JPH0315702A - 駆動シリンダ用位置検出器 - Google Patents
駆動シリンダ用位置検出器Info
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- JPH0315702A JPH0315702A JP15070489A JP15070489A JPH0315702A JP H0315702 A JPH0315702 A JP H0315702A JP 15070489 A JP15070489 A JP 15070489A JP 15070489 A JP15070489 A JP 15070489A JP H0315702 A JPH0315702 A JP H0315702A
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- magnet film
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- magnet
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
- F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
- F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
- F15B15/2861—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using magnetic means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F15B15/2846—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using detection of markings, e.g. markings on the piston rod
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Actuator (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上のfり用分野」
この発明は、油圧らしくは空気圧によって駆動される駆
動シリンダのシャフトの作動α置を検出する駆動シリン
ダ用位置検出器に関するものであ「従来の技術」 従来、駆動シリンダのシャフトの作動位置を検出する方
法としては、駆動シリンダの固定部に、シャフトと空隙
を隔てて対向するように磁気センサを取り付ける一方、
第7図(イ)および(口)に示すように、シャフトIの
軸線方向に沿って一定ピンチでフエライト(@性酸化物
)系の永久磁石材14 22,・・を埋め込む方法、も
しくは、第8図(イ)および(ロ)に示すように、シャ
フト3全体を金属系永久磁石材料であるF e−C r
−C o(鉄−クロムーコバルト)合金で構威し、この
ソヤフト3の軸線方向に沿って一定ピッチで着磁(正弦
波による磁気記録)を施す方法か知られていた。
動シリンダのシャフトの作動α置を検出する駆動シリン
ダ用位置検出器に関するものであ「従来の技術」 従来、駆動シリンダのシャフトの作動位置を検出する方
法としては、駆動シリンダの固定部に、シャフトと空隙
を隔てて対向するように磁気センサを取り付ける一方、
第7図(イ)および(口)に示すように、シャフトIの
軸線方向に沿って一定ピンチでフエライト(@性酸化物
)系の永久磁石材14 22,・・を埋め込む方法、も
しくは、第8図(イ)および(ロ)に示すように、シャ
フト3全体を金属系永久磁石材料であるF e−C r
−C o(鉄−クロムーコバルト)合金で構威し、この
ソヤフト3の軸線方向に沿って一定ピッチで着磁(正弦
波による磁気記録)を施す方法か知られていた。
「発明が解決しようとする課題」
ところで、上述した第7図に示す方法においては、シャ
フト1に一定ピッチで永久磁石材料22.・・・を埋め
込まなければならないため、機械加工精度の関係からピ
ッチを細かく設定することができず、十分な立置分解能
が得られないという欠点があった。また、第8図に示す
方法においては、ピッチを細かく設定して十分な位置分
解能が得られるものの、シャフト3全体を金属系永久磁
石材料で構成しなければならないため、材料費が高くな
ってしまうという欠点があった。
フト1に一定ピッチで永久磁石材料22.・・・を埋め
込まなければならないため、機械加工精度の関係からピ
ッチを細かく設定することができず、十分な立置分解能
が得られないという欠点があった。また、第8図に示す
方法においては、ピッチを細かく設定して十分な位置分
解能が得られるものの、シャフト3全体を金属系永久磁
石材料で構成しなければならないため、材料費が高くな
ってしまうという欠点があった。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、十分
