and a capacitor 4.
are connected in series.
トランス５の一次巻線と充電電源１との接続点は、基準
電位に接続されている。前記充電抵抗２とコンデンサ４
との接続点にはスイッチ素子３の一端が接続されており
、スイッチ素子３の他端は前記基準電位に接続されてい
る。本発明のトランス５は可飽和磁性体のコアを採用し
ている。A connection point between the primary winding of the transformer 5 and the charging power source 1 is connected to a reference potential. The charging resistor 2 and capacitor 4
One end of the switch element 3 is connected to the connection point with the switch element 3, and the other end of the switch element 3 is connected to the reference potential. The transformer 5 of the present invention employs a core made of a saturable magnetic material.
トランス５の二次側には、コンデンサ６と充電コイル１
４とが直列接続されている。トランス５とコンデンサ６
の接続点は、基準電位に接続される。負荷１３は充電コ
イル１４に並列に接続される。A capacitor 6 and a charging coil 1 are connected to the secondary side of the transformer 5.
4 are connected in series. Transformer 5 and capacitor 6
The connection point of is connected to a reference potential. Load 13 is connected in parallel to charging coil 14 .
このような構成の本実施例において、まず、スイッチ３
を開いたままで、充電電源１により、充電抵抗２とトラ
ンス５とを介し、コンデンサ４を充電する。次に、スイ
ッチ３を閉じると、充電されたエネルギーは、トランス
５により昇圧され、トランス５の漏れインダクタンスと
コンデンサ４゜６と充電コイル１４とによって決まる時
間で、コンデンサ６に移送される。In this embodiment with such a configuration, first, switch 3
While the capacitor 4 is kept open, the capacitor 4 is charged by the charging power source 1 via the charging resistor 2 and the transformer 5. When the switch 3 is then closed, the charged energy is boosted by the transformer 5 and transferred to the capacitor 6 at a time determined by the leakage inductance of the transformer 5, the capacitor 4.6 and the charging coil 14.
ここで、トランス５は最初第６図のＢ点にあるため、磁
束密度の増大により、インダクタンスが大きい状態にな
り、電源が流れにくくなる。したがって、コンデンサ４
からコンデンサ６にエネルギーが移送されるに従って、
トランス５には昇圧された電圧が順次印加されることに
なる・磁束密度が更に増大すると、トランス５の磁束密
度は飽和し、第６図の磁化曲線上で点Ｃの更に右側に移
動するので、トランス５のインダクタンスは小さくなり
、電流が流れやすくなる。Here, since the transformer 5 is initially at point B in FIG. 6, the inductance becomes large due to the increase in magnetic flux density, making it difficult for power to flow. Therefore, capacitor 4
As energy is transferred from to capacitor 6,
The boosted voltage will be sequentially applied to the transformer 5. As the magnetic flux density increases further, the magnetic flux density of the transformer 5 will become saturated and move further to the right of point C on the magnetization curve in Figure 6. , the inductance of the transformer 5 becomes smaller, making it easier for current to flow.
そこで、コンデンサ４からコンデンサ６への移送時間と
トランス５に印加される電圧との電圧時間積に等しくな
るように、トランス５の二次側を設計しておけば、コン
デンサ６のエネルギーは負荷１３に効率良く移送できる
。Therefore, if the secondary side of the transformer 5 is designed so that the transfer time from the capacitor 4 to the capacitor 6 is equal to the voltage-time product of the voltage applied to the transformer 5, the energy in the capacitor 6 can be transferred to the load 13. can be efficiently transferred to
このとき負荷１３に移送されるパルス幅は、トランス５
の飽和状態におけるインダクタンスとコンデンサ６の容
量により決定される。トランス５のインダクタンスは、
非飽和時に比べ、飽和時の方が小さいため、磁気パルス
圧縮された電圧、電流のパルスが負荷１３に移送される
。At this time, the pulse width transferred to the load 13 is the same as that of the transformer 5.
It is determined by the inductance in the saturated state and the capacitance of the capacitor 6. The inductance of transformer 5 is
Since the voltage and current pulses are smaller in the saturated state than in the non-saturated state, the magnetic pulse compressed voltage and current pulses are transferred to the load 13.
なお、充電コイル１４は、トランス５の飽和時のインダ
クタンスに比べて、大きな値のものを挿入しておく必要
がある。Note that it is necessary to insert a charging coil 14 having a larger value than the inductance of the transformer 5 when it is saturated.
