JPH03225242A - 圧力検出装置 - Google Patents
圧力検出装置Info
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- JPH03225242A JPH03225242A JP2172290A JP2172290A JPH03225242A JP H03225242 A JPH03225242 A JP H03225242A JP 2172290 A JP2172290 A JP 2172290A JP 2172290 A JP2172290 A JP 2172290A JP H03225242 A JPH03225242 A JP H03225242A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 101100328887 Caenorhabditis elegans col-34 gene Proteins 0.000 description 1
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ダイヤフラムでもって被圧力検出流体の圧力
変動を連続的(アナログ的)に検出する圧力検出装置に
関するものである。
変動を連続的(アナログ的)に検出する圧力検出装置に
関するものである。
〔従来の技術及びそのLIP!I)
この種の圧力検出装置は、第1図、第2図を参照して説
明すると、ケーシング1内に、ダイヤフラムDで区画さ
れた圧力検出室3を形成し、この圧力検出室3の一方3
aに被圧力検出流体aを導入するとともに、他方3bに
前記ダイヤフラムDの撓みを連続的に検出するセンサー
4を設けたものが一般的である。
明すると、ケーシング1内に、ダイヤフラムDで区画さ
れた圧力検出室3を形成し、この圧力検出室3の一方3
aに被圧力検出流体aを導入するとともに、他方3bに
前記ダイヤフラムDの撓みを連続的に検出するセンサー
4を設けたものが一般的である。
この圧力検出装置において、検出精度を高めるためには
、ダイヤフラムDの撓み特性が圧力変化に対して比例的
であることが重要な要素である。
、ダイヤフラムDの撓み特性が圧力変化に対して比例的
であることが重要な要素である。
ところで、本発明者等は、実願平1−18718号、実
願乎118719号において、第7図、第8図に示すよ
うに、素材板中心円形10の周りに、その周方向均等分
位の少なくとも2点からスタートした渦巻き波紋Pを呈
する波形断面のダイヤフラムDを備えた圧力検出器を提
案した。この1!!案のダイヤフラムDは、波紋Pが渦
巻き状であることから、周囲の剛性が均一化され、撓み
作用時、応力の片寄りがなく周方向に均等に撓む、すな
わち、上記撓み特性においである程度満足いけるもので
あった。
願乎118719号において、第7図、第8図に示すよ
うに、素材板中心円形10の周りに、その周方向均等分
位の少なくとも2点からスタートした渦巻き波紋Pを呈
する波形断面のダイヤフラムDを備えた圧力検出器を提
案した。この1!!案のダイヤフラムDは、波紋Pが渦
巻き状であることから、周囲の剛性が均一化され、撓み
作用時、応力の片寄りがなく周方向に均等に撓む、すな
わち、上記撓み特性においである程度満足いけるもので
あった。
しかしながら、第5図に示すように、その圧力−変位曲
線(○:加圧時、・:減圧時、比較例(破線)参照)は
、直線性に欠け、とくに加圧開始時がなめらかでない、
この種の圧力検出器においては、加圧開始時の直線性を
要求されるものがある。
線(○:加圧時、・:減圧時、比較例(破線)参照)は
、直線性に欠け、とくに加圧開始時がなめらかでない、
この種の圧力検出器においては、加圧開始時の直線性を
要求されるものがある。
そこで、本発明は、加圧開始時の圧力−変位曲線が直線
状となる圧力検出器を提供することを課題とする。
状となる圧力検出器を提供することを課題とする。
上記課題を解決するため、本発明にあっては、前述の渦
巻き波紋を有し、その波紋が中心円形に向って傾斜して
なるダイヤフラムを有する圧力検出器において、そのダ
イヤフラムの渦巻き波紋の半径方向の傾きを外側凹状と
したのである。
巻き波紋を有し、その波紋が中心円形に向って傾斜して
なるダイヤフラムを有する圧力検出器において、そのダ
イヤフラムの渦巻き波紋の半径方向の傾きを外側凹状と
したのである。
上記渦巻き波紋の傾斜度、すなわち、第4図における傾
斜高さhと径方向の長さlの比(h/7りは115以下
