JPH03232909A - 金属粉末の製造方法 - Google Patents
金属粉末の製造方法Info
- Publication number
- JPH03232909A JPH03232909A JP2932490A JP2932490A JPH03232909A JP H03232909 A JPH03232909 A JP H03232909A JP 2932490 A JP2932490 A JP 2932490A JP 2932490 A JP2932490 A JP 2932490A JP H03232909 A JPH03232909 A JP H03232909A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molten metal
- nozzle
- thin
- flow
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 42
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 23
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 23
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 3
- 229910020220 Pb—Sn Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000009689 gas atomisation Methods 0.000 description 5
- 238000009690 centrifugal atomisation Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000006023 eutectic alloy Substances 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、噴霧法による金属粉末の製造方法に関する。
(従来の技術)
噴霧法による金属粉末の製造方法には、ガス、水等によ
る流体噴霧法、遠心力を利用する遠心噴霧法、超音波や
振動を利用する機械的噴霧法等種々の粉末製造法がある
。
る流体噴霧法、遠心力を利用する遠心噴霧法、超音波や
振動を利用する機械的噴霧法等種々の粉末製造法がある
。
(発明が解決しようとする課題)
このような従来の粉末製造法により得られる粉末の粒度
分布は、例えば第2図に示すよう番ε従来の粉末製造法
によると、粉末の粒度分布が細径のものから大径のもの
まで幅広く存在する。
分布は、例えば第2図に示すよう番ε従来の粉末製造法
によると、粉末の粒度分布が細径のものから大径のもの
まで幅広く存在する。
噴霧粉末が生成される噴霧機構を分析調査してみると、
例えばガス噴霧では次のような段階で粉末が作製される
。
例えばガス噴霧では次のような段階で粉末が作製される
。
第1図に示す模式図にもとづいて説明すると、■棒状に
流動する棒状流りに高圧ガス流が当ると、第1図(a)
に示されるようなミクロ的溶融薄体1が形成され、次に
■このミクロ的溶融薄体1が棒状体2に分かれ、次いで
■この棒状体2が多数の粒子状の粒体3に分離し分散さ
れる。このような粒体に至るまでの段階にはかなりの不
確定要素がある。
流動する棒状流りに高圧ガス流が当ると、第1図(a)
に示されるようなミクロ的溶融薄体1が形成され、次に
■このミクロ的溶融薄体1が棒状体2に分かれ、次いで
■この棒状体2が多数の粒子状の粒体3に分離し分散さ
れる。このような粒体に至るまでの段階にはかなりの不
確定要素がある。
しかし、従来のガス噴霧法では、この第1図(a)に示
す段階的な細粒化が第1図(b)に示すように同一段階
で重ねて行われるため、得られる流体の粒度分布がバラ
ッき広く細径のものから大径のものまで不均一になるの
で、得ようとする粉末の粒径の制御は回能であった。例
えば、ガス噴霧法により得られる粉末の粒径は数amか
ら1mmまでの幅広い粒径なもつ粉末になっている。
す段階的な細粒化が第1図(b)に示すように同一段階
で重ねて行われるため、得られる流体の粒度分布がバラ
ッき広く細径のものから大径のものまで不均一になるの
で、得ようとする粉末の粒径の制御は回能であった。例
えば、ガス噴霧法により得られる粉末の粒径は数amか
ら1mmまでの幅広い粒径なもつ粉末になっている。
本発明は、このような知見にもとづいてなされたもので
、噴霧の各段階を独立に制御することにより粒度分布の
バラツキの小さい所望の粒径なもつ粉末を効率よく得る
ことのできる金属粉末の製造方法を提供することを目的
とする。
、噴霧の各段階を独立に制御することにより粒度分布の
バラツキの小さい所望の粒径なもつ粉末を効率よく得る
ことのできる金属粉末の製造方法を提供することを目的
とする。
(課題を解決するための手段)
そのために、本発明による金属粉末の製造方法は、第1
の段階で金属溶融物の薄状流または細状流を形成し、次
の第2の段階でこの薄状流体または細状流体にガス、水
、油等の異種流体の噴流を衝突させることを特徴とする
。
の段階で金属溶融物の薄状流または細状流を形成し、次
