JPH03190411A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JPH03190411A JPH03190411A JP33041189A JP33041189A JPH03190411A JP H03190411 A JPH03190411 A JP H03190411A JP 33041189 A JP33041189 A JP 33041189A JP 33041189 A JP33041189 A JP 33041189A JP H03190411 A JPH03190411 A JP H03190411A
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
弾性表面波素子の構造に関し、
弾性表面波素子、とくに、弾性表面波共振子を複合化し
て小形化するとともに、周波数調整を容易にし、かつ、
その調整精度を向上させることを目的とし、 1枚の圧電体基板の上に、第1の櫛形駆動電極とその両
側に配設された2つのショートストリップ型反射電極か
らなる第1の表面波共振子と、第2の櫛形駆動電極とそ
の両側に配設された2つのショートストリップ型反射電
極からなる第2の表面波共振子とを近接して設け、前記
第1および第2の櫛形駆動電極の各接地側電極指をたが
いに電気的に接続し、かつ、前記第1および第2の表面
波共振子のそれぞれの2つのショートストリップ型反射
電極のうちの少なくとも各一方のショートストリップ型
反射電極を前記接地側電極指に電気的に接続して弾性表
面波素子を構成する。
て小形化するとともに、周波数調整を容易にし、かつ、
その調整精度を向上させることを目的とし、 1枚の圧電体基板の上に、第1の櫛形駆動電極とその両
側に配設された2つのショートストリップ型反射電極か
らなる第1の表面波共振子と、第2の櫛形駆動電極とそ
の両側に配設された2つのショートストリップ型反射電
極からなる第2の表面波共振子とを近接して設け、前記
第1および第2の櫛形駆動電極の各接地側電極指をたが
いに電気的に接続し、かつ、前記第1および第2の表面
波共振子のそれぞれの2つのショートストリップ型反射
電極のうちの少なくとも各一方のショートストリップ型
反射電極を前記接地側電極指に電気的に接続して弾性表
面波素子を構成する。
本発明は弾性表面波素子、とくに、共振子型フィルタに
用いる複合された弾性表面波共振子の構造に関する。
用いる複合された弾性表面波共振子の構造に関する。
最近の情報処理機器9通信機器の高速化にともなって、
高周波での信号発生やフィルタリングなどが必要となり
、これらの用途に弾性表面波素子が使用されはじめてい
るが、その小形化と高精度化への要求がますます強くな
ってきている。
高周波での信号発生やフィルタリングなどが必要となり
、これらの用途に弾性表面波素子が使用されはじめてい
るが、その小形化と高精度化への要求がますます強くな
ってきている。
最近の高周波域における共振子型フィルタの例として、
2個の表面波共振子と2個の負荷容量と1個の結合容量
から構成されるものがよく知られている。
2個の表面波共振子と2個の負荷容量と1個の結合容量
から構成されるものがよく知られている。
第5図は共振子型フィルタの等何回路を示す図で、図中
、50.60はそれぞれ表面波共振子、41,42はそ
れぞれ負荷容量、40は結合容量、110′は入力端、
2IO゛は出力端、130’ 、 230’ は接地端
である。
、50.60はそれぞれ表面波共振子、41,42はそ
れぞれ負荷容量、40は結合容量、110′は入力端、
2IO゛は出力端、130’ 、 230’ は接地端
である。
第6図は従来の表面波共振子の例を示す平面図である。
図中、3は基板で、たとえば、LiTaO3基板である
。3■は櫛形駆動電極で、たとえば、AI!からなる櫛
形電極31aおよび31bが交互に差し挟まれており、
それぞれに設けられた外部リード導出部310および3
20に接続された。こ\には図示してない高周波電源に
より交流電圧が印加されるようになっている。
。3■は櫛形駆動電極で、たとえば、AI!からなる櫛
形電極31aおよび31bが交互に差し挟まれており、
それぞれに設けられた外部リード導出部310および3
20に接続された。こ\には図示してない高周波電源に
より交流電圧が印加されるようになっている。
32および33は、たとえば、同じ< Alからなる反
射電極で、複数の電極指を並列に形成しそれら電極指の
両端部を連結導体で接続した。いわゆる、ショートスト
リップ型と呼ばれる形状にしである。
射電極で、複数の電極指を並列に形成しそれら電極指の
両端部を連結導体で接続した。いわゆる、ショートスト
リップ型と呼ばれる形状にしである。
こ\で、doは櫛形駆動電極31および2つの反射電極
32.33の各電極指の巾と電極指間のスペスで、櫛形
駆動電極31の最外側の電極指と反射電極32.33の
櫛形駆動電極31に対面した最外側の電極指との距離も
同じくd。にし、かつ、do”λ/4にする。すなわち
、櫛形駆動電極と2つの反射電極の全ての電極指のピッ
チをλ/2とする。
32.33の各電極指の巾と電極指間のスペスで、櫛形
駆動電極31の最外側の電極指と反射電極32.33の
櫛形駆動電極31に対面した最外側の電極指との距離も
同じくd。にし、かつ、do”λ/4にする。すなわち
、櫛形駆動電極と2つの反射電極の全ての電極指のピッ
チをλ/2とする。
いわゆる、連続等ピッチのエネルギー閉じ込め構造の電
極配置を用いたもので、多重共振モードその他に起因す
るスプリアスの発生を防止できるようにしたものでしる
。
極配置を用いたもので、多重共振モードその他に起因す
るスプリアスの発生を防止できるようにしたものでしる
。
具体的には、たとえば、共振周波数155MHzを得る
ために、前記基板3のX伝播表面波の音速4090m/
sからλ= 26.3μmとして電極が形成されている
。
ために、前記基板3のX伝播表面波の音速4090m/
sからλ= 26.3μmとして電極が形成されている
。
第7図は従来の共振子型フィルタの実装状態を示す斜視
図で、キャップを外した状態を示している。図中、45
゛ はステムのベースで、その上にプリント回路基板4
4′が載置されている。表面波共振子50.60はプリ
ント回路基板44”上に、たとえば、エポキシ系のAg
ペーストでグイボンディングされ、外部リード導出部3
10および320はプリント回路基板44′のこ\には
図示してないポンディングパッドにワイヤ43でボンデ
ィングされている。
図で、キャップを外した状態を示している。図中、45
゛ はステムのベースで、その上にプリント回路基板4
4′が載置されている。表面波共振子50.60はプリ
ント回路基板44”上に、たとえば、エポキシ系のAg
ペーストでグイボンディングされ、外部リード導出部3
10および320はプリント回路基板44′のこ\には
図示してないポンディングパッドにワイヤ43でボンデ
ィングされている。
結合容量40および負荷容量41,42.たとえば、チ
ップコンは同じ(プリント回路基板44°上にダイボン
ディングされ、最終的には表面波共振子50.60の周
波数調整をし試験を行ったのち、こ\には図示してない
キャップを施して共振子型フィルタが形成される。
ップコンは同じ(プリント回路基板44°上にダイボン
ディングされ、最終的には表面波共振子50.60の周
波数調整をし試験を行ったのち、こ\には図示してない
キャップを施して共振子型フィルタが形成される。
しかし、上記従来の共振子型フィルタでは2つの表面波
共振子を使用しており、その周波数調整にあたってそれ
ぞれ別々に行わなければならない。
共振子を使用しており、その周波数調整にあたってそれ
ぞれ別々に行わなければならない。
第8図は従来の表面波共振子を用いたフィルタの周波数
調整法を示す図で、図中、51および52は表面波共振
子50および60の電極エリアをあけた蒸着マスク、5
5は周波数調整用の蒸着源、たとえば、Ta2esであ
る。実際に周波数調整を行うには、たとえば、それぞれ
の表面波共振子50および60を所定の周波数よりもや
\高めの周波数にしておき、たとえば、先ず表面波共振
子50をマスク51を用いてTaxesを蒸着すると、
表面波の伝播速度が遅(なるので共振周波数は低下する
。所定の周波数に達したらマスク51を閉じ、次に、マ
スク52を用いて同様のプロセスにより、もう一方の表
面波共振子60の周波数調整を行っていた。
調整法を示す図で、図中、51および52は表面波共振
子50および60の電極エリアをあけた蒸着マスク、5
5は周波数調整用の蒸着源、たとえば、Ta2esであ
る。実際に周波数調整を行うには、たとえば、それぞれ
の表面波共振子50および60を所定の周波数よりもや
\高めの周波数にしておき、たとえば、先ず表面波共振
子50をマスク51を用いてTaxesを蒸着すると、
表面波の伝播速度が遅(なるので共振周波数は低下する
。所定の周波数に達したらマスク51を閉じ、次に、マ
スク52を用いて同様のプロセスにより、もう一方の表
面波共振子60の周波数調整を行っていた。
通常、上記表面波共振子50および60は別々に製作さ
れているために、その共振周波数はかなり異なっており
、したがって、上記のごと(周波数調整は2回に分けて
行わなければならない。また、素子の搭載作業も2回行
う必要があるため製作工数が多くか\す、さらに、表面
波共振子2個分のスペースを要することになるので、結
局、共振子型フィルタの小形化の障害にもなるなどの諸
問題があり、それらの解決が求められていた。
れているために、その共振周波数はかなり異なっており
、したがって、上記のごと(周波数調整は2回に分けて
行わなければならない。また、素子の搭載作業も2回行
う必要があるため製作工数が多くか\す、さらに、表面
波共振子2個分のスペースを要することになるので、結
局、共振子型フィルタの小形化の障害にもなるなどの諸
問題があり、それらの解決が求められていた。
上記の課題は、1枚の圧電体基板3の上に、第1の櫛形
駆動電極11とその両側に配設された2つのショートス
トリップ型反射電極12.13からなる第1の表面波共
振子lと、第2の櫛形駆動電極21とその両側に配設さ
れた2つのショートストリップ型反射電極22.23か
らなる第2の表面波共振子2とを近接して設け、前記第
1および第2の櫛形駆動電極11および21の接地側電
極指11a、 21aをたがいに電気的に接続し、かつ
、前記第1および第2の表面波共振子lおよび2のそれ
ぞれの2つのショートストリップ型反射電極のうちの少
なくとも各一方のショートストリップ型反射電極を前記
接地側電極指11a、21aに電気的に接続して弾性表
面波素子を構成することより解決することができる。
駆動電極11とその両側に配設された2つのショートス
トリップ型反射電極12.13からなる第1の表面波共
振子lと、第2の櫛形駆動電極21とその両側に配設さ
れた2つのショートストリップ型反射電極22.23か
らなる第2の表面波共振子2とを近接して設け、前記第
1および第2の櫛形駆動電極11および21の接地側電
極指11a、 21aをたがいに電気的に接続し、かつ
、前記第1および第2の表面波共振子lおよび2のそれ
ぞれの2つのショートストリップ型反射電極のうちの少
なくとも各一方のショートストリップ型反射電極を前記
接地側電極指11a、21aに電気的に接続して弾性表
面波素子を構成することより解決することができる。
本発明の弾性表面波素子は、1枚の基板3上に2つの表
面波共振子を近接して設け、かつ、両表面波共振子の各
櫛形駆動電極11および21の接地側電極指11a、
21aをたがいに電気的に接続し、また、それぞれの2
つのショートストリップ型反射電極のうちの少なくとも
各一方のショートストリップ型反射電極を前記接地側電
極指11a、 21aに電気的に接続して構成されてい
るので、両表面波共振子の共振周波数は製作段階におい
て、すでに互いに近い値を持っており、周波数調整は1
枚のマスクで同時に1回で済ませてしまうことができる
。さらに、2つの表面波共振子が同一基板上に集積され
ているので全体が小形化され、しかも、そのプリント回
路基板44への搭載作業も1回で済ませることが可能と
なる。
面波共振子を近接して設け、かつ、両表面波共振子の各
櫛形駆動電極11および21の接地側電極指11a、
21aをたがいに電気的に接続し、また、それぞれの2
つのショートストリップ型反射電極のうちの少なくとも
各一方のショートストリップ型反射電極を前記接地側電
極指11a、 21aに電気的に接続して構成されてい
るので、両表面波共振子の共振周波数は製作段階におい
て、すでに互いに近い値を持っており、周波数調整は1
枚のマスクで同時に1回で済ませてしまうことができる
。さらに、2つの表面波共振子が同一基板上に集積され
ているので全体が小形化され、しかも、そのプリント回
路基板44への搭載作業も1回で済ませることが可能と
なる。
第1図は本発明の実施例を示す図である。
図中、3は36°Yカット−X伝播LiTa0s(36
゜Y X LiTa0s)からなる1枚の基板で、た
とえば、寸法は厚さ0.35m m 、巾3.5mm、
長さ6mm、表面は平滑に研磨しである。表面波はX方
向に伝播するように電極を配置した。11および21は
第1および第2の櫛形駆動電極で、それぞれ50本の櫛
歯を有する一対の櫛形電極11aとllb、および21
aと21bとが互いに櫛歯を差し挟んで配置されている
。12.13および22.23は反射電極で、それぞれ
100本のストリップ状の電極指を並列に形成し、それ
ら電極指の両端部を連結導体で接続した。
゜Y X LiTa0s)からなる1枚の基板で、た
とえば、寸法は厚さ0.35m m 、巾3.5mm、
長さ6mm、表面は平滑に研磨しである。表面波はX方
向に伝播するように電極を配置した。11および21は
第1および第2の櫛形駆動電極で、それぞれ50本の櫛
歯を有する一対の櫛形電極11aとllb、および21
aと21bとが互いに櫛歯を差し挟んで配置されている
。12.13および22.23は反射電極で、それぞれ
100本のストリップ状の電極指を並列に形成し、それ
ら電極指の両端部を連結導体で接続した。
いわゆる、ショートストリップ型のものである。
これら電極パターンの形成は、具体的には前記基板l上
に約650nmの一定膜厚のAI!膜、または、電極の
マイグレーションを抑えるように若干のCUを混入した
AI膜を真空蒸着し、通常のホトリソグラフィ法で前記
櫛形駆動電極11.21と反射電極12.13および2
2.23を同時形成した。
に約650nmの一定膜厚のAI!膜、または、電極の
マイグレーションを抑えるように若干のCUを混入した
AI膜を真空蒸着し、通常のホトリソグラフィ法で前記
櫛形駆動電極11.21と反射電極12.13および2
2.23を同時形成した。
電極巾と電極間隔(電極間スペース)は櫛形駆動電極と
各反射電極の間も含めて全てλ/4(d。
各反射電極の間も含めて全てλ/4(d。
=λ/4)、すなわち、いずれも連続等ピツチ配置にな
るように形成した。
るように形成した。
なお、共振周波数155MHzを得るために、前記基板
3のX伝播表面波の音速4090m/sからλ= 26
.3μmを算出し、電極ピッチをλ/2.電極巾および
電極間(スペース)をλ/4として設計した。
3のX伝播表面波の音速4090m/sからλ= 26
.3μmを算出し、電極ピッチをλ/2.電極巾および
電極間(スペース)をλ/4として設計した。
なお、第1の表面波共振子lと第2の表面波共振子2と
は近接して、たとえば、図中のX−X軸に対して鏡面対
称に配置し、第1および第2の櫛形駆動電極11および
21の接地側電極指11a、21aをたがいに電気的に
接続し、かつ、前記第1および第2の表面波共振子lお
よび2のそれぞれの2つのショートストリップ型反射電
極も同様に接地側電極指11a、21aに電気的に接続
されるように、同じAI膜からホトリソグラフィ法で前
記櫛形駆動電極11.21や反射電極12.13および
22.23と同時形成した。110は入力端、210は
出力端、120.130゜220、230は接地端であ
る。接地端はl箇所ないし2箇所でもよいが、どこから
でもワイヤボンディングできるようにするという実装上
の利便から4隅に接地端用ポンディングパッドを設けた
ものである。
は近接して、たとえば、図中のX−X軸に対して鏡面対
称に配置し、第1および第2の櫛形駆動電極11および
21の接地側電極指11a、21aをたがいに電気的に
接続し、かつ、前記第1および第2の表面波共振子lお
よび2のそれぞれの2つのショートストリップ型反射電
極も同様に接地側電極指11a、21aに電気的に接続
されるように、同じAI膜からホトリソグラフィ法で前
記櫛形駆動電極11.21や反射電極12.13および
22.23と同時形成した。110は入力端、210は
出力端、120.130゜220、230は接地端であ
る。接地端はl箇所ないし2箇所でもよいが、どこから
でもワイヤボンディングできるようにするという実装上
の利便から4隅に接地端用ポンディングパッドを設けた
ものである。
以上のごと(複合集積して形成された第1および第2の
表面波共振子lおよび2の周波数調整前の共振周波数の
差は、はゾ±500 ppm以内に収まっており、前記
従来の個別素子の場合の周波数バラツキ±2500pp
mに比較して、115と大巾に改善された。また、素子
面積は従来の2個分に比較して30%の減少となった。
表面波共振子lおよび2の周波数調整前の共振周波数の
差は、はゾ±500 ppm以内に収まっており、前記
従来の個別素子の場合の周波数バラツキ±2500pp
mに比較して、115と大巾に改善された。また、素子
面積は従来の2個分に比較して30%の減少となった。
なお、必要により表面波共振子の温度特性を改善するた
めに、公知の技術である5i02膜を電極基板面全体に
、たとえば、表面波波長λの20%前後の厚さにプラズ
マCVD法で生成してもよい。
めに、公知の技術である5i02膜を電極基板面全体に
、たとえば、表面波波長λの20%前後の厚さにプラズ
マCVD法で生成してもよい。
第2図は本発明実施例を使用した共振子型フィルタの斜
視図で、IOは本発明の弾性表面波素子。
視図で、IOは本発明の弾性表面波素子。
すなわち、表面波共振子である。45はステムのベスで
、その上にプリント回路基板44が載置されている。表
面波共振子10はプリント回路基板44上にグイボンデ
ィングされ、外部リード導出部110および210はプ
リント回路基板44のこ\には図示してないポンディン
グパッドにワイヤ43でボンディングされている。
、その上にプリント回路基板44が載置されている。表
面波共振子10はプリント回路基板44上にグイボンデ
ィングされ、外部リード導出部110および210はプ
リント回路基板44のこ\には図示してないポンディン
グパッドにワイヤ43でボンディングされている。
なお、前記諸図面で説明したものと同等の部分について
は同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は省
略する。
は同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は省
略する。
上記実施例の場合、素子面積の減少、ボンディングワイ
ヤ本数の減少などの効果により、プリント回路基板の面
積は従来の約1/2に縮小され、それにともない共振子
フィルタの外形寸法も大巾に小形化された。
ヤ本数の減少などの効果により、プリント回路基板の面
積は従来の約1/2に縮小され、それにともない共振子
フィルタの外形寸法も大巾に小形化された。
第3図は本発明の実施例素子を用いたフィルタの周波数
調整法を示す図で、53はは本発明の弾性表面波素子I
Oの電極エリアをあけた蒸着マスク、55は周波数調整
用の蒸着源、たとえば、Ta205である。実際に周波
数調整を行うには、たとえば、弾性表面波素子10の2
つの表面波共振子lおよび2を所定の周波数よりもや\
高めの周波数に予め作製しておく。このとき各共振周波
数はすてに述べたごとく±500ppm以内に形成され
ているので、1つのマスク53を用いて、公知の方法、
たとえば、Ta205を蒸着すると、IA当たり約20
〜30ppmだけ共振周波数が低下する。したがって所
定の周波数に達したらマスク53を閉じれば、1回の操
作で周波数調整作業を完了することができる。
調整法を示す図で、53はは本発明の弾性表面波素子I
Oの電極エリアをあけた蒸着マスク、55は周波数調整
用の蒸着源、たとえば、Ta205である。実際に周波
数調整を行うには、たとえば、弾性表面波素子10の2
つの表面波共振子lおよび2を所定の周波数よりもや\
高めの周波数に予め作製しておく。このとき各共振周波
数はすてに述べたごとく±500ppm以内に形成され
ているので、1つのマスク53を用いて、公知の方法、
たとえば、Ta205を蒸着すると、IA当たり約20
〜30ppmだけ共振周波数が低下する。したがって所
定の周波数に達したらマスク53を閉じれば、1回の操
作で周波数調整作業を完了することができる。
第4図は本発明の他の実施例を示す図である。
なお、前記の諸図面で説明したものと同等の部分につい
ては同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は
省略する。
ては同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は
省略する。
前記第1図の実施例が2つの表面波共振子を並列に配置
しているのに対し、本実施例では第1の表面波共振子1
と第2の表面波共振子2を表面波の伝播方向、すなわち
、X−X方向に直列に配置し、接地側、すなわち、結合
容量40に接続される側の櫛形駆動電極の電極指11a
、21aをたがいに電気的に接続し、かつ、前記第1お
よび第2の表面波共振子lおよび2のそれぞれ内側のシ
ョートストリップ型反射電極13.23を同様に接地側
電極指11a。
しているのに対し、本実施例では第1の表面波共振子1
と第2の表面波共振子2を表面波の伝播方向、すなわち
、X−X方向に直列に配置し、接地側、すなわち、結合
容量40に接続される側の櫛形駆動電極の電極指11a
、21aをたがいに電気的に接続し、かつ、前記第1お
よび第2の表面波共振子lおよび2のそれぞれ内側のシ
ョートストリップ型反射電極13.23を同様に接地側
電極指11a。
21aに電気的に接続している。本実施例の場合には、
入力端110.出力端210を同一方向から取り出すこ
とが可能であり、実装上の都合により前記実施例と適宜
使い分けをすればよい。その他本実施例もまた前記実施
例と同様の効果を有することは極めて明白である。
入力端110.出力端210を同一方向から取り出すこ
とが可能であり、実装上の都合により前記実施例と適宜
使い分けをすればよい。その他本実施例もまた前記実施
例と同様の効果を有することは極めて明白である。
なお、2つの表面波共振子間でたがいに他の共振子から
放射される表面波は、それぞれの反射電極の中で減衰し
各共振子の特性に影響を与えることはない。
放射される表面波は、それぞれの反射電極の中で減衰し
各共振子の特性に影響を与えることはない。
上記実施例では共振周波数155MHzの場合について
示したが、その他の周波数帯の弾性表面波素子であって
も同様の効果が得られることは言うまでもない。
示したが、その他の周波数帯の弾性表面波素子であって
も同様の効果が得られることは言うまでもない。
以上述べた実施例は一例を示したもので、本発明の趣旨
に添うものである限り、使用する素材や構成など適宜好
ましいもの、あるいはその組み合わせを用いもよいこと
は勿論である。
に添うものである限り、使用する素材や構成など適宜好
ましいもの、あるいはその組み合わせを用いもよいこと
は勿論である。
以上詳しく述べたように、本発明によれば1枚の基板3
上に2つの表面波共振子を近接して設け。
上に2つの表面波共振子を近接して設け。
かつ、両表面波共振子の各櫛形駆動電極11および21
の接地側電極指11a、21aをたがいに電気的に接続
し、また、それぞれの2つのショートストリップ型反射
電極のうちの少なくとも各一方のショートストリップ型
反射電極を前記接地側電極指11a。
の接地側電極指11a、21aをたがいに電気的に接続
し、また、それぞれの2つのショートストリップ型反射
電極のうちの少なくとも各一方のショートストリップ型
反射電極を前記接地側電極指11a。
21aに電気的に接続して構成されているので、両表面
波共振子の共振周波数は製作段階において、すでに互い
に近い値を持っており、周波数調整は1枚のマスクで同
時に1回で済ませてしまうことができる。さらに、2つ
の表面波共振子が同一基板上に集積されているので全体
が小形化され、しかも、そのプリント回路基板44への
搭載作業も1回で済ませることが可能となり、弾性表面
波素子の性能9品質の向上および小形化と価格の低下に
寄与するところが極めて大きい。
波共振子の共振周波数は製作段階において、すでに互い
に近い値を持っており、周波数調整は1枚のマスクで同
時に1回で済ませてしまうことができる。さらに、2つ
の表面波共振子が同一基板上に集積されているので全体
が小形化され、しかも、そのプリント回路基板44への
搭載作業も1回で済ませることが可能となり、弾性表面
波素子の性能9品質の向上および小形化と価格の低下に
寄与するところが極めて大きい。
第1図は本発明の実施例を示す図、
第2図は本発明実施例を使用した共振子型フィルタの斜
視図、 第3図は本発明の実施例素子を用いたフィルタの周波数
調整法を示す図、 第4図は本発明の他の実施例を示す図、第5図は共振子
型フィルタの等価回路を示す図、第6図は従来の表面波
共振子の例を示す平面図、第7図は従来の共振子型フィ
ルタの実装状態を示す斜視図、 第8図は従来の表面波共振子を用いたフィルタの周波数
調整法を示す図である。 図において、 ■は第1の表面波共振子、 2は第2の表面波共振子、 3は基板、 11は第1の櫛形駆動電極、 21は第2の櫛形駆動電極、 12、13は第1の表面波共振子の反射電極、22、2
3は第2の表面波共振子の反射電極、11a、11bは
第1の櫛形駆動電極の電極指、21a、21bは第2の
櫛形駆動電極の電極指である。 本発日月実、吉芭イダJL使田し托jも撒手型、1しり
の余斗杉し口笛 2 図 4(41同じδ・1y1−フイノ℃で7のう宍トイ6丁
IF巨〕芹11示Tnン]紙 5図 ィ芝釆の表面3皮削良テハイチ1はネす千面閏第ら図 イ足来の共4に千梨フィJレタの喫古しA較熊、夏示す
件I匙図Y 7 図 不を来でA1面ば皮長狛良各1田いヒ珈、しりの固夕皮
1匁も同タヲ友計1口笛 図
視図、 第3図は本発明の実施例素子を用いたフィルタの周波数
調整法を示す図、 第4図は本発明の他の実施例を示す図、第5図は共振子
型フィルタの等価回路を示す図、第6図は従来の表面波
共振子の例を示す平面図、第7図は従来の共振子型フィ
ルタの実装状態を示す斜視図、 第8図は従来の表面波共振子を用いたフィルタの周波数
調整法を示す図である。 図において、 ■は第1の表面波共振子、 2は第2の表面波共振子、 3は基板、 11は第1の櫛形駆動電極、 21は第2の櫛形駆動電極、 12、13は第1の表面波共振子の反射電極、22、2
3は第2の表面波共振子の反射電極、11a、11bは
第1の櫛形駆動電極の電極指、21a、21bは第2の
櫛形駆動電極の電極指である。 本発日月実、吉芭イダJL使田し托jも撒手型、1しり
の余斗杉し口笛 2 図 4(41同じδ・1y1−フイノ℃で7のう宍トイ6丁
IF巨〕芹11示Tnン]紙 5図 ィ芝釆の表面3皮削良テハイチ1はネす千面閏第ら図 イ足来の共4に千梨フィJレタの喫古しA較熊、夏示す
件I匙図Y 7 図 不を来でA1面ば皮長狛良各1田いヒ珈、しりの固夕皮
1匁も同タヲ友計1口笛 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1枚の圧電体基板(3)の上に、 第1の櫛形駆動電極(11)とその両側に配設された2
つのショートストリップ型反射電極(12、13)から
なる第1の表面波共振子(1)と、第2の櫛形駆動電極
(21)とその両側に配設された2つのショートストリ
ップ型反射電極(22、23)からなる第2の表面波共
振子(2)とを近接して設け、 前記第1および第2の櫛形駆動電極(11および21)
の接地側電極指(11a、21a)をたがいに電気的に
接続し、 かつ、前記第1および第2の表面波共振子(1および2
)のそれぞれの2つのショートストリップ型反射電極の
うちの少なくとも各一方のショートストリップ型反射電
極を前記接地側電極指(11a、21a)に電気的に接
続することを特徴とした弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33041189A JPH03190411A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33041189A JPH03190411A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03190411A true JPH03190411A (ja) | 1991-08-20 |
Family
ID=18232302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33041189A Pending JPH03190411A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03190411A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018117059A1 (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振器、フィルタ装置およびマルチプレクサ |
-
1989
- 1989-12-20 JP JP33041189A patent/JPH03190411A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018117059A1 (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振器、フィルタ装置およびマルチプレクサ |
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