とするとよい、好ましくは1/6以下とする。115以
上となると、プレス成形の際、現在の技術では、その成
形圧が外向きの斜面と内向斜面とで大きく異なって製造
が不可能となるからである。
斜高さhと径方向の長さlの比(h/7りは115以下
とするとよい、好ましくは1/6以下とする。115以
上となると、プレス成形の際、現在の技術では、その成
形圧が外向きの斜面と内向斜面とで大きく異なって製造
が不可能となるからである。
上記素材板中心円形の周りに隣接して同心円形波紋を形
成すると共に、この同心円形波紋と同心でかつ所定間隔
をあけて外側円形波紋を形成し、この両用形波紋間に上
記渦巻き波紋を形成したものとすることもできる。
成すると共に、この同心円形波紋と同心でかつ所定間隔
をあけて外側円形波紋を形成し、この両用形波紋間に上
記渦巻き波紋を形成したものとすることもできる。
このように構成される圧力検出装置は、そのダイヤフラ
ム表面に押圧力、例えば圧縮空気圧等が加わると、その
押゛圧力による撓みが渦巻き波紋を介して全域に伝達さ
れ、発生する応力に片寄りがなく、中心軸が傾くことな
く周方向に均等に撓む。
ム表面に押圧力、例えば圧縮空気圧等が加わると、その
押゛圧力による撓みが渦巻き波紋を介して全域に伝達さ
れ、発生する応力に片寄りがなく、中心軸が傾くことな
く周方向に均等に撓む。
また、同心円形波紋及び外側円形波紋を設ければ、波紋
のプレス成形時、中心部に生じる盛り上り状の歪は同心
円形波紋に吸収分散され、外周囲に生じる融状の歪は外
側円形波紋に吸収分散される。この吸収分散は、渦巻き
波紋の始終端を両用形波紋に合流させれば、より効果が
増す。
のプレス成形時、中心部に生じる盛り上り状の歪は同心
円形波紋に吸収分散され、外周囲に生じる融状の歪は外
側円形波紋に吸収分散される。この吸収分散は、渦巻き
波紋の始終端を両用形波紋に合流させれば、より効果が
増す。
第1図、第2図に示すように、ケーシング1は、3部材
1a、1b、1cとから成り、部材1a、1b間に圧力
検出室3が形成されている0両部材la、lb間にはダ
イヤフラムDがバッキング2を介して介設されており、
このダイヤフラムDにより圧力検出室3が2室3a、3
bに区画されている。一方の検出室3aには、圧力導入
口5から被圧力検出流体aが導びかれ、この圧力変化に
基づきダイヤフラムDが撓む0両部材1a、1bの接合
面全周は、シーリング6により密封化されている。
1a、1b、1cとから成り、部材1a、1b間に圧力
検出室3が形成されている0両部材la、lb間にはダ
イヤフラムDがバッキング2を介して介設されており、
このダイヤフラムDにより圧力検出室3が2室3a、3
bに区画されている。一方の検出室3aには、圧力導入
口5から被圧力検出流体aが導びかれ、この圧力変化に
基づきダイヤフラムDが撓む0両部材1a、1bの接合
面全周は、シーリング6により密封化されている。
ケーシング1のもう1つの部材1Cは、ビス7により部
材1bに固着され、この部材1C内にセンサー4が構成
されている。センサー4は、差動トランス4a、その鉄
心移動用レバー4b、作動ラム4C等から成る0作動ラ
ム4Cは部材1bを貫通して、その上端がダイヤフラム
Dに接離可能となっており、下端がレバー4bに当接し
ている。
材1bに固着され、この部材1C内にセンサー4が構成
されている。センサー4は、差動トランス4a、その鉄
心移動用レバー4b、作動ラム4C等から成る0作動ラ
ム4Cは部材1bを貫通して、その上端がダイヤフラム
Dに接離可能となっており、下端がレバー4bに当接し
ている。
レバー4bは、支杆4dにより揺動自在に支持されてお
り、その下面に部材1Cをねじ通した作動圧力調整子8
がばね9を介して当接している。この調整子8のねじ込
み量を調整することにより、レバー4b及び作動ラム4
Cの位置が決定され、この調整によって、後述のダイヤ
フラムDの撓み時、その撓み状態が直鎖状となった状態
で、ダイヤフラムDが作動ラム4Cを押して差動トラン
ス4aの鉄心を動かすようにする。このとき、績出値に
ばばね9の弾性力を考慮して補償する。
り、その下面に部材1Cをねじ通した作動圧力調整子8
がばね9を介して当接している。この調整子8のねじ込
み量を調整することにより、レバー4b及び作動ラム4
Cの位置が決定され、この調整によって、後述のダイヤ
フラムDの撓み時、その撓み状態が直鎖状となった状態
で、ダイヤフラムDが作動ラム4Cを押して差動トラン
ス4aの鉄心を動かすようにする。このとき、績出値に