な位置分解能が得られ、かつ安価に構成することができ
る駆動シリンダ用位置検出器を提供することを目的とし
ている。
な位置分解能が得られ、かつ安価に構成することができ
る駆動シリンダ用位置検出器を提供することを目的とし
ている。
「課題を解決するための手段」
この発明は、駆動シリンダのシャフトの作動位置を検出
する位置検出器において、前記シャフトの表面に被覆さ
れ、該シャフトの軸線方向へ所定ピッチで着磁された高
保磁力を有する磁石膜と、前記駆動シリンダの固定部に
、前記シャフトと空隙を隔てて配置され、前記磁石膜の
周囲の磁束を検出する磁気検出手段とを具備することを
特徴としている。
する位置検出器において、前記シャフトの表面に被覆さ
れ、該シャフトの軸線方向へ所定ピッチで着磁された高
保磁力を有する磁石膜と、前記駆動シリンダの固定部に
、前記シャフトと空隙を隔てて配置され、前記磁石膜の
周囲の磁束を検出する磁気検出手段とを具備することを
特徴としている。
「作用j
上記の構成によれば、シャフトの表面に被覆された磁石
膜に着磁を施すので、着磁ビッチを細かく設定すること
ができ、また材料費を低く抑えることができる。
膜に着磁を施すので、着磁ビッチを細かく設定すること
ができ、また材料費を低く抑えることができる。
「実施例」
以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。
る。
第1図〜第3図はこの発明の第1実施例の構成を示す図
である。まず、第1図において、5は駆動シリンダであ
り、空気圧もしくは油圧によってシャフト6が図面左右
方法へ移動する。7は駆動シリンダ5の端面に取り付け
られ、シャフト6と所定の空隙を隔てて対向する磁気セ
ンサであり、MR(@気抵抗)素子を用いて構成されて
いる。また、シャフト6は、第2図(イ)および(口)
に示すように、シャフト基材8の表面に磁石膜9と保護
膜10が順次形成された構成となっており、磁石膜9に
は、シャフト6の軸線方向に沿って所定ピッチで着磁が
施されている。この場合、第3図に示すように、磁石膜
9の厚さt,=SOμm,保護膜10の厚さt,=5μ
m、シャフト6と磁気センサ7との間の空隙g二!50
μm1着磁ピヅチP=200μmに各々設定されている
。そして、シャフト基材8は磁束の吸収を防ぐために非
磁性を有するオーステナイト系のステンレス鋼によって
構成されている。また、磁石膜9はスパッタリング法に
よって形成されており、十分な磁束が得られるように、
高保磁力を有するサマリウム18%とコバルト82%の
合金であるSm−Co(サマリウムーコバルト)合金膜
によって構成されている。この磁石膜9の厚さ1,は、
十分な磁束が得られるようにIOμm以上であることが
望ましい。また、保護MlOは耐摩耗性と耐腐食性を付
与するためのもので、硬質クロムメッキ膜によって構威
されている。
である。まず、第1図において、5は駆動シリンダであ
り、空気圧もしくは油圧によってシャフト6が図面左右
方法へ移動する。7は駆動シリンダ5の端面に取り付け
られ、シャフト6と所定の空隙を隔てて対向する磁気セ
ンサであり、MR(@気抵抗)素子を用いて構成されて
いる。また、シャフト6は、第2図(イ)および(口)
に示すように、シャフト基材8の表面に磁石膜9と保護
膜10が順次形成された構成となっており、磁石膜9に
は、シャフト6の軸線方向に沿って所定ピッチで着磁が
施されている。この場合、第3図に示すように、磁石膜
9の厚さt,=SOμm,保護膜10の厚さt,=5μ
m、シャフト6と磁気センサ7との間の空隙g二!50
μm1着磁ピヅチP=200μmに各々設定されている
。そして、シャフト基材8は磁束の吸収を防ぐために非
磁性を有するオーステナイト系のステンレス鋼によって
構成されている。また、磁石膜9はスパッタリング法に
よって形成されており、十分な磁束が得られるように、
高保磁力を有するサマリウム18%とコバルト82%の
合金であるSm−Co(サマリウムーコバルト)合金膜
によって構成されている。この磁石膜9の厚さ1,は、
十分な磁束が得られるようにIOμm以上であることが
望ましい。また、保護MlOは耐摩耗性と耐腐食性を付
与するためのもので、硬質クロムメッキ膜によって構威
されている。
ここで、上記磁気センサ7の出力特性について第4図お
よび第5図を参照して説明する。第4図はシャフト6と
の空隙gを100μm1着磁ビツチPを100μmとし
た場合における、シャフト6の移動距離と、センサ出力
電圧との関係を示している。また、第5図は、シャフト
6との間の空隙gとセンサ出力電圧との関係を示してい
る。
よび第5図を参照して説明する。第4図はシャフト6と
の空隙gを100μm1着磁ビツチPを100μmとし
た場合における、シャフト6の移動距離と、センサ出力
電圧との関係を示している。また、第5図は、シャフト
6との間の空隙gとセンサ出力電圧との関係を示してい
る。
以上の構成において、駆動シリンダが駆動され、そのシ
ャフト6が移動すると、磁石膜9の周囲に着磁ピッチP