の第2の段階でこの薄状流体または細状流体にガス、水
、油等の異種流体の噴流を衝突させることを特徴とする
。
前記製造方法において、第1段階における金属溶融物の
薄状流または細状流を形成する段階は、通常の流体噴霧
法、遠心噴霧法、機械的噴霧法等を用いることができる
が、勿論これらの方法に限られない。
薄状流または細状流を形成する段階は、通常の流体噴霧
法、遠心噴霧法、機械的噴霧法等を用いることができる
が、勿論これらの方法に限られない。
第2段階において薄状流体または細状流体に異種流体の
噴流を衝突させる手段は、溶融物の塊より厚さを制御し
た薄状流あるいは径を制御した細状流を形成し、これに
高圧の異種流体を衝突させて噴霧する。
噴流を衝突させる手段は、溶融物の塊より厚さを制御し
た薄状流あるいは径を制御した細状流を形成し、これに
高圧の異種流体を衝突させて噴霧する。
(作用)
本発明の金属粉末の製造方法によれば、第1の段階にお
ける金属溶融物の薄状流または細状流の厚さまたは径を
制御することで、第2段階あるいはその後の段階におい
て高圧噴流の衝突あるいは衝撃により得られる粉末の流
度分布を大幅に小さくすることが可能となり、噴霧粉末
の粒径制御が容易になる。
ける金属溶融物の薄状流または細状流の厚さまたは径を
制御することで、第2段階あるいはその後の段階におい
て高圧噴流の衝突あるいは衝撃により得られる粉末の流
度分布を大幅に小さくすることが可能となり、噴霧粉末
の粒径制御が容易になる。
(実施例)
以下、本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。
本発明を適用したガス噴霧装置のいくつかの実施例につ
いて説明し、それぞれのガス噴霧装置により得られたガ
ス噴霧粉末の粒度分布について測定したのでその結果に
ついても以下に示す。
いて説明し、それぞれのガス噴霧装置により得られたガ
ス噴霧粉末の粒度分布について測定したのでその結果に
ついても以下に示す。
夫胤別ユ
実施例1は、溶融金属の帯状流を形成し、この帯状流よ
り粉末を形成する方法である。
り粉末を形成する方法である。
噴霧装置は、第3図および第4図に示すように、溶解室
10内に溶融金属を蓄え、電熱ヒータ11により溶解室
10を加熱した状態に保持する。溶解室lOの室内にパ
イプ16からArガスを流入し、注湯ノズル12から溶
融金属の薄状流13を射出し、この薄状流13に高圧ノ
ズル14から例えばN2ガスを吹き付けて、噴霧粉末1
5を形成する。
10内に溶融金属を蓄え、電熱ヒータ11により溶解室
10を加熱した状態に保持する。溶解室lOの室内にパ
イプ16からArガスを流入し、注湯ノズル12から溶
融金属の薄状流13を射出し、この薄状流13に高圧ノ
ズル14から例えばN2ガスを吹き付けて、噴霧粉末1
5を形成する。
溶融金属としてPb−3n系共晶合金を用い、スーパー
ヒートを50℃とした。注湯ノズル12は、幅0.1m
m、長さ50mmの長大状の噴口であり、溶解室10内
をArガスで加圧した溶融金属を該注湯ノズル12から
射出し、薄状流13を形成した。一方、高圧ノズル14
は、幅0.3mm、長さ70mmの長大状のガス噴口1
4aをもち、このガス噴口14aから28気圧のN2ガ
スを薄状流13に吹き付けて噴霧粉末15を形成するも
のである。
ヒートを50℃とした。注湯ノズル12は、幅0.1m
m、長さ50mmの長大状の噴口であり、溶解室10内
をArガスで加圧した溶融金属を該注湯ノズル12から
射出し、薄状流13を形成した。一方、高圧ノズル14
は、幅0.3mm、長さ70mmの長大状のガス噴口1
4aをもち、このガス噴口14aから28気圧のN2ガ
スを薄状流13に吹き付けて噴霧粉末15を形成するも
のである。
得られた粉末の最大粒径、平均粒径、および平均粒径±
20%の範囲内の粒径をもつ噴霧粉末の歩留りを測定し
た。その結果は第1表に示すとおりである。
20%の範囲内の粒径をもつ噴霧粉末の歩留りを測定し
た。その結果は第1表に示すとおりである。
夾亀■遣
実施例2は溶融金属から円筒状薄流を形成し、この円筒
状薄流体から噴霧粉末を形成する方法である。
状薄流体から噴霧粉末を形成する方法である。
噴霧装置は第5図及び第6図(A)に示すように、筒状
のノズル本体20の下端に環状の注湯ノズル21が形成
され、その下方径内方向に高圧ノズル22が末拡がり方
向に開口され、高圧通路23からAr等の高圧ガスが矢
印下方向に供給され該高圧ノズル22から噴射される。
のノズル本体20の下端に環状の注湯ノズル21が形成
され、その下方径内方向に高圧ノズル22が末拡がり方
向に開口され、高圧通路23からAr等の高圧ガスが矢
印下方向に供給され該高圧ノズル22から噴射される。
高圧ノズルの角度は注湯ノズルの噴口角度に対しほぼ3
0°に傾斜している。注湯ノズル21は、幅0.1mm
。
0°に傾斜している。注湯ノズル21は、幅0.1mm
。
直径32mmであり、高圧ノズル22は、幅0゜3mm
、直径25mmの噴口である。この構成によると、注湯
ノズル21から下方に円筒状の薄流体が形成され、この
薄流体の径方向内側から高圧ノズルが傾斜角をもって噴
射されて噴霧粉末が得られる。
、直径25mmの噴口である。この構成によると、注湯
ノズル21から下方に円筒状の薄流体が形成され、この
薄流体の径方向内側から高圧ノズルが傾斜角をもって噴
