JPH03251346A - Copying controller - Google Patents
Copying controllerInfo
- Publication number
- JPH03251346A JPH03251346A JP4581990A JP4581990A JPH03251346A JP H03251346 A JPH03251346 A JP H03251346A JP 4581990 A JP4581990 A JP 4581990A JP 4581990 A JP4581990 A JP 4581990A JP H03251346 A JPH03251346 A JP H03251346A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- stylus
- model
- friction
- vector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 57
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 37
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 claims description 21
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 3
- 101100491857 Columba livia ASL gene Proteins 0.000 abstract 3
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Machine Tool Copy Controls (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、デジタイザや倣い機械や倣い機能を有する三
次元測定機など、トレーサヘッドを倣いバスに沿いスキ
ャンしてモデル形状を倣う装置を制御する倣い制御装置
に関するものである。[Detailed Description of the Invention] <Industrial Application Field> The present invention is applicable to controlling a device that copies a model shape by scanning a tracer head along a copying bus, such as a digitizer, a copying machine, or a three-dimensional measuring machine with a copying function. This invention relates to a copying control device.
〈従来の技術〉
第3図は従来の倣い制御装置を示す。同図に示すように
トレーサヘッド1は、スフ1′ラス2を有しており、ト
レーサヘッド1は、X軸モータ鳩、Y軸モータM、、Z
軸モータM2の駆動により、倣いパスに沿い移動してモ
デル3をスキャンする。スタイラス2はト1/−サヘッ
ド1に対し、X、Y、Z軸方向に変位できるようになっ
ている。モデル36.・スキャンしているときには、ト
レーサヘッド1に備えたスタイラス2のx、y、z軸方
向の変位量ε8.ε7.ε2を示す信号がトレーサヘッ
ド1から出力されるとともに、スケール4に接続された
機械位置検出器5から(よトレーサヘッド1の位置X、
Y、Zを示す位置信号が出力される。<Prior Art> Fig. 3 shows a conventional copying control device. As shown in the figure, the tracer head 1 has a cross section 1' lath 2, and the tracer head 1 has an X-axis motor, a Y-axis motor M, and a Z-axis motor.
Driven by the shaft motor M2, the model 3 is scanned by moving along the tracing path. The stylus 2 can be displaced in the X, Y, and Z axis directions with respect to the toner head 1. Model 36. - During scanning, the displacement amount ε8 of the stylus 2 provided in the tracer head 1 in the x, y, and z axis directions. ε7. A signal indicating ε2 is output from the tracer head 1, and from the mechanical position detector 5 connected to the scale 4 (position X of the tracer head 1,
A position signal indicating Y and Z is output.
変位量検出器6は、変位量ε8.ε7.ε2をベクトル
的に合成して検出変位量εを求める。The displacement amount detector 6 detects the displacement amount ε8. ε7. The detected displacement amount ε is determined by vectorially combining ε2.
倣い条件設定器7て設定した基準変位量ε。と、検出変
位量εとの偏差変位Δεは、垂直方向速度演算器8及び
倣い方向速度演算器9に送られる。垂直方向速度演算器
8は垂直方向速度■8を求め、倣い方向速度演算器9は
倣い方向速度■。を求める。Reference displacement amount ε set using the copying condition setting device 7. The deviation displacement Δε between the detected displacement amount ε and the detected displacement amount ε are sent to the vertical direction speed calculator 8 and the scanning direction speed calculator 9. The vertical speed calculator 8 calculates the vertical speed ■8, and the tracing speed calculator 9 calculates the tracing speed ■8. seek.
