JPH03125937A - ダイヤフラムの溶接方法 - Google Patents
ダイヤフラムの溶接方法Info
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- JPH03125937A JPH03125937A JP26445789A JP26445789A JPH03125937A JP H03125937 A JPH03125937 A JP H03125937A JP 26445789 A JP26445789 A JP 26445789A JP 26445789 A JP26445789 A JP 26445789A JP H03125937 A JPH03125937 A JP H03125937A
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば静電容量型の圧力計器に使用して好適
なダイヤフラムの溶接方法に関するものである。
なダイヤフラムの溶接方法に関するものである。
一般に、圧力計器には種々色々なものが知られており、
この中には測定流体の圧力変動によるダイヤフラムの変
位を静電容量変化として検出する圧力計器がある。
この中には測定流体の圧力変動によるダイヤフラムの変
位を静電容量変化として検出する圧力計器がある。
従来、この種の圧力計器は第5図に示すように構成され
ている。これを同図に基づいて説明すると、同図におい
て、符号1で示すものは圧力計器用のボディで、一側に
凹室2.3を有する2つのハウジング4.5からなり、
全体が円柱状に形成されている。このボディ1の各凹室
2,3は内部に圧力室としての球面凹部6.7を有する
絶縁体8.9が装着されており、これら各絶縁体8,9
および前記各ハウジング4,5の中央部には軸線方向に
開口する連通路10.11が設けられている。12およ
び13は球面凹部14.15を有する固定電極で、前記
各球面凹部6,7の底面に装着されている。16は前記
凹室2,3を画成する円板状の測定ダイヤフラムで、前
記各凹室2.3の開口端面に一部を対接させ前記両ハウ
ジング4゜5間に介装されている。また、17および1
8は高圧側のシリコン封入液と低圧側のシリコン封入液
である。なお、前記ボディ1の両側には前記各連通路i
o、tiの他方開口部を閉塞するようにシールダイヤフ
ラム(図示せず)が各々装着されており、またこれら各
シールダイヤフラム(図示せず)を覆うカバー(図示せ
ず)が固定されている。
ている。これを同図に基づいて説明すると、同図におい
て、符号1で示すものは圧力計器用のボディで、一側に
凹室2.3を有する2つのハウジング4.5からなり、
全体が円柱状に形成されている。このボディ1の各凹室
2,3は内部に圧力室としての球面凹部6.7を有する
絶縁体8.9が装着されており、これら各絶縁体8,9
および前記各ハウジング4,5の中央部には軸線方向に
開口する連通路10.11が設けられている。12およ
び13は球面凹部14.15を有する固定電極で、前記
各球面凹部6,7の底面に装着されている。16は前記
凹室2,3を画成する円板状の測定ダイヤフラムで、前
記各凹室2.3の開口端面に一部を対接させ前記両ハウ
ジング4゜5間に介装されている。また、17および1
8は高圧側のシリコン封入液と低圧側のシリコン封入液
である。なお、前記ボディ1の両側には前記各連通路i
o、tiの他方開口部を閉塞するようにシールダイヤフ
ラム(図示せず)が各々装着されており、またこれら各
シールダイヤフラム(図示せず)を覆うカバー(図示せ
ず)が固定されている。
このように構成された圧力計器においては、各カバー(
図示せず)内に被測定流体が導入されると、これら両流
体圧力がシールダイヤフラム(図示せず)、シリコン封
入液17.18を介して測定ダイヤフラム16の各面に
作用し、この差圧に応じて測定ダイヤフラム16が変位
する。このとき、測定ダイヤフラム16が固定電極12
.13との静電容量差を検出することにより、電気信号
として検出することができる。
図示せず)内に被測定流体が導入されると、これら両流
体圧力がシールダイヤフラム(図示せず)、シリコン封
入液17.18を介して測定ダイヤフラム16の各面に
作用し、この差圧に応じて測定ダイヤフラム16が変位
する。このとき、測定ダイヤフラム16が固定電極12
.13との静電容量差を検出することにより、電気信号
として検出することができる。
ところで、この種の圧力計器においては、測定ダイヤフ
ラム16のボディ1に対する取り付けが溶接によって行
われている。
ラム16のボディ1に対する取り付けが溶接によって行
われている。
しかるに、従来のダイヤフラムの溶接方法においては、
