JPH03154018A - 色消しレーザ走査光学系 - Google Patents
色消しレーザ走査光学系Info
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- JPH03154018A JPH03154018A JP29419289A JP29419289A JPH03154018A JP H03154018 A JPH03154018 A JP H03154018A JP 29419289 A JP29419289 A JP 29419289A JP 29419289 A JP29419289 A JP 29419289A JP H03154018 A JPH03154018 A JP H03154018A
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- lens
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 42
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はレーザビームプリンタなどに用いられるレーザ
走査光学系に間し、特に、半導体レーザなどを光源とし
て高解像を目的とした色消しレーザ走査光学系に関する
。
走査光学系に間し、特に、半導体レーザなどを光源とし
て高解像を目的とした色消しレーザ走査光学系に関する
。
〔従来の技術1
第6図は(a)、(b)はレーザ走査光学系の一般的な
構成を示す、同図において、半導体レーザ1を発したレ
ーザ光束はコリメータレンズ2により平行光束とされ、
この平行光束は副走査方向(走査ビームが経時的に形成
する主走査面に垂直な方向であり、ここでは第6図(a
)において、紙面に垂直な方向)にのみパワーを有する
シリンドリカルレンズ3によりポリゴンミラー4の反射
鏡面上に線状に結像された後1反肘、偏向されてトーリ
ックレンズを含む走査レンズ系5によって感光ドラム6
上にスポット状に結像される。
構成を示す、同図において、半導体レーザ1を発したレ
ーザ光束はコリメータレンズ2により平行光束とされ、
この平行光束は副走査方向(走査ビームが経時的に形成
する主走査面に垂直な方向であり、ここでは第6図(a
)において、紙面に垂直な方向)にのみパワーを有する
シリンドリカルレンズ3によりポリゴンミラー4の反射
鏡面上に線状に結像された後1反肘、偏向されてトーリ
ックレンズを含む走査レンズ系5によって感光ドラム6
上にスポット状に結像される。
ところで、半導体レーザlの性質として。
温度等の環境変化により発振光の波長が変動することが
知られている0例えば、波長780nmの半導体レーザ
では、温度範囲一40C〜60°Cにおいて±20nm
程度の変動がある。この波長変動につれて色収差によリ
レーザ走査光学系の像面位置も変動してしまう、結像ス
ポット径があまり小さくなく、走査レンズ系5のFナン
バーの大きいレーザ走査光学系では、良好なスポットの
得られる範囲(焦点深度)が広いので、レーザ波長の変
動による像面の移動は無視できる程度である。
知られている0例えば、波長780nmの半導体レーザ
では、温度範囲一40C〜60°Cにおいて±20nm
程度の変動がある。この波長変動につれて色収差によリ
レーザ走査光学系の像面位置も変動してしまう、結像ス
ポット径があまり小さくなく、走査レンズ系5のFナン
バーの大きいレーザ走査光学系では、良好なスポットの
得られる範囲(焦点深度)が広いので、レーザ波長の変
動による像面の移動は無視できる程度である。
しかし、より微小なスポットを形成するようにしたレー
ザ走査光学系では、走査レンズ5のFナンバーも35以
下と小さ(焦点深度が浅いので、上記の像面変動によっ
て焦点深度の範囲から感光ドラム面5が外れてしまい所
望のスポットが得られなくなる1例えば、波長780n
