JPH03118459A - 排ガスセンサ - Google Patents

排ガスセンサ

Info

Publication number
JPH03118459A
JPH03118459A JP25542989A JP25542989A JPH03118459A JP H03118459 A JPH03118459 A JP H03118459A JP 25542989 A JP25542989 A JP 25542989A JP 25542989 A JP25542989 A JP 25542989A JP H03118459 A JPH03118459 A JP H03118459A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oxide
exhaust gas
metal
resistance value
titanium oxide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25542989A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinya Morishita
真也 森下
Hatsuhiko Oikawa
初彦 及川
Shigetaka Wada
重孝 和田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Central R&D Labs Inc
Original Assignee
Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Central R&D Labs Inc filed Critical Toyota Central R&D Labs Inc
Priority to JP25542989A priority Critical patent/JPH03118459A/ja
Publication of JPH03118459A publication Critical patent/JPH03118459A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、自動車等の内燃機関などから排気される排気
ガス中の酸素濃度を検出するための排ガスセンサに関し
、さらに詳しくは、金属酸化物からなる感ガス層部を有
する排ガスセンサであって使用温度範囲の広い排ガスセ
ンサに関するものである。
〔従来技術およびその問題点〕
従来より、自動車等の内燃機関などから排気される排気
ガスを浄化する目的で、該排気ガス中の酸素濃度を測定
し、この測定結果をもとに該排気ガスの組成を所望の範
囲に保つような排気ガス浄化システムが開発され、実用
に供されている。
この排気ガス浄化システムに用いられる酸素濃度検出セ
ンサとしては、抵抗値が酸素濃度によって変化する酸化
チタンを用いた排ガスセンサが実用化されている。この
排ガスセンサは、第3図に示すように、定電圧電源11
に対し、基準抵抗12と該酸化チタン13とを直列に接
続した構成からなり、該酸化チタン13の抵抗値が理論
空燃比を境に大きく変化することを利用し、回路上の電
圧降下が主に該基準抵抗12でおきているか、該酸化チ
タン13でおきているのかを出力端子14から読み取り
空燃比を検出するものである。この排ガスセンサの酸化
チタンのリーン雰囲気およびリッチ雰囲気での抵抗値と
温度との関係を、第4図に示す。同図に示されるように
、リーン雰囲気における抵抗値15、リッチ雰囲気にお
ける抵抗値16はともに温度上昇とともに低下する。前
述のように、空燃比は電圧降下が基準抵抗12と酸化チ
タン13のどちらで起きるかによって検出されるもので
ある。そのため、基準抵抗12の抵抗値17は、リーン
雰囲気における抵抗値15とリッチ雰囲気における抵抗
値16との間にあることが必要であり、排ガスセンサと
しての使用温度範囲は400〜700℃と狭いものであ