両ハウジング2.3に対して測定ダイヤフラム16を直
接溶接するものであるため、溶接性が悪いものであった
。すなわち、測定ダイヤフラム16の材料としては製造
上の精度や再現性を考慮して通常ばね材が使用されてお
り、一方ハウジング2,3にあってはステンレス材が使
用されているからである。この結果、各ハウジング2゜
3と測定ダイヤフラムlGの溶接部分にクランクが発生
し易くなり、溶接上の信顧性が低下するという問題があ
った。また、測定ダイヤフラム16にばね材を使用する
ことは、溶接部分の耐蝕性も悪くなり、ダイヤフラムと
しての機能を長期間に亘って維持することができないと
いう問題もあった。
両ハウジング2.3に対して測定ダイヤフラム16を直
接溶接するものであるため、溶接性が悪いものであった
。すなわち、測定ダイヤフラム16の材料としては製造
上の精度や再現性を考慮して通常ばね材が使用されてお
り、一方ハウジング2,3にあってはステンレス材が使
用されているからである。この結果、各ハウジング2゜
3と測定ダイヤフラムlGの溶接部分にクランクが発生
し易くなり、溶接上の信顧性が低下するという問題があ
った。また、測定ダイヤフラム16にばね材を使用する
ことは、溶接部分の耐蝕性も悪くなり、ダイヤフラムと
しての機能を長期間に亘って維持することができないと
いう問題もあった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、溶接
上の信鯨性を向上させることができると共に、ダイヤフ
ラムとしての機能を長期間に亘って維持することができ
るダイヤフラムの溶接方法を提供するものである。
上の信鯨性を向上させることができると共に、ダイヤフ
ラムとしての機能を長期間に亘って維持することができ
るダイヤフラムの溶接方法を提供するものである。
本発明に係るダイヤフラムの溶接方法は、一側に凹室を
有する2つのハウジングと、これら両ハウジングの凹室
を画成するダイヤフラムとを溶接する方法であって、こ
れら両部材を溶接するにあたり、凹室の開口端面とダイ
ヤフラムの周縁との間に金属リングを介装し、この金属
リングとハウジングとダイヤフラムとを溶融することに
より合金層を形成するものである。
有する2つのハウジングと、これら両ハウジングの凹室
を画成するダイヤフラムとを溶接する方法であって、こ
れら両部材を溶接するにあたり、凹室の開口端面とダイ
ヤフラムの周縁との間に金属リングを介装し、この金属
リングとハウジングとダイヤフラムとを溶融することに
より合金層を形成するものである。
本発明の別の第2発明に係るダイヤフラムの溶接方法は
、一側に凹室を有する2つのハウジングと、これら両ハ
ウジングの凹室を画成するダイヤフラムとを溶接する方
法であって、これら両部材を溶接するにあたり、ダイヤ
フラムの溶接面に成膜処理を施すことにより金属膜を形
成し、この金属膜とハウジングとダイヤフラムとを溶融
することにより合金層を形成するものである。
、一側に凹室を有する2つのハウジングと、これら両ハ
ウジングの凹室を画成するダイヤフラムとを溶接する方
法であって、これら両部材を溶接するにあたり、ダイヤ
フラムの溶接面に成膜処理を施すことにより金属膜を形
成し、この金属膜とハウジングとダイヤフラムとを溶融
することにより合金層を形成するものである。
本発明の別の第3発明に係るダイヤフラムの溶接方法は
、一側に凹室を有する2つのハウジングと、これら両ハ
ウジングの凹室を画成するダイヤフラムとを溶接する方
法であって、これら両部材を溶接するにあたり、ダイヤ
フラムの外周面に金属リングを嵌合し、この金属リング
とハウジングとダイヤフラムとを溶融することにより合
金層を形成するものである。
、一側に凹室を有する2つのハウジングと、これら両ハ
ウジングの凹室を画成するダイヤフラムとを溶接する方
法であって、これら両部材を溶接するにあたり、ダイヤ
フラムの外周面に金属リングを嵌合し、この金属リング
とハウジングとダイヤフラムとを溶融することにより合
金層を形成するものである。
本発明およびこの発明の別の発明においては、金属リン
グの材料あるいは金属膜の材料を選択することにより、
ダイヤフラムの耐蝕性およびダイヤフラムとハウジング
の溶接性を高めることができる。
グの材料あるいは金属膜の材料を選択することにより、
ダイヤフラムの耐蝕性およびダイヤフラムとハウジング
の溶接性を高めることができる。
以下、本発明におけるダイヤフラムの溶接方法等につい
て説明する。
て説明する。
第1図は本発明に係るダイヤフラムの溶接方法を説明す
るための一実施例を示す断面図で、同図以下において第
5図と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な
