JPH03116116A - Liquid crystal display device and production thereof - Google Patents
Liquid crystal display device and production thereofInfo
- Publication number
- JPH03116116A JPH03116116A JP1254881A JP25488189A JPH03116116A JP H03116116 A JPH03116116 A JP H03116116A JP 1254881 A JP1254881 A JP 1254881A JP 25488189 A JP25488189 A JP 25488189A JP H03116116 A JPH03116116 A JP H03116116A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- liquid crystal
- substrate
- layer
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract description 18
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 abstract description 9
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 abstract description 9
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 abstract description 9
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 abstract description 9
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 abstract description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 7
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 abstract description 4
- 239000001056 green pigment Substances 0.000 abstract description 4
- 239000001054 red pigment Substances 0.000 abstract description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- IRERQBUNZFJFGC-UHFFFAOYSA-L azure blue Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[S-]S[S-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] IRERQBUNZFJFGC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001030 cadmium pigment Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 235000013799 ultramarine blue Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、カラー表示用の液晶表示装置とその製造方法
に係り、とくにカラーフィルタ層の構造とその形成法に
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a liquid crystal display device for color display and a method for manufacturing the same, and particularly relates to a structure of a color filter layer and a method for forming the same.
（従来の技術）
液晶表示装置をカラー化する方法として、般に液晶を封
入する基板の一方にカラーフィルタ層を設けることが行
われる。(Prior Art) As a method of colorizing a liquid crystal display device, a color filter layer is generally provided on one side of a substrate in which liquid crystal is sealed.
第８図はその様な液晶表示装置の概略断面構造を示して
いる。基本構造は、第１の基板８１と第２の基板８２、
およびこれらの間に挾持された液晶層８６からなる。第
１の基板８１は例えば薄膜トランジスタ・アレイとが各
画素の表示電極が形成されたアクティブマトリクス基板
である。第２の基板８２は透明基板であり、その表面に
赤、緑。FIG. 8 shows a schematic cross-sectional structure of such a liquid crystal display device. The basic structure includes a first substrate 81 and a second substrate 82,
and a liquid crystal layer 86 sandwiched between them. The first substrate 81 is, for example, an active matrix substrate on which a thin film transistor array and display electrodes for each pixel are formed. The second substrate 82 is a transparent substrate, and its surface is coated with red and green.
青の三原色の着色部がストライブ状またはドツト状に所
定周期で配列されたカラーフィルタ層８３が形成されて
いる。このカラーフィルタ層８４の表面には平坦化のた
めの樹脂層８４が形成され、さらにその表面に対向電極
となる透明導電膜８５が形成されている。第９図は、第
８図の第１の基板８１側を拡大して示している。フィル
タ層８３の下にはブラックマトリクス・パターン８７が
形成されている。A color filter layer 83 is formed in which colored portions of the three primary colors of blue are arranged in stripes or dots at predetermined intervals. A resin layer 84 for flattening is formed on the surface of this color filter layer 84, and a transparent conductive film 85 which becomes a counter electrode is further formed on the surface. FIG. 9 shows an enlarged view of the first substrate 81 side in FIG. A black matrix pattern 87 is formed under the filter layer 83.
この様な従来の装置において、カラーフィルタ層８３に
は通常ゼラチン層が用いられ、フォトリングラフィや印
刷法によって染料を着色することが行われている。この
方法では表面が平坦にならないために、平坦化のための
例えばアクリル樹脂等の樹脂層８４が形成され、この上
にＩＴＯ等の透明導電膜８５が形成される。In such conventional devices, a gelatin layer is usually used for the color filter layer 83, and colored with dye by photolithography or printing. Since this method does not make the surface flat, a resin layer 84 made of acrylic resin or the like is formed for flattening, and a transparent conductive film 85 made of ITO or the like is formed thereon.