る。
この従来の排ガスセンサの使用温度範囲が狭いという問
題点を解決するために、技術開発が活発に行われ、これ
ら不具合を解決する方法がいくつか提案されている。そ
の一つに、電気回路により酸化チタンの抵抗値あるいは
出力から基準抵抗値を切り換える方法あるいは比較電圧
を補正する方法として、「ガス検出装置」 (特開昭5
4−85097号)、「チタニア式02センサの信号処
理回路」(特開昭56−22944号)、「空燃比検出
装置」 (特開昭56−42132号)がある。しかし
ながら、これら電気回路によって補正するタイプの排ガ
スセンサでは、検出回路が複雑なものとなり、故障等を
生じやすいという欠点があった。
また、その他の方法として、基準抵抗にNTCサーミス
タを用いて酸化チタンの温度依存性を補償する方法「ガ
ス中の酸素検知装置」 (特開昭53−61396号)
がある。しかしながら、この方法では、所望の抵抗値を
持つNTCサーミスタが得られにくいとともに、温度補
償をする上でNTCサーミスタを必ず酸化チタン近傍に
配置しなくてはならないという問題点があった。さらに
、酸化チタンをヒーター加熱によって所定の温度に保持
する方法「空燃比センサ」 (特開昭53−84797
号)がある。
しかしながら、このヒータによって温度コントロールす
る排ガスセンサは、新たにヒータ用電源が必要になると
ともに排ガスセンサとしての製作工程が増加するという
問題があった。
そこで、本発明者らは、上述の如き従来技術の問題点を
解決すべく鋭意研究し、各種の系統的実験を重ねた結果
、本発明を成すに至ったものである。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、使用温度範囲の広い排ガスセンサを提
供するにある。
本発明者らは、上述の従来技術の問題に関し、以下のこ
とに着眼した。すなわち、リーン雰囲気とリッチ雰囲気
とにおける3〜4桁に及ぶ感ガス層の抵抗値の変化を損
なうことなく、リーン雰囲気とリッチ雰囲気とにおける
感ガス層の抵抗値の温度変化率を低下させることにより
、第3図に示されるような従来タイプの排ガスセンサで
も、リーン雰囲気とリッチ雰囲気とを十分に広い温度範
囲で検出できる排ガスセンサとして提供できることに着
眼した。
〔第1発明の説明〕 第1発明の構成 本第1発明の排ガスセンサは、一対の電極と。
該電極間に配設された感ガス層部とからなる排ガスセン
サにおいて、感ガス層部が、感ガス性を示す金属酸化物
と、該金属酸化物に少なくとも一部固溶した前記金属酸
化物よりも原子価の大きい金属の酸化物とからなること
を特徴とする。
!土産団Ω作里 本第1発明の排ガスセンサが奏する効果を発揮するメカ
ニズムについては、未だ必ずしも明らかではないが、次
のように考えられる。
すなわち、本第1発明の排ガスセンサの感ガス層は、感
ガス性を示す金属酸化物と、該金属酸化物に少なくとも
一部固溶した前記金属酸化物よりも原子価の大きい金属
の酸化物とからなる。この前記金属酸化物よりも原子価
の大きい金属元素は、該排ガスセンサ製造途中の焼成過
程において前記感ガス性を示す金属酸化物の結晶格子中
に置換固溶し易い。そして、これら元素は、感ガス層中
の感ガス性を示す金属酸化物に対し、電子ドナーとして
作用する。そのため、感ガス層中の感ガス性を示す金属
酸化物の伝導帯内の熱励起電子生成の活性化エネルギー
は低下され、その結果、感ガス層の抵抗値の温度変化率
を低減することができる。
第1発明の効果 本第1発明の排ガスセンサは、使用温度範囲の広い排ガ
スセンサである。
すなわち、感ガス層をなす金属酸化物に対し、電子ドナ
ーとして作用する前記金属酸化物より原子価の大きい金
属元素を固溶させることにより、リーン雰囲気とリッチ
雰囲気とにおける抵抗値変化を十分に確保でき、さらに
、両雰囲気における抵抗値の温度変化率を低減できるた
め、ヒータあるいは基準抵抗等の切り換え回路等を使用
することなく、従来よりも広い温度範囲において空燃比
