JPH03223418A - 真空脱脂，脱ガス炉における炉内真空度測定方法 - Google Patents
真空脱脂，脱ガス炉における炉内真空度測定方法Info
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- JPH03223418A JPH03223418A JP1538090A JP1538090A JPH03223418A JP H03223418 A JPH03223418 A JP H03223418A JP 1538090 A JP1538090 A JP 1538090A JP 1538090 A JP1538090 A JP 1538090A JP H03223418 A JPH03223418 A JP H03223418A
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- Japan
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- furnace body
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- Pending
Links
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- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Control Of Heat Treatment Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、真空中で加熱することによって処理品から油
、ガス等が多量に放出され炉体内を汚染させ易い真空脱
脂、脱ガス炉において、炉体内の真空度を正確に測定す
る方法に関するものである。
、ガス等が多量に放出され炉体内を汚染させ易い真空脱
脂、脱ガス炉において、炉体内の真空度を正確に測定す
る方法に関するものである。
［従来の技術とその問題点コ
第２図に真空脱脂、脱ガス炉の配管系を示す。
図中１は処理品（図示せず）が装入される炉体、２は該
炉体１内の空気を外に排出するために開閉バルブ３を介
して炉体１に連結された真空ポンプである。また、４は
炉体１に配管５をもって連結されたビラニー真空計セン
サーで、該真空計センサー４による炉体１内の真空度の
測定値は電気信号として計器６に表示される。この真空
脱脂、脱ガス炉では、加熱に伴ない処理品から蒸発した
油分或いはガスが配管５を通って真空計センサー４に流
通するので、該真空計センサー４の検知部分が汚染され
、測定値が不正確になるという問題があり、その測定値
をそのまま信用して操業を続けると製品の品質に悪影響
を与えることがあった。
炉体１内の空気を外に排出するために開閉バルブ３を介
して炉体１に連結された真空ポンプである。また、４は
炉体１に配管５をもって連結されたビラニー真空計セン
サーで、該真空計センサー４による炉体１内の真空度の
測定値は電気信号として計器６に表示される。この真空
脱脂、脱ガス炉では、加熱に伴ない処理品から蒸発した
油分或いはガスが配管５を通って真空計センサー４に流
通するので、該真空計センサー４の検知部分が汚染され
、測定値が不正確になるという問題があり、その測定値
をそのまま信用して操業を続けると製品の品質に悪影響
を与えることがあった。
そこで従来では操業開始時の度に真空計センサー４を新
品に交換するようなことも行っていたが、手数とコスト
が掛る問題があった。
品に交換するようなことも行っていたが、手数とコスト
が掛る問題があった。
［問題点を解決するための手段］
本発明は上記問題点を解決しようとするもので、炉体に
切換バルブを介して複数の真空計センサーを取付け、該
真空計センサーのうちの１つを該切換バルブの操作によ
り炉体内と連通させると共に、その連通させた真空計セ
ンサーの測定値により炉体内の真空度を測定するように
したことを特徴とする真空脱脂、脱ガス炉における炉内
真空度測定方法である。
切換バルブを介して複数の真空計センサーを取付け、該
真空計センサーのうちの１つを該切換バルブの操作によ
り炉体内と連通させると共に、その連通させた真空計セ
ンサーの測定値により炉体内の真空度を測定するように
したことを特徴とする真空脱脂、脱ガス炉における炉内
真空度測定方法である。
［作用］
切換バルブを操作し炉体内と連通させる真空計センサー
を複数の真空計センサーから選択することによって誤差
のない測定ができる。
を複数の真空計センサーから選択することによって誤差
のない測定ができる。
［実施例］
第１図に本発明に係る真空脱脂、脱ガス炉の配管および
制御系統図を示す。図中、１は炉体、２は真空ポンプ、
３は開閉バルブである。炉体１内と連通ずる配管５には
電磁作動式の切換バルブ７が設けられ、該切換バルブ７
にはピラニー真空計センサー８Ａおよびビラニー真空計
センサー８Ｂが連結されている。９はコントロール装置
である。
制御系統図を示す。図中、１は炉体、２は真空ポンプ、
３は開閉バルブである。炉体１内と連通ずる配管５には
電磁作動式の切換バルブ７が設けられ、該切換バルブ７
にはピラニー真空計センサー８Ａおよびビラニー真空計
センサー８Ｂが連結されている。９はコントロール装置
である。
コントロール装置９は切換バルブ７を定期的に切換操作
し真空計センサー８Ａまたは真空計センサー８Ｂから炉
体１内の真空度を測定できるようにしている。そして一
方の真空計センサー８Ｂを較正用として使用し両真空計
センサー８．Ａ、８Ｂの測定値を比較してその差が予め
決められた所定値（例えば１０％）を超した場合にラン
プ１０に警報を出し真空計センサー８Ａの測定値に異常
があることを報知するようになっている。
し真空計センサー８Ａまたは真空計センサー８Ｂから炉
体１内の真空度を測定できるようにしている。そして一
方の真空計センサー８Ｂを較正用として使用し両真空計
センサー８．Ａ、８Ｂの測定値を比較してその差が予め
決められた所定値（例えば１０％）を超した場合にラン
プ１０に警報を出し真空計センサー８Ａの測定値に異常
があることを報知するようになっている。
