JPH03203838A - 回転体に対する処理装置 - Google Patents
回転体に対する処理装置Info
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- JPH03203838A JPH03203838A JP1341534A JP34153489A JPH03203838A JP H03203838 A JPH03203838 A JP H03203838A JP 1341534 A JP1341534 A JP 1341534A JP 34153489 A JP34153489 A JP 34153489A JP H03203838 A JPH03203838 A JP H03203838A
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- JP
- Japan
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- rotating body
- processing
- encoder
- rotation
- signal
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- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P6/00—Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
- H02P6/06—Arrangements for speed regulation of a single motor wherein the motor speed is measured and compared with a given physical value so as to adjust the motor speed
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B19/00—Driving, starting, stopping record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor; Control thereof; Control of operating function ; Driving both disc and head
- G11B19/20—Driving; Starting; Stopping; Control thereof
- G11B19/28—Speed controlling, regulating, or indicating
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B27/00—Editing; Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Monitoring; Measuring tape travel
- G11B27/10—Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Measuring tape travel
- G11B27/11—Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Measuring tape travel by using information not detectable on the record carrier
- G11B27/13—Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Measuring tape travel by using information not detectable on the record carrier the information being derived from movement of the record carrier, e.g. using tachometer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B27/00—Editing; Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Monitoring; Measuring tape travel
- G11B27/36—Monitoring, i.e. supervising the progress of recording or reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザディスクに対するビット書き込みやその
