JPH03238377A - 磁気センサ - Google Patents

磁気センサ

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Publication number
JPH03238377A
JPH03238377A JP3365090A JP3365090A JPH03238377A JP H03238377 A JPH03238377 A JP H03238377A JP 3365090 A JP3365090 A JP 3365090A JP 3365090 A JP3365090 A JP 3365090A JP H03238377 A JPH03238377 A JP H03238377A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
analyzer
polarizer
magnetic sensor
glass
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3365090A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiaki Watanabe
聡明 渡辺
Toshihiko Riyuuou
俊彦 流王
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP3365090A priority Critical patent/JPH03238377A/ja
Publication of JPH03238377A publication Critical patent/JPH03238377A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
本発明は磁界や電流を測定するための、ファラデー効果
を利用した磁気センサに関するものである。
【従来の技術】
磁気センサの一つに、磁場がかけられた物質を磁力線の
方向に光が通過するとき、直線偏光の光線の偏光面が回
転するファラデー効果を利用したものがある。 第2図に磁気センサの一例を示す。この磁気センサは偏
光子13、ファラデー素子14gよび検光子15をこの
順に並べたものである。偏光子13はコリメートレンズ
2および光ファイバlを介して光源(不図示)に接続さ
れ、検光子15はコリメートレンズ6および光ファイバ
7を通じて光検知器(不図示)に接続されている。偏光
子13は矢印13a方向、検光子15は矢印15a方向
に偏光方向をもっている。 光フアイバケーブルlを通してコリメートレンズ2より
出射された光が偏光子13を通過すると、その先軸13
aと平行な成分のみをもつ直線偏光になる。この直線偏
光が磁場Hを印加されたファラデー素子14を通過する
と偏波面がθだけ回転した直線偏光になって検光子15
を通過する。検光子15の光軸は偏光子13の光軸13
aに対して傾いているため、検光子15の通過光量は、
偏光の回転角θによって決定される。回転角θは、式θ
=V−H−J2 (Vはベルデ定数、氾はファラデー素
子の素子長)で表わされるように磁場の強さHに比例す
るため、検光子15の通過光量をコリメートレンズ6お
よび光ファイバ7で光検知器(不図示)に導き、電気信
号に変換して演算すれば磁場の強さHが算出できる。
【発明が解決しようとする課題】
このような磁気センサにはなるべく小さいことが求めら
れる。しかし、第2図に示した磁気センサは偏光子13
や検光子15に偏光プリズムを使用しているために光路
長が長くなり、センサの大きさに比べて有効ビーム径が
小さい。 本発明は前記の課題を解決するためなされたもので、素
子の光路長が短く、小型の磁気センサを提供することを
目的とする。
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するためになされた本発明の磁気セン
サを実施例に対応する第1図を用いて説明する。 同図に示すように本発明の磁気センサは、偏光子3、フ
ァラデー素子4および検光子5がこの順に配置されてい
る。偏光子3および検光子5の少なくとも一方がガラス
偏光板からなり、ファラデー素子4が式As5so+□
で示されるガーネットからなる。式A3B60□のAは
例えば希土類元素、Bi、 Pbから選ばれる一または
複数の元素で構成される。Bは例えばFe単独、または
Al、 Ga、 In、Co、 Ge、 Scから選ば
れる−または複数の元素とFeとで構成される。 ガラス偏光板としてガラス板の表面に銀結晶を配向させ
た偏光板を使用する。 偏光子3、ファラデー素子4および検光子5は円板状で
あることが望ましい。
【作用】
本発明の磁気センサは、偏光子3や検光子5として薄い
ガラス偏光板を用い、ファラデー素子4にベルデ一定数
の大きな磁性ガーネットを使用しているために、光路が
短縮されるとともにレンズによる光のコリメートが容易
である。また偏光子3、ファラデー素子4、検光子5が
光路を中心とする円板状に形成されているため、磁気セ
ンサの外径に対する有効ビーム径の比が大きい。
【実施例】
以下、本発明の詳細な説明する。 第1図に本発明の磁気センサを示す。このセンサは、偏
光子3、ファラデー素子4および検光子5をこの順に連
結したものである。偏光子3はロッド状のコリメートレ
ンズ2および光ファイバlを介して光源(不図示)に接