また、切換バルブ７が真空計センサー８Ａに切換えられ
ているとき真空ポンプ２を運転して炉体１内の空気を外
部に排出させるに従い該真空計センサー８Ａによる炉体
１内の測定値は概ねその真空ポンプ２の運転時間に比例
してその真空度が高くなり、定時間後には一定の真空度
が達成されるが、この真空度の測定値と真空ポンプ２の
運転時間との比が該コントロール装置９により検知され
、その比が異常である場合にランプ１ｏに警報を出し真
空計センサー８Ａによる測定値が異常であることを報知
する。
ているとき真空ポンプ２を運転して炉体１内の空気を外
部に排出させるに従い該真空計センサー８Ａによる炉体
１内の測定値は概ねその真空ポンプ２の運転時間に比例
してその真空度が高くなり、定時間後には一定の真空度
が達成されるが、この真空度の測定値と真空ポンプ２の
運転時間との比が該コントロール装置９により検知され
、その比が異常である場合にランプ１ｏに警報を出し真
空計センサー８Ａによる測定値が異常であることを報知
する。
Ｃ発明の効果コ
このように本発明によれば、複数の真空計センサーを切
換え使用することにより炉体内の真空度をより正確に測
定することができる。そして複数の真空計センサーによ
る測定値の差異、または、真空ポンプの運転時間とその
達成真空度との関連により、その真空計センサーの測定
値の異常を検知し警報を出すようにしたことにより、誤
った測定値により熱処理が進行するのを防ぎ製品の品質
を保つことができる有益な効果がある。
換え使用することにより炉体内の真空度をより正確に測
定することができる。そして複数の真空計センサーによ
る測定値の差異、または、真空ポンプの運転時間とその
達成真空度との関連により、その真空計センサーの測定
値の異常を検知し警報を出すようにしたことにより、誤
った測定値により熱処理が進行するのを防ぎ製品の品質
を保つことができる有益な効果がある。
第１図は本発明に係る真空脱脂、脱ガス炉の配管、制御
系統図、第２図は従来の真空脱脂、脱ガス炉の配管系統
図である。 １・・炉体、２・・・真空ポンプ、７・・・切換バルブ
、８Ａ、８Ｂ ・真空計センサー、９・・・コントロー
ル装置。
系統図、第２図は従来の真空脱脂、脱ガス炉の配管系統
図である。 １・・炉体、２・・・真空ポンプ、７・・・切換バルブ
、８Ａ、８Ｂ ・真空計センサー、９・・・コントロー
ル装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、炉体に切換バルブを介して複数の真空計センサーを
取付け、該真空計センサーのうちの１つを該切換バルブ
の操作により炉体内と連通させると共に、その連通させ
た真空計センサーの測定値により炉体内の真空度を測定
するようにしたことを特徴とする真空脱脂、脱ガス炉に
おける炉内真空度測定方法。 ２、切換バルブを定期的に操作して各真空計センサーの
測定値を比較し、その差が所定値を超した場合に警報を
出すようにしたことを特徴とする請求項１に記載の真空
脱脂、脱ガス炉における炉内真空度測定方法。 ３、真空計センサーにより測定される炉体内の真空度の
測定値と、該炉体から空気を排出する真空ポンプの運転
時間との比を検知して真空計センサーの異常を警報する
ようにしたことを特徴とする真空脱脂、脱ガス炉におけ
る炉内真空度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1538090A JPH03223418A (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | 真空脱脂，脱ガス炉における炉内真空度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1538090A JPH03223418A (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | 真空脱脂，脱ガス炉における炉内真空度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03223418A true JPH03223418A (ja) | 1991-10-02 |
Family
ID=11887157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1538090A Pending JPH03223418A (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | 真空脱脂，脱ガス炉における炉内真空度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03223418A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002035590A1 (fr) * | 2000-10-27 | 2002-05-02 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement thermique |
| CN106959189A (zh) * | 2017-04-27 | 2017-07-18 | 沈阳飞机工业（集团）有限公司 | 一种真空计在线校准装置及使用方法 |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP1538090A patent/JPH03223418A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002035590A1 (fr) * | 2000-10-27 | 2002-05-02 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement thermique |
| CN106959189A (zh) * | 2017-04-27 | 2017-07-18 | 沈阳飞机工业（集团）有限公司 | 一种真空计在线校准装置及使用方法 |
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