検査を行う場合のように、回転体上に高精度に各種加工
を施したり、加工部の検査を行う場合等に好適に適用で
きる回転体に対する処理装置に関するものである。
検査を行う場合のように、回転体上に高精度に各種加工
を施したり、加工部の検査を行う場合等に好適に適用で
きる回転体に対する処理装置に関するものである。
従来の技術
従来、例えばレーザディスクの書き込みビットの検査を
行う装置においては、レーザディスクを所定の支持部に
装着してエアスピンドルモータ等の回転駆動手段にてそ
の軸心回りに回転駆動するとともに回転駆動手段の回転
位置をエンコーダにて検出してＰ Ｌ Ｌ （Ｐｈａｓ
ｅ １ｏｃｋｅｄ １ｏｏｐ）制御手段等の回転制御手
段にて制御することにより等速回転させ、またレーザデ
ィスクの面振れや芯振れに対応するために検出用のオプ
ティカルヘッドを２軸アクチユエータ上に設置してフォ
ーカスサーボ制御及びトラッキングサーボ制御を行い、
さらに外部からの振動により回転むらを生じることがな
いようにこれらの装置を防振台上に設置している。
行う装置においては、レーザディスクを所定の支持部に
装着してエアスピンドルモータ等の回転駆動手段にてそ
の軸心回りに回転駆動するとともに回転駆動手段の回転
位置をエンコーダにて検出してＰ Ｌ Ｌ （Ｐｈａｓ
ｅ １ｏｃｋｅｄ １ｏｏｐ）制御手段等の回転制御手
段にて制御することにより等速回転させ、またレーザデ
ィスクの面振れや芯振れに対応するために検出用のオプ
ティカルヘッドを２軸アクチユエータ上に設置してフォ
ーカスサーボ制御及びトラッキングサーボ制御を行い、
さらに外部からの振動により回転むらを生じることがな
いようにこれらの装置を防振台上に設置している。
そうして、第６図に示すように、オプティカルヘッドか
ら出力された検出信号を信号解析手段にて解析を行うこ
とによってレーザディスクの書き込みビット位置を検出
している。即ち、レーザディスクはＰＬＬ制御にて高精
度に等速回転制御しているので、完全に等速回転してい
るものとして、検出信号を時間軸で解析することによっ
て書き込みビット位置の検査を行っている。
ら出力された検出信号を信号解析手段にて解析を行うこ
とによってレーザディスクの書き込みビット位置を検出
している。即ち、レーザディスクはＰＬＬ制御にて高精
度に等速回転制御しているので、完全に等速回転してい
るものとして、検出信号を時間軸で解析することによっ
て書き込みビット位置の検査を行っている。
発明が解決しようとする課題
ところが、ＰＬＬ制御等により高精度の速度制御を行っ
ても、レーザディスクを完全に等速回転させることは不
可能であり、しかもその回転むらがそのまま検出精度の
低下となるという問題があり、又そのような回転むらの
原因となる外部からの振動をより完全に無くすために、
大掛かりで高価な防振台を設ける必要があり、コスト高
になるという問題があった。
ても、レーザディスクを完全に等速回転させることは不
可能であり、しかもその回転むらがそのまま検出精度の
低下となるという問題があり、又そのような回転むらの
原因となる外部からの振動をより完全に無くすために、
大掛かりで高価な防振台を設ける必要があり、コスト高
になるという問題があった。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、回転体に対して高精
度で加工や検査等の処理を行うことができ、かつコスト
低下を図ることができる回転体に対する処理装置を提供
することを目的とする。
度で加工や検査等の処理を行うことができ、かつコスト
低下を図ることができる回転体に対する処理装置を提供
することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明の回転体に対する処理装置は、装着された回転体
をその軸心回りに回転駆動する回転駆動手段と、回転駆
動手段の回転位置を検出するエンコーダと、エンコーダ
からの信号を入力されて回転駆動手段を等速で回転駆動
するように制御する回転制御手段と、等速で回転してい
る回転体の任意位置に対する処理を行う処理手段とを備
えた回転体に対する処理装置において、前記エンコーダ
からの信号に基づいて回転体の回転位置を分解能を高め
て検出する位置検出手段を設けるとともに、その検出位
置に基づいて前記処理手段又は処理手段からの出力信号
を制御する処理制御手段を設けたことを特徴とする。
をその軸心回りに回転駆動する回転駆動手段と、回転駆
動手段の回転位置を検出するエンコーダと、エンコーダ
からの信号を入力されて回転駆動手段を等速で回転駆動
するように制御する回転制御手段と、等速で回転してい
る回転体の任意位置に対する処理を行う処理手段とを備
えた回転体に対する処理装置において、前記エンコーダ
からの信号に基づいて回転体の回転位置を分解能を高め