射されて噴霧粉末が得られる。
得られる噴霧粉末の特性は第1表に示すとおりである。
実画l凱旦
実施例3は、実施例2と同様に溶融金属から円筒状薄流
を形成し、この円筒状薄流の薄流体からガス噴霧粉末を
形成する方法である。
を形成し、この円筒状薄流の薄流体からガス噴霧粉末を
形成する方法である。
噴霧装置は、基本的に第5図に示す実施例2に示す噴霧
装置とほぼ同様であり、注湯ノズルの形状が異なるもの
である。
装置とほぼ同様であり、注湯ノズルの形状が異なるもの
である。
実施例3の注湯ノズル31は、第6図(B)に示すよう
に、直径32mmの円周上に32個の直径0.2mmの
噴孔が等間隔で開口されるものである。実施例2と同様
の条件で噴霧して得られた粉末の特性の結果は第1表に
示す通りである。
に、直径32mmの円周上に32個の直径0.2mmの
噴孔が等間隔で開口されるものである。実施例2と同様
の条件で噴霧して得られた粉末の特性の結果は第1表に
示す通りである。
罠胤炎A
実施例4は、溶湯金属から遠心作用により遠心薄流を形
成し、この薄流体に高圧ガスを衝突させて噴霧粉末を形
成する方法である。
成し、この薄流体に高圧ガスを衝突させて噴霧粉末を形
成する方法である。
噴霧装置は、第7図および第8図に示すように、注湯パ
イプ40の注湯ノズル41の鉛直下方に軸43により回
転される回転円板44を設け、注湯ノズル41から噴出
された溶融金属を遠心力により回転円板44の頂面状で
放射状に分散し、分散して薄流化された薄流体の径方向
外側面上方位置の高圧ノズル42から噴射される高圧ガ
スにより薄流体を微粒化し、噴霧粉末を得るものである
。
イプ40の注湯ノズル41の鉛直下方に軸43により回
転される回転円板44を設け、注湯ノズル41から噴出
された溶融金属を遠心力により回転円板44の頂面状で
放射状に分散し、分散して薄流化された薄流体の径方向
外側面上方位置の高圧ノズル42から噴射される高圧ガ
スにより薄流体を微粒化し、噴霧粉末を得るものである
。
回転円板44は例えばステンレス鋼5US304で形成
され直径50mmのもので、その頂面にAt2203か
らなるコート層が形成されている。この回転円板44は
例えば1600rpmで回転させる。注湯ノズル42は
、同一円周上に32個設けられ、注湯ノズル42の口径
は3.2mmに設定されている。
され直径50mmのもので、その頂面にAt2203か
らなるコート層が形成されている。この回転円板44は
例えば1600rpmで回転させる。注湯ノズル42は
、同一円周上に32個設けられ、注湯ノズル42の口径
は3.2mmに設定されている。
注湯ノズル41から回転円板44上に供給された溶融金
属は遠心力で薄流化し、この薄流化した薄体が高圧ノズ
ル42からの高圧ガスにより噴霧化され噴霧粉末が得ら
れる。
属は遠心力で薄流化し、この薄流化した薄体が高圧ノズ
ル42からの高圧ガスにより噴霧化され噴霧粉末が得ら
れる。
得られた噴霧粉末の特性は第1表に示す通りである。
ル較■ユ
比較例1は、溶湯金属の薄流体を形成せずに、注湯ノズ
ルから噴射された比表面積の相対的に小さな溶湯に噴射
ノズルからの高圧ガスを噴霧する方法である。
ルから噴射された比表面積の相対的に小さな溶湯に噴射
ノズルからの高圧ガスを噴霧する方法である。
噴霧装置は、通常のガス噴霧装置であり、注湯ノズルの
口径は相対的に太きく3mm、噴射ノズルは環状に形成
されたもので、噴射ノズル径0゜3mmの複数のノズル
が直径25mmの円周上に設けられたもので、噴霧角度
は30’であり、噴射条件は実施例1と同様に設定した
。
口径は相対的に太きく3mm、噴射ノズルは環状に形成
されたもので、噴射ノズル径0゜3mmの複数のノズル
が直径25mmの円周上に設けられたもので、噴霧角度
は30’であり、噴射条件は実施例1と同様に設定した
。
得られた噴霧粉末の特性は第1表に示す通りである。
(以下、余白。)
第
■
表
第1表に示されるように、実施例1、実施例2および実
施例3は、比較例1と流体噴霧法を用いる点で共通する
が、得られる噴霧粉末の平均粒径のバラツキが比較例1
に比べ小さく、平均粒径の制御が精度よくコントロール
できることが解る。
施例3は、比較例1と流体噴霧法を用いる点で共通する
が、得られる噴霧粉末の平均粒径のバラツキが比較例1
に比べ小さく、平均粒径の制御が精度よくコントロール
できることが解る。
実施例4は、比較例2と遠心噴霧法を用いる点で共通す
るが、得られる噴霧粉末の平均粒径のバラツキが比較例
2に比べ小さく、噴霧粉末の粒径制御が相対的に精度よ
くなされることが解った。
るが、得られる噴霧粉末の平均粒径のバラツキが比較例
2に比べ小さく、噴霧粉末の粒径制御が相対的に精度よ
くなされることが解った。
なお、本発明の前述した実施例において薄流形成法はこ
れらに限られるものでな(、また溶融物質、噴震媒体に
ついても前述した物質あるいは媒体に限定されるもので
はない。
れらに限られるものでな(、また溶融物質、噴震媒体に
ついても前述した物質あるいは媒体に限定されるもので
はない。
(発明の効果)
以上説明したように、本発明の金属粉末の製造方法によ
れば、第1段階における金属溶融物の薄状流または細状
流の厚さまたは径を制御することで、第2段階以降で噴
震生成される金属粉末の粒径な相対的に精度よく制御す