mの半導体レーザを用いた時に50um以下のスポット
径を目的とした第7図に示す様な走査レンズ15を有す
るレーザ走査光学系では、焦点深度は±1mm程度とな
り、これに対して、半導体レーザlの波長が±20μm
変動すると像面位置は±0.8mm程移動してしまう。
ザ走査光学系では、走査レンズ5のFナンバーも35以
下と小さ(焦点深度が浅いので、上記の像面変動によっ
て焦点深度の範囲から感光ドラム面5が外れてしまい所
望のスポットが得られなくなる1例えば、波長780n
mの半導体レーザを用いた時に50um以下のスポット
径を目的とした第7図に示す様な走査レンズ15を有す
るレーザ走査光学系では、焦点深度は±1mm程度とな
り、これに対して、半導体レーザlの波長が±20μm
変動すると像面位置は±0.8mm程移動してしまう。
この様子を後に示す表6のデータで示す第7図の走査レ
ンズ15と表7のデータで示す第8図の単一レンズから
成るシリンドリカルレンズ13を組み合わせた場合で調
べてみると(表6、表7の符号については、表1等の符
号の説明(後述)を参照)、第9図(a)(b)に示す
如く、主走査面、副走査面において、±20nmの波長
変動により像面位置が相当変動する。
ンズ15と表7のデータで示す第8図の単一レンズから
成るシリンドリカルレンズ13を組み合わせた場合で調
べてみると(表6、表7の符号については、表1等の符
号の説明(後述)を参照)、第9図(a)(b)に示す
如く、主走査面、副走査面において、±20nmの波長
変動により像面位置が相当変動する。
従って、波長変動による1響が焦点深度内に収まる様に
する為には、レーザ走査光学系を感光ドラム6に対して
±0.2mmの位置精度で取り付ける必要があり、加工
精度が厳しくなってコスト的に非常に高いものとなる、
そこで、上記波長変動の影響を小さくする為に、レーザ
スポットの集光状態を検出するセンサーからの信号に基
づいてコリメータレンズ系の一部を駆動して像面位置調
整をしたり(オートフォーカス)、コリメータレンズ2
と走査レンズ5の色収差が打ち消し合う様にして走査系
全体の色収差を補正する等の方法が提案されている。
する為には、レーザ走査光学系を感光ドラム6に対して
±0.2mmの位置精度で取り付ける必要があり、加工
精度が厳しくなってコスト的に非常に高いものとなる、
そこで、上記波長変動の影響を小さくする為に、レーザ
スポットの集光状態を検出するセンサーからの信号に基
づいてコリメータレンズ系の一部を駆動して像面位置調
整をしたり(オートフォーカス)、コリメータレンズ2
と走査レンズ5の色収差が打ち消し合う様にして走査系
全体の色収差を補正する等の方法が提案されている。
[発明が解決しようとする課題]
しかし乍ら、上記オートフォーカスの方法は構成が複雑
になって装置全体が高価になってしまう、一方、後者の
例はこうした欠点はないが1次の様な問題がある。
になって装置全体が高価になってしまう、一方、後者の
例はこうした欠点はないが1次の様な問題がある。
走査レンズ5にトーリックレンズ等のアナモフィック光
学系を含んで倒れ補正光学系(偏向器であるポリゴンミ
ラーなどの偏向反射面が倒れても走査光束が被照射体上
の同一走査線上に結像される様にする光学系)となって
いる場合、主走査面と副走査面(レンズの光軸を含み主
走査面に垂直な面)において色収差が異なるので両方の
面での色収差を同時に取り切れないことになる0例えば
、表6の走査レンズ15(第7図)と表7の単一レンズ
から成るシリンドリカルレンズ13(第8図)を組み合
わせ、コリメータレンズとして後述の表3のコリメータ
レンズ(第3図(a))を用いた場合の波長変動による
像面位置の変動の様子を第10図(a)、(b)に示す
、主走査面では(第10図(a))、像面の移動は殆ど
ないが、副走査面では(第1O図(b))、像面の移動
の補正は充分になされていないことが分かる。