しかしながらこの様な従来のカラー液晶表示装置には、
次のような問題があった。第１に、第１の基板８１側に
カラーフィルタ層８３．樹脂層８４および透明導電膜８
５の三層が積層されているため、ここでの光透過率が大
きく低下する。ゼラチン層を用いたカラーフィルタ層８
１は１μｍ以上となり、平坦化のための樹脂層８４も１
μｍ程度必要であるから、カラー表示でない場合に比べ
てこれらでの光透過率に低下が非常に大きい。However, such conventional color liquid crystal display devices have
There were the following problems. First, a color filter layer 83 . Resin layer 84 and transparent conductive film 8
Since the three layers No. 5 are laminated, the light transmittance here is greatly reduced. Color filter layer 8 using gelatin layer
1 is 1 μm or more, and the resin layer 84 for flattening is also 1 μm.
Since approximately .mu.m is required, the light transmittance in these cases is significantly lowered than in the case of non-color display.
第２は、フィルタ部にゼラチンやアクリル樹脂を用いて
いるため、液晶表示装置組み立て前の洗浄が難しいこと
である。ゼラチンやアクリル樹脂が有機溶剤を用いると
膨潤を起こすためである。したがって例えばフレオン洗
浄のみしか行うことができず、十分な清浄化ができない
。Second, since gelatin or acrylic resin is used in the filter section, it is difficult to clean it before assembling the liquid crystal display device. This is because gelatin or acrylic resin swells when an organic solvent is used. Therefore, for example, only Freon cleaning can be performed, and sufficient cleaning cannot be achieved.
（発明が解決しようとする課題）
以上のように従来のカラー液晶表示装置では、カラーフ
ィルタ層のために光透過率が悪くなり、また組み立て前
の洗浄が十分に行えない、といった問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) As described above, conventional color liquid crystal display devices have had problems such as poor light transmittance due to the color filter layer and insufficient cleaning before assembly. .
本発明は、この様な問題を解決した液晶表示装置とその
製造方法を提供することを目的とする。An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device and a method for manufacturing the same that solves such problems.
［発明の構成コ
（課題を解決するだめの手段）
本発明に係る液晶表示装置は、液晶層を封入する第１．
第２の基板の一方に設けるカラーフィルタ層を、着色剤
を含有する透明導電膜により構成したことを特徴とする
。[Configuration of the Invention (Means for Solving the Problem) The liquid crystal display device according to the present invention includes a first liquid crystal display device that encapsulates a liquid crystal layer.
The color filter layer provided on one of the second substrates is made of a transparent conductive film containing a colorant.
本発明はまた、この様な装置を製造するに当たって、着
色剤を含有する透明導電膜からなるカラーフィルタ層を
物理蒸着法により形成することを特徴とする。The present invention is also characterized in that, in manufacturing such a device, a color filter layer made of a transparent conductive film containing a colorant is formed by a physical vapor deposition method.
本発明における着色剤としては、顔料或いは染料を用い
ることができる。Pigments or dyes can be used as the colorant in the present invention.
（作用）
本発明によれば、電極として用いられる透明導電膜自体
に着色剤を含ませてカラーフィルタとして用いるため、
ゼラチン層およびその表面平坦化のための樹脂層が要ら
なくなり、従来に比べて大きい光透過率が得られる。ま
た有機溶剤を用いた洗浄も可能になる。(Function) According to the present invention, since the transparent conductive film itself used as an electrode is impregnated with a coloring agent and used as a color filter,
A gelatin layer and a resin layer for flattening the surface of the gelatin layer are not required, and a higher light transmittance than before can be obtained. Furthermore, cleaning using an organic solvent becomes possible.
（実施例） 以下、本発明の詳細な説明する。(Example) The present invention will be explained in detail below.
