JPH03147298A - 加速器用真空容器 - Google Patents
加速器用真空容器Info
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- JPH03147298A JPH03147298A JP1286191A JP28619189A JPH03147298A JP H03147298 A JPH03147298 A JP H03147298A JP 1286191 A JP1286191 A JP 1286191A JP 28619189 A JP28619189 A JP 28619189A JP H03147298 A JPH03147298 A JP H03147298A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
- H05H7/14—Vacuum chambers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はたとえばシンクロトロン放射光（３２４Ｆ
ＳＯＲ光と略記する）発生等に用いられる荷電粒子加速
・蓄積装置の加速器用具空容器に関するもので、特に容
器内の真空度をあげて荷電粒子の長寿命化を図ったもの
である。
ＳＯＲ光と略記する）発生等に用いられる荷電粒子加速
・蓄積装置の加速器用具空容器に関するもので、特に容
器内の真空度をあげて荷電粒子の長寿命化を図ったもの
である。
第７図および第８図は、たとえば特開昭６２−２７６８
００号公報に示された従来のＳＯＲ光発生装置に関する
もので、偏向磁石（記載せず）設置部分の真空容器を示
す側断面図および平面図である。
００号公報に示された従来のＳＯＲ光発生装置に関する
もので、偏向磁石（記載せず）設置部分の真空容器を示
す側断面図および平面図である。
図において、（１）は真空容器、（２）はこの真空容器
（１）内を走行する荷電粒子の軌道、（３）はほぼ光速
で走行する荷電粒子が偏向される時、その軌道の接線方
向に発生するＳＯＲ光、（４）はこのＳＯＲ光（３）が
真空容器（１）の内壁に当る照射位置、（５）はこのＳ
ＯＲ光照射位貧１尋）に配設されたバルクゲッター材で
ある。
（１）内を走行する荷電粒子の軌道、（３）はほぼ光速
で走行する荷電粒子が偏向される時、その軌道の接線方
向に発生するＳＯＲ光、（４）はこのＳＯＲ光（３）が
真空容器（１）の内壁に当る照射位置、（５）はこのＳ
ＯＲ光照射位貧１尋）に配設されたバルクゲッター材で
ある。
このバルクゲッター材（５）としてはたとえばジルコニ
ウムＺｒ 、 Ｚｒ−Ａ／ 、 Ｚｒ −Ｖ−Ｆｅを始
めとするＺｒ合金などがある。
ウムＺｒ 、 Ｚｒ−Ａ／ 、 Ｚｒ −Ｖ−Ｆｅを始
めとするＺｒ合金などがある。
このように構成された従来の真空容器においては、バル
クゲッター材（５）の配設によってＳＯＲ光（３）が直
接真空容器構造材に照射されて発生する光刺激脱離ガス
の生成を抑制する。その理由は、ＳＯＲ光（３）あるい
はＳＯＲ光（３）によって生成した励起電子によりバル
クゲッター材（５）中の不純物がイオン化されるが、生
じたイオンはバルクゲッター材（５）の内部に拡散して
いく。そのため、表面からの光刺激脱離ガスの放出を著
しく抑制できる。光励起によるバルクゲッター材（５）
中のイオン生成速度より、内部への拡散速度が高い場合
には、バルクゲッター材（５）は全体としてむしろ排気
ポンプとして作用し、光刺激脱離ガスの発生を完全に抑
制するだけでなく真空容器（１）内の残留ガスをも吸着
するといつ便れた特徴がある。
クゲッター材（５）の配設によってＳＯＲ光（３）が直
接真空容器構造材に照射されて発生する光刺激脱離ガス
の生成を抑制する。その理由は、ＳＯＲ光（３）あるい
はＳＯＲ光（３）によって生成した励起電子によりバル
クゲッター材（５）中の不純物がイオン化されるが、生
じたイオンはバルクゲッター材（５）の内部に拡散して
いく。そのため、表面からの光刺激脱離ガスの放出を著
しく抑制できる。光励起によるバルクゲッター材（５）
中のイオン生成速度より、内部への拡散速度が高い場合
には、バルクゲッター材（５）は全体としてむしろ排気
ポンプとして作用し、光刺激脱離ガスの発生を完全に抑
制するだけでなく真空容器（１）内の残留ガスをも吸着
するといつ便れた特徴がある。
上記のような従来の加速器用真空容器（１）では、バル
クゲッター材（５）をＳＯＲ光（３）の照射位置（４）
近傍に部分的に配設することにより、ＳＯＲ光（３）に
よる光刺激脱離ガスの発生を抑制するようにしたもので
あるから、バルクゲッター材（５）が配設されていない
所から発生してくるアウトガスに対しては十分に対処で
きず、真空容器内の圧力か上がり荷電粒子の蓄積寿命が
短か（なるなどの問題点があった。
クゲッター材（５）をＳＯＲ光（３）の照射位置（４）
近傍に部分的に配設することにより、ＳＯＲ光（３）に