学系を含んで倒れ補正光学系(偏向器であるポリゴンミ
ラーなどの偏向反射面が倒れても走査光束が被照射体上
の同一走査線上に結像される様にする光学系)となって
いる場合、主走査面と副走査面(レンズの光軸を含み主
走査面に垂直な面)において色収差が異なるので両方の
面での色収差を同時に取り切れないことになる0例えば
、表6の走査レンズ15(第7図)と表7の単一レンズ
から成るシリンドリカルレンズ13(第8図)を組み合
わせ、コリメータレンズとして後述の表3のコリメータ
レンズ(第3図(a))を用いた場合の波長変動による
像面位置の変動の様子を第10図(a)、(b)に示す
、主走査面では(第10図(a))、像面の移動は殆ど
ないが、副走査面では(第1O図(b))、像面の移動
の補正は充分になされていないことが分かる。
従って、本発明の目的は、上記問題点に鑑み、波長変動
による主走査面及び副走査面における像面位置の変動を
共に補正することができる構成を持つ色消しレーザ走査
光学系を提供することにある。
による主走査面及び副走査面における像面位置の変動を
共に補正することができる構成を持つ色消しレーザ走査
光学系を提供することにある。
[課題を解決する為の手段]
上記目的を達成する為の本発明においては、レーザ光源
、コリメータレンズ、副走査方向にパワーを有するシリ
ンドリカルレンズ、走査レンズを含む走査光学系全体と
して、レーザ光源からの光の波長変動による主走査面に
おける像面位置の変動及び副走査面における像面位置の
変動が補正されるようになっている。
、コリメータレンズ、副走査方向にパワーを有するシリ
ンドリカルレンズ、走査レンズを含む走査光学系全体と
して、レーザ光源からの光の波長変動による主走査面に
おける像面位置の変動及び副走査面における像面位置の
変動が補正されるようになっている。
より具体的には、コリメータレンズとポリゴンミラーな
どの偏向器との間のシリンドリカルレンズを2枚以上の
構成にしている。
どの偏向器との間のシリンドリカルレンズを2枚以上の
構成にしている。
[作用J
上記構成の本発明によるレーザ走査光学系では、コリメ
ータレンズと走査レンズとに加えてシリンドリカルレン
ズをも含んだ走査光学系全体として、波長変動による像
面位置の変動を補正しようとしているので、主走査面及
び副走査面における像面位置の変動を共に充分に補正す
ることができる。
ータレンズと走査レンズとに加えてシリンドリカルレン
ズをも含んだ走査光学系全体として、波長変動による像
面位置の変動を補正しようとしているので、主走査面及
び副走査面における像面位置の変動を共に充分に補正す
ることができる。
主走査面における波長変動による像面の移動を補正する
レーザ走査光学系の構成としては、レーザ光源とシリン
ドリカルレンズの間のコリメーターレンズに工夫を施す
のが好ましく、副走査面における波長変動による像面の
移動を補正するレーザ走査光学系の構成としては、コリ
メーターレンズと偏向器の間のシリンドリカルレンズに
工夫を施すのがよい[実施例] 第1図は基本構成としては第6図と同じ構成を持つ走査
光字系に用いられるコリメータレンズ7とシリンドリカ
ルレンズ8を示し。
レーザ走査光学系の構成としては、レーザ光源とシリン
ドリカルレンズの間のコリメーターレンズに工夫を施す
のが好ましく、副走査面における波長変動による像面の
移動を補正するレーザ走査光学系の構成としては、コリ
メーターレンズと偏向器の間のシリンドリカルレンズに
工夫を施すのがよい[実施例] 第1図は基本構成としては第6図と同じ構成を持つ走査
光字系に用いられるコリメータレンズ7とシリンドリカ
ルレンズ8を示し。
第1図(a)はコリメータレンズ7を、第1図(b)は
シリンドリカルレンズ8の副走査面における断面を示す
。図示右側がレーザ光源側である。
シリンドリカルレンズ8の副走査面における断面を示す
。図示右側がレーザ光源側である。
コリメータレンズ7は凸凹の2枚のレンズ7a、7bで