を検出する排ガスセンサとして作動する。
〔第1発明のその他の発明の説明〕 以下に、前記第1発明のその他の発明について説明する
本発明の排ガスセンサにおいて、電極は、耐熱性の導電
体であれば特に限定されるものではなく、通常は金ある
いは白金族を主成分とするものが使用される。
また、感ガス層部は、感ガス性を示す金属酸化物と、該
金属酸化物に少なくとも一部固溶した前記金属酸化物よ
りも原子価の大きい金属の酸化物とからなる。
金属酸化物は、感ガス性を示す物質からなり、酸素濃度
に対して抵抗値変化として応答する酸化物半導体を用い
る。具体的には、酸化チタン(Ti0z)、酸化スズ(
S n Ot )、酸化亜鉛(ZnO)、酸化ニオブ(
Nb205)、酸化タンタル(Ta2nt)、酸化セリ
ウム(CeOz)、等が挙げられる。これら酸化物半導
体は、非化学量論組成であり、例えば酸化チタンでは、
酸素との間に化学平衡 ←         2 が成立する。酸素濃度に対して伝導帯内の電子数が増減
するため理論空燃比を境にしてその抵抗値が急激に変化
する。
金属酸化物よりも原子価の大きい金属の酸化物は、金属
酸化物が酸化チタンの場合、5価の原子価を持つ金属の
酸化物が挙げられ、例えばニオブ、タンタル等の酸化物
を挙げることができる。また、酸化スズの場合はアンチ
モン等の酸化物が、酸化亜鉛の場合はアルミニウム、ク
ロム等の酸化物が、酸化ニオブの場合はタングステン、
モリブデン等の酸化物が、酸化タンタルの場合はタング
ステン、モリブデン等の酸化物が、酸化セリウムの場合
はタンタル等の酸化物が挙げられる。
この金属酸化物よりも原子価の大きい金属の酸化物は、
前記感ガス性を示す物質である金属酸化物に少なくとも
その一部が固溶している。なお、該金属の酸化物の固溶
体は、少なくとも前記感ガス層の電流通過部に均一に分
散されてなることが好ましい。これは、前記金属酸化物
よりも原子価の大きい金属の酸化物の添加効果を得るに
は、該金属の酸化物の固溶体よりなる電導経路が電流通
過部内に形成されることが必要だからである。
本発明の感ガス層部は、前記金属酸化物と該金属酸化物
よりも原子価の大きい前記金属の酸化物とからなる。な
お、この感ガス層部は、多孔性焼結体であることが好ま
しい。これは、電導度が伝導帯内の電子数と必ずしも一
致しないという多孔性焼結体固有の特性によって、酸素
濃度に対する応答性の低下を抑制するためである。
また、感ガス層部の金属酸化物よりも原子価の大きい金
属の酸化物の割合が、感ガス性を示す金属酸化物に対し
て0.02〜0.5モル%であることが好ましい。これ
は、金属酸化物の抵抗特性に及ぼす感ガス層部の金属酸
化物よりも原子価の大きい金属の酸化物の前記添加効果
を得るためには、すなわち、金属酸化物の抵抗値の温度
変化率を低下させるとともに酸素濃度に対する応答性を
保つためには、0.02モル%以上添加することが必要
だからである。また、添加量が0.5モル%を越えると
、伝導帯内の電子が多くなりすぎ、リーン雰囲気とリッ
チ雰囲気とにおける金属酸化物の抵抗値変化が小さくな
って排ガスセンサとしての特性が低下するとともに、空
燃比変化に対するセンサ出力の応答速度が低下するよう
になるからである。
ここで、感ガス層部の金属酸化物よりも原子価の大きい
金属の酸化物の固溶効果について、金属酸化物として酸
化チタンを例に説明する。
すなわち、酸化チタンに対する5価の原子価を持つN 
b 20 s 、T a 20 sの固溶効果は、次ノ
ヨうである。
N b 20 S 、T a 20 sは、酸化チタン
に対しTi’+の格子位置がNb”、Ta5+と置き換
わって固溶する。そして、全体としての電気的中性を保
つため、置換固溶したNb5“或いはTa’+量と同量
の格子位置のTi4+がTi3+となる。このTi3+
は、 T i”     Ti”  +  eの平衡反応によ
り酸化チタンの伝導帯に電子を与えるドナーとして作用
するため、酸化チタンの伝導帯内の熱励起電子生成の活