に対応して生じている磁束が磁気センサ7を順次横切る
ので、磁気センサ7からは第4図と略同様な波形の出力
電圧が得られる。したがって、磁気センサ7の出力電圧
のピーク点やゼロクロス点をカウントすることによって
、基準位置からの移動量を検出することができる。
ャフト6が移動すると、磁石膜9の周囲に着磁ピッチP
に対応して生じている磁束が磁気センサ7を順次横切る
ので、磁気センサ7からは第4図と略同様な波形の出力
電圧が得られる。したがって、磁気センサ7の出力電圧
のピーク点やゼロクロス点をカウントすることによって
、基準位置からの移動量を検出することができる。
次に、この発明の第2実施例について、第6図を参照し
て説明する。この実施例においては、シャフト基材8が
鉄系材料である鋼材によって構成されており、このシャ
フト基材8によって磁束が吸収されるのを防ぐために、
磁石膜9の厚さと同等以上の厚さの非磁性の下地膜II
が形威されている。この場合、下地膜IIは、例えば銅
メッキ膜によって構成されており、シャフト基材8の表
面に下地膜11と磁石膜9と保護膜10が順次形成され
、下地膜l1の厚さt。−60μm1磁石膜9の厚さt
,=60μm,保護膜IOの厚さtt=5μmに各々設
定されている。
て説明する。この実施例においては、シャフト基材8が
鉄系材料である鋼材によって構成されており、このシャ
フト基材8によって磁束が吸収されるのを防ぐために、
磁石膜9の厚さと同等以上の厚さの非磁性の下地膜II
が形威されている。この場合、下地膜IIは、例えば銅
メッキ膜によって構成されており、シャフト基材8の表
面に下地膜11と磁石膜9と保護膜10が順次形成され
、下地膜l1の厚さt。−60μm1磁石膜9の厚さt
,=60μm,保護膜IOの厚さtt=5μmに各々設
定されている。
上述した各実施例によれば、厚さt+−5 0〜60μ
mという極めて薄い膜の磁石膜9に着磁を施廿ばよいの
で、着磁ビッチPを細かく設定することができ、高い位
置分解能が得られ、また、材料費も低く抑えることがで
きる。
mという極めて薄い膜の磁石膜9に着磁を施廿ばよいの
で、着磁ビッチPを細かく設定することができ、高い位
置分解能が得られ、また、材料費も低く抑えることがで
きる。
なお、上述した磁気センサ7としてはホール素子等を用
いて乙よく、また磁石膜9としては高保磁力を有するも
のであれば、例えば、Nd−Fe−B(ネオノムー鉄−
ホウ素)合金等によって構成しても構わない。
いて乙よく、また磁石膜9としては高保磁力を有するも
のであれば、例えば、Nd−Fe−B(ネオノムー鉄−
ホウ素)合金等によって構成しても構わない。
「発明の効果コ
以上説明したように、この発明によれば、駆動シリンダ
のシャフトの表面に高保磁力を有する磁石膜をWl覆し
、シャフトの軸線方向へ所定ピッチで着磁を施すように
したので、着磁ビブチを細かく設定することができ、こ
れにより十分な位置分解能が得られると共に、材料費を
低く抑えることができ、安価に構或することができると
いう効果が得られる。
のシャフトの表面に高保磁力を有する磁石膜をWl覆し
、シャフトの軸線方向へ所定ピッチで着磁を施すように
したので、着磁ビブチを細かく設定することができ、こ
れにより十分な位置分解能が得られると共に、材料費を
低く抑えることができ、安価に構或することができると
いう効果が得られる。
第1図はこの発明の第1実施例の全体構戊を示す一郎切
欠正面図、第2図(イ)および(口)は同実施例のシャ
フトの構成を示す一部切欠正面図および側面図、第3図
は同実施例の各部の寸法を説明するための図、第4図お
よび第5図は同実施例の磁気センサの出力特性を示すグ
ラフ、第6図はこの発明の第2実施例の各部の寸法を説
明するための図、第7図(イ)および(ロ)は従来の駆
動ノリンダ用位置検出器のシャフトの構戊を示す正面図
および側面図、第8図(イ)および(口)は従来の駆動
シ・リング用位置検出器のシャフトの構戊を示す正面図
および側面図である。 6・・・・・・シャフト、 7・・・・・・磁気センサ(磁気検出手段)、8・・・
・・・シャフト基材、9・・・・・・磁石膜、lO・・
・・・・保護膜、II ・・・・・下地膜。
欠正面図、第2図(イ)および(口)は同実施例のシャ
フトの構成を示す一部切欠正面図および側面図、第3図
は同実施例の各部の寸法を説明するための図、第4図お
よび第5図は同実施例の磁気センサの出力特性を示すグ
ラフ、第6図はこの発明の第2実施例の各部の寸法を説
明するための図、第7図(イ)および(ロ)は従来の駆
動ノリンダ用位置検出器のシャフトの構戊を示す正面図
および側面図、第8図(イ)および(口)は従来の駆動
シ・リング用位置検出器のシャフトの構戊を示す正面図
および側面図である。 6・・・・・・シャフト、 7・・・・・・磁気センサ(磁気検出手段)、8・・・
・・・シャフト基材、9・・・・・・磁石膜、lO・・
・・・・保護膜、II ・・・・・下地膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 駆動シリンダのシャフトの作動位置を検出する位置検出