構成されており、シリンドリカルレンズ8は共に副走査
方向にのみパワーを持つ凸凹の2枚のシリンドリカルレ
ンズ8a、8bで構成されている。
構成されており、シリンドリカルレンズ8は共に副走査
方向にのみパワーを持つ凸凹の2枚のシリンドリカルレ
ンズ8a、8bで構成されている。
第り図(a)、(b)の構成で、表6の走査レンズ15
(第7図)に合わせて設計したコリメータレンズ7とシ
リンドリカルレンズ8の例を表1及び表2に示す。
(第7図)に合わせて設計したコリメータレンズ7とシ
リンドリカルレンズ8の例を表1及び表2に示す。
尚、各表においてs r+ b d+ + nlは光源
側から数えて第i番目のレンズ面の曲率半径、第i番目
のレンズ面から第i+1番目のレンズ面までの面間隔、
第i番目のレンズ面の後側の媒質の屈折率を夫々示す。
側から数えて第i番目のレンズ面の曲率半径、第i番目
のレンズ面から第i+1番目のレンズ面までの面間隔、
第i番目のレンズ面の後側の媒質の屈折率を夫々示す。
表土
波長780nm
r l= 132 、 18062
d+ =2.00 nl =l、51072r z
= 4 、 97103 dz =0− 1 ns = 1 (空気)r 3
= 4 、 97468 ds =5.00 n−=1.76591r、=−6
,77860 f(焦点距離)=23.2 F、o(Fナンバー)=4 波長780nm r上、=−16,967Or、、、:■di =2.
00 ns =l 、 51072r上a =
−5,67111r z a=ωaa=o n
5=1(空気) r上y =−5,67111r t=■d、=2.
00 nt =1. 76591r上@ =−9
,30761r ++ a=(1)(ただしr上は副走
査面における曲率半径r11は主走査面における曲率半
径) 表1、表の設計例を表6の走査レンズ15(第7図)と
共に用いた場合において、レーザ光束の波長が変動した
ときの像面の位置の変動を第2図に示す、第2図(a)
は主走査面における様子、第2図(b)は副走査面にお
ける様子を示す。
= 4 、 97103 dz =0− 1 ns = 1 (空気)r 3
= 4 、 97468 ds =5.00 n−=1.76591r、=−6
,77860 f(焦点距離)=23.2 F、o(Fナンバー)=4 波長780nm r上、=−16,967Or、、、:■di =2.
00 ns =l 、 51072r上a =
−5,67111r z a=ωaa=o n
5=1(空気) r上y =−5,67111r t=■d、=2.
00 nt =1. 76591r上@ =−9
,30761r ++ a=(1)(ただしr上は副走
査面における曲率半径r11は主走査面における曲率半
径) 表1、表の設計例を表6の走査レンズ15(第7図)と
共に用いた場合において、レーザ光束の波長が変動した
ときの像面の位置の変動を第2図に示す、第2図(a)
は主走査面における様子、第2図(b)は副走査面にお
ける様子を示す。
この場合、コリメータレンズ7を2枚構成とすると共に
このコリメータレンズ7とポリゴンミラー4の間のシリ
ンドリカルレンズ8も2枚構成としているので、第2図
に示す様に、主走査面及び副走査面共に、波長変動によ
る像面位置変動に対する影響が小さ(なっている。
このコリメータレンズ7とポリゴンミラー4の間のシリ
ンドリカルレンズ8も2枚構成としているので、第2図
に示す様に、主走査面及び副走査面共に、波長変動によ
る像面位置変動に対する影響が小さ(なっている。
第3図は第2実施例を示す。第3図(a)はコリメータ
レンズ9を示し、第3図(b)はシリンドリカルレンズ
10の副走査面における断面を示す。図中、右側がレー
ザ光源側である。
レンズ9を示し、第3図(b)はシリンドリカルレンズ
10の副走査面における断面を示す。図中、右側がレー
ザ光源側である。
コリメータレンズは凸凹凸の3枚のレンズ9a、9b、