性化エネルギーを低下させることができ、その結果、酸
化チタンの抵抗値の温度変化率を低減することができる
なお、感ガス層部が酸化チタン、該金属酸化物よりも原
子価の大きい金属の酸化物が酸化ニオブまたは酸化タン
タルの場合は、Nb”(イオン半径:0.69人)、T
a5+(イオン半径:0.68人)が酸化チタンの格子
位置のTi”(イオン半径=0゜68人)とイオン半径
がほぼ等しいので、酸化ニオブまたは酸化タンタルは酸
化チタンに対して置換固溶し易く、前記添加効果を一層
奏することができ、また酸化チタンに対し比較的少量の
酸化ニオブ、酸化タンタルによって前記添加効果を十分
に得ることができる。また、酸化チタンに対する酸化ニ
オブ、酸化タンタルの固溶限界も大きく、固溶した状態
が熱力学的にも安定な状態であるため、高温条件下で長
時間使用しても偏析など生ずることがなく、前記添加効
果を持続することができ、センサとしての耐久性に大変
優れている。
次に、本発明の感ガス層の製造方法について、その具体
的な例を簡単に説明すると以下のようである。
なお、ここでは、金属酸化物としての酸化チタンと金属
酸化物よりも原子価の大きい金属の酸化物として酸化ニ
オブまたは酸化タンタルを用いた例として述べる。
先ず、酸化チタンと酸化ニオブまたは酸化タンタルとか
らなる感ガス層の調整方法について述べる。
第1の方法は、酸化チタン粉末ならびに所定量の酸化ニ
オブ(N b 20 s )、あるいは酸化タンタル(
Ta20s)の粉末をボールミルを用いて機械的に粉砕
混合するものである。機械的な混合方法であるため、よ
り均一な混合を図るには出発原料の粒径が小さいことが
必要であり、5μm以下であることが望ましい。また、
該出発原料の純度も所期の添加効果を得るには3N以上
であることが好ましい。使用するボールミルは、不純物
等の混入を極力防止するためナイロン等のプラスッチク
製が望ましく、混合時間も6時間以上であることが好ま
しい。
第2の方法は、所定量のニオブあるいはタンタルのアル
コキシドを溶解したアルコール溶液に酸化チタン粉末を
添加して混合乾燥させるものである。該方法では、ニオ
ブあるいはタンタルのアルコキシドは乾燥過程中に空気
中の水分によって加水分解され、酸化ニオブあるいは酸
化タンタルとして酸化チタン粉末表面を均一に被覆する
。そのため、酸化チタン粉末に対するニオブ、タンタル
の分散状態は機械的な混合方法よりも均一性が高い。ま
た、使用する酸化チタン粉末の粒径は小さいことが必要
で、5μm以下であることが望ましく、その純度も所期
の添加効果を得るには3N以上であることが好ましい。
第3の方法は、チタンのアルコキシドを溶解したアルコ
ール溶液に所定量のニオブあるいはタンタルのアルコキ
シドを添加し、混合乾燥させるものである。この方法で
は、出発原料が全て溶液であるため、加水分解後に生成
する酸化チタンに対するニオブあるいはタンタルの分散
状態は最も均一である。また、出発原料として5N以上
のニオブ、タンタルあるいはチタンのアルコキシドの人
手が容易であり、0.1モル%以下の添加を行うのに好
ましい手法である。
次いで、以上のようにニオブあるいはタンタルを添加し
た酸化チタン粉末は、排ガスセンサとしての機械的強度
を付与するため成形した後、温度1000〜1400°
Cで焼成し、本発明の排ガスセンサを得る。なお、焼成
は、電気炉を用いた炉中加熱でも、マイクロ波加熱で行
ってもよい。このとき、焼成時間は、焼成温度が高いほ
ど短くすることができ、焼成温度が1200℃の炉中加
熱の場合、焼成時間は約4時間である。この焼成過程に
おいて添加したニオブ、タンタルは酸化チタン中に置換
固溶する。
本発明の排ガスセンサは、酸化チタン感ガス部をディス
ク状に形成し、白金電極対で挟み込む形状としてもよい
また、厚膜技術等のハイブリッド技術を用い、セラミッ
クス基板上に形成してもよい。
〔実施例〕
以下に、本発明の詳細な説明する。
第1実施例 金属酸化物として酸化チタンを、金属酸化物よりも原子