よる光刺激脱離ガスの発生を抑制するようにしたもので
あるから、バルクゲッター材（５）が配設されていない
所から発生してくるアウトガスに対しては十分に対処で
きず、真空容器内の圧力か上がり荷電粒子の蓄積寿命が
短か（なるなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、真空容器内を超高真空状態に保ち荷電粒子の
長蓄積寿命化ができる加速器用真空容器を得ることを目
的とする。
たもので、真空容器内を超高真空状態に保ち荷電粒子の
長蓄積寿命化ができる加速器用真空容器を得ることを目
的とする。
〔課題を解決するための手段］
この発明に係る加速器用真空容器においては・内部に真
空域を画成するとともに、この真空域を荷電粒子が通る
茶器と、この容器の少な（とも上記荷電粒子を偏向する
偏向部の内壁全域に設けられ、残留または発生気体分子
を捕痩するゲッター材からなる被覆層とを備えたもので
ある。
空域を画成するとともに、この真空域を荷電粒子が通る
茶器と、この容器の少な（とも上記荷電粒子を偏向する
偏向部の内壁全域に設けられ、残留または発生気体分子
を捕痩するゲッター材からなる被覆層とを備えたもので
ある。
この発明における加、速器用真空容器内壁全域に設けら
れたゲッター材からなる被覆層は、容器内の残留または
発生気体分子を補復する。
れたゲッター材からなる被覆層は、容器内の残留または
発生気体分子を補復する。
第１図はこの発明の一実施例を示す加速器用真空容器の
破断斜視図、第２図（ａｔ 、 ｆｂｌは第１図に示し
た加速器用真空容器を作る工程を示した説明図である。
破断斜視図、第２図（ａｔ 、 ｆｂｌは第１図に示し
た加速器用真空容器を作る工程を示した説明図である。
第２図（−°に示すように、（６）はたとえばステンレ
ス訓あるいはアルミニウム等の構造材、（７）はこの構
造材（６）の片面に被覆されたゲッター材で、第２図（
ｂｌ Ｋ示すように、ゲッター材被覆層（７）が内面に
なるようにしかつ断面がレーストラック形状になるよう
に折り曲げて、端部どうしを接合し補強リブ（８）を取
り付けて機械的に補強することによって第１図に示す加
速器用真空容器ができ上る。
ス訓あるいはアルミニウム等の構造材、（７）はこの構
造材（６）の片面に被覆されたゲッター材で、第２図（
ｂｌ Ｋ示すように、ゲッター材被覆層（７）が内面に
なるようにしかつ断面がレーストラック形状になるよう
に折り曲げて、端部どうしを接合し補強リブ（８）を取
り付けて機械的に補強することによって第１図に示す加
速器用真空容器ができ上る。
このように、ゲッター材（７）を、従来例のようにＳＯ
Ｒ光照射位置だけでなく、この発明のように真空容器内
壁全域にわたって１ｆｆｌＷＬでおき、真空容器（１）
をあらかじめ加熱してゲッター材（７）を活性化すると
、ゲッター材（７）の排気作用により、真空容器（１）
内を超高真空状態に保つことができる。
Ｒ光照射位置だけでなく、この発明のように真空容器内
壁全域にわたって１ｆｆｌＷＬでおき、真空容器（１）
をあらかじめ加熱してゲッター材（７）を活性化すると
、ゲッター材（７）の排気作用により、真空容器（１）
内を超高真空状態に保つことができる。
第３図は第１図に示したこの発明の真空容器の他の実施
例を示すもので、構造材（６）を曲げて、断面がレース
トラック形を２分割した形状のものを突き合わせて接合
して真空容器（１）を構成したものである。
例を示すもので、構造材（６）を曲げて、断面がレース
トラック形を２分割した形状のものを突き合わせて接合
して真空容器（１）を構成したものである。
第４図は、この発明の第３の実施例を示すもので、板状
の構造材（６）の４隅を接合して真空容器（１）を構成
したものである。
の構造材（６）の４隅を接合して真空容器（１）を構成
したものである。
第５図は、この発明の第４の実施例を示すもので、第３
の実施例と同じく４隅を接合して真空容器（１）を構成
したものであるが、図示のごと（コの字形に曲げた構造
材を側面に用いた例である。この場合、図に示すように
接合面が大きくとれるため接合しやすく接合面に補強機
能を持たせることもできる。
の実施例と同じく４隅を接合して真空容器（１）を構成
したものであるが、図示のごと（コの字形に曲げた構造
材を側面に用いた例である。この場合、図に示すように
接合面が大きくとれるため接合しやすく接合面に補強機
能を持たせることもできる。
第６図は、この発明の第５の実施例を示すもので、構造
材（６）の３ケ所を折り曲げて４隅目を接合して真空容
器（１）を作り出す例を示したものである。
材（６）の３ケ所を折り曲げて４隅目を接合して真空容
器（１）を作り出す例を示したものである。
なお、この発明の真空容器の断面形状は上記各実施例に
示すレーストラック状や四角形に限るものでなく、楕円
や円形でも良いことは云うまでもない。
示すレーストラック状や四角形に限るものでなく、楕円
