JPH0518739A - 回転体の偏心測定装置 - Google Patents

回転体の偏心測定装置

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JPH0518739A
JPH0518739A JP19854991A JP19854991A JPH0518739A JP H0518739 A JPH0518739 A JP H0518739A JP 19854991 A JP19854991 A JP 19854991A JP 19854991 A JP19854991 A JP 19854991A JP H0518739 A JPH0518739 A JP H0518739A
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Rei Toyama
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 センサーの自己診断機構を持つため、定期的
に装置より取り外してセンサーを校正することがない。
センサーの不良による誤差を含まない、信頼性の高いR
RO、NRROの計測が可能となる。 【構成】 非接触の距離センサーと、距離センサーを指
示した距離だけ移動する機構を設け、移動信号を出す回
路によって信号を出力し、移動機構を駆動する。指示し
た移動距離とセンサーで測定した距離を判定し、表示す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、回転体の偏心測定装置
に用いられる非接触検出器の、良否診断を自動的に行う
機構に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気ディクク装置は、磁性体が塗布され
た記録部材である磁気ディスクをスピンドルモータを用
いて回転させ、これに磁気ヘッドを近接させて磁気ディ
スクにデータを書き込み、あるいは読み取る装置であ
る。この磁気ディスクは、ハブ部材等を介してスピンド
ルモータの回転軸に取付けられるが、かかる装置に於い
てはモータ軸の振れ、いわゆるモータの偏心を極力防止
する必要がある。それはモータの回転軸に偏心がある
と、回転時に磁気ディスクが振れてしまい、データの書
き込み時及び読み取り時に磁気ヘッドが磁気ディスクに
接触したり、所定の位置をアクセス出来なくなるからで
ある。
【0003】回転体の偏心には、いわゆる繰り返し(Re
peatable RunOut、以下「RRO」という) と、非繰り
返し振れ(Non-Repeatable RunOut、以下「NRRO」
という)がある。
【0004】RROは、回転体の1回転毎に繰り返し表
われる所定量の振れであり、回転軸の傾きなどによって
規制的に生じる。磁気ディスク装置等に仕様するモータ
にあっては、このRROを数十μm程度に押さえる必要
がある。
【0005】一方、NRROは前記RROとは別に表わ
れる振れであり、転がり軸受内の玉傷や非真円性、ある
いはベアリングハウジングの形状誤差などによってラン
ダムに生ずる。このNRROがあるとデータの書き込み
位置と読み出し位置が異なってしまい、誤ったデータが
読み出されてしまうなどの不都合がある。したがって、
NRROの発生は極力防止しなければならず、発生して
も数十μm程度に押さえる必要がある。
【0006】この装置の検出自体によって生じる誤差を
知るためには、定期的に検出器を装置本体より取り外
し、被測定体から定まった位置に検出器を置いて距離を
測定し、校正する必要があった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】かかる装置において
は、検出器そのものの精度は校正する機構がなかった。
このため定期的に装置より検出器を取り出して校正する
ことがなければ、検出器が不良となっても、RRO、N
RROの測定値と読み誤って判断してしまうことがあっ
た。
【0008】本発明の課題は、回転体の偏心を測定する
ために、その測定の結果から検出器の不良による誤差を
含まないようにする、検出器の自己診断機構を有する回
転体の偏心測定装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】回転体との距離を検出す
る静電容量センサーは、ボールネジのフランジのセンサ
ー固定台に取付けられている。ボールネジを回転駆動す
るためのステッピングモータがボールネジに取付けられ
ている。ボールネジは回転運動を直線運動に変換し、セ
ンサーは移動する。CPUはセンサーの移動距離を指示
し移動信号を出力し、移動指令信号に比例してセンサー
が移動し、センサーからの距離と指令移動距離が合致し
ているかを判定する。判定結果はランプに表示する。
【0010】
【作用】検出器によって静止した被測定物の距離を測定
し、その後、駆動手段によって、定まった距離だけセン
サーを移動させて測定する。センサーの移動後の距離か
ら移動前の距離の差を取り、その差の値が定まった距離
と等しいか判定してセンサーの良否を表示する。
【0011】
【実施例】以下、添付図面図1及び図2を参照して、本
発明に従う回転軸の偏心測定装置の一実施例について説
明する。
【0012】図1に於いては、ハブ部材を取付けたスピ
ンドルモータの回転体1であり、この回転体1の近傍に
は前記回転体の表面までの距離を測定する静電容量セン
サー2が配設されている。このセンサー2は回転体1ま
での距離変化を静電容量変化としてとらえ、変位計3に
よって電圧値に変換する。
【0013】センサー2はセンサー取付台4に固定し、
センサー取付台4はボールネジ5のフランジ6に固定す
る。ボールネジ5は軸受嵌合部7を支持軸受8で支えら
れ、ステッピングモータ9で回転駆動する。
【0014】装置を起動すると、回転体1を静止した状
態で、ステッピングモータ9がボールネジ5を回転させ
る。例えばボールネジ5のリードが2mmで、ステッピ
ンドルモータ9がCPU11からの200パルスの信号
で、1回転するようにモータ駆動回路16で制御する。
モータ駆動回路16に1パルス入力すればステッピング
モータ9は回転し、10μmボールネジ5のフランジ6
に固定してあるセンサー取付台4が移動し、センサー2
が移動することになる。こうして測定範囲までセンサー
2を近づける。そのときの変位計3の値をA/D変換し
てCPU11に読み取る、この時の値をAとする。ステ
ッピングモータを回転させ数十μmだけセンサーを移動
させ、この時の変位計3の値をA/D変換してCPU1
1で読み取った値をBとする。C=A−Bの演算をCP
Uで行いCの値が移動した値から外れていないかどうか
判定し、センサーの良否判定ランプ17を点灯する。
【0015】センサーが正常であれば、モータを定速回
転する。変位計3は前記静電容量センサー2からモータ
の軸振れ量を出力し、その値を比較器15及びピーク・
ボトム検出器14に出力する。比較器15はCPU11
に偏位方向を矩形波として偏位信号を出力する。この矩
形波出力に応じてCPUは検出・リセット信号をピーク
・ボトム検出器14に出力し、ピーク値及びボトム値を
ホールドする。
【0016】NRRO・RRO回路13に於いて、図2
に示す如く、ピーク値からNRROをピーク値とボトム
値からRROをA/D変換器12に出力する。
【0017】A/D変換器12は比較器出力が2回目以
降に立ち上がる毎に、前記入力値をデジタル値に変換し
てCPU11へ出力する。CPU11は前記の如くして
入力した値の平均値を算出してNRROの値を算出す
る。
【0018】このような測定装置は、定期的なセンサー
の校正が不要であり、センサーが不良のまま測定し続け
ることがなくなり、測定の信頼性が高まる。その上セン
サーを取り外して校正する必要がないため、短時間でセ
ンサーの点検、校正が行える。
【0019】以上、本発明に従う回転体の偏心測定装置
の一実施例について説明したが、本発明はかかる実施例
に限定されるものでなく、本発明の範囲を逸脱すること
なく種々の変形乃至修正が可能である。
【0020】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0021】センサーを取り外さなくてもよいため、短
時間でセンサーの点検、構成が行える。
【0022】さらに、特別な治具は必要でないため、従
来の回転体の偏心測定装置の機構を変更することなく、
ソフトの変更のみでセンサーの自己診断機能が付与でき
る。
【0023】また、定期的なセンサーの校正が不要のた
め、センサーが不良のまま測定し続けることがなくな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係わる回転体の偏心測定装
置の概略説明図である。
【図2】RRO、NRROの説明図である。
【符号の説明】
1 回転体 2 センサー 3 変位計 4 センサー取付台 5 ボールネジ 6 フランジ 7 軸受嵌合部 8 軸受 9 ステッピングモータ 11 CPU 12 A/D変換器 13 NRRO・RRO回路 14 ピーク・ボトム検出器 15 比較器 16 モータ駆動回路 17 センサー良否表示ランプ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 回転体との距離を検出する距離検出器
    と、前記距離検出器を移動するための移動手段と、移動
    距離を指示し移動信号を出力する回路と、前記移動信号
    に比例して前記距離検出器移動手段を移動する駆動手段
    と、前記移動信号と前記距離検出器からの検出距離が合
    致しているかを判定する判定回路と、判定結果を表示す
    る手段を有する、 ことを特徴とする回転体の偏心測定装置。
JP3198549A 1991-03-29 1991-07-11 回転体の偏心測定装置 Expired - Fee Related JP3011792B2 (ja)

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JP3198549A JP3011792B2 (ja) 1991-07-11 1991-07-11 回転体の偏心測定装置
US07/856,258 US5365458A (en) 1991-03-29 1992-03-25 Motor eccentricity measuring apparatus
US08/200,998 US5452156A (en) 1991-07-04 1994-02-24 Spindle motor with combined pressure relief and adhesive carrying annular recesses

Applications Claiming Priority (1)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7742881B2 (en) 2007-08-02 2010-06-22 General Electric Company System and method for detection of rotor eccentricity baseline shift
KR101225616B1 (ko) * 2011-01-05 2013-01-24 한전케이피에스 주식회사 로터 없는 현장에서 축 정렬 선도 측정방법
CN113959381A (zh) * 2021-09-13 2022-01-21 华能澜沧江水电股份有限公司 一种降低水力发电机组定子低频振动的方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7742881B2 (en) 2007-08-02 2010-06-22 General Electric Company System and method for detection of rotor eccentricity baseline shift
KR101225616B1 (ko) * 2011-01-05 2013-01-24 한전케이피에스 주식회사 로터 없는 현장에서 축 정렬 선도 측정방법
CN113959381A (zh) * 2021-09-13 2022-01-21 华能澜沧江水电股份有限公司 一种降低水力发电机组定子低频振动的方法
CN113959381B (zh) * 2021-09-13 2024-05-10 华能澜沧江水电股份有限公司 一种降低水力发电机组定子低频振动的方法

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