続され、検光子5は、コリメートレンズ6および光ファ
イバ7を介して光検知器(不図示)に接続されている。 偏光子3および検光子5は、ガラスの表面に銀結晶を配
向させた厚さ0.2m+aのガラス偏光板(コーニング
社製、ポーラコア78612)である。 これを1.8mmφの円板状に加工して使用する。 ファラデー素子4は、式 (GdBil s (FeG
al sO+ tで示される厚さ(1,04+amのガ
ーネット単結晶を1.8++a◆の円板状に加工したも
のである。 コリメートレンズ2より出射された光は、ガラス偏光板
3を通過すると、その先軸3aと平行な成分のみをもつ
直線偏光になり、磁場Hを印加されたファラデー素子4
を通過すると偏波面が角度θだけ回転する。偏波面が回
転した直線偏光は、ガラス偏光板3の光軸3aに対して
光軸5aが傾いたガラス偏光板5を通過する。その通過
光をコノメートレンズ6および光ファイバ7によって光
検知器(不図示)に導き、電気信号に変換して演算すれ
ば磁場の強さHが算出される。 この実施例の磁気センサにおいて光の透過できる有効ビ
ーム径は1.6+++aφである。それに対し、ガラス
偏光板3・5およびファラデー素子4の直径は1.8m
mφであるため、磁気センサの外径に対する有効ビーム
径の比率は0.89となり、磁気センサを構成するガラ
ス偏光板3・5およびファラデー素子4の断面が有効に
利用されていることがわかる。また、透過光の光路長は
0.5mmであった。 これに対し第2図に示した従来の磁気センサは、偏光子
13および検光子15として20×2mmの偏光ビーム
スプリッタを用い、ファラデー素子14として、式fG
dBi) x fFeGal sO+ tで示される2
0X O,(14ma+のガーネット単結晶を使用して
いる。この構造において、光の透過できる有効ビーム径
1.61φに対し、偏光ビームスプリ・ンタ13・15
およびファラデー素子14に内接し、光路に直交する円
の直径は2.83r++a$であるため、磁気センサの
内接円に対する有効ビーム径の比率は0.57である。 偏光ビームスプリッタ13・15およびファラデー素子
14を透過する光路長は4.1mmであった。 このように1本発明の実施例の磁気センサは、第2図を
用いて説明した従来の磁気センサと比較して光路長が約
178、外径が約171.6.体積がl/26に小型化
されている。 【発明の効果] 以上詳細に説明したように本発明の磁気センサは、偏光
素子の光路長が短かく、各偏光素子の断面が光路として
面積効率良く使用されているため、従来の磁気センサに
比べて大幅に小型化されている。また加工が容易である
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の磁気センサの一実施例を示す斜視図、
第2図は従来の磁気センサを示す斜視図である。 l・7−・・光ファイバ 2・6・・・コリメータレンズ 3・5−・・ガラス偏光板 4・14・・・ファラデー素子

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、偏光子、ファラデー素子および検光子がこの順に配
    置された磁気センサにおいて、偏光子および検光子の少
    なくとも一方がガラス偏光板からなり、ファラデー素子
    が式A_2B_5O_1_2(Aは希土類元素、Bi、
    Pbから選ばれる一または複数の元素、BはFe単独ま
    たはAl、Ga、In、Co、Ge、Scから選ばれる
    一または複数の元素とFe)で示されるガーネット単結
    晶からなることを特徴とする磁気センサ。 2、前記ガラス偏光板がガラス板の表面に銀結晶を配向
    させた偏光板であることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の磁気センサ。 3、前記偏光子、ファラデー素子、検光子のうち少なく
    とも一つが円板状に形成されていることを特徴とする特
    許請求の範囲第1項記載の磁気センサ。
JP3365090A 1990-02-16 1990-02-16 磁気センサ Pending JPH03238377A (ja)

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JP3365090A JPH03238377A (ja) 1990-02-16 1990-02-16 磁気センサ

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JP (1) JPH03238377A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010285299A (ja) * 2009-06-09 2010-12-24 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 酸化物及び磁気光学デバイス

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010285299A (ja) * 2009-06-09 2010-12-24 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 酸化物及び磁気光学デバイス

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