送り制御器10ば、位置X、Y、Z、垂直方向速度vN
1倣い方向速度■□を基に、モータMx、 M、、 M
2を駆動する。かくて検出変位量εが基準変位量ε。と
等しくなるような、即ち偏差変位△εが零になるような
制御を行ないつつ、トレーサヘッド1が倣い送りされる
。Feed controller 10, position X, Y, Z, vertical speed vN
1 Based on the scanning direction speed ■□, motor Mx, M,, M
Drive 2. Thus, the detected displacement amount ε is the reference displacement amount ε. The tracer head 1 is scanned and fed while performing control such that the deviation displacement Δε becomes equal to , that is, the deviation displacement Δε becomes zero.
〈発明が解決しようとする課題〉
最近では、倣い速度が4000 mm/ minとなっ
ている高速倣いが実現されているが、更に倣い速度を高
速にする乙とが企画され研究が進んでいる。<Problems to be Solved by the Invention> Recently, high-speed copying with a copying speed of 4000 mm/min has been realized, but plans to increase the copying speed even higher are being planned and research is progressing.
倣い速度が遅いときには、スタイラス2とモデル3との
摩擦はほとんど問題とならず正確な倣いが実行できるが
、倣い速度が速くなると上記摩擦が原因となって、スタ
イラス2がモデル3から離れたり、逆に喰い込んだりす
る事態が生じることがある。このような事態が生じると
正確な倣いができず大きな問題であり、倣い速度を向上
させようとしたときの障害であった。When the scanning speed is slow, the friction between the stylus 2 and the model 3 is hardly a problem and accurate scanning can be performed, but when the scanning speed is high, the friction causes the stylus 2 to separate from the model 3, or On the other hand, a situation may occur where it bites in. When such a situation occurs, accurate copying cannot be performed, which is a big problem, and is an obstacle when trying to improve the copying speed.
ここで摩擦による不具合の発生を、第4図(al (b
)を参照して説明する。摩擦の無い理想状態では、第4
図(alに示すように、検出変位量εはモデル面に対し
垂直となり、垂直方向速度vTは検出量εとは逆方向に
なり、倣い方向=3−
速度VTは検出変位量εに対し直角方向になり、合成速
度VはvTとvNをベクトル的に加算したものとなる。Here, the occurrence of defects due to friction is shown in Figure 4 (al (b
). In an ideal state with no friction, the fourth
As shown in the figure (al), the detected displacement amount ε is perpendicular to the model surface, the vertical velocity vT is in the opposite direction to the detected amount ε, and the tracing direction = 3 - the speed VT is perpendicular to the detected displacement amount ε direction, and the resultant velocity V is the vectorial addition of vT and vN.
ところがスタイラス2とモデル3との間で摩擦が生じる
と、第4図(blに示すように、摩擦により生じる摩擦
ベクトルε。の影響により検出変位量εが傾き、これに
併せて垂直方向速度vN、倣い方向速度■T、合成速度
Vも傾く。第4図(a)と第4図(blとを比べると判
るように、摩擦が生じろと合成速度Vの方向が変化して
しまう。このため、スタイラス2がモデル3から離れた
り喰い込んだりしてしまうのである。However, when friction occurs between the stylus 2 and the model 3, as shown in FIG. , the tracing direction speed ■T, and the resultant speed V also incline.As can be seen by comparing Figure 4(a) and Figure 4(bl), the direction of the resultant speed V changes when friction occurs. As a result, the stylus 2 separates from the model 3 or bites into it.
本発明は、上記従来技術に鑑み、モデルとの間で大きな
摩擦が生じても、スタイラスにより正確な倣いのてきる
倣い制御装置を提供するものである。In view of the above-mentioned prior art, the present invention provides a tracing control device that allows accurate tracing with a stylus even if large friction occurs between the model and the model.