9cで構成され、特に凸レンズ9a、9Cの一方には非
球面レンズを用いているので球面収差の補正が良好にで
きるシリンドリカルレンズIOは第1実施例と同じ(凸
凹のレンズ10a、1obll成となっている。このレ
ンズ構成では、コリメータレンズ9の凹凸貼り合わせレ
ンズ9b、9cを光軸方向に移動することで主走査面で
の像面位置の調整ができ、シリンドリカルレンズ10を
光軸方向に移動させることで副走査面での像面位置の調
整ができる。従って、走査光学系の位置加工精度がさほ
ど厳しくなくなる。
9cで構成され、特に凸レンズ9a、9Cの一方には非
球面レンズを用いているので球面収差の補正が良好にで
きるシリンドリカルレンズIOは第1実施例と同じ(凸
凹のレンズ10a、1obll成となっている。このレ
ンズ構成では、コリメータレンズ9の凹凸貼り合わせレ
ンズ9b、9cを光軸方向に移動することで主走査面で
の像面位置の調整ができ、シリンドリカルレンズ10を
光軸方向に移動させることで副走査面での像面位置の調
整ができる。従って、走査光学系の位置加工精度がさほ
ど厳しくなくなる。
第2図(a)、(b)の構成で、表6の走査レンズ15
(第7図)に合わせて設計した例が表3、表4に示され
ている0表31表4のコリメータレンズ9及びシリンド
リカルレンズ10を表6の走査レンズ15と共に用いた
場合で波長変動したときの像面位置の変動が第4図に示
されている。
(第7図)に合わせて設計した例が表3、表4に示され
ている0表31表4のコリメータレンズ9及びシリンド
リカルレンズ10を表6の走査レンズ15と共に用いた
場合で波長変動したときの像面位置の変動が第4図に示
されている。
この場合も、主走査面(第4図(a))及び副走査面(
第4図(b))共に、波長変動゛による像面位置変動に
対する影響が小さくなっている。
第4図(b))共に、波長変動゛による像面位置変動に
対する影響が小さくなっている。
艮ユ
波長780nm
r+=ω
d、 =2゜
r2=非球面
da =6.oo n、=t (空気)r、=−12
,84291 d、=2.00 n、=1.7659150 n
t =l 、 57645r、=17. 52189 da =o n4 = t (空気)rs
=17. 52189 d、 =3− 00 ns =l、 576
45ra ”−9,37369 f =23. 2mm Fno=4非球面デ
ータは x= (h” /R)/ [1+ (l−(h/R)
2)+zt ] +Ah” +Bh” (h:光軸からの距離、X:球面からのズレjI)につ
いて R=−11,8399、A=−7,9792×101、
B=4.05317xlO−’ム 波長780nm rly =−16,9670rz t=ωd−=2.
00 nt =1. 51072rLa =−5
−67111rz s=ωd@ =Ons = 1 (
空気) r土e =−5,67111r目*””)d−=2.
0On= =1.76591r土、。=−9、307
61r 11+。=ω(ただしr上は副走査面における
曲率半径。
,84291 d、=2.00 n、=1.7659150 n
t =l 、 57645r、=17. 52189 da =o n4 = t (空気)rs
=17. 52189 d、 =3− 00 ns =l、 576
45ra ”−9,37369 f =23. 2mm Fno=4非球面デ
ータは x= (h” /R)/ [1+ (l−(h/R)
2)+zt ] +Ah” +Bh” (h:光軸からの距離、X:球面からのズレjI)につ
いて R=−11,8399、A=−7,9792×101、
B=4.05317xlO−’ム 波長780nm rly =−16,9670rz t=ωd−=2.
00 nt =1. 51072rLa =−5
−67111rz s=ωd@ =Ons = 1 (
空気) r土e =−5,67111r目*””)d−=2.