本実施例によれば、トランスの二次巻線側に多段の磁気
パルス圧縮回路を設けなくとも、トランスのコアを可飽
和磁性体のコアに変更することにより、パルスの昇圧と
パルス幅の圧縮とを同時に実行できる小型軽量のパルス
電源装置が得られる。According to this embodiment, by changing the core of the transformer to a core made of a saturable magnetic material, the voltage of the pulse can be boosted and the pulse width can be compressed without providing a multi-stage magnetic pulse compression circuit on the secondary winding side of the transformer. A small and lightweight pulse power supply device that can simultaneously perform the following functions can be obtained.
第２図は、第１図実施例にトランス５のリセット回路を
付加した実施例を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment in which a reset circuit for the transformer 5 is added to the embodiment of FIG. 1.
リセット回路は、例えばトランス５のコアに巻き回した
巻線３８と巻ｔｉＡ３８にリセット電流を供給する電源
２８とからなり、リセット電流を変化させると、トラン
ス５の磁束密度を制御できるようになっている。The reset circuit includes, for example, a winding 38 wound around the core of the transformer 5 and a power supply 28 that supplies a reset current to the winding tiA 38. By changing the reset current, the magnetic flux density of the transformer 5 can be controlled. There is.
この構成により、常に第６図の磁化曲線中の点Ｂの位置
にリセットし、磁束密度の変化量ΔＢを最大に取ること
ができ、パルスの圧縮性能が良好となる。また、常に点
Ｂにリセットすることにより、スイッチ作動時間のばら
つきを減少できる。With this configuration, it is possible to always reset to the position of point B on the magnetization curve in FIG. 6, and to maximize the amount of change ΔB in magnetic flux density, resulting in good pulse compression performance. Further, by always resetting to point B, variations in switch operation time can be reduced.
第３図および第４図は、第１実施例のトランス５のみの
パルス圧縮以上の圧縮効果を得るための他の実施例を示
すものである。FIGS. 3 and 4 show another embodiment for obtaining a compression effect greater than the pulse compression achieved by only the transformer 5 of the first embodiment.
第３図の実施例は、コンデンサ４とトランス５の一次巻
線との間に可飽和リアクトル４０を直列接続しであるつ
第４図の実施例は、コンデンサ４とトランス５の一次巻
線との間に二つの可飽和リアクトル４０゜４１を接続し
、これら可飽和リアクトル４０と４１との接続点とトラ
ンス５の一次巻線の他端との間にコンデンサ４２を接続
しである。In the embodiment shown in FIG. 3, a saturable reactor 40 is connected in series between the capacitor 4 and the primary winding of the transformer 5. In the embodiment shown in FIG. Two saturable reactors 40 and 41 are connected between them, and a capacitor 42 is connected between the connection point of these saturable reactors 40 and 41 and the other end of the primary winding of the transformer 5.
これら実施例における可飽和リアクトルの磁気パルス圧
縮動作は、基本的に第５図の従来例における磁気パルス
圧縮回路の動作と同しであるが。The magnetic pulse compression operation of the saturable reactor in these embodiments is basically the same as the operation of the magnetic pulse compression circuit in the conventional example shown in FIG.
トランス５の一次側でパルス圧縮を行っているから、少
ない段数で小型の可飽和リアクトルを用いても十分な圧
縮効果が得られる。Since pulse compression is performed on the primary side of the transformer 5, a sufficient compression effect can be obtained even if a small saturable reactor is used with a small number of stages.
なお、第３図および第４図の実施例においても、第２図
のリセット回路を併設できることはいうまでもない。It goes without saying that the reset circuit shown in FIG. 2 can also be provided in the embodiments shown in FIGS. 3 and 4.
本発明によれば、トランスに可飽和磁性体のコアを用い
ることにより、パルスの昇圧とパルス幅の圧縮とを同時
にできるので、回路構成が簡素化され、スペースの削減
効果およびコスト削減効果も大きい。According to the present invention, by using a core of a saturable magnetic material in the transformer, it is possible to boost the pulse and compress the pulse width at the same time, which simplifies the circuit configuration and has a large space and cost reduction effect. .
第１図は本発明によるパルス電源装置の一実施例の構成
を示すブロック図、第２図は第１図実施例のリセット回
路を付加した実施例を示すブロック図、第３図および第
４図はトランスの一次側に磁気パルス圧縮回路を設けた
実施例を示すブロック図、第５図は恢来のパルス電源装
置の一例を示すブロック図、第６図は磁性コアのＢ−Ｈ
特性曲線を示す図である。
１・・充電電源、２・・・充電抵抗、３・スイッチ素子
、４，６，８．１２・・・コンデンサ、５・・トランス
、７，９．１１・・・可飽和リアクトル、１３・・・負
荷、１４・・・充電コイル、２６・・インダクタンス、
２７・・抵抗、２７・・リセット電源、３５゜３６．３
７・・二次巻線、３８・・・リセット巻線、４０．４１
・・・可飽和リアクトル、４２・・コンデンサ。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the pulse power supply device according to the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment with a reset circuit added to the embodiment of FIG. 1, and FIGS. 3 and 4. is a block diagram showing an embodiment in which a magnetic pulse compression circuit is provided on the primary side of the transformer, Fig. 5 is a block diagram showing an example of a conventional pulse power supply device, and Fig. 6 is a B-H diagram of the magnetic core.
