JPH0315702A - 駆動シリンダ用位置検出器 - Google Patents
駆動シリンダ用位置検出器Info
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- JPH0315702A JPH0315702A JP15070489A JP15070489A JPH0315702A JP H0315702 A JPH0315702 A JP H0315702A JP 15070489 A JP15070489 A JP 15070489A JP 15070489 A JP15070489 A JP 15070489A JP H0315702 A JPH0315702 A JP H0315702A
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- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 17
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229910000521 B alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017060 Fe Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002544 Fe-Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- WBWJXRJARNTNBL-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Cr].[Co] Chemical compound [Fe].[Cr].[Co] WBWJXRJARNTNBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N chromium iron Chemical compound [Cr].[Fe] UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N cobalt samarium Chemical compound [Co].[Sm] KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N samarium atom Chemical compound [Sm] KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000938 samarium–cobalt magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
- F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
- F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
- F15B15/2861—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using magnetic means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
- F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
- F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
- F15B15/2846—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using detection of markings, e.g. markings on the piston rod
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Fluid Mechanics (AREA)
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- Actuator (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上のｆり用分野」
この発明は、油圧らしくは空気圧によって駆動される駆
動シリンダのシャフトの作動α置を検出する駆動シリン
ダ用位置検出器に関するものであ「従来の技術」 従来、駆動シリンダのシャフトの作動位置を検出する方
法としては、駆動シリンダの固定部に、シャフトと空隙
を隔てて対向するように磁気センサを取り付ける一方、
第７図（イ）および（口）に示すように、シャフトＩの
軸線方向に沿って一定ピンチでフエライト（＠性酸化物
）系の永久磁石材１４ ２２，・・を埋め込む方法、も
しくは、第８図（イ）および（ロ）に示すように、シャ
フト３全体を金属系永久磁石材料であるＦ ｅ−Ｃ ｒ
−Ｃ ｏ（鉄−クロムーコバルト）合金で構威し、この
ソヤフト３の軸線方向に沿って一定ピッチで着磁（正弦
波による磁気記録）を施す方法か知られていた。
動シリンダのシャフトの作動α置を検出する駆動シリン
ダ用位置検出器に関するものであ「従来の技術」 従来、駆動シリンダのシャフトの作動位置を検出する方
法としては、駆動シリンダの固定部に、シャフトと空隙
を隔てて対向するように磁気センサを取り付ける一方、
第７図（イ）および（口）に示すように、シャフトＩの
軸線方向に沿って一定ピンチでフエライト（＠性酸化物
）系の永久磁石材１４ ２２，・・を埋め込む方法、も