価の大きい金属の酸化物としてニオブおよびタンタルを
用いて排ガスセンサを作製し、該センサの性能評価試験
を行った。
先ず、純度3N、粒径2μmの酸化チタン、酸化ニオブ
(NbzOs)の粉末を用意し、酸化チタン2gに対し
酸化ニオブを酸化物として0.1モル%、0.2モル%
、0.5モル%、ならびに1.0モル%秤量し、試薬特
級のエタノールを100mA’加えたナイロンとポリプ
ロピレン製のボールミル(内容量250m1)を用い、
24時間機械的に混合後、乾燥して酸化ニオブを所定量
添加した酸化チタン粉末を調整した。
また、純度3N、粒径2μmの酸化チタンならびに純度
5Nのペンタ−1−プロポキシタンタル〔Ta(Oi 
 Pr)s)を用意し、酸化チタン2gに対しペンタ−
1−プロポキシタンタルを加水分解後の酸化物として0
.1モル%、0.2モル%、0.5モル%、ならびに1
.0モル%秤量し、試薬特級のエタノール100m17
を加えた容量500mlのパイレックス製のビーカーの
中で十分に撹拌混合後、室温において1週間放置してペ
ンタ−1−プロポキシタンタルを加水分解し、酸化チタ
ン粉末表面にゲルとして固化させた。その後、電気炉中
で大気雰囲気下で500°Cに6時間保持して残存アル
コールならびにアルコキシドを完全に燃焼させ、酸化タ
ンタルを所定量添加した酸化チタン粉末を調整した。
次に、純度5Nのテトラ−1−プロポキシチタンI:T
 i  (−0−i −Pr ) 4 〕、〕ペンター
1−プロポキシニオブNb(Oi  Pr)s)ならび
にペンタ−1−プロポキシタンタル〔Ta(−0−i 
−Pr ) 5]を用意し、テトラ−i−プロポキシチ
タン70gに対し、ペンタ−1−プロポキシニオブなら
びにペンタ−1−プロポキシタンタルを加水分解の後の
酸化物として0.02モル%、0.05モル%秤量し、
試薬特級のエタノールloOmlを加えた容量500m
1のパイレックス製のビーカー内にて充分に攪拌混合後
、室温にて1週間放置して出発原料である各アルコキシ
ドを加水分解し、ゲルとして固化させた。その後、電気
炉中で、大気雰囲気下で500℃に6時間保持し、残存
アルコールならびにアルコキシド基を完全に燃焼させた
。そして、試薬特級のエタノール100m1を加えたナ
イロンとポリプロピレン製のボールミル(内容量250
m1)を用いて24時間機械的に破砕後乾燥し、メツシ
ュ幅5μmのナイロン製のネットを用いて酸化ニオブな
らびに酸化タンタルを所定量添加した粒径5μm以下の
酸化チタン粉末を調整した。
以上のように調整した酸化チタン粉末ならびに出発原料
とした純度3N、粒径2μmの酸化チタン粉末について
、錠剤成形器を用い、減圧下で約350 kg/cJの
圧力で直径13mm、厚さ約2mmの錠剤に成形後、大
気雰囲気下、電気炉中で1200℃にて4時間焼成した
。酸化チタンのみの焼結体の気孔率は17.7%、酸化
ニオブおよび酸化タンタルを添加した酸化チタン焼結体
の気孔率は第1表に示すように添加量が0.02〜0.
5モル%の範囲では20%を越えていた。
以上により得られたディスク状焼結体2に、第1図およ
び第2図に示すように両面に白金3aを厚さ300人イ
オンコーテイング後、機械的に押しつけた直径0.1m
mの白金線3bを介し、50〜第 1 表 70℃に維持した白金10 g/lに相当する[Pt(
NH3)4 E ci2を含むアンモニア性めっき液(
200ml)中で、白金対極に対し20分間−1,OV
の電圧を印加して、イオンブレーティングした白金層上
に白金をめっきして白金電極3を形成した。この時、押
しつけた白金線を巻き込むようにめっきされるため、酸
化チタン焼結体2に対し白金線3bが接続した白金電極
3が形成された。これより、本発明にかかる本実施例の
排ガスセンサlを得た。
次に、この排ガスセンサの性能評価試験を行った。先ず
、300〜900℃にかけて排気ガス温を変えることが
できるとともに、空燃比(λ)が燃料過剰(リッチ雰囲
気:λ=0.9)と燃料不足(リーン雰囲気:λ=1.