や円形でも良いことは云うまでもない。
以上のようにこの発明に係る加速器用真空容器において
は、内部に真空域を画成するとともに、この真空域を荷
電粒子が通る容器と、この容器の少なくとも上記荷電粒
子を偏向する偏向部の内壁全域に設けられ１、残留゛ま
たは発生気体分子を捕漢するゲッター材からなる被覆層
とを備えたので、真空容器内を超高真空状態に保ち荷電
粒子の長蓄積寿命化ができる加速器用真空容器が得られ
る。
は、内部に真空域を画成するとともに、この真空域を荷
電粒子が通る容器と、この容器の少なくとも上記荷電粒
子を偏向する偏向部の内壁全域に設けられ１、残留゛ま
たは発生気体分子を捕漢するゲッター材からなる被覆層
とを備えたので、真空容器内を超高真空状態に保ち荷電
粒子の長蓄積寿命化ができる加速器用真空容器が得られ
る。
第１図はこの発明の一実施例を示す加速器用真空容器の
破断斜視図、第２図ｆａｔ 、 （ｂｌは加速器用真空
容器を作る工程を示す説明図、第３図ないし第６図は加
速器用真空容器の各実施例を各々示す斜視図、第７図お
よび第８図は従来の真空容器を各々示す側断面図および
平面図である。 図において、（１）は真空容器、（２）は荷電粒子の軌
４、（６１は構造材、（７）はゲッター材からなる被覆
層である。 ｔｚお、各図中１司一符号は同一または…当部分を示す
。
破断斜視図、第２図ｆａｔ 、 （ｂｌは加速器用真空
容器を作る工程を示す説明図、第３図ないし第６図は加
速器用真空容器の各実施例を各々示す斜視図、第７図お
よび第８図は従来の真空容器を各々示す側断面図および
平面図である。 図において、（１）は真空容器、（２）は荷電粒子の軌
４、（６１は構造材、（７）はゲッター材からなる被覆
層である。 ｔｚお、各図中１司一符号は同一または…当部分を示す
。
Claims (1)
- 内部に真空域を画成するとともに、上記真空域を荷電粒
子が通る容器、この容器の少なくとも上記荷電粒子を偏
向する偏向部の内壁全域に設けられ、残留または発生気
体分子を捕獲するゲッター材からなる被覆層を備えたこ
とを特徴とする加速器用真空容器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1286191A JPH03147298A (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | 加速器用真空容器 |
| EP19900308916 EP0426277A3 (en) | 1989-11-01 | 1990-08-14 | Accelerator vacuum pipe |
| US07/605,760 US5101167A (en) | 1989-11-01 | 1990-10-30 | Accelerator vacuum pipe having a layer of a getter material disposed on an inner surface of the pipe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1286191A JPH03147298A (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | 加速器用真空容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03147298A true JPH03147298A (ja) | 1991-06-24 |
Family
ID=17701132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1286191A Pending JPH03147298A (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | 加速器用真空容器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5101167A (ja) |
| EP (1) | EP0426277A3 (ja) |
| JP (1) | JPH03147298A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001503830A (ja) * | 1996-06-19 | 2001-03-21 | オルガニザーション ユーロペーヌ プール ラ ルシェルシュ ニュークレール | 非蒸発性ゲッターによるポンプ装置およびこのゲッターの使用法 |
| JP2005285448A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | National Cardiovascular Center | 粒子線加速器 |