しくは、第８図（イ）および（ロ）に示すように、シャ
フト３全体を金属系永久磁石材料であるＦ ｅ−Ｃ ｒ
−Ｃ ｏ（鉄−クロムーコバルト）合金で構威し、この
ソヤフト３の軸線方向に沿って一定ピッチで着磁（正弦
波による磁気記録）を施す方法か知られていた。
「発明が解決しようとする課題」
ところで、上述した第７図に示す方法においては、シャ
フト１に一定ピッチで永久磁石材料２２．・・・を埋め
込まなければならないため、機械加工精度の関係からピ
ッチを細かく設定することができず、十分な立置分解能
が得られないという欠点があった。また、第８図に示す
方法においては、ピッチを細かく設定して十分な位置分
解能が得られるものの、シャフト３全体を金属系永久磁
石材料で構成しなければならないため、材料費が高くな
ってしまうという欠点があった。
フト１に一定ピッチで永久磁石材料２２．・・・を埋め
込まなければならないため、機械加工精度の関係からピ
ッチを細かく設定することができず、十分な立置分解能
が得られないという欠点があった。また、第８図に示す
方法においては、ピッチを細かく設定して十分な位置分
解能が得られるものの、シャフト３全体を金属系永久磁
石材料で構成しなければならないため、材料費が高くな
ってしまうという欠点があった。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、十分
な位置分解能が得られ、かつ安価に構成することができ
る駆動シリンダ用位置検出器を提供することを目的とし
ている。
な位置分解能が得られ、かつ安価に構成することができ
る駆動シリンダ用位置検出器を提供することを目的とし
ている。
「課題を解決するための手段」
この発明は、駆動シリンダのシャフトの作動位置を検出
する位置検出器において、前記シャフトの表面に被覆さ
れ、該シャフトの軸線方向へ所定ピッチで着磁された高
保磁力を有する磁石膜と、前記駆動シリンダの固定部に
、前記シャフトと空隙を隔てて配置され、前記磁石膜の
周囲の磁束を検出する磁気検出手段とを具備することを
特徴としている。
する位置検出器において、前記シャフトの表面に被覆さ
れ、該シャフトの軸線方向へ所定ピッチで着磁された高
保磁力を有する磁石膜と、前記駆動シリンダの固定部に
、前記シャフトと空隙を隔てて配置され、前記磁石膜の
周囲の磁束を検出する磁気検出手段とを具備することを
特徴としている。
「作用ｊ
上記の構成によれば、シャフトの表面に被覆された磁石
膜に着磁を施すので、着磁ビッチを細かく設定すること
ができ、また材料費を低く抑えることができる。
膜に着磁を施すので、着磁ビッチを細かく設定すること
ができ、また材料費を低く抑えることができる。
「実施例」
以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。
る。
第１図〜第３図はこの発明の第１実施例の構成を示す図
である。まず、第１図において、５は駆動シリンダであ
り、空気圧もしくは油圧によってシャフト６が図面左右
方法へ移動する。７は駆動シリンダ５の端面に取り付け
られ、シャフト６と所定の空隙を隔てて対向する磁気セ
ンサであり、ＭＲ（＠気抵抗）素子を用いて構成されて
いる。また、シャフト６は、第２図（イ）および（口）
に示すように、シャフト基材８の表面に磁石膜９と保護
膜１０が順次形成された構成となっており、磁石膜９に
は、シャフト６の軸線方向に沿って所定ピッチで着磁が
施されている。この場合、第３図に示すように、磁石膜
９の厚さｔ，＝ＳＯμｍ，保護膜１０の厚さｔ，＝５μ
ｍ、シャフト６と磁気センサ７との間の空隙ｇ二！５０
μｍ１着磁ピヅチＰ＝２００μｍに各々設定されている
。そして、シャフト基材８は磁束の吸収を防ぐために非
磁性を有するオーステナイト系のステンレス鋼によって
構成されている。また、磁石膜９はスパッタリング法に
よって形成されており、十分な磁束が得られるように、
高保磁力を有するサマリウム１８％とコバルト８２％の
合金であるＳｍ−Ｃｏ（サマリウムーコバルト）合金膜
によって構成されている。この磁石膜９の厚さ１，は、
十分な磁束が得られるようにＩＯμｍ以上であることが
望ましい。また、保護ＭｌＯは耐摩耗性と耐腐食性を付
与するためのもので、硬質クロムメッキ膜によって構威
されている。
である。まず、第１図において、５は駆動シリンダであ
り、空気圧もしくは油圧によってシャフト６が図面左右
方法へ移動する。７は駆動シリンダ５の端面に取り付け
られ、シャフト６と所定の空隙を隔てて対向する磁気セ
ンサであり、ＭＲ（＠気抵抗）素子を用いて構成されて
いる。また、シャフト６は、第２図（イ）および（口）
に示すように、シャフト基材８の表面に磁石膜９と保護
膜１０が順次形成された構成となっており、磁石膜９に
は、シャフト６の軸線方向に沿って所定ピッチで着磁が
施されている。この場合、第３図に示すように、磁石膜
９の厚さｔ，＝ＳＯμｍ，保護膜１０の厚さｔ，＝５μ
ｍ、シャフト６と磁気センサ７との間の空隙ｇ二！５０
μｍ１着磁ピヅチＰ＝２００μｍに各々設定されている
。そして、シャフト基材８は磁束の吸収を防ぐために非
磁性を有するオーステナイト系のステンレス鋼によって
構成されている。また、磁石膜９はスパッタリング法に
よって形成されており、十分な磁束が得られるように、
高保磁力を有するサマリウム１８％とコバルト８２％の
合金であるＳｍ−Ｃｏ（サマリウムーコバルト）合金膜
によって構成されている。この磁石膜９の厚さ１，は、
十分な磁束が得られるようにＩＯμｍ以上であることが
望ましい。また、保護ＭｌＯは耐摩耗性と耐腐食性を付
与するためのもので、硬質クロムメッキ膜によって構威
されている。