第１図は一実施例の液晶表示装置におけるアクティブマ
トリクス基板に対向する基板側の構造である。１はガラ
ス基板であり、この基板１上には先ず、Ｃ「薄膜により
ブラックマトリクス・バ夕、−ン２が形成される。この
ブラックマトリクス・パターン２が形成された基板上に
、赤、緑、青のカラーフィルタ層３，４．５がそれぞれ
ストライブ状に所定周期で配列形成されている。これら
のカラーフィルタ層３．４．５は、それぞれ赤。FIG. 1 shows the structure of a substrate side facing an active matrix substrate in a liquid crystal display device according to an embodiment. Reference numeral 1 designates a glass substrate, and on this substrate 1, first, a black matrix pattern 2 is formed using a thin film. , blue color filter layers 3, 4.5 are arranged in stripes at a predetermined period.These color filter layers 3, 4.5 are red, respectively.
緑、青の顔料を含んだ透明導電膜であって、これがその
まま、アクティブマトリクス基板の表示電極に対向する
透明電極となっている。It is a transparent conductive film containing green and blue pigments, and serves as a transparent electrode facing the display electrode of the active matrix substrate.
カラーフィルタの製造工程を具体的に第２図のフローを
参照して説明する。ガラス基板１には、コーニング社の
ガラス基板（商品名１７３３）を用い、先ずこれを溶剤
洗浄、アルカリ洗浄およびフレオン洗浄により清浄化す
る。そして次にＣｒ膜を１００人スパッタにより形成し
、これをフォトリソグラフィにより選択エツチングして
ブラックマトリクス・パターン２を形成する。The manufacturing process of the color filter will be specifically explained with reference to the flow shown in FIG. A glass substrate manufactured by Corning (trade name 1733) is used as the glass substrate 1, and is first cleaned by solvent cleaning, alkali cleaning, and Freon cleaning. Next, a Cr film is formed by 100-person sputtering, and this is selectively etched by photolithography to form a black matrix pattern 2.
次に顔料を含む導電材料によるターゲットを用いて、ス
パッタ法によりカラーフィルタ層を形成す−る。顔料に
は無機系顔料と有機系顔料があるが、スパッタを行うた
め耐熱性の点から無機系が好ましい。またカドミウム顔
料は発色性がよいが、毒性を考えると使用したくない。Next, a color filter layer is formed by sputtering using a target made of a conductive material containing pigment. Pigments include inorganic pigments and organic pigments, but inorganic pigments are preferred from the viewpoint of heat resistance since they are sputtered. Also, although cadmium pigments have good coloring properties, they are not recommended to be used due to their toxicity.
これらを考慮して実施例では、赤色顔料に酸化鉄を用い
、青色顔料に群青を用いた。緑色顔料には適当な無機顔
料が見当たらず、やむをえずフタロシアニン系有機顔料
を用いた。また透明導電材料には、ＩＴＯを用いた。す
なわち、ＩＴＯと上述の各顔料を混合して成形したター
ゲットを作り、これを用いてスパッタ法によって約３０
０人の透明導電膜を形成する。各色毎にスパッタとフォ
トリソグラフィによるパターニングを繰り返して、カラ
ーフィルタ層を形成する。各カラーフィルタ層のバター
ニングを行った後に、フィルタ層と基板との付着強度を
高め、ＩＴＯの耐薬品性を高めるため、２００℃のオー
ブン中で１時間の熱処理を行う。Taking these into consideration, in the examples, iron oxide was used as the red pigment, and ultramarine blue was used as the blue pigment. Since no suitable inorganic pigment was found for the green pigment, we had no choice but to use a phthalocyanine-based organic pigment. Moreover, ITO was used as a transparent conductive material. That is, a molded target is made by mixing ITO and each of the above-mentioned pigments, and approximately 30
0 transparent conductive films are formed. Patterning by sputtering and photolithography is repeated for each color to form a color filter layer. After patterning each color filter layer, heat treatment is performed in an oven at 200° C. for 1 hour in order to increase the adhesion strength between the filter layer and the substrate and to improve the chemical resistance of ITO.