0On= =1.76591r土、。=−9、307
61r 11+。=ω(ただしr上は副走査面における
曲率半径。
rzlは主走査面における曲率半径)
第5図は第3実施例を示す、第5図(a)はコリメータ
レンズ11を示し、第5図(b)はシリンドリカルレン
ズ12の副走査面における断面を示す、コリメータレン
ズ11は凸凹凸の3枚のレンズlla、llb、11C
で構成され、特に凸レンズ11a、11cの一方には第
2実施例と同様に非球面レンズを用いている。シリンド
リカルレンズ12は凹凸のレンズ構成12a、12bに
なっている。
レンズ11を示し、第5図(b)はシリンドリカルレン
ズ12の副走査面における断面を示す、コリメータレン
ズ11は凸凹凸の3枚のレンズlla、llb、11C
で構成され、特に凸レンズ11a、11cの一方には第
2実施例と同様に非球面レンズを用いている。シリンド
リカルレンズ12は凹凸のレンズ構成12a、12bに
なっている。
第3実施例でも、コリメータレンズ11の凹凸貼り合わ
せレンズ11b、11cを光軸方向に、またシリンドリ
カルレンズ12を光軸方向に移動することにより、夫々
、主走査面での像面位置と副走査面での像面位置を独立
に調整できる。
せレンズ11b、11cを光軸方向に、またシリンドリ
カルレンズ12を光軸方向に移動することにより、夫々
、主走査面での像面位置と副走査面での像面位置を独立
に調整できる。
第5図(a)、(b)の構成で表6の走査レンズ15(
第7図)に合わせて設計した例を上記表3及び表5に示
す。
第7図)に合わせて設計した例を上記表3及び表5に示
す。
この場合も、主走査面及び副走査面共に。
波長変動による像面位置変動に対する影響が小さ(なっ
ている。
ている。
ム
波長780nm
rly =8.36557 r r=ωd、=2.
0On? =1.76591rJLs =6.0981
4 rll 、=C0da=Qna=t(空気) r上* =6.09814 r、1 s=ωdo =
2.00 ns =1.51072r上+o=9.9
2218 r z +a =O’(ただしrlは副走
査面における曲率半径。
0On? =1.76591rJLs =6.0981
4 rll 、=C0da=Qna=t(空気) r上* =6.09814 r、1 s=ωdo =
2.00 ns =1.51072r上+o=9.9
2218 r z +a =O’(ただしrlは副走
査面における曲率半径。
t”口は主走査面における曲率半径)
以上説明した本発明のレーザ走査光学系では、コリメー
ターレンズとシリンドリカルレンズとを含むレーザ光源
から偏向器に至る光学系は、主走査面及び副走査面にお
いて、該光学系自体の持つ色収差が走査レンズの持つ色
収差に対して逆の特性と成るようにしたり、また、主走
査面内及び副走査面内において、該光学系の持つ色収差
を過修正としたりする構成を取っている。
ターレンズとシリンドリカルレンズとを含むレーザ光源
から偏向器に至る光学系は、主走査面及び副走査面にお
いて、該光学系自体の持つ色収差が走査レンズの持つ色
収差に対して逆の特性と成るようにしたり、また、主走
査面内及び副走査面内において、該光学系の持つ色収差
を過修正としたりする構成を取っている。
過修正の意味について説明する。ガラスで形成された凸
レンズの場合、色収差がないときは、波長が長い方へ変
化するとその焦点距離も長い方へ変化する0色収差が修
正されているときは、波長が長い方へ変化してもその焦
点距離は変化しない0色収差が過修正されているときは
、波長が長い方へ変化すると、その焦点距離は逆に短い
方へ変化する。
レンズの場合、色収差がないときは、波長が長い方へ変
化するとその焦点距離も長い方へ変化する0色収差が修
正されているときは、波長が長い方へ変化してもその焦
点距離は変化しない0色収差が過修正されているときは
、波長が長い方へ変化すると、その焦点距離は逆に短い
方へ変化する。
また、シリンドリカルレンズは副走査面内に右いて、シ
リンドリカルレンズ自体の持つ色収差が走査レンズの持
つ色収差に対して逆の特性となるようにしたり、また、
副走査面内において、シリンドリカルレンズの持つ色収
差を過修正としたりする構成をとっているこのように、
コリメーターレンズと走査レンズとに加えてシリンドリ
カルレンズをも含んだ 光学系全体として、波長変動に
よる像面位置の変動を補正するので、主走査面及び副走
査面における像面位置の変動を共に十分に補正すること
ができる。
リンドリカルレンズ自体の持つ色収差が走査レンズの持
つ色収差に対して逆の特性となるようにしたり、また、