ばばね9の弾性力を考慮して補償する。
つぎに、ダイヤフラムDについて説明する。
このダイヤフラムDは、渦巻き波紋Pを中心円形10の
周囲の一点から渦巻き波紋Pを12周廻余り形成したも
のであり、厚さ: 0.015mmのステンレス笛、
341IIφのフープを、プレス加工して仕上がり外径
で25.4mmφであった。
周囲の一点から渦巻き波紋Pを12周廻余り形成したも
のであり、厚さ: 0.015mmのステンレス笛、
341IIφのフープを、プレス加工して仕上がり外径
で25.4mmφであった。
このものを第3図、第4図に示し、同図において、渦巻
き波紋Pのピッチd = 0.598龍、中心円形10
の径S=S、O龍、波紋Pの最外径=20.21、谷部
及び山部の曲率r = Q、3ms、波紋Pの高さ【=
0.08龍、外周と中心との高低差T=1.2■−1波
紋P部分の曲率R=100m、その曲率Rの中心を外側
(波紋Pの傾きを外側凹状)とした(なお、第3図、第
4図は波が省略しである)。
き波紋Pのピッチd = 0.598龍、中心円形10
の径S=S、O龍、波紋Pの最外径=20.21、谷部
及び山部の曲率r = Q、3ms、波紋Pの高さ【=
0.08龍、外周と中心との高低差T=1.2■−1波
紋P部分の曲率R=100m、その曲率Rの中心を外側
(波紋Pの傾きを外側凹状)とした(なお、第3図、第
4図は波が省略しである)。
一方、比較例として、第7図、第8図に示した渦巻き波
紋Pを中心円形1003等分位から形成し、その周廻数
を1回余りとし、かつ、曲率Rの中心を内側(波紋Pの
傾きを外側凸状)としたものも製作した。このとき、d
、S、r、t、T、R等は全て同じとした。
紋Pを中心円形1003等分位から形成し、その周廻数
を1回余りとし、かつ、曲率Rの中心を内側(波紋Pの
傾きを外側凸状)としたものも製作した。このとき、d
、S、r、t、T、R等は全て同じとした。
このようにして製作した実施例および比較例のダイヤフ
ラムDを第1図及び第2図のごとくケーシング1にセッ
トし、検出室3aに被圧力検出流体aを導びいた際の圧
力−変位結果を第5図に示す0図中、実線が実施例、破
線が比較例を示す。
ラムDを第1図及び第2図のごとくケーシング1にセッ
トし、検出室3aに被圧力検出流体aを導びいた際の圧
力−変位結果を第5図に示す0図中、実線が実施例、破
線が比較例を示す。
この結果から、実施例は、加圧開始時(0〜700sn
Ag)、はぼ直線状の圧力−変位を示すことがわかる。
Ag)、はぼ直線状の圧力−変位を示すことがわかる。
上記実施例において、第6図に示すように、中心円形1
0の周りに隣接して同心円形波紋P、を形成するととも
に、この同心円形波紋P1と同心でかつ所定間隔をあけ
て外側円形波紋P2を形成し、両日形波紋P+、Pg間
に渦巻き波紋P、を前記実施例と同−周廻り形成したも
のを製作したところ、同様な効果を得た。このものの場
合、内側の円形波紋P、を省略することもできる。
0の周りに隣接して同心円形波紋P、を形成するととも
に、この同心円形波紋P1と同心でかつ所定間隔をあけ
て外側円形波紋P2を形成し、両日形波紋P+、Pg間
に渦巻き波紋P、を前記実施例と同−周廻り形成したも
のを製作したところ、同様な効果を得た。このものの場
合、内側の円形波紋P、を省略することもできる。
また、第7図のものにおいて、各渦巻き波紋Pの半径方
向の傾きを外側凹状としたものも同様な効果を得た。こ
のものにおいて、前記外側円形波紋P2を形成し、その
波紋P、に各渦巻き波紋Pを合流した構成とすることも
できる。
向の傾きを外側凹状としたものも同様な効果を得た。こ
のものにおいて、前記外側円形波紋P2を形成し、その
波紋P、に各渦巻き波紋Pを合流した構成とすることも
できる。
本発明は、以上のように構成したので、加圧開始時にお
ける圧力−変位曲線を直線状とすることができる。
ける圧力−変位曲線を直線状とすることができる。
第1回、第2図は、本発明に係る圧力検出装置の一実施
例の切断正面図、切断側面図、第3図は第1図のダイヤ
フラムの一例の概略正面図、第4図は第3図の概略断面
図、第5図は圧力−変位測定図、第6図はダイヤフラム
Dの他側の概略正面図、第7図はダイヤフラムDの従来
例の概略正面図、第8図は第7図の概略断面図である。 D・・・・・・ダイヤフラム、 P、P+、Pg、Ps・・・・・・波紋、R・・・・・
・ダイヤフラム曲率5 、r・・・・・・谷部及び山部曲率、 1・・・・・・ケーシング、 3. 3a、 3b・・・・・・圧力検出室、 4・・・・・・センサー 10・・・・・・中心円形。