こうしてこの実施例によれば、カラーフィルタ層と透明
電極とが一体になるため、従来のカラーフィルタ構造に
比べて光透過率がおよそ２倍程度大きくなる。したがっ
て明るいカラー表示の液晶表示装置が得られる。またゼ
ラチンや樹脂を用いていないため、組み立て前の洗浄に
有機溶剤を用いることができる。In this manner, according to this embodiment, the color filter layer and the transparent electrode are integrated, so that the light transmittance is approximately twice as high as that of the conventional color filter structure. Therefore, a liquid crystal display device with bright color display can be obtained. Additionally, since gelatin and resin are not used, organic solvents can be used for cleaning before assembly.
上記実施例では、カラーフィルタ層となる透明導電膜を
スパッタ法により形成したが、他の物理的蒸着法を利用
することが可能である。例えばガスデポジション法を用
いることができる。その様な実施例を以下に説明する。In the above embodiments, the transparent conductive film serving as the color filter layer was formed by sputtering, but other physical vapor deposition methods may be used. For example, a gas deposition method can be used. Such embodiments are described below.
第３図は実施例に用いたガスデポジョン法による膜形成
室である。真空容器１１には、バルブ１４を介して排気
装置１３が接続されている。また真空容器１１の上部に
は、外部の導入管１６に繋がるノズル１５が設置されて
いる。ノズル１５は例えば１０ｎｍ程度の開口を有し、
この開口部から先の実施例で説明したような色素材料微
粉末が噴射されるようになっている。色素材料微粉末は
、図示しない微粉末生成室において必要な顔料と透明導
電材料を混合したエアロゾル状微粉末として生成され、
これがこの真空容器１１に搬送されてくる。真空容器１
１内のノズル１５の下にすでにブラックマトリクス・パ
ターンが形成されたガラス基板１２が設置され、ノズル
１５からの色素材料微粉末の噴射によって、先の実施例
と同様のカラーフィルタ層が形成されることになる。FIG. 3 shows a film forming chamber by the gas deposition method used in the example. An exhaust device 13 is connected to the vacuum container 11 via a valve 14 . Furthermore, a nozzle 15 connected to an external introduction pipe 16 is installed at the top of the vacuum container 11. The nozzle 15 has an opening of about 10 nm, for example.
Fine pigment material powder as explained in the previous embodiment is sprayed from this opening. The pigment material fine powder is produced as an aerosol-like fine powder by mixing a necessary pigment and a transparent conductive material in a fine powder generation chamber (not shown).
This is transported to this vacuum container 11. Vacuum container 1
A glass substrate 12 on which a black matrix pattern has already been formed is placed under the nozzle 15 in the glass substrate 1, and a color filter layer similar to that in the previous embodiment is formed by jetting fine pigment material powder from the nozzle 15. It turns out.
この場合、ノズル１５を第４図のように複数の開口部が
並んだ櫛形ノズルとすれば、赤、青、線用のノズルを用
意してこれを千鳥状に配置し、度の操作で三色のフィル
タ層を同時に形成することができる。ノズルからの色素
材料の吹き出しを間欠的に行なえば、マトリクス状フィ
ルタ層が得られ、吹出しを連続的に行なってノズルを走
査すれば、ストライブ状フィルタが得られる。この方法
によれば、先の実施例におけるようなりソゲラフイエ程
が不要となる。したがって効率良く大面積にカラーフィ
ルタを形成することができる。In this case, if the nozzle 15 is a comb-shaped nozzle with a plurality of openings lined up as shown in Fig. 4, red, blue, and line nozzles are prepared and arranged in a staggered manner. Color filter layers can be formed simultaneously. If the dye material is intermittently ejected from the nozzle, a matrix-like filter layer can be obtained, and if the nozzle is scanned with continuous ejection, a striped filter can be obtained. According to this method, it is not necessary to perform the solenoid process as in the previous embodiment. Therefore, color filters can be efficiently formed over a large area.
