JPH03216511A - 光電式オートコリメータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野１ 本発明は光電式オートコリメータに関するものである。

［従来の技術］ 従来のこの種の装置は２軸光電式オートコリメータ（特
開昭６’２−１５７５０８号公報）の如くの構造であっ
た。その構成を第５図（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に基づいて説
明する．第５図（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）において光源１、コ
ンデンサレンズ２よりなる照明系はターゲット坂１３に
形成された互いにＬ字状に直交するターゲソ｝１３ａ、
１３ｂを照明する。このターゲット１３ａ、１３ｂを透
過した光はハーフプリズム４で反射され、コリメータレ
ンズ５によって平行光束となり、外部ミラー６に向う。

外部ミラー６で反射された平行光束は再びコリメータレ
ンズ５に入射して収束光となり、ハーフプリズム４を透
過した後、光電変換素子１４上にターゲット１３ａ，１
３ｂの像１３ａ１３ｂ゜を結像する。光電変換素子１４
はターゲット像１３ａ’、１３ｂ”に対して各々４５度
で交叉するように配置されている．この像の結像位置は
、外部ミラー６の傾きに従って結像面上を移動する。ま
た、その移動量Ａはコリメータレンズ５の焦点距離をｒ
、外部ミラー６の｛頃き角をθとしたとき、Δ−２ｆθ
の関係が成り立つ。

いま外部ミラー６に水平面内での角変位すなわちヨーイ
ング量θＨを与えたときを考える第５図（Ｃ）において
点線１３ａ　　，１３ｂ’　は外部ミラー６にヨーイン
グ量θＨを与える前のターゲット像、実線１３ａ　　，
１３ｂ’はヨーイング量θ■］を与えた後のターゲット
像であり、各々の像の移動量はΔ−２ｆθＨである。

ここでビノチング検出用のターゲット像１３ａ”　と１
３ａ”に注目すると、ターゲット像は移動しているにも
拘らず光電変換素子Ｉ４の受光位置は変わらない。これ
に対してヨーイング検出用ターゲット像１３ｂ゜と１３
ｂ”によって光電変換素子１４の受光位置が変化する。

これとは逆に外部ミラーに垂直面内での角変位すなわち
ピ，チング量θ■を与えた場合にはピッチング検出用タ
ーゲット像による光電変換素子ｌ４の受光位置は変化し
、ヨーイング検出用ターゲット像による光電変換素子１
４の受光位置は変化しない。従って光電変換素子１４の
出力信号から各々独立にヨーイング量θＨ　、ビンチン
グ置θＶの情報が得られる。

なお説明はヨーイングとピ，チングの角変位に関して個
別に行ったが、ヨーイング量θＨビンチング量θ■を同
時に変化させてももちろん差支えない。光電変換素子１
４の出力信号は公知の技術による演算回路３２により処
理され、表示器４２にはヨーイング量θＨ，ピソチング
量θ■が表示される。

［発明が解決しようとする課題］ 上記の従来技術においてはピノチングとヨーイングを分
離するのに、Ｌ字形のターゲット１３ａ１１３ｂと光電
変換素子１４を１個使用していた。

このため比較的簡素な構成で２軸光電式オートコリメー
タが実現できる反面、１個のセンサでピノチング、ヨー
イングの２現象を検出するために、測定範囲が視野の１
／２以下に制限されるという問題があった。また、オー
トコリメータにおいては、−ｆｌｕにコリメータレンズ
５と外部ミラー６との距離いわゆるワーキングディスタ
ンスが長くなるにつれて、視野の外部より廃した光ほど
コリメークレンズ５に戻り難くなるという現象が知られ
ているが、従来のＬ字形ターゲット方弐ではタ−ゲット
１３ａ，１３ｂが視野中心より離れた位置に配置されて
いるため、大きなワーキングディスタンスを得難いとい
う問題があった． 本発明は上記の問題を改善すべく為されたものであり、
測定範囲が広くなおかつワーキングディスタンスの大き
な光電式オートコリメータを提供することを第１の目的
とする。