1)との間で制御できるプロパンガスバーナー試験機内
に上記工程にて作製した排ガスセンサ試料を保持し、定
常状態における抵抗値を測定した。その結果を、第5図
ないし第10図に示す。また、酸化ニオブの添加量が0
.02モル%、0.5モル%、1.0モル%のものにつ
いて、600℃にてリッチ雰囲気あるいはり一ン雰囲気
において定常状態における抵抗値を測定した後、それぞ
れ逆雰囲気に切り換え、対数抵抗値変化として50%応
答するまでの時間を測定し応答速度として評価した。リ
ーン雰囲気からリッチ雰囲気に切り換えた時の応答時間
をTI、リッチ雰囲気からリーン雰囲気に切り換えた時
の時間をT2として第2表に示す。
第2表 第5図において、酸化チタンのみの試料のリーン雰囲気
の抵抗値15およびリッチ雰囲気の抵抗値16に比べて
、0.02モル%酸化ニオブを添加した試料のリーン雰
囲気の抵抗値5Aおよびリッチ雰囲気の抵抗値5Bはと
もに温度変化率が低下している。この温度変化率の低下
は、酸化ニオブの添加量が0.02モル%以上の場合に
認められる。
第6図ないし第9図においても酸化チタンのみの試料の
リーン雰囲気の抵抗値15およびリッチ雰囲気の抵抗値
16に比べ、0.05モル%、0.1モル%、0.2モ
ル%、0.5モル%の酸化ニオブをそれぞれ添加した試
料のリーン雰囲気の抵抗値6A、7A、8A、9Aおよ
びリッチ雰囲気の抵抗値6B、7B、8B、9Bは、と
もに温度変化率が低下している。
第1θ図において、酸化チタンのみの試料のリーン雰囲
気の抵抗値15がリッチ雰囲気の抵抗値16に対して3
〜4桁大きいのに比べ、1モル%酸化ニオブを添加した
試料では抵抗値の温度変化率は低下しているものの、リ
ーン雰囲気の抵抗値10Aはリッチ雰囲気の抵抗値10
Bに対して1〜2桁しか増加していない。このことは、
試料の酸素濃度に対する応答性が低下したことを示すも
ので、排ガスセンサとしての特性が損なわれていること
を意味する。この現象は、酸化ニオブの添加量が0.5
モル%を越える場合に認められる。
以上の結果より、酸化チタンの抵抗値の変化率を低下さ
せるための酸化ニオブの添加量は、0.02〜0.5モ
ル%が有効であることが分る。
第2表より、酸化ニオブの添加量が0.5モル%以下に
おいては、応答時間はセンサとしての応答性を満足する
ものであるが、0.5モル%を越える場合には応答時間
が1秒を越えセンサとしての応答性を低下させているこ
とが分る。
以上の本実施例の結果より、排ガスセンサとしての特性
を改善するために酸化チタンに対して添加する酸化ニオ
ブの添加量は、0.02〜0.5モル%が有効であるこ
とがわかる。
また、本実施例の酸化チタンに対し酸化タンタルを添加
した試料についてもプロパンガスバーナー試験機にて抵
抗特性を測定した。酸化タンタルを0.02モル%、0
.5モル%、1.0モル%添加した酸化チタンの抵抗値
の温度特性を、第11図ないし第13図に示す。これよ
り、酸化チタンの抵抗値の変化率を低下させるための酸
化タンタルの添加量は0.02〜0.5モル%が有効で
あることが確認された。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は本発明の第1実施例の排ガスセン
サを示し、第1図はその概略斜視図、第2図は第1図の
A−A’断面図、第3図および第4図は従来技術を示し
、第3図はその空燃比検出装置の回路図、第4図はその
装置の酸素センサ素子の抵抗と温度の関係を示す線図、
第5図ないし第13図は本発明の第1実施例の排ガスセ
ンサを用いて行った性能評価試験の結果を示す線図(感
ガス層の抵抗−温度特性の変化を示す線図)である。 l・・・排ガスセンサ、 2・・・感ガス層部、 3・・・電極、 5A、6A、7A、8A、9A、10A。 1 lA、l 2A、13A ・・・リーン雰囲気の抵抗−温度特性の変化5B、6B
、7B、8B、9B、l0B11B、12B、13B

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 一対の電極と、該電極間に配設された感ガス層部とから
    なる排ガスセンサにおいて、 感ガス層部が、感ガス性を示す金属酸化物と、該金属酸
    化物に少なくとも一部固溶した前記金属酸化物よりも原
    子価の大きい金属の酸化物とからなることを特徴とする
    排ガスセンサ。
JP25542989A 1989-09-30 1989-09-30 排ガスセンサ Pending JPH03118459A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25542989A JPH03118459A (ja) 1989-09-30 1989-09-30 排ガスセンサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25542989A JPH03118459A (ja) 1989-09-30 1989-09-30 排ガスセンサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03118459A true JPH03118459A (ja) 1991-05-21

Family

ID=17278647

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25542989A Pending JPH03118459A (ja) 1989-09-30 1989-09-30 排ガスセンサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03118459A (ja)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5114398A (ja) * 1974-07-26 1976-02-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd
JPS5114397A (ja) * 1974-07-26 1976-02-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd
JPS5310696A (en) * 1976-07-08 1978-01-31 Ici Ltd Process for preparing aromatic polymer