また第５図のように、赤用ノズル１５Ｉ、青用ノズル１
５２．縁周ノズル１５３の三色分のノズルを別々に用意
してこれらを隣接配置すれば、赤。Also, as shown in Figure 5, red nozzle 15I, blue nozzle 1
52. If you separately prepare nozzles for the three colors of the edge nozzle 153 and arrange them next to each other, you can get red.
青、緑の一組のカラーフィルタ・パターンを同時に形成
することができる。A set of blue and green color filter patterns can be formed simultaneously.
第６図は、実際に上記各実施例で説明したスパッタ法お
よびガスデポジション法により形成したカラーフィルタ
層のシート抵抗を測定したデータである。いずれも、顔
料とＩＴＯを混合したターゲットを用いた。６インチの
大きさのカラーフィルタでシート抵抗の平均値８３Ω／
口が得られた。FIG. 6 shows data obtained by actually measuring the sheet resistance of a color filter layer formed by the sputtering method and gas deposition method described in each of the above embodiments. In both cases, a target containing a mixture of pigment and ITO was used. The average sheet resistance of a 6-inch color filter is 83Ω/
I got my mouth.
大面積のカラーフィルタではシート抵抗が大きいと表示
装置の表示性能に支障を来すので、１４インチ程度の大
きさまではシート抵抗１００Ω／口以下が望ましい。本
発明ではこの様な条件を満たす液晶表示装置用カラーフ
ィルタが得られる。If the sheet resistance of a large-area color filter is large, it will impede the display performance of the display device, so it is desirable that the sheet resistance be 100 Ω/unit or less for sizes up to about 14 inches. According to the present invention, a color filter for a liquid crystal display device that satisfies such conditions can be obtained.
以上の実施例では、アクティブマトリクス型液晶表示装
置のアクティブマトリクス基板に対向する基板側にカラ
ーフィルタ層を形成する場合を説明した。本発明はこれ
に限らず、例えばアクティブマトリクス基板の表示電極
自体をカラーフィルタとすることもできる。In the above embodiments, a case has been described in which a color filter layer is formed on the substrate side facing the active matrix substrate of an active matrix type liquid crystal display device. The present invention is not limited to this, and for example, the display electrodes of the active matrix substrate can also be used as color filters.
第７図はその様な実施例のアクティブマトリクス基板の
要部構造を示している。ガラス基板７１にはまず、アド
レス線となるゲート電極７２が形成される。このゲート
電極７２が形成された基板上にゲート絶縁膜７３が形成
され、この上に活性層としてａ−Ｓｔ層７４がパターン
形成される。FIG. 7 shows the main structure of an active matrix substrate of such an embodiment. First, a gate electrode 72 that will become an address line is formed on the glass substrate 71. A gate insulating film 73 is formed on the substrate on which the gate electrode 72 is formed, and an a-St layer 74 is patterned thereon as an active layer.
また、ＩＴＯ膜を用いて各画素電極７５が形成される。Further, each pixel electrode 75 is formed using an ITO film.
この画素電極７５には先の実施例と同様にして顔料が添
加されて、これがカラーフィルタとなる。図では一つの
画素のみ示しているが、各画素の表示電極に対してそれ
ぞれ赤、青、緑の顔料が所定パターンで添加されるよう
にする。A pigment is added to this pixel electrode 75 in the same manner as in the previous embodiment, and this becomes a color filter. Although only one pixel is shown in the figure, red, blue, and green pigments are added in a predetermined pattern to the display electrode of each pixel.
ａ−３ｔ層７４上には、データ線となるソース電極７６
およびドレイン電極７７が形成される。ドレイン電極７
７はａ−Ｓｉ層７４上から延在して表示電極７５に一部
コンタクトさせている。On the a-3t layer 74 is a source electrode 76 that becomes a data line.
and a drain electrode 77 is formed. drain electrode 7
7 extends from above the a-Si layer 74 and partially contacts the display electrode 75 .
このように構成されたアクティブマトリクス基板と、透
明電極が形成された対向基板との間に液晶層を封入する
ことにより、カラー液晶表示装置が得られる。A color liquid crystal display device is obtained by sealing a liquid crystal layer between the active matrix substrate configured in this manner and a counter substrate on which transparent electrodes are formed.
この実施例によっても先の実施例と同様の効果が得られ
る。This embodiment also provides the same effects as the previous embodiment.
本発明は上記各実施例に限られない。例えば実施例では
、透明導電材料としてＩＴＯを用いたが、酸化錫等地の
透明導電材料を用いることができる。The present invention is not limited to the above embodiments. For example, in the embodiment, ITO was used as the transparent conductive material, but other transparent conductive materials such as tin oxide may also be used.
また実施例ではアクティブマトリクス型表示装置を説明
したが、単純マトリクス型にも本発明を適用することが
可能である。さらに実施例では着色剤として顔料を用い
たが、染料でも化学的に安定であれば同様に用いること
ができる。Furthermore, although an active matrix type display device has been described in the embodiment, the present invention can also be applied to a simple matrix type display device. Furthermore, although pigments were used as colorants in the examples, dyes may also be used as long as they are chemically stable.
［発明の効果コ
以上述べたように本発明によれば、光透過率が大きく、
また組み立て前の洗浄処理が容易なカラーフィルタを持
つ液晶表示装置を得ることができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the light transmittance is high;
Further, it is possible to obtain a liquid crystal display device having a color filter that can be easily cleaned before assembly.
第１図は本発明の一実施例における液晶表示装置のカラ
ーフィルタ側基板構造を示す図、第２図はそのカラーフ
ィルタの製造工程を示す図、
第３図は他の実施例におけるガスデポジション装置の膜
形成室を示す図、
第４図および第５図はそのガスデポジション装置に用い
るノズルの構造を示す図、
第６図は実施例により得られたカラーフィルタの表面抵
抗を測定したデータを示す図、第７図は他の実施例にお
けるアクティブマトリクス基板を示す図、
第８図は従来のカラー液晶表示装置の構造を示す図、
第９図は同じくそのカラーフィルタ側基板の構造を拡大
して示す図である。
１・・・ガラス基板、２・・・ブラックマトリクス・パ
ターン、３，４．５・・・カラーフィルタ層、１１・・
・真空容器、１２・・・基板、１３・・・排気装置、１
４・・・バルブ、１５・・・ノズル、１６・・・導入管
、７１・・・ガラス基板、７２・・・ゲート電極、７３
・・・ゲート絶縁膜、７４・・・ａ−３ｉ膜、７５・・
・表示電極（カラーフィルタ層）、７６・・・ソース電
極、７７・・・ドレイン電極。Fig. 1 is a diagram showing the structure of the color filter side substrate of a liquid crystal display device in one embodiment of the present invention, Fig. 2 is a diagram showing the manufacturing process of the color filter, and Fig. 3 is a diagram showing the gas deposition in another embodiment. Figure 4 and Figure 5 are diagrams showing the structure of the nozzle used in the gas deposition equipment. Figure 6 is data obtained by measuring the surface resistance of color filters obtained in Examples. Figure 7 is a diagram showing an active matrix substrate in another embodiment, Figure 8 is a diagram showing the structure of a conventional color liquid crystal display device, and Figure 9 is an enlarged view of the structure of the color filter side substrate. FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Glass substrate, 2... Black matrix pattern, 3,4.5... Color filter layer, 11...
・Vacuum container, 12... Substrate, 13... Exhaust device, 1
4... Bulb, 15... Nozzle, 16... Introducing tube, 71... Glass substrate, 72... Gate electrode, 73
...gate insulating film, 74...a-3i film, 75...
-Display electrode (color filter layer), 76...source electrode, 77...drain electrode.
Claims (2)
び第２の基板の一方に所定周期でカラーフィルタ層が配
列形成され、これら第１および第２の基板の間に液晶層
を封入して構成された液晶表示装置において、前記カラ
ーフィルタ層は、着色剤を含有する透明導電膜により構
成されていることを特徴とする液晶表示装置。(1) A color filter layer is arranged and formed at a predetermined period on one of opposing first and second substrates, at least one of which is transparent, and a liquid crystal layer is sealed between the first and second substrates. In the liquid crystal display device configured as above, the color filter layer is configured of a transparent conductive film containing a colorant.
び第２の基板の一方に所定周期でカラーフィルタ層を配
列形成し、これら第１および第２の基板の間に液晶層を
封入して液晶表示装置を製造する方法において、前記カ
ラーフィルタ層を、物理蒸着法により形成する透明導電
膜に同時に着色剤を含有させることにより形成すること
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。(2) A color filter layer is arranged and formed at a predetermined period on one of opposing first and second substrates, at least one of which is transparent, and a liquid crystal layer is sealed between the first and second substrates. A method for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that the color filter layer is formed by simultaneously adding a coloring agent to a transparent conductive film formed by a physical vapor deposition method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1254881A JPH03116116A (en) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | Liquid crystal display device and production thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1254881A JPH03116116A (en) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | Liquid crystal display device and production thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03116116A true JPH03116116A (en) | 1991-05-17 |
Family
ID=17271130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1254881A Pending JPH03116116A (en) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | Liquid crystal display device and production thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03116116A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002500408A (en) * | 1997-12-23 | 2002-01-08 | バイエル・アクチエンゲゼルシヤフト | Screen printing paste for producing conductive coatings |
| KR100348993B1 (en) * | 2000-03-09 | 2002-08-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | liquid crystal display device |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP1254881A patent/JPH03116116A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002500408A (en) * | 1997-12-23 | 2002-01-08 | バイエル・アクチエンゲゼルシヤフト | Screen printing paste for producing conductive coatings |
| KR100348993B1 (en) * | 2000-03-09 | 2002-08-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | liquid crystal display device |
| US6747717B2 (en) | 2000-03-09 | 2004-06-08 | Lg. Philips Lcd Co. Ltd. | Liquid crystal display device having cholesteric liquid crystal |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5650867A (en) | Functional substrate for controlling pixels | |
| JP2001100217A (en) | Color liquid crystal display device and method for manufacturing the same | |
| US7102710B2 (en) | Manufacturing method of color filter substrate having panel identification | |
| US5358810A (en) | Method of manufacturing liquid crystal display device | |
| GB2420866A (en) | Liquid crystal display device with bubble trap | |
| KR930010664B1 (en) | Method of manufacturing liquid crystal display device | |
| JPS61245106A (en) | Production of color filter | |
| KR20030026736A (en) | Color Filter Panel for Liquid Crystal Display Device using Thermal Imaging and Method of Fabricating the same | |
| JPH03116116A (en) | Liquid crystal display device and production thereof | |
| JPH08179113A (en) | Production of color filter, color filter obtained by this method and liquid crystal dispaly panel constituted by disposing this color filter | |
| JPH09329706A (en) | Color filter, color display device, manufacture thereof and color liquid crystal device | |
| JP4003842B2 (en) | Color filter and manufacturing method thereof | |
| JPS62242918A (en) | Color filter | |
| JPH10268285A (en) | Liquid crystal display device | |
| EP0387805B1 (en) | Method of manufacturing liquid crystal display device | |
| JPH082654Y2 (en) | Electrode substrate for liquid crystal display element | |
| JPH07146407A (en) | Manufacture of color filter | |
| JP2575497B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| JPH06308319A (en) | Production of color filter | |
| JPH0413105A (en) | Light shielding film and formation thereof | |
| JPH08262219A (en) | Color filter | |
| JPH02284117A (en) | Electrode plate for color liquid crystal display device | |
| JPH04143729A (en) | Color liquid crystal display device | |
| JPH02176602A (en) | Manufacture of color filter | |
| JPH07294898A (en) | Color filter |