| JP2008021487A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Mitsubishi Electric Corp | 真空容器及びその製造方法 |
| JP2016213100A (ja) * | 2015-05-12 | 2016-12-15 | 株式会社日立製作所 | 真空容器、円形加速器、ビーム輸送装置及び粒子線治療システム |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1319141B1 (it) * | 2000-11-28 | 2003-09-23 | Getters Spa | Unita' di accelerazione e focalizzazione, a vuoto migliorato, diimpiantatori ionici per la produzione di dispositivi a semiconduttore |
| US6744226B2 (en) * | 2002-09-30 | 2004-06-01 | Duly Research Inc. | Photoelectron linear accelerator for producing a low emittance polarized electron beam |
| US7888891B2 (en) | 2004-03-29 | 2011-02-15 | National Cerebral And Cardiovascular Center | Particle beam accelerator |
| US8487556B2 (en) * | 2011-03-08 | 2013-07-16 | Duly Research Inc. | Ultra-high vacuum photoelectron linear accelerator |
| CN116575005B (zh) * | 2023-05-10 | 2024-01-16 | 中国科学院近代物理研究所 | 一种TiZrCo真空吸气剂薄膜及其制备方法与应用 |
Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
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| JPS6020500A (ja) * | 1983-07-14 | 1985-02-01 | 株式会社東芝 | 気密容器 |
| JPS62276800A (ja) * | 1986-05-26 | 1987-12-01 | 日本電信電話株式会社 | シンクロトロン放射光発生装置 |
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| ZA731045B (en) * | 1973-02-14 | 1974-06-26 | African Gate & Fence Works | Improvements in the manufacture of tubular members |
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| US4992746A (en) * | 1988-04-26 | 1991-02-12 | Acctek Associates | Apparatus for acceleration and application of negative ions and electrons |
-
1989
- 1989-11-01 JP JP1286191A patent/JPH03147298A/ja active Pending
-
1990
- 1990-08-14 EP EP19900308916 patent/EP0426277A3/en not_active Withdrawn
- 1990-10-30 US US07/605,760 patent/US5101167A/en not_active Expired - Fee Related
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| JP2016213100A (ja) * | 2015-05-12 | 2016-12-15 | 株式会社日立製作所 | 真空容器、円形加速器、ビーム輸送装置及び粒子線治療システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0426277A2 (en) | 1991-05-08 |
| EP0426277A3 (en) | 1991-12-04 |
| US5101167A (en) | 1992-03-31 |
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