副走査面内において、シリンドリカルレンズの持つ色収
差を過修正としたりする構成をとっているこのように、
コリメーターレンズと走査レンズとに加えてシリンドリ
カルレンズをも含んだ 光学系全体として、波長変動に
よる像面位置の変動を補正するので、主走査面及び副走
査面における像面位置の変動を共に十分に補正すること
ができる。
尚、第2、第3実施例では、コリメータレンズ中の貼り
合わせレンズを利用してオートフォーカス装置を組み込
むことも可能である■ 波長780nm R,=−31,90404 D、=4.7 N、=1.51072R,=−1
56,20703 D、=2. 09475 Nz =1R,=−1
07,65086 D、=16.7 N、=1.76591R,=−5
2,70210 D、 =1. 00 N、 =1R11s=c
X3 R上、=−157,46Ds =16.
I N、=1. 78569Rz−=−131,
55R土s =−3g。
合わせレンズを利用してオートフォーカス装置を組み込
むことも可能である■ 波長780nm R,=−31,90404 D、=4.7 N、=1.51072R,=−1
56,20703 D、=2. 09475 Nz =1R,=−1
07,65086 D、=16.7 N、=1.76591R,=−5
2,70210 D、 =1. 00 N、 =1R11s=c
X3 R上、=−157,46Ds =16.
I N、=1. 78569Rz−=−131,
55R土s =−3g。
08
(ただしR11は主走査面における曲率半径、R上は副
走査面における曲率半径) f =170.4 m m s半画角Cω/2)=37
.5° Fso”29 艮ユ rls =55.22 rl、、=■ds =7
.00 nl = 1.76591r 6 =■ (ただしrlは副走査面における曲率半径、rllは主
走査面における曲率半径) [発明の効果] 以上説明した様に、本発明によれば、走査光学系を適当
に構成することによりレーザなどの光源の波長変動に依
らず像面位置が一定しているので、微小スポットを目的
としだ高4゜ 解像の場合でも常に安定したスポットが簡単な構成によ
って得られる。
走査面における曲率半径) f =170.4 m m s半画角Cω/2)=37
.5° Fso”29 艮ユ rls =55.22 rl、、=■ds =7
.00 nl = 1.76591r 6 =■ (ただしrlは副走査面における曲率半径、rllは主
走査面における曲率半径) [発明の効果] 以上説明した様に、本発明によれば、走査光学系を適当
に構成することによりレーザなどの光源の波長変動に依
らず像面位置が一定しているので、微小スポットを目的
としだ高4゜ 解像の場合でも常に安定したスポットが簡単な構成によ
って得られる。
更に、波長変動による像面の位置の変動が無視できるの
で、実質的な像面の焦点深度を広くみなせて、その為走
査レンズ系の位置加工精度を緩めることができて加工コ
ストを低減できる。
で、実質的な像面の焦点深度を広くみなせて、その為走
査レンズ系の位置加工精度を緩めることができて加工コ
ストを低減できる。
第1図(a)は第1実施例のコリメータレンズの図、第
1図(b)は第1実施例のシリンドリカルレンズを示す
図、第2図は第1実施例での波長変動による像面位置変
動を示す図、第3図(a)は第2実施例のコリメータレ
ンズの図、第3図(b)は第2実施例のシリンドリカル
レンズを示す図、第4図は第2実施例での波長変動によ
る像面位置変動を示す図、第5図(a)は第3実施例の
コリメータレンズの図、第5図(b)は第3実施例のシ
リンドリカルレンズを示す図、第6図は従来のレーザ走
査光学系を説明する為の図、第7図は走査レンズの例を
示す図、第8図はシリンドリカルレンズの例を示す図、
第9図及び第10図は従来の例での波長変動による像面
位置変動を示す図である。 l・・・・・半導体レーザ、4・・・・・ポリゴンミラ
ー%6・・・・・感光ドラム、7.9.11・・・・・
コリメータレンズ、810.12・・・・・シリンドリ
カルレンズ、15・・・・・走査レンズ
1図(b)は第1実施例のシリンドリカルレンズを示す
図、第2図は第1実施例での波長変動による像面位置変
動を示す図、第3図(a)は第2実施例のコリメータレ
ンズの図、第3図(b)は第2実施例のシリンドリカル
レンズを示す図、第4図は第2実施例での波長変動によ
る像面位置変動を示す図、第5図(a)は第3実施例の
コリメータレンズの図、第5図(b)は第3実施例のシ
リンドリカルレンズを示す図、第6図は従来のレーザ走