器において、 前記シャフトの表面に被覆され、該シャフトの軸線方向
へ所定ピッチで着磁された高保磁力を有する磁石膜と、 前記駆動シリンダの固定部に、前記シャフトと空隙を隔
てて配置され、前記磁石膜の周囲の磁束を検出する磁気
検出手段と、 を具備することを特徴とする駆動シリンダ用位置検出器
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15070489A JPH0315702A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 駆動シリンダ用位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15070489A JPH0315702A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 駆動シリンダ用位置検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0315702A true JPH0315702A (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=15502593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15070489A Pending JPH0315702A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 駆動シリンダ用位置検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0315702A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0685927U (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-13 | 日本トムソン株式会社 | スプライン軸受 |
JP2006525529A (ja) * | 2003-05-06 | 2006-11-09 | エスアールアイ インターナショナル | ピストンロッド位置情報をピストンロッド上の磁性層に記録するシステム及び方法 |
JP2008536145A (ja) * | 2005-04-13 | 2008-09-04 | エスアールアイ インターナショナル | 移動する構成要素の位置を磁気的に感知するシステムおよび方法 |
US8970208B2 (en) | 2010-02-11 | 2015-03-03 | Sri International | Displacement measurement system and method using magnetic encodings |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15070489A patent/JPH0315702A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0685927U (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-13 | 日本トムソン株式会社 | スプライン軸受 |
JP2006525529A (ja) * | 2003-05-06 | 2006-11-09 | エスアールアイ インターナショナル | ピストンロッド位置情報をピストンロッド上の磁性層に記録するシステム及び方法 |
US7737685B2 (en) | 2003-05-06 | 2010-06-15 | Sri International | Compositions for a magnetically hard layer on a piston rod |
JP2011095269A (ja) * | 2003-05-06 | 2011-05-12 | Sri Internatl | ピストンロッド位置情報をピストンロッド上の磁性層に記録するシステム及び方法 |
JP2008536145A (ja) * | 2005-04-13 | 2008-09-04 | エスアールアイ インターナショナル | 移動する構成要素の位置を磁気的に感知するシステムおよび方法 |
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US8970208B2 (en) | 2010-02-11 | 2015-03-03 | Sri International | Displacement measurement system and method using magnetic encodings |
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