て検出する位置検出手段を設けるとともに、その検出位
置に基づいて前記処理手段又は処理手段からの出力信号
を制御する処理制御手段を設けたことを特徴とする。
又、前記位置検出手段は、エンコーダから出力されるパ
ルス信号をカウントするカウンタ及びパルス信号間にお
いて経過時間とパルス信号の周期から補間演算を行う手
段と、前記カウンタ及び補間演算手段の信号に基づいて
位置を演算する手段にて構成することができる。
ルス信号をカウントするカウンタ及びパルス信号間にお
いて経過時間とパルス信号の周期から補間演算を行う手
段と、前記カウンタ及び補間演算手段の信号に基づいて
位置を演算する手段にて構成することができる。
作用
本発明の回転体に対する処理装置によれば、回転体は回
転制御手段で制御された回転駆動手段により略等速で回
転駆動され、かつ回転体に対して処理を行う処理手段が
、回転体の位置を高分解能で検出できる位置検出手段に
よる検出位置に基づいて制御されるので、回転体に微小
な回転むらがあっても極めて高い位置精度で回転体に対
して処理を行うことができる。また、回転体の微小な回
転むらを許容されるので、外部からの振動を無くす防振
台として比較的安価な、簡単な構成のものを採用でき、
コスト低下を図ることができる。
転制御手段で制御された回転駆動手段により略等速で回
転駆動され、かつ回転体に対して処理を行う処理手段が
、回転体の位置を高分解能で検出できる位置検出手段に
よる検出位置に基づいて制御されるので、回転体に微小
な回転むらがあっても極めて高い位置精度で回転体に対
して処理を行うことができる。また、回転体の微小な回
転むらを許容されるので、外部からの振動を無くす防振
台として比較的安価な、簡単な構成のものを採用でき、
コスト低下を図ることができる。
また、上記高分解能の位置検出手段として、エンコーダ
から出力されるパルス信号をカウントするとともに、パ
ルス信号間は時分割して位置検出するように構成するこ
とにより、所要の応答性を有するものを簡単な回路構成
で安価に得られ、しかも回転体はほぼ等速回転しており
、エンコーダから出力されるパルス信号間の微小回転範
囲では完全に等速回転していると見なすことができるた
め高精度の検出が可能となり、またエンコーダから出力
される信号を逓倍して分解能を高める場合のように波形
精度の影響を受けることもない。
から出力されるパルス信号をカウントするとともに、パ
ルス信号間は時分割して位置検出するように構成するこ
とにより、所要の応答性を有するものを簡単な回路構成
で安価に得られ、しかも回転体はほぼ等速回転しており
、エンコーダから出力されるパルス信号間の微小回転範
囲では完全に等速回転していると見なすことができるた
め高精度の検出が可能となり、またエンコーダから出力
される信号を逓倍して分解能を高める場合のように波形
精度の影響を受けることもない。
実施例
以下、本発明をレーザディスクの検査装置に適用した一
実施例を第１図〜第５図を参照しながら説明する。
実施例を第１図〜第５図を参照しながら説明する。
まず、全体構成を第２図により説明すると、比較的簡単
な構成で安価な防振台１上にエアスピンドルモータ２が
配置されている。このエアスピンドルモータ２のスピン
ドル３はその軸心が垂直になるように配置されるととも
に上方に突出され、その上端部に設けられた支持部４と
クランプ手段６との間でレーザディスク５を同芯状に挟
持するように構成されている。又、エアスピンドルモー
タ２には、その回転位置を検出するエンコーダ７が付設
されている。一方、レーザディスク５に書き込まれてい
るビットを検出するオプティカルヘッド８は、上下方向
とレーザディスク５の径方向に微小作動する２軸アクチ
ユエータ９に取付けられ、この２軸アクチユエータ９が
レーザディスク５の径方向に移動してトラックの選択を
行う送りヘッドｌＯ上に配設されている。送りヘッドＩ
Ｏはへラドベース１１を介して防振台１上に設置されて
いる。
な構成で安価な防振台１上にエアスピンドルモータ２が
配置されている。このエアスピンドルモータ２のスピン
ドル３はその軸心が垂直になるように配置されるととも
に上方に突出され、その上端部に設けられた支持部４と
クランプ手段６との間でレーザディスク５を同芯状に挟
持するように構成されている。又、エアスピンドルモー
タ２には、その回転位置を検出するエンコーダ７が付設
されている。一方、レーザディスク５に書き込まれてい
るビットを検出するオプティカルヘッド８は、上下方向
とレーザディスク５の径方向に微小作動する２軸アクチ
ユエータ９に取付けられ、この２軸アクチユエータ９が
レーザディスク５の径方向に移動してトラックの選択を
行う送りヘッドｌＯ上に配設されている。送りヘッドＩ
Ｏはへラドベース１１を介して防振台１上に設置されて
いる。