〈課題を解決するための手段〉
上記課題を解決する本発明の構成は、
トレーサヘッドに対しスタイラスが三次元の各方向に移
動できるように取り付けられた前記トレーサヘッドを、
モータの駆動により移動させてモデルを倣わせる倣い制
御装置であって、
スタイラスの変位量とトレーサヘッドの位置からスタイ
ラスの位置を求めるとともに、スタイラスの位置を時間
微分することにより、スタイラスが接しているモデルの
傾斜を演算する手段と、
スタイラスの変位lとモデルの傾斜から、スタイラスと
モデルとの摩擦による作用がない状態下でのスタイラス
の変位量を求める手段と、
求めたスタイラスの変位量とあらかじめ設定した基準変
位量との差から垂直方向速度を求めるとともに、求めた
垂直方向速度と直交する方向を倣い方向速度の方向と定
め、垂直方向速度と倣い方向速度との合成速度でもって
トレーサヘッドを動かすようモータ駆動する手段と、
を備えたことを特徴とする。<Means for Solving the Problems> The configuration of the present invention for solving the above problems is as follows: The tracer head is attached to the tracer head so that the stylus can move in each three-dimensional direction.
This is a tracing control device that moves a model to follow a model by driving a motor.The stylus position is determined from the displacement amount of the stylus and the position of the tracer head, and by differentiating the stylus position with respect to time, the stylus makes contact with the model. means for calculating the inclination of the model in which the model is located; a means for calculating the amount of displacement of the stylus in a state where there is no action due to friction between the stylus and the model from the displacement l of the stylus and the inclination of the model; and the amount of displacement of the stylus determined. The vertical speed is determined from the difference from the preset reference displacement amount, and the direction perpendicular to the determined vertical speed is determined as the direction of the scanning direction speed, and the tracer head is moved at the composite speed of the vertical direction speed and the scanning direction speed. The invention is characterized by comprising means for driving a motor to move the.
く実 施 例〉 以下に本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。Example of implementation Embodiments of the present invention will be described in detail below based on the drawings.
なお従来技術と同一機能を果す部分には同一符号を付す
。Note that the same reference numerals are given to parts that perform the same functions as those in the prior art.
第1図は本発明の実施例を示し、第2図はスタイラスま
わりの作用状態を示している。FIG. 1 shows an embodiment of the invention, and FIG. 2 shows the operating state around the stylus.
第1図に示すように、スタイラス2はモデル3に沿いス
キャンされ、トレーサヘッド1からは変位量ε8.ε7
.ε2を示す信号が出力され、変位量検出器6は検出変
位量εを出力する。検出変位量εは、第2図に示すよう
に、摩擦により生じた摩擦ベクトルε。を含むものであ
り、モデル面に対し垂直な方向から傾むいた方向のベク
トル量となる。一方、スケール4に接続された機械位置
検出器5は、トレーサヘッド1の位置X、Y、Zを示す
位置信号を出力する。As shown in FIG. 1, the stylus 2 is scanned along the model 3, and the tracer head 1 has a displacement of ε8. ε7
.. A signal indicating ε2 is output, and the displacement amount detector 6 outputs the detected displacement amount ε. As shown in FIG. 2, the detected displacement amount ε is a friction vector ε caused by friction. , and is a vector quantity in a direction tilted from the direction perpendicular to the model surface. On the other hand, a mechanical position detector 5 connected to the scale 4 outputs position signals indicating the positions X, Y, and Z of the tracer head 1.
モデルデジタイズ器21は、トレーサヘッド1の位置(
x、y、z)と検出変位量εの各軸成分(ε8.ε7.
ε2)を加えることにより、スタイラス2の先端に形成
したスタイラス球2a(D中心位置p−(x’、 y’
、 z’) ヲ求める。つまり、
(X’ 、 Y’ 、 Z’ ) = (X+ε、、
Y+ε、、、 Z+ε2)となる。The model digitizer 21 determines the position of the tracer head 1 (
x, y, z) and each axis component of the detected displacement amount ε (ε8.ε7.
By adding ε2), the stylus ball 2a (D center position p-(x', y') formed at the tip of the stylus 2
, z') wo seek. In other words, (X', Y', Z') = (X+ε,,
Y+ε, , Z+ε2).