ることができ、均質なバラツキの小さな噴霧粉末を歩留
まり良く量産することができるという効果がある。
れば、第1段階における金属溶融物の薄状流または細状
流の厚さまたは径を制御することで、第2段階以降で噴
震生成される金属粉末の粒径な相対的に精度よく制御す
ることができ、均質なバラツキの小さな噴霧粉末を歩留
まり良く量産することができるという効果がある。
第1図は、本発明による金属粉末が製造される工程を説
明するための模式図、第2図は本発明の実施例による金
属粉末の粒度分布を従来例のものと対比した特性図、第
3図は本発明の実施例の噴霧装置を示す概略構成図、第
4図はその噴霧部を表わす斜視図、第5図は本発明の実
施例の噴霧装置における注湯部および噴霧部を表わす拡
大断面図、第6図はその底面図を示すもので、、(A)
は環状の高圧ノズルを表わす図、(B)は円穴状の高圧
ノズルを表わす図、第7図は本発明の実施例による遠心
噴霧装置を表わす概略構成図、第8図はその底面図であ
る。 12 ・・・ 注湯ノズル、 13 ・・・ 薄状流、 14 ・・・ 高圧ノズル、 15 ・・・ 噴霧粉末。
明するための模式図、第2図は本発明の実施例による金
属粉末の粒度分布を従来例のものと対比した特性図、第
3図は本発明の実施例の噴霧装置を示す概略構成図、第
4図はその噴霧部を表わす斜視図、第5図は本発明の実
施例の噴霧装置における注湯部および噴霧部を表わす拡
大断面図、第6図はその底面図を示すもので、、(A)
は環状の高圧ノズルを表わす図、(B)は円穴状の高圧
ノズルを表わす図、第7図は本発明の実施例による遠心
噴霧装置を表わす概略構成図、第8図はその底面図であ
る。 12 ・・・ 注湯ノズル、 13 ・・・ 薄状流、 14 ・・・ 高圧ノズル、 15 ・・・ 噴霧粉末。
Claims (1)
- (1)金属溶融物の薄状流または細状流を形成した後、
この薄状流体または細状流体にガス、水、油等の異種流
体の噴流を衝突させることを特徴とする金属粉末の製造
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2029324A JP2993029B2 (ja) | 1990-02-08 | 1990-02-08 | 金属粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2029324A JP2993029B2 (ja) | 1990-02-08 | 1990-02-08 | 金属粉末の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03232909A true JPH03232909A (ja) | 1991-10-16 |
JP2993029B2 JP2993029B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=12273051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2029324A Expired - Fee Related JP2993029B2 (ja) | 1990-02-08 | 1990-02-08 | 金属粉末の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2993029B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001026793A1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-04-19 | Avestapolarit Aktiebolag (Publ.) | Method for separation of a molten mixture |
WO2001026794A1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-04-19 | Avestapolarit Aktiebolag (Publ) | Method relating to granulation and apparatus therefor |
WO2009072183A1 (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-11 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | 鉛電池 |
CN111432963A (zh) * | 2017-12-07 | 2020-07-17 | 三菱日立电力***株式会社 | 金属粉末制造装置及其气体喷射器以及罐器 |
CN114734043A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-07-12 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种片状金属粉体的制备方法 |
-
1990