ここで、上記磁気センサ７の出力特性について第４図お
よび第５図を参照して説明する。第４図はシャフト６と
の空隙ｇを１００μｍ１着磁ビツチＰを１００μｍとし
た場合における、シャフト６の移動距離と、センサ出力
電圧との関係を示している。また、第５図は、シャフト
６との間の空隙ｇとセンサ出力電圧との関係を示してい
る。
よび第５図を参照して説明する。第４図はシャフト６と
の空隙ｇを１００μｍ１着磁ビツチＰを１００μｍとし
た場合における、シャフト６の移動距離と、センサ出力
電圧との関係を示している。また、第５図は、シャフト
６との間の空隙ｇとセンサ出力電圧との関係を示してい
る。
以上の構成において、駆動シリンダが駆動され、そのシ
ャフト６が移動すると、磁石膜９の周囲に着磁ピッチＰ
に対応して生じている磁束が磁気センサ７を順次横切る
ので、磁気センサ７からは第４図と略同様な波形の出力
電圧が得られる。したがって、磁気センサ７の出力電圧
のピーク点やゼロクロス点をカウントすることによって
、基準位置からの移動量を検出することができる。
ャフト６が移動すると、磁石膜９の周囲に着磁ピッチＰ
に対応して生じている磁束が磁気センサ７を順次横切る
ので、磁気センサ７からは第４図と略同様な波形の出力
電圧が得られる。したがって、磁気センサ７の出力電圧
のピーク点やゼロクロス点をカウントすることによって
、基準位置からの移動量を検出することができる。
次に、この発明の第２実施例について、第６図を参照し
て説明する。この実施例においては、シャフト基材８が
鉄系材料である鋼材によって構成されており、このシャ
フト基材８によって磁束が吸収されるのを防ぐために、
磁石膜９の厚さと同等以上の厚さの非磁性の下地膜ＩＩ
が形威されている。この場合、下地膜ＩＩは、例えば銅
メッキ膜によって構成されており、シャフト基材８の表
面に下地膜１１と磁石膜９と保護膜１０が順次形成され
、下地膜ｌ１の厚さｔ。−６０μｍ１磁石膜９の厚さｔ
，＝６０μｍ，保護膜ＩＯの厚さｔｔ＝５μｍに各々設
定されている。
て説明する。この実施例においては、シャフト基材８が
鉄系材料である鋼材によって構成されており、このシャ
フト基材８によって磁束が吸収されるのを防ぐために、
磁石膜９の厚さと同等以上の厚さの非磁性の下地膜ＩＩ
が形威されている。この場合、下地膜ＩＩは、例えば銅
メッキ膜によって構成されており、シャフト基材８の表
面に下地膜１１と磁石膜９と保護膜１０が順次形成され
、下地膜ｌ１の厚さｔ。−６０μｍ１磁石膜９の厚さｔ
，＝６０μｍ，保護膜ＩＯの厚さｔｔ＝５μｍに各々設
定されている。
上述した各実施例によれば、厚さｔ＋−５ ０〜６０μ
ｍという極めて薄い膜の磁石膜９に着磁を施廿ばよいの
で、着磁ビッチＰを細かく設定することができ、高い位
置分解能が得られ、また、材料費も低く抑えることがで
きる。
ｍという極めて薄い膜の磁石膜９に着磁を施廿ばよいの
で、着磁ビッチＰを細かく設定することができ、高い位
置分解能が得られ、また、材料費も低く抑えることがで
きる。
なお、上述した磁気センサ７としてはホール素子等を用
いて乙よく、また磁石膜９としては高保磁力を有するも
のであれば、例えば、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ（ネオノムー鉄−
ホウ素）合金等によって構成しても構わない。
いて乙よく、また磁石膜９としては高保磁力を有するも
のであれば、例えば、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ（ネオノムー鉄−
ホウ素）合金等によって構成しても構わない。
「発明の効果コ
以上説明したように、この発明によれば、駆動シリンダ
のシャフトの表面に高保磁力を有する磁石膜をＷｌ覆し
、シャフトの軸線方向へ所定ピッチで着磁を施すように
したので、着磁ビブチを細かく設定することができ、こ
れにより十分な位置分解能が得られると共に、材料費を
低く抑えることができ、安価に構或することができると
いう効果が得られる。
のシャフトの表面に高保磁力を有する磁石膜をＷｌ覆し
、シャフトの軸線方向へ所定ピッチで着磁を施すように
したので、着磁ビブチを細かく設定することができ、こ
れにより十分な位置分解能が得られると共に、材料費を
低く抑えることができ、安価に構或することができると
いう効果が得られる。
第１図はこの発明の第１実施例の全体構戊を示す一郎切
欠正面図、第２図（イ）および（口）は同実施例のシャ
フトの構成を示す一部切欠正面図および側面図、第３図
は同実施例の各部の寸法を説明するための図、第４図お
よび第５図は同実施例の磁気センサの出力特性を示すグ
ラフ、第６図はこの発明の第２実施例の各部の寸法を説
明するための図、第７図（イ）および（ロ）は従来の駆
動ノリンダ用位置検出器のシャフトの構戊を示す正面図
および側面図、第８図（イ）および（口）は従来の駆動
シ・リング用位置検出器のシャフトの構戊を示す正面図
および側面図である。 ６・・・・・・シャフト、 ７・・・・・・磁気センサ（磁気検出手段）、８・・・
・・・シャフト基材、９・・・・・・磁石膜、ｌＯ・・
・・・・保護膜、ＩＩ ・・・・・下地膜。
欠正面図、第２図（イ）および（口）は同実施例のシャ
フトの構成を示す一部切欠正面図および側面図、第３図
は同実施例の各部の寸法を説明するための図、第４図お
よび第５図は同実施例の磁気センサの出力特性を示すグ
ラフ、第６図はこの発明の第２実施例の各部の寸法を説
明するための図、第７図（イ）および（ロ）は従来の駆
動ノリンダ用位置検出器のシャフトの構戊を示す正面図
および側面図、第８図（イ）および（口）は従来の駆動
シ・リング用位置検出器のシャフトの構戊を示す正面図