記憶N22は、微小時間Δtごとにスタイラス球2aの
中心位置p= (x’、 y’、 z’)を記憶する。The memory N22 stores the center position p=(x', y', z') of the stylus ball 2a every minute time Δt.
この記憶器22におけろ記憶量は一定であり、最新の中
心位置のデータが記憶されると、記憶されている中で最
先に記憶された中心位置のデータが消去されるようにな
っている。The amount of memory in this storage device 22 is constant, and when the latest center position data is stored, the center position data that was stored first is erased. There is.
モデル傾斜演算器23は、記憶器22に記憶されている
スタイラス球中心位置Pのうち、最新の位置P(t、)
から、前回の位置P(t、−1)を減算して傾斜ベクト
ルΔPを求める。つまり、
ΔP=P (t、) −P (t、、−1)という演算
をする。この場合、Δtは小さい7−
ので傾斜ベクトルΔPは実質的に微分演算値となる。こ
のため、傾斜ベクトルΔPの方向は、スタイラス球2a
の移動方向、つまりモデル3の面と平行な方向となる(
第2図参照)。The model inclination calculator 23 calculates the latest position P(t,) among the stylus ball center positions P stored in the storage unit 22.
The previous position P(t, -1) is subtracted from , to obtain the inclination vector ΔP. In other words, the following calculation is performed: ΔP=P (t,) -P (t,, -1). In this case, since Δt is small (7-), the slope vector ΔP essentially becomes a differential calculation value. Therefore, the direction of the inclination vector ΔP is the stylus ball 2a
The direction of movement is parallel to the plane of model 3 (
(See Figure 2).
このようにして求めた傾斜ベクトルΔPは時間Δtごと
に出力される。The slope vector ΔP obtained in this manner is output at every time Δt.
摩擦補正器24は、傾斜ベクトルΔPを定数倍して摩擦
ベクトルε。を求める。っまりε =K・ΔP
という演算をする。摩擦ベクトルε、の方向は、モデル
3の表面と平行な方向であるので、傾斜ヘクトルΔPQ
K倍することにより摩擦ベクトルε、を求めることがで
きるのである。The friction corrector 24 multiplies the slope vector ΔP by a constant to obtain a friction vector ε. seek. The following calculation is performed: ε = K·ΔP. Since the direction of the friction vector ε is parallel to the surface of model 3, the inclination hector ΔPQ
By multiplying by K, the friction vector ε can be obtained.
更に摩擦補正器24ば、検出変位量εと摩擦ベクトルε
、を用いて、補正変位量ε8を求める。補正変位量ε8
は、摩擦が生じなかった場合に検出される変位量であり
、モデル面に垂直となっている(第2図参照)。この補
正変位量ε9は、ベクトル的に、検出変位量εから摩擦
ベクトルε、を減算する乙とにより演算できる。Furthermore, the friction corrector 24 detects the detected displacement amount ε and the friction vector ε.
The corrected displacement amount ε8 is determined using . Correction displacement amount ε8
is the amount of displacement detected when no friction occurs, and is perpendicular to the model surface (see Figure 2). This corrected displacement amount ε9 can be vector-wise calculated by subtracting the friction vector ε from the detected displacement amount ε.
8
かかる演算を具体的に説明すると次のようになる。即ち
、傾斜ベクトルΔPの各軸成分を(△X、Δy、Δ2)
とするとε。−K・△Pより摩擦ベクトルε、の各軸成
分は(K・△X。8 A concrete explanation of this operation is as follows. That is, each axis component of the tilt vector ΔP is (ΔX, Δy, Δ2)
Then ε. From −K・△P, each axis component of the friction vector ε is (K・△X.
K・Δy、K・△Z)となる。また摩擦が生じなかった
場合に検出される変位量を補正変位量ε8としその成分
を(ε、 εア ε ′)とすると、ベクトル的に
ε=ε +ε、 となる。K・Δy, K・ΔZ). Further, if the amount of displacement detected when no friction occurs is the corrected displacement amount ε8, and its components are (ε, εa ε'), then ε=ε+ε in terms of a vector.