査光学系を説明する為の図、第7図は走査レンズの例を
示す図、第8図はシリンドリカルレンズの例を示す図、
第9図及び第10図は従来の例での波長変動による像面
位置変動を示す図である。 l・・・・・半導体レーザ、4・・・・・ポリゴンミラ
ー%6・・・・・感光ドラム、7.9.11・・・・・
コリメータレンズ、810.12・・・・・シリンドリ
カルレンズ、15・・・・・走査レンズ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、レーザ光源、コリメータレンズ、副走査方向にパワ
ーを有するシリンドリカルレンズ、走査レンズを含むレ
ーザ走査光学系において、該走査光学系全体として、レ
ーザ光源からの光の波長変動による主走査面における像
面位置の変動及び副走査面における像面位置の変動を補
正することを特徴とする色消しレーザ走査光学系。 2、前記シリンドリカルレンズが少なくとも2枚のレン
ズから構成されている請求項1記載のレーザ走査光学系
。 3、前記コリメータレンズが少なくとも2枚のレンズか
ら構成されている請求項1又は2記載のレーザ走査光学
系。 4、前記コリメータレンズの一部とシリンドリカルレン
ズが光軸方向に移動可能となっている請求項1記載のレ
ーザ走査光学系。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29419289A JP2907292B2 (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 | 色消しレーザ走査光学系 |
EP90100307A EP0378149B2 (en) | 1989-01-09 | 1990-01-08 | Achromatic-type laser scanning optical system |
DE69014908T DE69014908T3 (de) | 1989-01-09 | 1990-01-08 | Achromatisches optisches Laserabtastsystem. |
US07/921,403 US5270851A (en) | 1989-01-09 | 1992-07-30 | Achromatic-type laser scanning optical system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29419289A JP2907292B2 (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 | 色消しレーザ走査光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03154018A true JPH03154018A (ja) | 1991-07-02 |
JP2907292B2 JP2907292B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=17804509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29419289A Expired - Lifetime JP2907292B2 (ja) | 1989-01-09 | 1989-11-13 | 色消しレーザ走査光学系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2907292B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100722587B1 (ko) * | 1999-11-04 | 2007-05-28 | 엘지전자 주식회사 | 대물렌즈 및 이를 이용한 광픽업 장치 |
-
1989
- 1989-11-13 JP JP29419289A patent/JP2907292B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100722587B1 (ko) * | 1999-11-04 | 2007-05-28 | 엘지전자 주식회사 | 대물렌즈 및 이를 이용한 광픽업 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2907292B2 (ja) | 1999-06-21 |
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