および側面図である。 ６・・・・・・シャフト、 ７・・・・・・磁気センサ（磁気検出手段）、８・・・
・・・シャフト基材、９・・・・・・磁石膜、ｌＯ・・
・・・・保護膜、ＩＩ ・・・・・下地膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 駆動シリンダのシャフトの作動位置を検出する位置検出
器において、 前記シャフトの表面に被覆され、該シャフトの軸線方向
へ所定ピッチで着磁された高保磁力を有する磁石膜と、 前記駆動シリンダの固定部に、前記シャフトと空隙を隔
てて配置され、前記磁石膜の周囲の磁束を検出する磁気
検出手段と、 を具備することを特徴とする駆動シリンダ用位置検出器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15070489A JPH0315702A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 駆動シリンダ用位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15070489A JPH0315702A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 駆動シリンダ用位置検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0315702A true JPH0315702A (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=15502593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15070489A Pending JPH0315702A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 駆動シリンダ用位置検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0315702A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0685927U (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-13 | 日本トムソン株式会社 | スプライン軸受 |
| JP2006525529A (ja) * | 2003-05-06 | 2006-11-09 | エスアールアイ インターナショナル | ピストンロッド位置情報をピストンロッド上の磁性層に記録するシステム及び方法 |
| JP2008536145A (ja) * | 2005-04-13 | 2008-09-04 | エスアールアイ インターナショナル | 移動する構成要素の位置を磁気的に感知するシステムおよび方法 |
| US8970208B2 (en) | 2010-02-11 | 2015-03-03 | Sri International | Displacement measurement system and method using magnetic encodings |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15070489A patent/JPH0315702A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0685927U (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-13 | 日本トムソン株式会社 | スプライン軸受 |
| JP2006525529A (ja) * | 2003-05-06 | 2006-11-09 | エスアールアイ インターナショナル | ピストンロッド位置情報をピストンロッド上の磁性層に記録するシステム及び方法 |
| US7737685B2 (en) | 2003-05-06 | 2010-06-15 | Sri International | Compositions for a magnetically hard layer on a piston rod |
| JP2011095269A (ja) * | 2003-05-06 | 2011-05-12 | Sri Internatl | ピストンロッド位置情報をピストンロッド上の磁性層に記録するシステム及び方法 |
| JP2008536145A (ja) * | 2005-04-13 | 2008-09-04 | エスアールアイ インターナショナル | 移動する構成要素の位置を磁気的に感知するシステムおよび方法 |
| US7755350B2 (en) | 2005-04-13 | 2010-07-13 | Sri International | System and method of perpendicularly magnetizing position information in a magnetically hard layer of a moving component |
| US8970208B2 (en) | 2010-02-11 | 2015-03-03 | Sri International | Displacement measurement system and method using magnetic encodings |
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