従って ε9=ε−ε、より
ε X = ε x −K −ΔXεy =εy−
に舎Δy
ε Z = ε z−K 参 Δ Zとなる。こ
こでε8とε。は垂直であるので、その内積は0となる
。すなわち
εX′・K・Δχ十εy′ ・K・Δy+εZ −K・
Δz = 0(c x−に’△x)・△x+(εy−に
Δy)・△y+(εz−K・Δz)−△z−0これより
となり、定数Kが算出できる。その結果、補正変位量ε
4.が求められた。Therefore, ε9=ε−ε, so ε X = ε x −K −ΔXεy = εy−
Then, Δy ε Z = ε z−K Δ Z. Here ε8 and ε. is perpendicular, so its inner product is 0. That is, εX′・K・Δχ1εy′・K・Δy+εZ −K・
Δz = 0 ('Δx to c x−)・Δx+(Δy to εy−)・Δy+(εz−K・Δz)−Δz−0 From this, the constant K can be calculated. As a result, the corrected displacement amount ε
4. was required.
できる。このような演算は、摩擦ベクトルε、に対し補
正変位量ε9が直角になるという知見を基にして実行し
ているのである。can. Such calculations are performed based on the knowledge that the corrected displacement amount ε9 is perpendicular to the friction vector ε.
垂直方向速度演算器8は、補正変位量εが、倣い条件設
定器7で設定した基準変位量ε。と等しくなるような垂
直方向速度VNを求める。The vertical speed calculator 8 determines that the corrected displacement amount ε is the reference displacement amount ε set by the copying condition setting device 7. Find the vertical velocity VN that is equal to .
垂直方向速度vNは、補正変位量ε8の方向に対し逆方
向であり、モデル面に対し直角となっている。The vertical velocity vN is in the opposite direction to the direction of the corrected displacement amount ε8, and is perpendicular to the model surface.
倣い方向速度演算器26は、倣い条件設定器7で設定さ
れる倣い方向速度V、の方向を、垂直方向速度vNに対
し直交する方向に定め、このように方向を決めた倣い方
向速度V□を出力する。The scanning direction speed calculator 26 determines the direction of the scanning direction speed V set by the scanning condition setting device 7 in a direction perpendicular to the vertical direction velocity vN, and sets the direction of the scanning direction speed V□ with the direction determined in this way. Output.
送り制御N10ば、垂直方向速度演算器25から送られ
てくる垂直方向速度VNと、倣い方向速度演算器26か
ら送られてくる倣い方向速度V□と、機械位置検出器5
から送られてくるトレーサヘッド1の位置x、y、zを
基にモータMx2MY2M2 を駆動する。このためス
タイラス2は速度vTと速度vNとをベクトル的に加算
した合成速度Vでもって移動させられ、かつ、補正変位
量ε、が基準変位量ε。The feed control N10 outputs the vertical speed VN sent from the vertical speed calculator 25, the scanning speed V□ sent from the scanning speed calculator 26, and the machine position detector 5.
The motor Mx2MY2M2 is driven based on the position x, y, z of the tracer head 1 sent from the controller. Therefore, the stylus 2 is moved with a composite velocity V obtained by vectorially adding the velocity vT and the velocity vN, and the corrected displacement amount ε is the reference displacement amount ε.
と等しくなるような制御を行ないつつ、トレーサヘッド
1が倣い送りされる。The tracer head 1 is scanned and fed while performing control such that it becomes equal to .
このように摩擦に起因する摩擦ベクトルεの影響を除い
た補正変位量ε8を基に、垂直方向速度vNひいては倣
い方向速度vTを求めているので、合成速度■は、摩擦
のない理想状態におけるそれと同じになり、スタイラス
2がモデル3から離れたり、逆に喰い込むことはない。In this way, the vertical velocity vN and the tracing velocity vT are determined based on the corrected displacement amount ε8 excluding the influence of the friction vector ε caused by friction, so the resultant velocity ■ is the same as that in an ideal state without friction. The stylus 2 will not separate from the model 3, nor will it bite into the model 3.
