JPH03246704A - 製造工程の管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、製造工程の管理技術に関し、特に、製造工程
中における多数の仕掛品の管理などに適用して有効な技
術に関する。

〔従来の技術〕

たとえば、半導体集積回路装置の製造工程などにおいて
は、多品種かつ多数の半導体基板などに対して、同時進
行的に、種々のフォトリソグラフィ工程や組立工程など
における加工処理が行われる。

このため、どの品種のどの半導体基板が現在どの工程に
あるかなどの工程の進捗状況を的確に把握することが製
造工程の効率的な管理／運用に不可欠であり、従来では
、たとえば、仕掛品である半導体基板がロット毎に纏め
て収納された搬送治具などに、当該治具に収納されてい
る仕掛品に関するロット番号などの識別情報を記録して
おき、各工程に搬送治具が到来する毎に、あるいは当該
工程からの払い出し時などに、作業者が端末装置から工
程管理用のコンピュータにこれらの情報を入力するなど
して、各製品の仕掛かり状況などを把握することが行わ
れている。

なお、製造工程の管理技術に関する他の例としては、た
とえば特開昭５１−１２２５００号公報などに開示され
る技術がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記の前者の従来技術の場合には、作業者に
よるデータの誤人力や人力忘れなどによって、仕掛品の
実際の状ｔ！ｌ（工程の進行状況など）が正確に把握で
きない場合があり、一部の工程におけるこのようなデー
タの入力忘れなどによって工程全体が停止したり、たと
えば試験研究や不良対策などの理由で特定の製品の仕掛
品を製造工程中から捜し出す場合に長時間を要するなど
の種々の問題があることを本発明者は見出した。

また、後者の従来技術の場合には、仕掛品の格付けおよ
びそれに応じた銘板の取り付けの自動化を図ろうとする
ものであるが、工程中における個々の仕掛品の追跡技術
に関してはなんら具体的な技術が提示されていない。

そこで、本発明の目的は、任意の時点での製造工程にお
ける仕掛品の状況を正確に把握することが可能な製造工
程の管理技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、仕掛品の管理の自動化による生産
性の向上を実現することが可能な製造工程の管理技術を
提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明になる製造工程の管理システムは、仕
掛品をロットに収納して複数の工程間を移動させる製造
工程の管理システムであって、前記ロットに設けられ、
当該ロットに固有の情報を外部と間で授受する第１の情
報授受手段と、前記工程の各々に配置され、前記ロット
に設けられた前記第１の情報授受手段との間で前記情報
の授受を行う複数の第２の情報授受手段と、この第２の
情報授受手段が接続され、前記情報を管理する主制御部
と、この主制御部に接続され、前記製造工程に関する情
報の人出力を行う端末装置とを備えるようにしたもので
ある。

〔作用〕

上記した本発明になる製造工程の管理システムによれば
、たとえば、仕掛品を収納した個々のロットが各工程に
到来する毎に、当該ロットに設けられた第１の手段と当
該工程毎に配置された第２の手段との間における電磁波
や音波などを介した情報の授受によって、作業者などを
介在させることなく、当該ロットに固有の識別情報を自
動的に主制御部が収集して一元的に管理することができ
、たとえば任意時点での任意のロットがいずれの工程に
あるかなどの仕掛かり状況を正確に把握することが可能
となる。

また、仕掛品の管理が自動的に行われるので、情報の人
力作業などに作業者が煩わされることがなくなり、入力
作業などの分だけ工数が削減される結果、製造工程にお
ける生産性が向上する。

〔実施例〕

以下、図面を参照しながら本発明の一実施例である製造
工程の管理システムの一例を詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例である製造工程の管理シス
テムの構成の一例を模式的に示すブロック図であり、第
２図は、その一部を取り出して模式的に示すブロック図
である。

本実施例の製造ライン１は、複数の一連の工程１ａ〜工
程１ｆで構成されている。そして、搬送治具などのロッ
ト２に収納された図示しない仕掛品を、これらの各工程
１ａ〜１ｆの間を搬送し、当該各工程１ａ〜１ｆにおい
て所望の加工処理を図示しない仕掛品に施すことにより
、目的の製品の製造を行うようになっている。

この場合、図示しない仕掛品を搭載したロット２には、
ロット側送受信器３が設けられているとともに、複数の
工程１ａ〜１ｆの各々には、このロット側送受信器３と
の間で情報の授受を行う工程側送受信器４ａ〜工程側送
受信器４ｆが配置されている。