説明は省略する。同図において、符号21で示すものは
圧力計器用のボディで、一側に凹室22.23を有する
2つのハウジング24.25からなり、全体が円柱状に
形成されている。このボディ21の外周面中央部には、
前記測定ダイヤフラム16の周縁を介して隣接する環状
溝26.27が設けられている。28および29は前記
環状溝26.27に各々嵌合する金属リングで、例えば
「アロイ21(商品名)」等のクロム合金、 rsU
s 310SJのステンレス鋼あるいは他のオーステナ
イト系ステンレス鋼からなり、前記各凹室22.23の
開口端面と前記測定ダイヤフラム16の周縁との間に介
装されている。なお、同図中破線は溶接ビードを示す。
るための一実施例を示す断面図で、同図以下において第
5図と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な
説明は省略する。同図において、符号21で示すものは
圧力計器用のボディで、一側に凹室22.23を有する
2つのハウジング24.25からなり、全体が円柱状に
形成されている。このボディ21の外周面中央部には、
前記測定ダイヤフラム16の周縁を介して隣接する環状
溝26.27が設けられている。28および29は前記
環状溝26.27に各々嵌合する金属リングで、例えば
「アロイ21(商品名)」等のクロム合金、 rsU
s 310SJのステンレス鋼あるいは他のオーステナ
イト系ステンレス鋼からなり、前記各凹室22.23の
開口端面と前記測定ダイヤフラム16の周縁との間に介
装されている。なお、同図中破線は溶接ビードを示す。
次に、本発明によるダイヤフラムの溶接方法について説
明すると、測定ダイヤフラム16と各ハウジング24.
25の溶接は、凹室22,23の開口端面と測定ダイヤ
フラム16の周縁との間に金属リング28.29を介装
し、これら金属リング28.29と測定ダイヤフラム1
6とハウジング24.25とをTIG溶接法あるいはE
BW溶接法等で溶融して合金層を形成することにより行
われる。
明すると、測定ダイヤフラム16と各ハウジング24.
25の溶接は、凹室22,23の開口端面と測定ダイヤ
フラム16の周縁との間に金属リング28.29を介装
し、これら金属リング28.29と測定ダイヤフラム1
6とハウジング24.25とをTIG溶接法あるいはE
BW溶接法等で溶融して合金層を形成することにより行
われる。
したがって、本実施例においては、金属リング28.2
9の材料として耐蝕性が高い「アロイ21(商品名)」
等のクロム合金材料を使用したから、測定ダイヤフラム
16の溶接部分の耐蝕性および測定ダイヤフラム16と
各ハウジング24.25の溶接性を高めることができる
。
9の材料として耐蝕性が高い「アロイ21(商品名)」
等のクロム合金材料を使用したから、測定ダイヤフラム
16の溶接部分の耐蝕性および測定ダイヤフラム16と
各ハウジング24.25の溶接性を高めることができる
。
なお、本実施例においては、測定ダイヤフラム16の両
側に金属リング28.29を使用する例を示したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、測定ダイヤフラ
ム16の片側にのみ使用しても実施例と同様の効果を奏
する。
側に金属リング28.29を使用する例を示したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、測定ダイヤフラ
ム16の片側にのみ使用しても実施例と同様の効果を奏
する。
また、本実施例においては、環状溝26.27に金属リ
ング28.29を嵌合して測定ダイヤフラム16と各ハ
ウジング24.25との間に介装する構造を示したが、
本発明は第2図に示すように測定ダイヤフラム16とハ
ウジング31.32との間に金属リング33.34を単
に介装する構造としても何等差し支えない。
ング28.29を嵌合して測定ダイヤフラム16と各ハ
ウジング24.25との間に介装する構造を示したが、
本発明は第2図に示すように測定ダイヤフラム16とハ
ウジング31.32との間に金属リング33.34を単
に介装する構造としても何等差し支えない。
次に、本発明(第1発明)の別の第2発明および第3発
明について説明する。
明について説明する。
先ず、第2発明は、測定ダイヤフラム16と各ハウジン
グ24.25を溶接するにあたり、第3図に示すように
測定ダイヤフラム16の溶接面に蒸着あるいはめっき等
の成膜処理を施すことにより例えば「アロイ21(商品
名)」等の、クロム合金からなる金属膜51を形成し、
この金属膜51と各ハウジング24.25と測定ダイヤ
フラム16とを溶融することにより合金層を形成するも
のである。