例の切断正面図、切断側面図、第3図は第1図のダイヤ
フラムの一例の概略正面図、第4図は第3図の概略断面
図、第5図は圧力−変位測定図、第6図はダイヤフラム
Dの他側の概略正面図、第7図はダイヤフラムDの従来
例の概略正面図、第8図は第7図の概略断面図である。 D・・・・・・ダイヤフラム、 P、P+、Pg、Ps・・・・・・波紋、R・・・・・
・ダイヤフラム曲率5 、r・・・・・・谷部及び山部曲率、 1・・・・・・ケーシング、 3. 3a、 3b・・・・・・圧力検出室、 4・・・・・・センサー 10・・・・・・中心円形。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)ケーシング1内に、ダイヤフラムDで区画された
圧力検出室3を形成し、この圧力検出室3の一方3aに
被圧力検出流体aを導入するとともに、他方3bに前記
ダイヤフラムDの撓みを連続的に検出するセンサー4を
設けた圧力検出装置において、前記ダイヤフラムDを、
素材板中心円形10の周りに、その周り任意の点から、
渦巻き波紋Pを呈する波形断面とし、その渦巻き波紋P
は前記円形10に向かって傾斜してなる皿ばねにおいて
、前記渦巻き波紋Pの半径方向の傾きを外側凹状とした
ことを特徴とする圧力検出装置。(2)上記渦巻き波紋
Pの傾斜高さhと径方向の長さ、の比h/lを1/5以
下としたことを特徴とする請求項(1)記載の圧力検出
装置。 (3)上記素材板中心円形10の周りに隣接して同心円
形波紋P_1を形成すると共に、この同心円形波紋P_
1と同心でかつ所定間隔をあけて外側円形波紋P_2を
形成し、両円形波紋P_1、P_2間に、上記渦巻き波
紋P_3を形成したことを特徴とする請求項(1)又は
(2)に記載の圧力検出装置。 (4)上記渦巻き波紋の始終端を、上記中心円形波紋P
_1又は外側円形波紋P_2に合流させたことを特徴と
する請求項(3)記載の圧力検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021722A JP2524237B2 (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 圧力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021722A JP2524237B2 (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 圧力検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03225242A true JPH03225242A (ja) | 1991-10-04 |
JP2524237B2 JP2524237B2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=12062974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021722A Expired - Lifetime JP2524237B2 (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 圧力検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2524237B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60227141A (ja) * | 1984-01-06 | 1985-11-12 | シュランベルジュ、インダストリーズ、ソシエテ、アノニム | 圧力センサ用波形膜 |
-
1990
- 1990-01-30 JP JP2021722A patent/JP2524237B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60227141A (ja) * | 1984-01-06 | 1985-11-12 | シュランベルジュ、インダストリーズ、ソシエテ、アノニム | 圧力センサ用波形膜 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2524237B2 (ja) | 1996-08-14 |
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