そして、個々のロット２が複数の工程１ａ〜工程１ｆの
各々に到来する毎に、たとえば、当該ロット２に搭載さ
れている図示しない仕掛品の製品名や、当該仕掛品の来
歴、さらには仕掛数などの情報が自動的に当該工程１ａ
〜工程１ｆの各々に配置されている工程側送受信器４ａ
〜工程側送受信器４ｆの各々によって自動的に検出され
るようになっている。

個々の工程１ａ〜工程１ｆの各々に配置されたこれらの
複数の工程側送受信器４ａ〜工程側送受慣器４ｆは、ロ
ット管理用コンピュータ５に接続されており、前述のよ
うにしてロット側送受信器３から得られた、当該工程に
到来したロット２に関する情報が一元的に収集されるよ
うに構成されている。

ロット管理用コンピュータ５には、たとえば図示しない
デイスプレィやキーボード、さらにはプリンタなどの情
報入出力機器を備えた複数の端末装置６が接続されてお
り、前述のようにしてロット管理用コンピュータ５に集
積された個々のロット２の現在位置やその他の情報を作
業者が随時検索したり、所望の指令や情報の追加／訂正
などの入力作業を行うことが可能になっている。

個々のロット２に装着されている前述のロット側送受信
器３は、たとえば第２図に示されるように、全体の制御
を行うマイクロプロセッサ３ａと、当該ロット側送受信
器３が装着されるロット２に搭載された仕掛品に関する
前述のような情報、さらにはマイクロプロセッサ３ａの
制御プログラムなどが格納されるメモリ３ｂとが設けら
れている。

さらにマイクロプロセッサ３ａには、外部に対して電磁
波や音波などを媒介として前記メモリ３ｂに格納されて
いる情報を送出する発信部３Ｃと、外部から電磁波や音
波などを媒介として到来する情報を検出して当該マイク
ロプロセッサ３ａに伝達するセンサ３ｄが接続されてい
る。

また、このロット側送受信器３に対応して複数の工程１
ａ〜１ｆの各々に配置されている工程側送受信器４ａ〜
工程側送受信器４ｆの各々は、ロット管理用コンピュー
タ５の制御下で、電磁波や音波などを媒介として、ロッ
ト側送受信器３に所望の情報を与える発信部４１と、当
該ロット側送受信器３から送出される情報を検出してロ
ット管理用コンピュータ５に伝達するセンサ４２とを備
えている。

以下、本実施例の製造工程の管理システムの作用の一例
を説明する。

まず、一連の工程１ａ〜工程１ｆの最初の工程１ａに図
示しない搬送機構などによって仕掛品を搭載したロット
２が到来したとする。このとき、ロット側送受信器３の
発信部３Ｃは、当該ロット２に固有のロット番号や製品
名などの識別情報を、電磁波や音波などによって所定の
信号として外部に発信している。

そして、工程１ａに設置されている工程側送受信器４ａ
のセンサ４２は、ロット２の側のロット側送受信器３か
らの前記信号（識別情報）を検出することにより、ロッ
ト２の到来を認識し、その旨をロット管理用コンピュー
タ５に伝達する。

これを認識したロット管理用コンピュータ５は、現在、
当該ロット２が工程１ａにあることを認識し、当該ロッ
ト２の識別情報などとともに現在位置情報として所定の
ファイルなどに自動的に記録する。

４さらに、随時、端末装置１６などを介して操作者から
与えられる情報検索要求などに応じて、ロット管理用コ
ンピュータ５は、工程側送受信器４ａの発信部４１およ
びロット側送受信器３のセンサ３ｄを介して、ロット側
送受信器３０マイクロプロセツサ３ａに対して所定の情
報読み出し指令を与える。

これを受けたマイクロプロセッサ３ａは、メモＩＪ　３
　ｂに記録されている、たとえば当該ロット２の来歴（
たとえば以前の他の製造工程における加工の良／不良や
使用部品／材料などに関する情報）などの情報を読み出
し、発信部３ｃを介して外部に送出し、ロット側送受信
器３のセンサ３ｄがこれらの情報を検出してロット管理
用コンピュータ５に伝達し、当該ロット管理用コンピュ
ータ５は、端末装置６の図示しない画面などにこれらの
情報を表示したり、所望のファイルに記録するなどの動
作を行う。