また、さらに上記の第１の目的に加えて光電式オートコ
リメータの測定能力範囲を拡張し、従来の光電式オート
コリメータでは不可能であった同軸上、あるいは直交２
軸上の２箇所の相対的な角度変化を同時にリアルタイム
で測定することのできる光学ユニットを有する光電式オ
ートコリメータを提供することを第２の目的とする．〔
課題を解決する為の手段〕 上記目的のために本発明では コリメータレンズと、該コリメータレンズの背後に設置
された第１光路分岐手段と、該第１光路分岐手段により
分岐された一方の光路上であって、前記コリメータレン
ズの光束焦点位置に配置されたターゲットと、前記第１
光路分岐手段により分岐された他方の光路上であって、
前記コリメータレンズの後側焦点位置に配置された前記
ターゲットの像位置検出用光電変換装置とを有し、前記
光電変換装置の出力による前記ターゲット像の位置から
前記コリメータレンズ前方の反射部材の傾きを検出する
光電式オートコリメータにおいて、前記ターゲットをＸ
方向とＹ方向とのターゲットからなる十字状ターゲット
とし、 前記光電変換装置を、 前記第１光路分岐手段の他方の光路上に配置した第２光
路分岐手段と、該第２光路分岐手段により分岐された一
方の光路上に配設した第１光電変換素子と、前記Ｘ方向
のターゲットのみを前記第１光電変換素子上に結像する
第１トーリックレンズと、前記第２光路分岐手段により
分岐された他方の光路上に配設した第２光電変換素子と
、前記Ｙ方向のターゲットのみを前記第２光電変換素子
上に結像する第２トーリックレンズとにより構成し、前
記反射部材の傾きを前記Ｘ方向、Ｙ方向にて検出するこ
とを第１の諜ツ解決の手段とするものであり、更に第２
の課題解決のために、前記ターゲットからの光は少なく
とも２つの波長を含み、 前記コリメータレンズの前方に波長分離により２つの光
路に分岐する第３光路分岐手段を設けると共に、前記波
長分離により分岐された２つの光路上にそれぞれ配置さ
れた反射部材による反射光を、前記第３光路分岐手段に
入射させて合成した後、前記コリメータレンズに入射さ
せる合成光学部材とを設け、 前記光電変換装置はさらに、前記第１光路分岐手段と前
記第２光路分岐手段との間に設けられた波長分離により
２つの光路に分岐する第４光路分岐手段と、前記第４光
路分岐手段で分岐された光路のうち前記第２光路分岐手
段の配置されていない方の光路に配置した第５光路分岐
手段と、該第５光路分岐手段により分岐された一方の光
路上に配設した第３光電変換素子と、前記Ｘ方向のター
ゲットのみを前記第３光電変換素子上に結像する第３ト
ーリックレンズと、前記第５光路分岐手段により分岐さ
れた他方の光路上に配設した第４光電変換素子と、前記
Ｙ方向のターゲットのみを前記第４光電変換素子上に結
像する第４トーリックレンズと、を有し、前記２つの光
路上にそれぞれ配置された反射部材の傾きを、前記Ｘ方
間、Ｙ方向にて検出することを課題解決の手段とするも
のである． 〔作用〕 本発明においては前記第１の目的を解決させるために十
字状ターゲットの互いに直交するＸ方向ターゲット及び
Ｙ方向ターゲットにそれぞれ直交する方向を母線又は最
大主径線とする円柱レンズ又はトーリックレンズを採用
している。

まず、第１図（Ｃ）に基づき、十字状ターゲ一・｝３ａ
、円柱レンズ８、および光電変換素子１０の作用を説明
する。ただし第１図（Ｃ）は視覚的に解り易くするため
に途中の光学系を省略し、ターゲット側の光学系をコリ
メータレンズ５の前方に配置した。

ターゲット板３上の十字状ターゲット３ａからの光は不
図示の反射部材を介して２度コリメータレンズ５を透過
し、円柱レンズ８に導かれる。円柱レンズ８の母線はＹ
方向になしてあるので円柱レンズの持つ母線と直交する
方向に発散する特性により光電変換素子１０上ではＸ方
向のターゲソ１−３ａ”　■のみが結像される。いまこ
こで反射部材が傾いたとすると、光電変換素子１０上で
はＸ方向のターゲット３ａ″■が結像される。よって光
電変換素子１０の受光エレメント列１０’　はピッチン
グすなわちＹ方向の像移動量δ■を検知される。しかし
ながらヨーイングすなわちＸ方向の像移動量δＨは検知
されない． 次に第１図（Ｄ）に基づき十字状ターゲット３ａ、円柱
レンズ９、および光電変換素子１１の作用を説明する。