It is a figure showing a characteristic curve. 1...Charging power supply, 2...Charging resistor, 3.Switch element, 4, 6, 8.12...Capacitor, 5...Transformer, 7,9.11...Saturable reactor, 13...・Load, 14... Charging coil, 26... Inductance,
27...Resistor, 27...Reset power supply, 35°36.3
7...Secondary winding, 38...Reset winding, 40.41
...Saturable reactor, 42...Capacitor.
Claims (1)
の一次巻線が接続されたトランスと、前記コンデンサの
前記充電電源側で前記トランスの一次巻線に並列接続さ
れたスイッチング手段とからなり、前記トランスの二次
巻線から負荷に高電圧のパルスを供給するパルス電源装
置において、 前記トランスのコアを可飽和磁性体としたことを特徴と
するパルス電源装置。 ２、請求項１に記載のパルス電源装置において、前記コ
ンデンサと前記トランスの一次巻線との間に直列接続さ
れた可飽和リアクトルからなる磁気パルス圧縮回路を備
えたことを特徴とするパルス電源装置。 ３、請求項１に記載のパルス電源装置において、前記コ
ンデンサと前記トランスの一次巻線との間に直列接続さ
れた二つの可飽和リアクトルと当該可飽和リアクトル間
の接続点と前記トランスの一次巻線の他端との間に接続
されたコンデンサとからなる磁気パルス圧縮回路を備え
たことを特徴とするパルス電源装置。 ４、請求項１〜３のいずれか一項に記載のパルス電源装
置において、 前記トランスのリセット回路を備えたことを特徴とする
パルス電源装置。 ５、請求項１〜４のいずれか一項に記載のパルス電源装
置を高電圧パルス電源として含むことを特徴とするレー
ザ発振装置。 ６、可飽和磁性体のコアを有する高電圧パルス電源用ト
ランス。[Claims] 1. A charging power source, a transformer whose primary winding is connected to the charging power source via a capacitor, and a transformer connected in parallel to the primary winding of the transformer on the charging power source side of the capacitor. 1. A pulse power supply device comprising a switching means and supplying a high voltage pulse to a load from a secondary winding of the transformer, characterized in that the core of the transformer is made of a saturable magnetic material. 2. The pulse power supply device according to claim 1, further comprising a magnetic pulse compression circuit comprising a saturable reactor connected in series between the capacitor and the primary winding of the transformer. . 3. The pulse power supply device according to claim 1, wherein two saturable reactors are connected in series between the capacitor and the primary winding of the transformer, and a connection point between the saturable reactors and the primary winding of the transformer. 1. A pulse power supply device comprising a magnetic pulse compression circuit comprising a capacitor connected between the other end of the wire. 4. The pulse power supply device according to any one of claims 1 to 3, further comprising a reset circuit for the transformer. 5. A laser oscillation device comprising the pulse power supply device according to any one of claims 1 to 4 as a high voltage pulse power supply. 6. A transformer for high voltage pulse power supply having a core of saturable magnetic material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5936690A JPH03261186A (en) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | Pulse power device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5936690A JPH03261186A (en) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | Pulse power device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03261186A true JPH03261186A (en) | 1991-11-21 |
Family
ID=13111199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5936690A Pending JPH03261186A (en) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | Pulse power device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03261186A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007209155A (en) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Ngk Insulators Ltd | Discharge device |
| CN113439371A (en) * | 2019-03-26 | 2021-09-24 | 国立大学法人长冈技术科学大学 | High voltage pulse generator, gas laser device, and method for manufacturing electronic device |
-
1990
- 1990-03-09 JP JP5936690A patent/JPH03261186A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007209155A (en) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Ngk Insulators Ltd | Discharge device |
| CN113439371A (en) * | 2019-03-26 | 2021-09-24 | 国立大学法人长冈技术科学大学 | High voltage pulse generator, gas laser device, and method for manufacturing electronic device |
| CN113439371B (en) * | 2019-03-26 | 2023-12-08 | 国立大学法人长冈技术科学大学 | High-voltage pulse generating device, gas laser device, and method for manufacturing electronic device |
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