〈発明の効果〉
以上実施例とともに具体的に説明したように本発明によ
れば、検出変位量から摩擦による影響を除いて補正変位
量を求め、この補正変位量を基に垂直方向速度の方向及
び大きさ並びに倣い方向速度の方向を決めているため、
11
スタイラスの合成速度の方向は、摩擦の無い理想状態の
ときと同じになる。かくてスタイラスの離れや喰い込み
が生しることなく正確な倣いが実行できる。<Effects of the Invention> As specifically explained above in conjunction with the embodiments, according to the present invention, a corrected displacement amount is obtained by removing the influence of friction from the detected displacement amount, and based on this corrected displacement amount, the direction of vertical velocity is determined. Since the size and direction of the scanning speed are determined,
11 The direction of the resultant velocity of the stylus is the same as in the ideal state without friction. In this way, accurate tracing can be performed without the stylus separating or digging into the stylus.
第1図は本発明の実施例を示すブロック図、第2図は本
発明におけるスタイラスまわりの作用状態を示すベクト
ル図、第3図は従来技術を示すブロック図、第4図は従
来技術におけるスタイラスまわりの作用状態を示すベク
トル図である。
図 面 中、
1はトレーサヘッド為
2はスタイラス、
2aはスタイラス球、
4はスケール、
5は機械位置検出器、
6は変位量検出器、
7は倣い条件設定器、
10は送り制御器、
12
21はモデルデジタイズ器、
22は記憶器、
23はモデル傾斜演算器、
24は摩擦補正器、
25は垂直方向速度演算器、
26は倣い方向速度演算器、
Mx、MY、M2はモータである。Fig. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a vector diagram showing the operating state around the stylus in the present invention, Fig. 3 is a block diagram showing the prior art, and Fig. 4 is a stylus in the prior art. It is a vector diagram showing the operating state of the surroundings. In the drawing, 1 is a tracer head, 2 is a stylus, 2a is a stylus ball, 4 is a scale, 5 is a machine position detector, 6 is a displacement detector, 7 is a scanning condition setting device, 10 is a feed controller, 12 21 is a model digitizer, 22 is a memory device, 23 is a model inclination calculator, 24 is a friction corrector, 25 is a vertical speed calculator, 26 is a tracing speed calculator, and Mx, MY, and M2 are motors.
Claims (1)
動できるように取り付けられた前記トレーサヘッドを、
モータの駆動により移動させてモデルを倣わせる倣い制
御装置であって、スタイラスの変位量とトレーサヘッド
の位置からスタイラスの位置を求めるとともに、スタイ
ラスの位置を時間微分することにより、スタイラスが接
しているモデルの傾斜を演算する手段と、 スタイラスの変位量とモデルの傾斜から、スタイラスと
モデルとの摩擦による作用がない状態下でのスタイラス
の変位量を求める手段と、求めたスタイラスの変位量と
あらかじめ設定した基準変位量との差から垂直方向速度
を求めるとともに、求めた垂直方向速度と直交する方向
を倣い方向速度の方向と定め、垂直方向速度と倣い方向
速度との合成速度でもってトレーサヘッドを動かすよう
モータ駆動する手段と、を備えたことを特徴とする倣い
制御装置。[Claims] The tracer head is attached to the tracer head so that the stylus can move in each three-dimensional direction,
This is a tracing control device that moves a model by driving a motor and calculates the stylus position from the amount of stylus displacement and the position of the tracer head, and also calculates the position of the stylus by differentiating the stylus position with respect to time. A means for calculating the inclination of a model in which the stylus is displaced, a means for calculating the amount of displacement of the stylus in a state where there is no action due to friction between the stylus and the model, from the amount of displacement of the stylus and the inclination of the model, and the amount of displacement of the stylus thus determined. The vertical speed is determined from the difference from the preset reference displacement amount, and the direction perpendicular to the determined vertical speed is determined as the direction of the scanning direction speed, and the tracer head is moved at the composite speed of the vertical direction speed and the scanning direction speed. A copying control device comprising: means for driving a motor to move.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4581990A JPH03251346A (en) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | Copying controller |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4581990A JPH03251346A (en) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | Copying controller |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03251346A true JPH03251346A (en) | 1991-11-08 |
Family