JPS5355099A (en) * 1976-10-26 1978-05-19 Bosch Gmbh Robert Semiconductor for sensor for measurement of oxygen and or oxidizable composite contents in exhaust gases
JPS542194A (en) * 1977-06-07 1979-01-09 Nippon Soken Zinc oxide type gas sensor
JPS5730938A (en) * 1980-06-28 1982-02-19 Bosch Gmbh Robert Semiconductor of sensor for measuring content of oxygen and/or components prone to be oxidized in gas
JPS5934141A (ja) * 1982-08-19 1984-02-24 Mitsubishi Electric Corp 電気抵抗式空燃比感応材料
JPS604849A (ja) * 1983-06-22 1985-01-11 Nippon Denso Co Ltd 窒素酸化物検出素子
JPH01260355A (ja) * 1988-04-11 1989-10-17 Figaro Eng Inc 排ガスセンサ
JPH02126146A (ja) * 1988-11-04 1990-05-15 Figaro Eng Inc 自動車の外気導入制御用のガスセンサ

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5114398A (ja) * 1974-07-26 1976-02-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd
JPS5114397A (ja) * 1974-07-26 1976-02-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd
JPS5310696A (en) * 1976-07-08 1978-01-31 Ici Ltd Process for preparing aromatic polymer
JPS5355099A (en) * 1976-10-26 1978-05-19 Bosch Gmbh Robert Semiconductor for sensor for measurement of oxygen and or oxidizable composite contents in exhaust gases
JPS542194A (en) * 1977-06-07 1979-01-09 Nippon Soken Zinc oxide type gas sensor
JPS5730938A (en) * 1980-06-28 1982-02-19 Bosch Gmbh Robert Semiconductor of sensor for measuring content of oxygen and/or components prone to be oxidized in gas
JPS5934141A (ja) * 1982-08-19 1984-02-24 Mitsubishi Electric Corp 電気抵抗式空燃比感応材料
JPS604849A (ja) * 1983-06-22 1985-01-11 Nippon Denso Co Ltd 窒素酸化物検出素子
JPH01260355A (ja) * 1988-04-11 1989-10-17 Figaro Eng Inc 排ガスセンサ
JPH02126146A (ja) * 1988-11-04 1990-05-15 Figaro Eng Inc 自動車の外気導入制御用のガスセンサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4228128A (en) Exhaust gas sensor having porous, metal-impregnated ceramic element
Sahoo et al. CaTiO 3 nano ceramic for NTCR thermistor based sensor application
US4587104A (en) Semiconductor oxide gas combustibles sensor
US5427740A (en) Tin oxide gas sensors
JPS6316356B2 (ja)
US3625756A (en) Method for making a gas-sensing element
EP0114310B1 (en) Carbon monoxide sensing element and process for manufacturing it
US5783153A (en) Metal oxide oxygen sensors based on phase transformation
US5681111A (en) High-temperature thermistor device and method
JPS5814043B2 (ja) 湿度センサ素子
JPH03118459A (ja) 排ガスセンサ
CN1007838B (zh) 热气体氧分压测量传感器
JP3770456B2 (ja) ガス濃度の測定方法
JP2615138B2 (ja) 複合ガスセンサ
RU2403563C1 (ru) Дифференциальный сенсорный датчик для газоанализатора
JP3669807B2 (ja) 一酸化炭素検出センサー
JPH01189553A (ja) ガスセンサー用酸化スズ半導体およびその製造方法
WO2024100996A1 (ja) 金属酸化物半導体ガスセンサ
JP2849588B2 (ja) 薄膜ガスセンサ及びその製造方法
RU91763U1 (ru) Дифференциальный сенсорный датчик газа
KR900003929B1 (ko) 가스 감지소자
JPH02263145A (ja) 半導体式ガスセンサ
US5798269A (en) Method for detecting change in oxygen partial pressure based on metal/metal oxide phase transformations
JPS5950353A (ja) ガス検知素子の製法
JPS59120946A (ja) フロンガス検知素子