但し第１図（Ｄ）は第１図（Ｃ）と同様に説明のため主
要部のみ抽出した図である。

ターゲット板３上の十字状ターゲット３ａからの光は不
図示の反射部材を介して２度コリメータレンズ５を透過
し、円柱レンズ９に導かれる。円柱レンズ９の母線はＸ
方向になしてあるので円柱レンズの持つ母線と直交する
方向に発散する特性により、光電変換素子ｌｌ上でぱＹ
方向のターゲット３ａ’Ｈのみが結像される。いまここ
で反射部材が傾いたとすると光電変換素子１１上ではＸ
方向のターゲット３ａ″Ｈが結像される。よって光電変
換素子１ｌの受光エレメント列１１　はヨーイングすな
わちＸ方間の像移動量δＨを検知する。しかしながらビ
ソチングすなわちＹ方向の像移動量δＶは検知されない
。

上記の如く本発明においては十字状ターゲットをＸ方向
のターゲットとＹ方向のターゲットに分離してそれぞれ
検出するように構成したので従来の如く測定範囲が視野
の１／２以下に制限される不都合はない。

また十字状ターゲットを使用したので視野中心で測定が
可能となるのでワーキングデイスタンスを大きくするこ
とが出来る． 更に本発明では第２の目的を解決させるために、グイク
ロインクフ゜リズムおよび少なくとも２つの異った波長
を含む分光特性を持った光源を採用している。第２図、
第３図、第４図に基づいてその作用を説明する。

第３図において、光電式オートコリメータ本体１０１か
ら出た２つの異った波長を持つ平行光束は光学ユニット
３００のグイクロイノク膜３００Ｃで波長分離によって
分岐され一方は光学ユニット３００内部のミラー面３０
０ｄに進み、他方は外部ミラー６に進む。ミラー面３０
０ｄおよび外部ミラー６で反射された平行光束（測定光
）は再び光学ユニント３００を介して合成され光電式オ
ートコリメータ本体１０１に導かれる。

第４図において、光電式オートコリメータ本体１０１か
ら出た２つの異った波長を持つ平行光束は光学ユニット
４００のダイクロイック膜４００Ｃで波長分離によって
分岐されベンタプリズム４００ａによって互いに直交す
る方向に進みそれぞれが外部ミラー６Ａ、６Ｂに到る。

外部ミラー６Ａ、６Ｂで反射された平行光束（測定光）
は光学ユニノト４００を介して再び合成され光電式オー
トコリメータ本体１０１に導かれる． 第２図において前記の測定光はダイクロイックプリズム
１２によって再び波長分離により分岐されそれぞれの分
岐光は更にハーフプリズム７Ａ，７Ｂによって分光され
、それぞれに対して配置された円柱レンズ８Ａ、９Ａ及
び８Ｂ、９Ｂによって前記第１の目的解決の作用で説明
の通り２つの分岐光のそれぞれのピッチング、ヨーイン
グが測定される。

上記の如くの構成であるので従来の光電式オートコリメ
ーターでは不可能であった、同軸上あるいは直交する２
軸上の複数の相対的な角度又はその角度変化を同時にリ
アルタイムに測定することが出来る。

〔実施例〕

第１図（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）ＣＤ）は本発明の第１実施例
であって光源１、コンデンサレンズ２を備えた照明系は
ターゲット板３に形成された十字状ターゲッ｝３ａを照
明する。この照明によって十字状ターゲノｌ−３ａを透
過した光はハーフプリズム４で反射されコリメータレン
ズ５によって平行光束にされ、外部ミラー６に導かれる
．外部ミラー６で反射した平行光束は再びコリメータレ
ンズ５に入射して収束光にされ、ハーフプリズム４を透
過した後、ハーフプリズム７に向い、ハーフプリズム７
によって透過および反射をさせられ円柱レンズ８および
９に向う。

ここではまず第１図（Ｃ）によりハーフプリズム７を透
過した光、すなわち円柱レンズ８に向う光について説明
する。

円柱レンズ８は垂直（Ｙ）方向を母線とした凹レンズで
ある。従ってこの円柱レンズ８を透過した光は水平（Ｘ
）方向のみに発散する。しかるに垂直方向の光と結像位
置が異るので結果として光電変換素子１０の受光面上に
は、水平方向に長手力向を持った一文字形ターゲット像
３ａ’Ｖのみが結像される。この一文字形ターゲット像
３ａＶは外部ミラー６の傾きに従って光電変換素子１０
上の受光面に設けられた受光エレメント列１０′上を移
動する。外部ミラー６の水平面内での傾き、すなわちヨ
ーイング量θＨ、垂直面内での傾きすなわちピッチング
量をθｖ１コリメータレンズ５の焦点距離をｆとすると
き、光電変換素子１０上での一文字型スリット像の移動
量は、ビンチング方向δＶ＝２　ｆθＶヨーイング方向
δＨ＝２　ｆθＨで表わされる。第１図（Ｃ）より明ら
かな様に光電変換素子ＩＯはピッチング方向の像移動量
δＶのみ検知する。なお一文字ターゲット像３ａ■、３
ａ”■は円柱レンズ８の水平方向のパワーによって長手
方向に引伸ばされる。この場合、文字ターゲットの左右
の端部の光量は減少するが、測定範囲を適当に設定すれ
ば問題はない。