ID=12729859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4581990A Pending JPH03251346A (en) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | Copying controller |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03251346A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07260432A (en) * | 1994-03-25 | 1995-10-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Apparatus for measuring dimensions of wafer notch |
JP2005345123A (en) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Mitsutoyo Corp | Surface copying measuring instrument, surface copying measuring method, surface copying measuring program, and recording medium |
JP2008268118A (en) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Makino Milling Mach Co Ltd | Method and device for measuring shape |
JP2009293992A (en) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Panasonic Corp | Shape measuring apparatus and shape measuring method |
JP2016057082A (en) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 株式会社ミツトヨ | Shape measurement device and shape measurement method |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP4581990A patent/JPH03251346A/en active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07260432A (en) * | 1994-03-25 | 1995-10-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Apparatus for measuring dimensions of wafer notch |
JP2005345123A (en) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Mitsutoyo Corp | Surface copying measuring instrument, surface copying measuring method, surface copying measuring program, and recording medium |
JP2008268118A (en) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Makino Milling Mach Co Ltd | Method and device for measuring shape |
JP2009293992A (en) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Panasonic Corp | Shape measuring apparatus and shape measuring method |
JP4611403B2 (en) * | 2008-06-03 | 2011-01-12 | パナソニック株式会社 | Shape measuring apparatus and shape measuring method |
US8006402B2 (en) | 2008-06-03 | 2011-08-30 | Panasonic Corporation | Shape measuring apparatus and shape measuring method |
JP2016057082A (en) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 株式会社ミツトヨ | Shape measurement device and shape measurement method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2295181B1 (en) | Method and use of a machine for machining parts using spark-erosion milling | |
JP2008139035A (en) | 3-d environment measurement device and mobile robot provided with the same | |
CN106802141B (en) | Control method of shape measuring apparatus | |
US20200398425A1 (en) | Robot control apparatus and robot control system | |
JPH03251346A (en) | Copying controller | |
JP3257924B2 (en) | Normal line detection method and apparatus for three-dimensional laser beam machine | |
JP2594578B2 (en) | Non-contact profile control device | |
JPH02145908A (en) | Automatic setting for correcting deflection of stylus in digitizing device | |
JPH0146276B2 (en) | ||
JP7344626B2 (en) | Control method for shape measuring device | |
JP7402653B2 (en) | Control method for shape measuring device | |
JP2000267714A (en) | Correction input value generation method for precise track control of servo control system | |
JPH03251345A (en) | Copying controller | |
JPH04244356A (en) | Tracer control device | |
JPH0158020B2 (en) | ||
JPH09267281A (en) | Tracer control device and method of multiarticulate robot | |
JP2515549B2 (en) | Arc trajectory control device for multi-axis servo mechanism | |
JP2021025978A (en) | Shape measuring device | |
JP2634914B2 (en) | Digitizing control device | |
JP2563318B2 (en) | Position control device for industrial machinery | |
JPH0323522A (en) | Tracking controller for optical disk | |
JP2728987B2 (en) | Mobile body movement control device | |
JPS60205203A (en) | Non-contact type three-dimensional coordinates measuring system | |
JPH0981216A (en) | Decision device for quadrant projection correcting parameter | |
JPH07104691B2 (en) | Constant velocity arc locus controller for multi-axis servo mechanism |