グ24.25を溶接するにあたり、第3図に示すように
測定ダイヤフラム16の溶接面に蒸着あるいはめっき等
の成膜処理を施すことにより例えば「アロイ21(商品
名)」等の、クロム合金からなる金属膜51を形成し、
この金属膜51と各ハウジング24.25と測定ダイヤ
フラム16とを溶融することにより合金層を形成するも
のである。
したがって、第2発明においては、金属膜51の材料と
して耐蝕性が高い例えば「アロイ21(商品名)」等の
クロム合金材料を使用したから、測定ダイヤフラム16
の溶接部分の耐蝕性および測定ダイヤフラム16と各ハ
ウジング24.25の溶接性を高めることができる。
して耐蝕性が高い例えば「アロイ21(商品名)」等の
クロム合金材料を使用したから、測定ダイヤフラム16
の溶接部分の耐蝕性および測定ダイヤフラム16と各ハ
ウジング24.25の溶接性を高めることができる。
一方、第3発明は、第4図に示すように測定ダイヤフラ
ム16と各ハウジング61.62を溶接するにあたり、
測定ダイヤフラム16の外周面に例えば「アロイ21(
商品名)」等のクロム合金からなる金属リング63を嵌
合し、この金属リング63と各ハウジング61.62と
測定ダイヤフラム16とを溶融することにより合金層を
形成するものである。
ム16と各ハウジング61.62を溶接するにあたり、
測定ダイヤフラム16の外周面に例えば「アロイ21(
商品名)」等のクロム合金からなる金属リング63を嵌
合し、この金属リング63と各ハウジング61.62と
測定ダイヤフラム16とを溶融することにより合金層を
形成するものである。
したがって、第3発明においては、金属リング63の材
料として耐蝕性が高い例えば「アロイ21(商品名)」
等のクロム合金材料を使用したから、測定ダイヤフラム
16の溶接部分の耐蝕性および測定ダイヤフラム16と
各ハウジング24.25の溶接性を高めることができる
。
料として耐蝕性が高い例えば「アロイ21(商品名)」
等のクロム合金材料を使用したから、測定ダイヤフラム
16の溶接部分の耐蝕性および測定ダイヤフラム16と
各ハウジング24.25の溶接性を高めることができる
。
以上説明したように本発明によれば、ダイヤフラムと各
ハウジングを溶接するにあたり、凹室の開口端面とダイ
ヤフラムの周縁との間に金属リングを介装し、この金属
リングとハウジングとダイヤフラムとを溶融することに
より合金層を形成するので、第2発明はダイヤフラムと
各ハウジングを溶接するにあたり、ダイヤフラムの溶接
面に成膜処理を施すことにより金属膜を形成し、この金
属膜とハウジングとダイヤフラムとを溶融することによ
り合金層を形成するので、また第3発明はダイヤフラム
と各ハウジングを溶接するにあたり、ダイヤフラムの外
周面に金属リングを嵌合し、この金属リングとハウジン
グとダイヤフラムとを溶融することにより合金層を形成
するので、金属リングの材料あるいは金属膜の材料を選
択することにより、ダイヤフラムの耐蝕性およびダイヤ
フラムとハウジングの溶接性を高めることができる。
ハウジングを溶接するにあたり、凹室の開口端面とダイ
ヤフラムの周縁との間に金属リングを介装し、この金属
リングとハウジングとダイヤフラムとを溶融することに
より合金層を形成するので、第2発明はダイヤフラムと
各ハウジングを溶接するにあたり、ダイヤフラムの溶接
面に成膜処理を施すことにより金属膜を形成し、この金
属膜とハウジングとダイヤフラムとを溶融することによ
り合金層を形成するので、また第3発明はダイヤフラム
と各ハウジングを溶接するにあたり、ダイヤフラムの外
周面に金属リングを嵌合し、この金属リングとハウジン
グとダイヤフラムとを溶融することにより合金層を形成
するので、金属リングの材料あるいは金属膜の材料を選
択することにより、ダイヤフラムの耐蝕性およびダイヤ
フラムとハウジングの溶接性を高めることができる。
したがって、溶接部分におけるクラックの発生を防止す
ることができるから、溶接上の信顛性を高めることがで
きる。また、溶接部分の耐蝕性が良好になることは、ダ
イヤフラムとしての機能を長期間に亘って維持すること
ができ、悪環境下での使用に対して耐久性が高いダイヤ
フラム溶接構造を得ることができる。
ることができるから、溶接上の信顛性を高めることがで
きる。また、溶接部分の耐蝕性が良好になることは、ダ
イヤフラムとしての機能を長期間に亘って維持すること
ができ、悪環境下での使用に対して耐久性が高いダイヤ
フラム溶接構造を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るダイヤフラムの溶接方法を説明す
るための一実施例を示す断面図、第2図は本発明におけ
る他の実施例を示す断面図、第3図は本発明の別の第2