次に第１図（Ｄ）によりハーフプリズム７を反射した光
、すなわち円柱レンズ９に向う光について説明する。円
柱レンズ９は水平方向を母線とした凹レンズである。従
ってこの円柱レンズ９を透過した光は垂直方向のみ発散
される。結果として光電変換素子１１の受光面上には、
垂直方向に長手方向を持った一文字形ターゲット像３ａ
’Ｈが結像される。ターゲット像３ａ’　Ｈは外部ミラ
ー６の傾きに従って光電変換素子ｌｌ上の受光面に設け
られた受光エレメント列１１′上を移動するが、光電変
換素子１１はヨーイング方向の像移動量δＨのみ検知す
る。この様にして光電変換素子１０で得られたピッチン
グ方向の像移動量δ■および光電変換素子１１で得られ
たヨーイング方向の像移動量δＨはコントローラ２００
に伝達され公知の技術による演算回路３０の演算により
外部ミラー６のピッチング量θ■およびヨーイング量θ
Ｈに変換され、表示器４０に表示される。

第２図は本発明の第２の実施例であって、少なくとも２
つの波長を含んだ分光特性を持つ光源１、コンデンサレ
ンズ２を備えた照明系はターゲット板３上に形成された
十字状ターゲット３ａを照明する．この照明によって十
字形ターゲット３ａを透過した光は、第１の実施例と同
様にハーフプリズム４、コリメータレンズ５を経由して
外部ミラー６に至り、外部ミラー６で反射された後、再
びコリメータレンズ５に入射し、ハーフプリズム４を透
過してグイクロイックプリズム１２に向い、ダイクロイ
ックプリズム１２によって２つの波長に分割される．い
ま便宜的にダイクロインクプリズム１２の透過光の波長
をλ１反射光の波長をλ２とする。ダイクロイックプリ
ズムｌ２の透過光はセンサユニット２ＯＡに向い、反射
光はセンサユ−’−冫｝　２　０　Ｂニ同ウ。センサユ
ニ７｝２ＯＡ、２０Ｂ内のハーフプリズム７Ａ、７Ｂ、
円柱レンズ８Ａ，８Ｂ，円柱レンズ９Ａ、９Ｂ，光電変
換素子１０Ａ，ＩＯＢ，光電変換素子１１Ａ、１１Ｂは
使用波長がλ１およびλ２であることを除き、第１の実
施例におけるセンサユニソト２０内のハーフプリズム７
、円柱レンズ８、円柱レンズ９、光電変換素子１０、光
電変換素子１１と同じ働きをする。結局、光電変換素子
１０Ａはピッチング検出素子で使用波長はλ１光電変換
素子１ｌＡはヨーイング検出素子で使用波長はλ１光電
変換素子１０Ｂはピッチング検出素子で使用波長はλ２
光電変換素子１１Ｂはヨーイング検出素子で使用波長は
λ２となる。

光！変換素子１　０Ａ，．１　１Ａ，Ｉ　ＯＢＳ　ｌ　
１．Ｂの出力信号は公知の技術による演算回路３１によ
り２ｍのピッチング量、ヨーイング量に換算され、表示
器４ｌに４現象表示される。

第３図は本発明の第３の実施例であって、第２の実施例
による光電式オートコリメータ本体１０１のコリメータ
レンズ５からは波長がλ，およびλ２を含む平行光束が
射出され光学ユニッ｝３００に向う。光学ユニット３０
０は菱形プリズム３００ａ、４５６プリズム３００ｂよ
り構成され、ダイクロインク膜３００ｃおよびミラー面
３００ｄを有している。光学ユニット３００に入射した
平行光束はグイクロイック膜３００ｃにより波長分離さ
れ、分岐された一方の波長λ，の平行光束はグイクロイ
ソクＭ３ＱＯｃを透過して外部ミラー６に向い、他方の
波長λ２の平行光束はグイクロイック膜で反射されミラ
ー面３００ｄに向う。

ミラー面３００ｄで反射された平行光束は再びダイクロ
イック膜３００ｃで反射され光電式オートコリメータ本
体１０１に戻る。一方、外部ミラー６に向った波長λ，
の平行光束は外部ミラー６で反射され、再びグイクロイ
ソク膜３００ｃを透過して光電式オートコリメータ本体
１０１に戻る。

光電式オートコリメータ本体ｌＯ１に戻った光は、第２
の実施例による手順で波長λ１のピッチング量、波長λ
１のヨーイング量、波長λ２のピッチング量、波長λ２
のヨーイング量に分離され、コントローラ２０１の表示
器４１に外部ミラー６のピソチングおよびヨーイング、
光学ユニット３００のミラー面３００ｄのビンチングお
よびヨーイングとして表示される。この様に本実施例で
は外部ミラー６および光学ユニット３００のミラー面３
００ｄの相対的な角度変化を同時にリアルタイムで測定
できる。なお、外部ミラー６の反射光は光学ユニッ｝３
００を透過するが、光学ユニット３００の角度変化によ
る影響はない． 第４図は本発明の第４の実施例であって、第２の実施例
による光電式オートコリメータ本体ｌＯ１のコリメータ
レンズ５からは波長λ．およびλ：を含む平行光束が射
出され光学ユニット４００に向う．光学ユニノト４００
はペンタプリズム４００ａ，２２．５＠プリズム４００
ｂより構成され接合により一体となっている。その接合
面にはダイクロイック膜４００ｃを有している。光学ユ
ニット４００に入射した平行光束はダイクロイック膜で
波長分離され、分岐された一方の波長λ１の平行光束は
外部ミラー６Ａに向い、他方の波長λ２の平行光束は外
部ミラー６Ｂに向う。外部ミラー６Ａ、６Ｂで反射され
た平行光束シよ逆経路で光学ユニット４００を経て充電
式オートコリメータ本体１０１に戻る。光電式オートコ
リメータ本体１０１に戻った光は第２の実施例による手
順で処理され、コントローラ２０１の表示器４１に外部
ミラー６Ａのピッチングおよびヨーイング、外部ミラー
６Ｂのピッチングおよびヨーイングを同時にリアルタイ
ムで表示する。

尚使用する充電変換素子としてはＣＣＤラインセンサー
が望ましい。

〔発明の効果］ 本発明の第１の実施例によれば測定範囲およびワーキン
グディスタンスが拡大されたことから、より大型の被検
物を測定することが出来る効果がある。本発明の第２の
実施例によれば２組のピッチング量、ヨーイング量を測
定する光電式オートコリメータを実現できる．この第２
の実施例による光電式オートコリメータと第３の実施例
による光学ユニットを組合せることにより、離れた同軸
上２地点の相対的な角度変化を同時にリアルタイムで測
定できると共に第４の実施例による光学ユニットと組合
せることにより、離れた直交２軸上の２地点の相対的な
角度変化を同時にリアルタイムで測定することが可能と
なった。上記の機能は従来のオートコリメータでは実現
できなかったものであり、本発明により被検物の角度挙
動たとえばたわみ量等に関してより多彩な測定を行うこ
とが出来る利点がある。なお第１、および第２の実施例
ではターゲットとして十字状ターゲットを使用している
が、一Ｊｌに、光電的なセンサを持たず、視野内ターゲ
ットの位置を視野目盛で読み取るいわゆる光学読取式の
オートコリメータでは、夕一ゲットに十字状ターゲット
を使用する例が多いため、部品を共通化できるという利
点もある．また部品共通化により、光学読取式のオート
コリメータを光電式オートコリメータに改造するいわゆ
るレトロフィソト対応がより容易になるという利点もあ
る．

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）は本発明による装置の第１実施例を示す構
成図、 第１図（Ｂ）は本発明に使用される十字状ターゲットを
示す図、 第１図（Ｃ）は本発明の主要部でピッチング測定の原理
を説明する図、 第１図（Ｄ）は本発明の主要部でヨーイング測定の原理
を説明する図、 第２図は本発明による装置の第２実施例を示す構成図、 第３図は本発明による装置の第２実施例と組合せ、同軸
上の２地点の測定を行う第３実施例を示す構成図、 第４図は本発明による装置の第２実施例と組合せ、直交
２軸上２地点の測定を行う第４実施例を示す構成図、 第５図（Ａ）は従来の充電式オートコリメータの構成図
、 第５図（Ｂ）は従来光電式オートコリメータに使用され
ているターゲットの形状を示す図、第５図（Ｃ）は従来
の光電式オートコリメータのターゲット像と充電変換素
子との関係を示す説明図である。 〔主要部分の符号の説明〕 ３ａ・・・・・・十字状ターゲット ７、７Ａ，７Ｂ・・・・・・ハーフプリズム８、８Ａ，
８Ｂ，９、９Ａ、９Ｂ・・・・・・円柱レンズＩＯ、Ｉ
ＯＡ，ＩＯＢ，１　１，１　１Ａ，１　１Ｂ・・・・・
・光電変換素子 ｌ２・・・・・・グイクロイックプリズム３００・・・
・・・複合グイクロイックプリズム４００・・・・・・
複合ダイクロイックペンタプリズム。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）コリメータレンズと、該コリメータレンズの背後
   に設置された第１光路分岐手段と、該第１光路分岐手段
   により分岐された一方の光路上であって、前記コリメー
   タレンズの光束焦点位置に配置されたターゲットと、前
   記第１光路分岐手段により分岐された他方の光路上であ
   って、前記コリメータレンズの後側焦点位置に配置され
   た前記ターゲットの像位置検出用光電変換装置とを有し
   、該光電変換装置の出力による前記ターゲット像の位置
   から前記コリメータレンズ前方の反射部材の傾きを検出
   する光電式オートコリメータにおいて、前記ターゲット
   をＸ方向とＹ方向とのターゲットからなる十字状ターゲ
   ットとし、 前記光電変換装置を、 前記第１光路分岐手段の他方の光路上に配置した第２光
   路分岐手段と、該第２光路分岐手段により分岐された一
   方の光路上に配設した第１光電変換素子と、前記Ｘ方向
   のターゲットのみを前記第１光電変換素子上に結像する
   第１トーリックレンズと、前記第２光路分岐手段により
   分岐された他方の光路上に配設した第２光電変換素子と
   、前記Ｙ方向のターゲットのみを前記第２光電変換素子
   上に結像する第２トーリックレンズとにより構成し、前
   記反射部材の傾きをＸ方向、Ｙ方向にて検出することを
   特徴とする光電式オートコリメータ。
2. （２）請求項（１）記載の光電式オートコリメータにお
   いて、 前記ターゲットからの光は少なくとも２つの波長を含み
   、 前記コリメータレンズの前方に波長分離により２つの光
   路に分岐する第３光路分岐手段を設けると共に、前記波
   長分離により分岐された２つの光路上にそれぞれ配置さ
   れた反射部材による反射光を、前記第３光路分岐手段に
   入射させて合成した後、前記コリメータレンズに入射さ
   せる合成光学部材とを設け、 前記光電変換装置はさらに、前記第１光路分岐手段と前
   記第２光路分岐手段との間に設けられた波長分離により
   ２つの光路に分岐する第４光路分岐手段と、該第４光路
   分岐手段で分岐された光路のうち前記第２光路分岐手段
   の配置されていない方の光路に配置した第５光路分岐手
   段と、該第５光路分岐手段により分岐された一方の光路
   上に配設した第３光電変換素子と、前記Ｘ方向のターゲ
   ットのみを前記第３光電変換素子上に結像する第３トー
   リックレンズと、前記第５光路分岐手段により分岐され
   た他方の光路上に配設した第４光電変換素子と、前記Ｙ
   方向のターゲットのみを前記第４光電変換素子上に結像
   する第４トーリックレンズと、を有し、前記２つの光路
   上にそれぞれ配置された反射部材の傾きを、Ｘ方向、Ｙ
   方向にて検出することを特徴とする光電式オートコリメ
   ータ。
3. （３）請求項（１）または（２）記載の光電式オートコ
   リメータにおいて、 前記第１トーリックレンズまたは前記第３トーリックレ
   ンズは、前記Ｘ方向にのみパワーを有する円柱レンズで
   あり、前記第２トーリックレンズまたは前記第４トーリ
   ックレンズは、前記Ｙ方向にのみパワーを有する円柱レ
   ンズであることを特徴とするオートコリメータ。
4. （４）請求項（２）記載の光電式オートコリメータにお
   いて、 前記合成光学部材はその光束入射面の１つを前記第３光
   路分岐手段として兼用してなる複合ダイクロイックプリ
   ズムもしくは複合ダイクロイックペンタプリズムである
   ことを特徴とする光電式オートコリメータ。