同様に、当該工程１ａから次の工程１ｂなどへの当該ロ
ット２の払い出し時には、ロット管理用コンピュータ５
は、当該ロット２に搭載されている仕掛品の現在の工程
１ａにおける加工結果などに関する情報を、工程側送受
信器４ａの発信部４１を介してロット側送受信器３に与
え、当該ロット側送受信器３のメモ’１３ｂに記録させ
るとともに、当該ロット２が当該工程１ａにあるという
情報をファイルから抹消する。

以上のような動作が、以降の工程１ｂ〜１ｆなどにおい
て逐次性われる。

これにより、作業者などは、必要に応じて端末装置６を
操作することにより、個々のロット２が現在、複数の工
程１ａ〜１ｆのいずれにあるかという位置情報や、当該
ロット２に搭載されている仕掛品の来歴などの詳細な情
報を、実時間で正確に知ることができる。

また、個々のロット２の各工程１ａ〜１ｆへの到来や払
い出し時における情報に記録が、個々のロット２に装着
されているロット側送受信器３および個々の工程に配置
されている工程側送受信器４ａ〜４ｆなどによって自動
的に行われるので、これらの情報の記録作業に作業者を
介在させる必要がなくなり、個々のロット２に関する上
述のような種々の情報の記録作業が正確に行われるとと
もに、これらの記録作業に要する工数を削減でき、製造
ライン１における生産性が向上する。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、ロット側送受信器および工程側送受信器の構
成は、前記実施例に例示したものに限定されない。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりで
ある。

すなわち、本発明になる製造工程の管理システムによれ
ば、仕掛品をロットに収納して複数の工程間を移動させ
る製造工程の管理システムであって、前記ロットに設け
られ、当該ロットに固有の情報を外部との間で授受する
第１の情報授受手段と、前記工程の各々に配置され、前
記ロットに設けられた前記第１の情報授受手段との間で
前記情報の授受を行う複数の第２の情報授受手段と、こ
の第２の情報授受手段が接続され、前記情報を管理する
主制御部と、この主制御部に接続され、前記製造工程に
関する情報の人出力を行う端末装置とからなるので、た
とえば、仕掛品を収納した個々のロットが各工程に到来
する毎に、当該ロットに設けられた第１の手段と当該工
程毎に配置された第２の手段との間における電磁波や音
波などを介した情報の授受によって、作業者などを介在
させることなく、当該ロットに固有の識別情報を自動的
に主制御部が収集して一元的に管理することができ、た
とえば任意時点での任意のロットがいずれの工程にある
かなどの仕掛かり状況を正確に把握することが可能とな
る。

また、仕掛品の管理が自動的に行われるので、情報の入
力作業などに作業者が煩わされることがなくなり、入力
作業などの分だけ工数が削減される結果、製造工程にお
ける生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である製造工程の管理シス
テムの構成の一例を模式的に示すブロック図、 第２図は、その一部を取り出して模式的に示すブロック
図である。 １°・・製造ライン、１ａ〜１ｆ・・・工程、２・・・
ロット、３・・・ロット側送受信器（第１の情報授受手
段）、３ａ・・・マイクロプロセッサ、３ｂ・・・メモ
リ、３ｃ・・・発信部、３ｄ・・・センサ、４ａ〜４ｆ
・・・工程側送受信器（第２の情報授受手段）、４１・
・・発信部、４２・・・センサ、５・・・ロット管理用
コンピュータ（主製造工程部）、６・・・端末装置。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. １．仕掛品をロットに収納して複数の工程間を移動させ
   る製造工程の管理システムであって、前記ロットに設け
   られ、当該ロットに固有の情報を外部との間で授受する
   第１の情報授受手段と、前記工程の各々に配置され、前
   記ロットに設けられた前記第１の情報授受手段との間で
   前記情報の授受を行う複数の第２の情報授受手段と、こ
   の第２の情報授受手段が接続され、前記情報を管理する
   主制御部と、この主制御部に接続され、前記製造工程に
   関する情報の入出力を行う端末装置とからなることを特
   徴とする製造工程の管理システム。
2. ２．前記第１の手段および第２の手段が、電磁波または
   音波を媒介として情報の授受を行う送受信器であること
   を特徴とする請求項１記載の製造工程の管理システム。
3. ３．前記第１の手段が、電磁波または音波を媒介として
   情報の授受を行う送受信器を備え、前記ロットに着脱自
   在に装着されるカードであることを特徴とする請求項１
   または２記載の製造工程の管理システム。