発明に係るダイヤフラムの溶接方法を説明するための側
面図、第4図は本発明の別の第3発明に係るダイヤフラ
ムの溶接方法を説明するための側面図、第5図は従来の
ダイヤフラムの溶接方法を説明するための断面図である
。 16・・・・測定ダイヤフラム、21・・・・ボディ、
22.23・・・・凹室、24.25・・・・ハウジン
グ、28.29・・・・金属リング。
るための一実施例を示す断面図、第2図は本発明におけ
る他の実施例を示す断面図、第3図は本発明の別の第2
発明に係るダイヤフラムの溶接方法を説明するための側
面図、第4図は本発明の別の第3発明に係るダイヤフラ
ムの溶接方法を説明するための側面図、第5図は従来の
ダイヤフラムの溶接方法を説明するための断面図である
。 16・・・・測定ダイヤフラム、21・・・・ボディ、
22.23・・・・凹室、24.25・・・・ハウジン
グ、28.29・・・・金属リング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)一側に凹室を有する2つのハウジングと、これら両
ハウジングの凹室を画成するダイヤフラムとを溶接する
方法であって、これら両部材を溶接するにあたり、前記
凹室の開口端面と前記ダイヤフラムの周縁との間に金属
リングを介装し、この金属リングと前記ハウジングと前
記ダイヤフラムとを溶融することにより合金層を形成す
ることを特徴とするダイヤフラムの溶接方法。 (2)一側に凹室を有する2つのハウジングと、これら
両ハウジングの凹室を画成するダイヤフラムとを溶接す
る方法であって、これら両部材を溶接するにあたり、前
記ダイヤフラムの溶接面に成膜処理を施すことにより金
属膜を形成し、この金属膜と前記ハウジングと前記ダイ
ヤフラムとを溶融することにより合金層を形成すること
を特徴とするダイヤフラムの溶接方法。 (3)一側に凹室を有する2つのハウジングと、これら
両ハウジングの凹室を画成するダイヤフラムとを溶接す
る方法であって、これら両部材を溶接するにあたり、前
記ダイヤフラムの外周面に金属リングを嵌合し、この金
属リングと前記ハウジングと前記ダイヤフラムとを溶融
することにより合金層を形成することを特徴とするダイ
ヤフラムの溶接方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26445789A JPH03125937A (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 | ダイヤフラムの溶接方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26445789A JPH03125937A (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 | ダイヤフラムの溶接方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03125937A true JPH03125937A (ja) | 1991-05-29 |
Family
ID=17403474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26445789A Pending JPH03125937A (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 | ダイヤフラムの溶接方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03125937A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012168125A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Denso Corp | 圧力センサ |
KR20140045494A (ko) * | 2011-07-07 | 2014-04-16 | 키스틀러 홀딩 아게 | 다이아프램을 센서 하우징에 연결하는 방법 |
-
1989
- 1989-10-11 JP JP26445789A patent/JPH03125937A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012168125A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Denso Corp | 圧力センサ |
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