オプティカルヘッド８は、第３図に示すように、レーザ
ダイオード１２から出力されたレーザ光をコリメータレ
ンズ１３にて平行光とし、ビームスプリッタ１４を介し
て対物レンズ１５にてレーザディスクの所定トラック上
に照射し、その反射光を対物レンズ１５、ビームスプリ
ッタ１４を介してフォトダイオード１６にて検出するよ
うに構成されている。
ダイオード１２から出力されたレーザ光をコリメータレ
ンズ１３にて平行光とし、ビームスプリッタ１４を介し
て対物レンズ１５にてレーザディスクの所定トラック上
に照射し、その反射光を対物レンズ１５、ビームスプリ
ッタ１４を介してフォトダイオード１６にて検出するよ
うに構成されている。
エアスピンドルモータ２は、第４図に示すように、エン
コーダ７から出力されたパルス信号に基づいてＰＬＬ制
御手段１７により制御され、高精度に等速回転するよう
に構成されている。又、２軸アクチユエータ９は、第５
図に示すように、フォーカス・トラッキングサーボ制御
手段１９にて制御され、オプティカルヘッド８の位置の
微小調整を行うことによって、レーザディスク５の回転
に面振れや芯振れがあっても、オプティカルヘッド８か
ら出力されたレーザ光がレーザディスク５の所望のトラ
ック上に正確に照射させるように構成されている。
コーダ７から出力されたパルス信号に基づいてＰＬＬ制
御手段１７により制御され、高精度に等速回転するよう
に構成されている。又、２軸アクチユエータ９は、第５
図に示すように、フォーカス・トラッキングサーボ制御
手段１９にて制御され、オプティカルヘッド８の位置の
微小調整を行うことによって、レーザディスク５の回転
に面振れや芯振れがあっても、オプティカルヘッド８か
ら出力されたレーザ光がレーザディスク５の所望のトラ
ック上に正確に照射させるように構成されている。
次に、オプティカルヘッド８から出力された検出信号の
処理回路を第１図により説明すると、エンコーダ７から
出力された矩形波の検出信号がカウンタ２１と時間測定
手段２２に入力されている。
処理回路を第１図により説明すると、エンコーダ７から
出力された矩形波の検出信号がカウンタ２１と時間測定
手段２２に入力されている。
又、オプティカルヘッド８からの検出信号がタイミング
発生手段２３に入力され、検出信号の立ち上がりや立ち
下がり等のタイミングでカウンタ２■及び時間測定手段
２２にタイミング信号を出力している。カウンタ２１は
エンコーダ７からのパルス数をカウントしてタイミング
信号入力時の値を位置演算手段２５に出力している。一
方、時間測定手段２２では、検出信号の周期Ｔと基準と
なる位相を検出してからタイミング信号が入力するまで
の経過時間Ａを測定してその値を補間演算手段２４に出
力し、補間演算手段２４では、周期Ｔと経過時間Ａから
Ａ／Ｔを演算して位置演算手段２５に出力している。位
置演算手段２５では、カウンタ２１からの信号によりパ
ルス信号単位毎の位置を検出し、補間演算手段２４から
信号によりパルス信号間における位置を演算する。この
位置演算手段２５による演算結果は、レーザディスク５
に書き込まれたビット位置を示しており、その結果が信
号解析手段２６に入力されて解析が行われる。
発生手段２３に入力され、検出信号の立ち上がりや立ち
下がり等のタイミングでカウンタ２■及び時間測定手段
２２にタイミング信号を出力している。カウンタ２１は
エンコーダ７からのパルス数をカウントしてタイミング
信号入力時の値を位置演算手段２５に出力している。一
方、時間測定手段２２では、検出信号の周期Ｔと基準と
なる位相を検出してからタイミング信号が入力するまで
の経過時間Ａを測定してその値を補間演算手段２４に出
力し、補間演算手段２４では、周期Ｔと経過時間Ａから
Ａ／Ｔを演算して位置演算手段２５に出力している。位
置演算手段２５では、カウンタ２１からの信号によりパ
ルス信号単位毎の位置を検出し、補間演算手段２４から
信号によりパルス信号間における位置を演算する。この
位置演算手段２５による演算結果は、レーザディスク５
に書き込まれたビット位置を示しており、その結果が信
号解析手段２６に入力されて解析が行われる。
このように、オプティカルヘッド８から出力された検出
信号をレーザディスク５の正確な回転位置に対応させて
検出することによって、ＰＬＬ制御手段１７にて等速回
転させているレーザディスク５に微小な回転むらが生じ
た場合でも、ビット書き込み位置を極めて高い精度で検
査することができる。また、エンコーダ７からのパルス
信号を時分割して高分解能化しているので、信号を逓倍
回路を用いて高パルス信号にしてカウントする場合のよ
うに波形精度の影響を受けることもなく、高精度の位置
検出が可能である。そのため、簡単な回路構成で応答性
良く高精度の位置検出が可能となる。
信号をレーザディスク５の正確な回転位置に対応させて
検出することによって、ＰＬＬ制御手段１７にて等速回
転させているレーザディスク５に微小な回転むらが生じ
た場合でも、ビット書き込み位置を極めて高い精度で検
査することができる。また、エンコーダ７からのパルス
信号を時分割して高分解能化しているので、信号を逓倍
回路を用いて高パルス信号にしてカウントする場合のよ
うに波形精度の影響を受けることもなく、高精度の位置
検出が可能である。そのため、簡単な回路構成で応答性
良く高精度の位置検出が可能となる。
尚、上記実施例では、本発明をレーザディスクにおける
書き込みビットの検査装置に適用した例を示したが、ビ
ット書き込み装置に適用することもでき、その場合書き
込み位置が高精度に制御されるので、検査工程を省略で
きる可能性も生ずる。
書き込みビットの検査装置に適用した例を示したが、ビ
ット書き込み装置に適用することもでき、その場合書き
込み位置が高精度に制御されるので、検査工程を省略で
きる可能性も生ずる。
又、本発明はレーザディスクに対する加工や検査に限ら
ず、その他の回転体に対して高精度の加工を施したり、
加工部の検査を行う場合にも効果的に適用することがで
きる。
ず、その他の回転体に対して高精度の加工を施したり、
加工部の検査を行う場合にも効果的に適用することがで
きる。
発明の効果
本発明によれば、回転体は回転制御手段で制御された回
転駆動手段により略等速で回転駆動され、かつ回転体に
対して処理を行う処理手段が、回転体の位置を高分解能
で検出できる位置検出手段による検出位置に基、づいて
制御されるので、回転体に微小な回転むらがあっても極
めて高い位置精度で回転体に対して処理を行うことがで
き、また回転体の微小な回転むらを許容されるので、外
部からの振動を無くす防振台として比較的安価で簡単な
構成のものを採用でき、コスト低下を図ることができる
という効果を発揮する。
転駆動手段により略等速で回転駆動され、かつ回転体に
対して処理を行う処理手段が、回転体の位置を高分解能
で検出できる位置検出手段による検出位置に基、づいて
制御されるので、回転体に微小な回転むらがあっても極
めて高い位置精度で回転体に対して処理を行うことがで
き、また回転体の微小な回転むらを許容されるので、外
部からの振動を無くす防振台として比較的安価で簡単な
構成のものを採用でき、コスト低下を図ることができる
という効果を発揮する。
また、上記高分解能の位置検出手段として、エンコーダ
から出力されるパルス信号をカウントするとともに、パ
ルス信号間は時分割して位置検出するように構成するこ
とにより、高分解能で高精度の位置検出が可能でかつ所
要の応答性を有するものを簡単な回路構成で安価に得ら
れ、しかもエンコーダから出力される信号を逓倍して分
解能を高める場合のように波形精度の影響を受けること
もない等、大なる効果を発揮する。
から出力されるパルス信号をカウントするとともに、パ
ルス信号間は時分割して位置検出するように構成するこ
とにより、高分解能で高精度の位置検出が可能でかつ所
要の応答性を有するものを簡単な回路構成で安価に得ら
れ、しかもエンコーダから出力される信号を逓倍して分
解能を高める場合のように波形精度の影響を受けること
もない等、大なる効果を発揮する。
第１図は本発明をレーザディスクの検査装置に通用した
一実施例における検出信号処理装置のブロック図、第２
図は同検査装置の全体概略構成図、第３図はそのオプテ
ィカルヘッドの概略構成図、第４図はその回転駆動手段
の制御ブロック図、第５図はその２軸アクチユエータの
制御ブロック図、第６図は従来例における検出信号処理
装置のブロック図である。 ２−・ ７ １ ２ ２３・ Ｌ−一−− ５ エアスピンドルモータ レーザディスク エンコーダ オプティカルヘッド ＰＬＬ制御手段 カウンタ 時間測定手段 タイミング発生手段 補間演算手段 位置演算手段 ２６・・−−−−−・・−−−一一一信号解析手段第１
図
一実施例における検出信号処理装置のブロック図、第２
図は同検査装置の全体概略構成図、第３図はそのオプテ
ィカルヘッドの概略構成図、第４図はその回転駆動手段
の制御ブロック図、第５図はその２軸アクチユエータの
制御ブロック図、第６図は従来例における検出信号処理
装置のブロック図である。 ２−・ ７ １ ２ ２３・ Ｌ−一−− ５ エアスピンドルモータ レーザディスク エンコーダ オプティカルヘッド ＰＬＬ制御手段 カウンタ 時間測定手段 タイミング発生手段 補間演算手段 位置演算手段 ２６・・−−−−−・・−−−一一一信号解析手段第１
図
Claims (2)
- （１）装着された回転体をその軸心回りに回転駆動する
回転駆動手段と、回転駆動手段の回転位置を検出するエ
ンコーダと、エンコーダからの信号を入力されて回転駆
動手段を等速で回転駆動するように制御する回転制御手
段と、等速で回転している回転体の任意位置に対する処
理を行う処理手段とを備えた回転体に対する処理装置に
おいて、前記エンコーダからの信号に基づいて回転体の
回転位置を分解能を高めて検出する位置検出手段を設け
るとともに、その検出位置に基づいて前記処理手段又は
処理手段からの出力信号を制御する処理制御手段を設け
たことを特徴とする回転体に対する処理装置。 - （２）位置検出手段が、エンコーダから出力されるパル
ス信号をカウントするカウンタ及びパルス信号間におい
て経過時間とパルス信号の周期から補間演算を行う手段
と、前記カウンタ及び補間演算手段の信号に基づいて位
置を演算する手段とを備えていることを特徴とする請求
項１記載の回転体に対する処理装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1341534A JPH03203838A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | 回転体に対する処理装置 |
| US07/634,551 US5051677A (en) | 1989-12-29 | 1990-12-27 | Apparatus for processing rotary member |
| KR1019900022374A KR940003552B1 (ko) | 1989-12-29 | 1990-12-29 | 회전체에 대한 처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1341534A JPH03203838A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | 回転体に対する処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03203838A true JPH03203838A (ja) | 1991-09-05 |
Family
ID=18346815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1341534A Pending JPH03203838A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | 回転体に対する処理装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5051677A (ja) |
| JP (1) | JPH03203838A (ja) |
| KR (1) | KR940003552B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040206085A1 (en) * | 2003-04-16 | 2004-10-21 | Koenig Albert A. | Geothermal systems with improved control strategies |
| WO2006082253A2 (de) * | 2005-02-07 | 2006-08-10 | Basf Aktiengesellschaft | Verfahren zum beschichten von oberflächen mit hydrophobinen |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4021714A (en) * | 1975-01-08 | 1977-05-03 | Contraves-Goerz Corporation | Servo system employing a tracking digital angle encoder |
| US4374351A (en) * | 1980-01-09 | 1983-02-15 | Leeds & Northrup Company | Digital drive unit regulator |
| JPS60113370A (ja) * | 1983-11-25 | 1985-06-19 | Mitsubishi Electric Corp | 記録再生素子の位置制御装置 |
| US4849680A (en) * | 1986-11-07 | 1989-07-18 | Kabushiki Kaisha Empire Airport Service | Encoder |
| JPH01303081A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-06 | Nikon Corp | 制御装置 |
-
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