- 1990-02-08 JP JP2029324A patent/JP2993029B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001026793A1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-04-19 | Avestapolarit Aktiebolag (Publ.) | Method for separation of a molten mixture |
WO2001026794A1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-04-19 | Avestapolarit Aktiebolag (Publ) | Method relating to granulation and apparatus therefor |
WO2009072183A1 (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-11 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | 鉛電池 |
JP5600940B2 (ja) * | 2007-12-04 | 2014-10-08 | 新神戸電機株式会社 | 鉛電池 |
CN111432963A (zh) * | 2017-12-07 | 2020-07-17 | 三菱日立电力***株式会社 | 金属粉末制造装置及其气体喷射器以及罐器 |
CN114734043A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-07-12 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种片状金属粉体的制备方法 |
CN114734043B (zh) * | 2022-03-02 | 2023-10-13 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种片状金属粉体的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2993029B2 (ja) | 1999-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Liu et al. | Science and engineering of droplets: fundamentals and applications | |
US7118052B2 (en) | Method and apparatus for atomising liquid media | |
JPH0332735A (ja) | 気体噴霧化により粉末を製造する方法 | |
JPS6161660A (ja) | 粘性液体を霧化しスプレイ乾燥する装置および方法 | |
JPS61259784A (ja) | 超音波噴射用振動子 | |
JPS61259781A (ja) | 曲面多段エツジ部を有する超音波霧化用振動子 | |
JPS62227437A (ja) | 粒状物のペレツト化又はそれに類似した処理をする装置及び前記処理を実施する方法 | |
JP2000212608A (ja) | 金属粉末を製造する方法及び装置 | |
US3583635A (en) | Spraying systems | |
Goudar et al. | Effect of atomization parameters on size and morphology of Al-17Si alloy powder produced by free fall atomizer | |
RU2150336C1 (ru) | Мелкодисперсный распылитель жидкости | |
JPH03232909A (ja) | 金属粉末の製造方法 | |
JPH04219161A (ja) | 液体を霧化する装置と方法 | |
JP2703818B2 (ja) | 溶融体を噴霧する方法及び該方法を使用する装置 | |
TWI723596B (zh) | 霧化噴嘴、霧化裝置、金屬粉末的製造方法以及金屬粉末 | |
JPS6141707A (ja) | 粉末金属製造装置 | |
JP3655005B2 (ja) | スプレーガンおよびこれを用いた造粒コーティング方法 | |
DE102004001346A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Zerstäubung von Fluiden, insbesondere metallischen und keramischen Schmelzen | |
JP4014239B2 (ja) | 微粉体の作製法 | |
JP2004305994A (ja) | 粉粒体処理装置 | |
JPS63137108A (ja) | 金属粉末の製造方法 | |
US20230010470A1 (en) | Apparatus for manufacturing metal powder | |
SU378299A1 (ru) | Союзная | |
JPS62114681A (ja) | 超音波霧化装置 | |
JPH0463154A (ja) | 圧力噴霧ノズルおよび噴霧方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |