JPH03165380A - Device for measuring floating height of magnetic head - Google Patents
Device for measuring floating height of magnetic headInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
し産業上の利用分野］
この発明は、磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッド
の浮上高を測定する磁気ヘッド浮上高測定装置に関する
ものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic head flying height measuring device for measuring the flying height of a magnetic head used in a magnetic disk drive.
［従来の技術］
近年の磁気ディスク装置においては、記録の高密度化に
伴い、磁気ヘッドの低浮上量化が進められており、これ
を実現させるためには、磁気ヘッドの安定した浮上が要
求され、磁気ヘッドの浮上高の正確な測定が必要になる
。そして磁気ヘッドの正確な浮上高の測定を行うために
磁気ヘッド浮上高測定装置が用いられている。[Prior Art] In recent years, in magnetic disk drives, the flying height of the magnetic head has been reduced as the recording density has increased, and in order to achieve this, stable flying of the magnetic head is required. , it is necessary to accurately measure the flying height of the magnetic head. A magnetic head flying height measuring device is used to accurately measure the flying height of a magnetic head.
磁気ヘッドの浮上高を測定する方法は種々あるが、その
１つに光の干渉を利用して測定する方法がある。以下、
光の干渉を利用した磁気ヘッド浮上高測定装置について
説明する。There are various methods for measuring the flying height of a magnetic head, one of which is a method using optical interference. below,
A magnetic head flying height measurement device that uses optical interference will be described.
第３図は従来の光の干渉を利用した磁気ヘッド浮上高測
定装置の概略の構成を示す断面図で、図において（１）
は浮上高測定用ディスクであるガラス円板、（２）は円
板回転機構、（３Ａ）はガラス円板〈１）に固定位置と
して定められているＣ３Ｓ （コンタクト・スタート・
ストップ）位置、（４）はガラス円板（１）の浮上高測
定トラック位置、（５）は磁気ヘッドの位置、（９）は
光の干渉を利用して光路差により浮上高を測定する浮上
高測定用光学装置である。Figure 3 is a cross-sectional view showing the general configuration of a conventional magnetic head flying height measurement device using optical interference.
(2) is the disk rotation mechanism; (3A) is the C3S (contact start) fixed position on the glass disk (1);
(4) is the flying height measurement track position of the glass disc (1), (5) is the position of the magnetic head, (9) is the flying height measurement track that uses optical interference to measure the flying height based on the optical path difference. This is an optical device for high measurement.
次に動作について説明する。磁気ヘッド（５）の浮上は
、いわゆるコンタクト・スタート・ストップ（以下、こ
れをＣ８Ｓという〉方式で行われる。Next, the operation will be explained. The magnetic head (5) flies by a so-called contact start/stop (hereinafter referred to as C8S) method.
すなわち、ガラス円板（１）が静止している状態におい
ては、磁気ヘッド（５）はＣ８Ｓ位置（３Ａ）でガラス
円板（１）面上に靜接しており、円板回転機構（２）が
動作してガラス円板（１）が回転し始めると、その−瞬
磁気ヘッド（５）がガラス円板（１）面上を摺動し、す
ぐに回転によって生じる空気圧の作用により浮上する。That is, when the glass disk (1) is stationary, the magnetic head (5) is in silent contact with the surface of the glass disk (1) at the C8S position (3A), and the disk rotation mechanism (2) When the glass disc (1) is operated and the glass disc (1) begins to rotate, its instantaneous magnetic head (5) slides on the surface of the glass disc (1) and immediately floats due to the action of air pressure generated by the rotation.
そして浮上した磁気ヘッド（５）は磁気ヘッド位置決め
機構（図示せず）により図面の矢印に示すように浮上高
測定トラック位置（４）まで移動され、この位置で浮上
高測定用光学装置（９）により磁気ヘッド（５）の浮上
高が測定される。そして浮上高の測定が終了すると、磁
気ヘッド（５）が磁気ヘッド位置決め機構により元のＣ
８Ｓ位置（３Ａ）まで戻され、円板回転機構（２）が動
作してガラス円板（１）の回転を停止させることにより
、磁気ヘッド（５）はその−瞬再びガラス円板面上を摺
動し、ガラス円板面上に静接する。The floating magnetic head (5) is moved by a magnetic head positioning mechanism (not shown) to the flying height measuring track position (4) as shown by the arrow in the drawing, and at this position, the flying height measuring optical device (9) is moved to the flying height measuring track position (4). The flying height of the magnetic head (5) is measured. When the measurement of the flying height is completed, the magnetic head (5) is moved back to the original position by the magnetic head positioning mechanism.
When the disk rotation mechanism (2) operates to stop the rotation of the glass disk (1), the magnetic head (5) instantly moves over the glass disk surface again. It slides and comes into static contact with the glass disk surface.
［発明が解決しようとする課題］
上記のような従来の磁気ヘッド浮上高測定装置は以上の
ように、常にガラス円板上に固定位置として定められて
いるＣ８Ｓ位置で、磁気ヘッドの浮上を行い、あるいは
浮上した磁気ヘッドを静接させているので、このＣ８Ｓ
位置で常に磁気ヘッドのスライダが繰り返し摺動される
ことになり、汚れが付着して、スライダやガラス円板が
損傷し易いという問題がある。[Problems to be Solved by the Invention] As described above, the conventional magnetic head flying height measuring device as described above always flies the magnetic head at the C8S position, which is fixed on the glass disk. , or because the floating magnetic head is in static contact with this C8S
There is a problem in that the slider of the magnetic head is constantly slid repeatedly at a certain position, and the slider and the glass disk are easily damaged due to the adhesion of dirt.
このような問題を解決するために提案された先行技術と
しては、特開昭６３−２６９３８４号公報「浮上型磁気
ヘッド」で開示された発明（以下、これを先発明■とい
う）、および特開昭６３−２８１２８４号公報「浮上型
磁気ヘッドの浮上量測定用ディスク」で開示された発明
（以下、これを先発明■という）などがある。Prior art proposed to solve such problems include the invention disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-269384 "Floating Type Magnetic Head" (hereinafter referred to as "Prior Invention (2)"); There is an invention disclosed in Publication No. 63-281284 "Disk for measuring the flying height of a flying type magnetic head" (hereinafter referred to as "earlier invention (2)").
先発明■の要旨は、磁気ヘッドのスライド部に自己潤滑
層を形成してなることを特徴とする発明であるが、被測
定側である磁気ヘッドのスライド部に自己潤滑層を形成
することは極めて困難であり、実用可能性は低い。The gist of the previous invention (■) is that a self-lubricating layer is formed on the sliding portion of the magnetic head. This is extremely difficult and unlikely to be practical.
また先発明■要旨は、ガラス円板面上に炭素膜等の自己
潤滑層を形成してなることを特徴とする発明であるが、
炭素膜等の自己潤滑層により光透過度が変化するため、
浮上高の測定に誤差を生じさせてしまう等の問題点があ
った。In addition, the gist of the prior invention is an invention characterized by forming a self-lubricating layer such as a carbon film on the surface of a glass disk.
Since the light transmittance changes due to a self-lubricating layer such as a carbon film,
There were problems such as errors in the measurement of flying height.
この発明はかかる課題を解決するためになされたもので
、スライダやガラス円板の損傷を事前に防止し、正確で
信頼性の高い浮上高の測定ができる磁気ヘッド浮上高測
定装置を得ることを目的としている。The present invention has been made to solve these problems, and aims to provide a magnetic head flying height measuring device that can prevent damage to the slider and glass disk in advance and measure the flying height accurately and with high reliability. The purpose is
［課題を解決するための手段］
この発明にかかる磁気ヘッド浮上高測定装置は、ガラス
円板に複数のロード・アンロード・トラックからなるロ
ード・アンロード・トラック位置を定め、ロード・アン
ロード・トラックの１つを自由に選択して磁気ヘッドの
浮上動作を行わせることとしたものである。[Means for Solving the Problems] A magnetic head flying height measuring device according to the present invention determines the loading/unloading track position consisting of a plurality of loading/unloading tracks on a glass disk, and One of the tracks is freely selected and the magnetic head is caused to fly.
［作用］
この発明にかかる磁気ヘッド浮上高測定装置は、複数の
ロード・アンロード・トラックの内から１つのトラック
を自由に選択して磁気ヘッドの浮上動作を行わせること
としたので、ガラス円板が汚れ、ガラス円板やスライダ
が損傷する前にロード・アンロード・トラックの交換が
可能となる。[Function] The magnetic head flying height measurement device according to the present invention is capable of freely selecting one track from among a plurality of load/unload tracks to perform the flying operation of the magnetic head. The loading/unloading track can be replaced before the plate becomes dirty and the glass disk or slider is damaged.
［実施例］
以下、この発明の実施例を図面について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す模式的断面図で、図にお
いて第３図と同一符号は同一または相当部分を示し、（
３）はガラス円板（１）に設けられたロード・アンロー
ド・トラック位置で、複数のロード・アンロードトラッ
クからなる。（５Ａ）。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings. 1st
The figure is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the present invention. In the figure, the same reference numerals as in FIG. 3 indicate the same or corresponding parts.
3) is a loading/unloading track position provided on the glass disk (1), which is composed of a plurality of loading/unloading tracks. (5A).
（５Ｂ）、 （５Ｃ）はそれぞれ磁気ヘッド（５）の各
位置、（６）は磁気ヘッド（５）の位置決め機構、（７
）は磁気ヘッド（５）のアンロード用モータ、（８）は
アンロード用レバーである。(5B) and (5C) are the respective positions of the magnetic head (5), (6) is the positioning mechanism of the magnetic head (5), and (7) is the position of the magnetic head (5).
) is an unloading motor for the magnetic head (5), and (8) is an unloading lever.
次に動作について説明する。装置の静止状態においては
、磁気ヘッド（５）の位置決め機！（６）は図面右側に
あり（図示せず）、磁気ヘッド（５）はガラス円板（１
）の領域から離れた位置にある。そして円板回転機構（
２）を駆動させてガラス円板（１）をロード速度で回転
させ、位置決め機構（６）のアンロード用レバー（８〉
を反時計方向へ回動し、磁気ヘッド（５）を押し上げて
いる加圧バネを下げ、磁気ヘッド（５）を降下させ、こ
の状態で、降下させた磁気ヘッド（５）がガラス円板（
１）のロード・アンロード・トラック位置（３）に来る
ように位置決め機構（６）を移動させる（この状態を（
５Ａ）に示す）、この状態でアンロード用レバー（８）
を時計方向へ回動し、磁気ヘッド（５）をガラス円板（
１）に近接させる（この状態を（５Ｂ）に示す）。Next, the operation will be explained. When the device is stationary, the positioning device for the magnetic head (5)! (6) is on the right side of the drawing (not shown), and the magnetic head (5) is located on the glass disk (1
) is located far from the area. And the disc rotation mechanism (
2) to rotate the glass disc (1) at the loading speed, and unloading lever (8) of the positioning mechanism (6).
counterclockwise, the pressure spring pushing up the magnetic head (5) is lowered, and the magnetic head (5) is lowered. In this state, the lowered magnetic head (5) touches the glass disc (
Move the positioning mechanism (6) so that it comes to the load/unload track position (3) in 1) (this state is (
5A)), in this state, unload lever (8)
clockwise and move the magnetic head (5) onto the glass disc (
1) (this state is shown in (5B)).
このときガラス円板（１）はロード速度で回転している
ので、磁気ヘッド（５Ｂ）には弱い浮上刃が発生し、ガ
ラス円板（１）に対し０．２〜０．３ミクロン程度の微
小間隔を持って浮上する。At this time, since the glass disk (1) is rotating at the loading speed, a weak floating edge is generated in the magnetic head (5B), and a blade of about 0.2 to 0.3 microns is generated against the glass disk (1). It levitates at a very small distance.
次に、円板回転機１ （２＞を動作させてガラス円板（
１）を所望の浮上高測定速度で回転させ、位置決め機ｔ
ｆｉＮ６＞を動作させて磁気ヘッド（５）を浮上高測定
トラック位置（４）まで移動させ（この状態を（５Ｃ）
に示す）、浮上高測定用光学装置（９）を用いて磁気ヘ
ッド（５）のスライダとガラス円板（１）との間の微小
隙間を干渉縞の原理を用いて測定することにより、磁気
ヘッド（５）の浮上高を測定する。Next, operate the disk rotating machine 1 (2>) to rotate the glass disk (
1) at a desired flying height measurement speed, and positioning machine t
fiN6> to move the magnetic head (5) to the flying height measurement track position (4) (this state is (5C)).
), by measuring the minute gap between the slider of the magnetic head (5) and the glass disk (1) using the flying height measurement optical device (9) using the principle of interference fringes, magnetic Measure the flying height of the head (5).
浮上高の測定が終了すると、再び位置決め機構（６）を
動作させ、磁気ヘッド（５）を（５Ｂ）のロード・アン
ロード・トラック位置（３）まで戻し、円板回転機構（
２）を動作させてアンロード速度でガラス円板（１）を
回転させ、アンロード用レバー（８）を反時計方向に回
動させて磁気ヘッド（５）をアンロード位置（５Ａ）に
下げ、位置決め機構（６）を動作させて磁気ヘッド（５
）をガラス円板（１）の領域から離すように動作させる
。When the measurement of the flying height is completed, the positioning mechanism (6) is operated again, the magnetic head (5) is returned to the load/unload track position (3) (5B), and the disk rotation mechanism (
2) to rotate the glass disc (1) at the unloading speed, and rotate the unloading lever (8) counterclockwise to lower the magnetic head (5) to the unloading position (5A). , operate the positioning mechanism (6) to move the magnetic head (5).
) is moved away from the area of the glass disc (1).
なお磁気ヘッド（５）のスライダおよびガラス円板＜１
）の汚れは、それぞれの表面状態に影響される所が大で
あるが、その他として磁気ヘッド（５）のスライダとガ
ラス円板（１）の近接／離反速度の影響も無視できない
。従ってアンロード用モータ（７）を調整して適切な近
接／離反速度を自由に選択できるようになっている。Note that the slider and glass disk of the magnetic head (5) <1
) is largely affected by the surface condition of each surface, but the influence of the approach/separation speed between the slider of the magnetic head (5) and the glass disk (1) cannot be ignored. Therefore, the unloading motor (7) can be adjusted to freely select an appropriate approaching/separating speed.
次に第２図を用いて、複数のロード・アンロード・トラ
ックからなるロード・アンロード・トラック位置（３）
の設定について説明する。Next, using Figure 2, load/unload truck position (3) consisting of multiple load/unload trucks
This section explains the settings.
第２図はこの実施例におけるロード・アンロード・トラ
ック位置を説明するための断面図で、図において第１図
と同一符号は同一部分を示し、（Ｈ）はスライダの間隔
、（ｈ）はスライダの幅、（Ｐ）はロードピッチ、（３
ａ＞、（３ｂ）、（３ｃ）−（３ａ’）。FIG. 2 is a sectional view for explaining the loading/unloading track position in this embodiment. In the figure, the same reference numerals as in FIG. 1 indicate the same parts, (H) is the spacing between the sliders, and (h) is Slider width, (P) is load pitch, (3
a>, (3b), (3c)-(3a').
（３ｂ″）、（３ｃ’）・・・はそれぞれピッチ（Ｐ）
で位置決めする場合の磁気ヘッド（５）の位置を示す。(3b''), (3c')... are each pitch (P)
The position of the magnetic head (5) when positioning is shown.
すなわちピッチ（Ｐ）の大きさは、ｐ＞ｈであり、（Ｈ
−ｈ） ＞ｎ −Ｐ （但し、ｎは正整数）を満足する
ように定める必要がある。That is, the size of the pitch (P) is p>h, and (H
-h) >n -P (where n is a positive integer) must be determined.
例えば、ｈ＝０．４．Ｈ＝２．０であるとすれば、Ｐ＝
０．５．ｎ＝３とおくと、Ｐ＝０．５＞ｈ＝０．４、（
Ｈ−ｈ）＝ （２，０−０，４）＝１．６＞３Ｘ０．５
となり、Ｐ＝０．５で条件を満足することが解る。For example, h=0.4. If H=2.0, then P=
0.5. If n=3, P=0.5>h=0.4, (
H-h)=(2,0-0,4)=1.6>3X0.5
It can be seen that the condition is satisfied when P=0.5.
上述のように、従来の磁気ヘッド浮上高測定においては
、磁気ヘッド（５）がガラス円板（１）上に固定位置と
して定められたＣ８Ｓ位置（３Ａ）で、常に磁気ヘッド
（５）の浮上動作を行っているので、−瞬ではあるが、
常に同じ位置で磁気ヘッド（５）のスライダがガラス円
板（１）上を摺動することになり、これが原因で磁気ヘ
ッド（５）とガラス円板（１）の双方にガラスの削り屑
を主とした汚れが付着してしまう。As mentioned above, in the conventional magnetic head flying height measurement, the magnetic head (5) is always fixed at the C8S position (3A) on the glass disk (1). Since the movement is being carried out, it is instantaneous, but
The slider of the magnetic head (5) always slides on the glass disc (1) at the same position, which causes glass shavings to be deposited on both the magnetic head (5) and the glass disc (1). Main dirt will stick to it.
軽度の汚れは簡単な清掃によって除去することも可能で
あるが、汚れがスライダに強固に付着してしまうと、簡
単な清掃によっては除去することができず、磁気ヘッド
（５）の浮上姿勢が著しく損ねられ、浮上中においても
磁気ヘッド（５）のスライダの端面がガラス円板（１）
に接触するに至り、ガラス面に円周状の傷を付けてしま
ったり、スライダにもスクラッチ状の傷を付けてしまう
。Light dirt can be removed by simple cleaning, but if dirt adheres firmly to the slider, it cannot be removed by simple cleaning, and the flying posture of the magnetic head (5) may change. The end face of the slider of the magnetic head (5) was damaged significantly, and even during flight, the end face of the slider of the magnetic head (5) was damaged by the glass disk (1).
If it comes into contact with the glass, it will cause circumferential scratches on the glass surface and scratches on the slider as well.
そして、これらの傷は徐々に拡大し、特にガラス面の傷
の本数が増えたり、その深さが増すと、磁気ヘッド（５
）を安定させて浮上させることができなくなり、使用に
耐えなくなる。These scratches gradually expand, especially when the number and depth of scratches on the glass surface increases.
) cannot be stabilized and floated, making it unusable.
この実施例では、例えば第２図に示す（３ａ）−（３ａ
゛）の位置で使用中にガラス面に汚れが付着した場合（
３ｂ）−（３ｂ’）の位置に移動し、磁気ヘッド（５）
のガラス円板（１）に対するロード・アンロード・トラ
ック位置（３）をずらすことにより、再使用することが
できる。In this embodiment, for example, (3a) to (3a) shown in FIG.
If dirt adheres to the glass surface during use in position ゛)
Move to the position 3b)-(3b') and attach the magnetic head (5).
By shifting the loading/unloading track position (3) with respect to the glass disk (1) of the glass disk, it can be reused.
一般にガラス円板（１）の交換は、ランアウトやダイナ
ミック・バランスの調整等複雑な手順が必要であるが、
この実施例においては電気的手段により簡単にロード・
アンロード・トラック位置（３）をずらすことができる
。Generally, replacing the glass disc (1) requires complicated procedures such as run-out and dynamic balance adjustment.
In this embodiment, it is easy to load and load by electrical means.
The unload track position (3) can be shifted.
またこの実施例においては、ロード・アンロード・トラ
ック位置り３）における磁気ヘッド（５）の浮上や磁気
ヘッド（５）をガラス円板（１）から離脱させる際に、
ガラス円板（１）の回転速度をそれぞれ適した速度に調
整することができるので、磁気ヘッド（５）およびガラ
ス円板（１）の損傷を最小限度に抑えることができるよ
うになる。Furthermore, in this embodiment, when the magnetic head (5) floats at the load/unload track position 3) and when the magnetic head (5) is separated from the glass disk (1),
Since the rotational speed of the glass disk (1) can be adjusted to an appropriate speed, damage to the magnetic head (5) and the glass disk (1) can be minimized.
［発明の効果］
この発明は以上説明したように、複数のロード・アンロ
ード・トラックの内から１つのトラックを自由に選択し
て磁気ヘッドの浮上動作を行わせることとしたので、ガ
ラス円板が汚れ、ガラス円板やスライダが損傷する前に
ロード・アンロード・トラックを交換することができ、
正確で信頼性の高い測定を行うことができるという効果
がある。[Effects of the Invention] As explained above, in this invention, one track is freely selected from among a plurality of load/unload tracks to perform the floating operation of the magnetic head. You can replace the loading/unloading track before it gets dirty and damages the glass disc or slider.
This has the effect of making it possible to perform accurate and reliable measurements.
第１図はこの発明の一実施例を示す模式的断面図、第２
図はロード・アンロード・トラック位置を説明するため
の断面図、第３図は従来の装置の構成を示す断面図。
（１）はガラス円板、（２）は円板回転機構、（３）は
ロード・アンロード・トラック位置、（４）は浮上高測
定トラック位置、（５Ａ）、 （５Ｂ）、 （５Ｃ）は
それぞれ磁気ヘッドの各位置、（６）は位置決め機構、
（７）はアンロード用モータ、（８）はアンロード用レ
バー、（９）は浮上高測定用光学装置。
なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すものと
する。FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of the present invention, and FIG.
The figure is a cross-sectional view for explaining loading/unloading track positions, and FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of a conventional device. (1) is the glass disk, (2) is the disk rotation mechanism, (3) is the load/unload track position, (4) is the flying height measurement track position, (5A), (5B), (5C) are each position of the magnetic head, (6) is the positioning mechanism,
(7) is an unloading motor, (8) is an unloading lever, and (9) is an optical device for measuring flying height. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts.
Claims (1)
上に浮上した磁気ヘッドの浮上高を浮上高測定装置で測
定する磁気ヘッド浮上高測定装置において、 上記ガラス円板上に複数のロード・アンロード・トラッ
クからなるロード・アンロード・トラック位置を定める
手段、 上記手段により定めたロード・アンロード・トラック位
置で１のロード・アンロード・トラックを自由に選択し
該トラック上で磁気ヘッドを上記ガラス円板上に浮上さ
せる手段、磁気ヘッドを浮上させる際には、上記ガラス
円板を定格回転数と異なる回転数で回転させて上記磁気
ヘッドを上記ガラス円板に接近させ、この定格回転数と
異なる回転数で回転させることにより上記ガラス円板と
上記磁気ヘッドとが近接した状態をもって上記手段にで
選択したロード・アンロード・トラック上へ上記磁気ヘ
ッドを位置決めし、この後に上記ガラス円板を定格回転
数で回転させて上記磁気ヘッドをこの位置で浮上させる
手段、浮上高測定後に上記ガラス円板を定格回転数と異
なる回転数で回転させることにより上記手段で選択した
ロード・アンロード・トラック上で上記磁気ヘッドを上
記ガラス円板に近接させ、その後上記ガラス円板から上
記磁気ヘッドを離脱させる手段、 を備えたことを特徴とする磁気ヘッド浮上高測定装置。[Scope of Claims] A magnetic head flying height measurement device that rotates a glass disk for flying height measurement and measures the flying height of a magnetic head levitated on the glass disk by the flying height measurement device, comprising: A means for determining the position of a load/unload track consisting of a plurality of load/unload tracks on a board, and a means for freely selecting one load/unload track at the position of the load/unload track determined by the above means. Means for floating the magnetic head above the glass disk on the track; when floating the magnetic head, the glass disk is rotated at a rotation speed different from the rated rotation speed to move the magnetic head above the glass disk. By rotating the glass disk at a rotation speed different from the rated rotation speed, the magnetic head is positioned on the load/unload track selected by the means with the glass disc and the magnetic head in close proximity to each other. and a means for causing the magnetic head to levitate at this position by rotating the glass disk at a rated rotational speed after this, and a means for rotating the glass disk at a rotational speed different from the rated rotational speed after measuring the flying height. A method for measuring flying height of a magnetic head, comprising means for bringing the magnetic head close to the glass disk on the load/unload track selected in step 1, and then separating the magnetic head from the glass disk. Device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30431289A JPH03165380A (en) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | Device for measuring floating height of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30431289A JPH03165380A (en) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | Device for measuring floating height of magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03165380A true JPH03165380A (en) | 1991-07-17 |
Family
ID=17931513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30431289A Pending JPH03165380A (en) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | Device for measuring floating height of magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03165380A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6744019B2 (en) | 2002-03-13 | 2004-06-01 | K. K. Takegoshi Seisakusho | Electric cooking apparatus |
-
1989
- 1989-11-22 JP JP30431289A patent/JPH03165380A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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