JPH03111170A - 研磨加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明はワークが保持されたワーク保持盤を駆動δノ
ｚによって強制回転して上記ワークを研磨加工する研磨
加工装置に関する。

（従来の技術） 研磨加工装置には種々のタイプのものがあり、その１つ
としてワークを保持したワーク保持盤を強制回転して上
記ワークを研磨加工する装置が知られている。

第４図はそのようなタイプの従来の研磨加工装置を示し
、図中１はワーク保持盤である。このワク保持盤１の下
面には複数のワーク２が接着剤によって貼着されている
。このワーク保持盤］は、その上面に貼着された両面粘
着テープ３によって駆動ｍ４の下面に結合されている。

この駆動盤４の上面には駆動源である駆動モータ５によ
って回転駆動される駆動軸６が固着されている。そして
、上記ワーク２を研磨定盤７に接合させ、この研磨定盤
７上に研磨液を供給しながら上記ワーク保持盤１を上記
駆動モータ５によって強制回転させることで、上記ワー
ク２を研磨加工するようにしている。

ところで、このような構成の研磨加工装置によると、駆
動モータ５によってワーク保持盤１を強制回転させると
、上記駆動モータ５で発生する熱が駆動軸６と駆動盤４
を介してワーク保持盤〕に伝わることが避けられない。

すると、このワーク保持盤１が熱々形するから、ワーク
保持盤１に保持されたワーク２の被研磨面が研磨定盤７
に均一に接触しなくなり、ワーク２の研磨精度が低下す
るということが生しる。

（発明が解決しようとする課題） このように従来の研磨加工装置はワークを保持したワー
ク保持盤が駆動源の熱影響を受けて変形するため、ワー
クの研磨精度が低下するということがあった。

この発明は」二記事情にもとずきなされたもので、その
目的とするところは、ワークを保持したワク保持盤が駆
動源の熱影響を受けることかないようにした研磨加工装
置を提供することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段及び作用）上記課題を解決
するためにこの発明は、ワタを保持するワーク保持盤を
駆動軸によって回転駆動して上記ワークを研磨加工する
研磨加工装置において、上記ワーク保持盤と上記駆動軸
とは磁気継手によって非接触状態で磁気的に結合する。

このよう構成とすることで、駆動源で発生した熱は磁気
継手によって遮断され、ワーク保持盤に伝わることかな
いから、ワーク保持盤が熱変形するのか防止される。

（実施例） 以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照し
て説明する。第１図に示す研磨加工装置はガラスや金属
なとて作られたワーク保持盤１］を有する。このワーク
保持盤１１の下面には複数のワーク１２が接着などの手
段によってその上面を接合させて保持されている。これ
らワーク１２の被研暦面となる下面は研磨液が供給され
る研磨定盤］３の上面に接触させられる。この研磨定盤
１３は図示しない駆動源によって回転駆動させることが
できるようになっている。

上記ワーク保持盤１］の上面には磁気継手１４を構成す
る第１の磁石］５が接合固定されている。

この第１の磁石１５は、上面に半球形状の四部１６か形
成されているとともに、その表面は第２図に示すように
Ｎ極とＳ極とか格子状に交互に磁化されている。さらに
、四部１６の周辺部には周方向に９０度間隔で４つの位
置決め孔］７か穿設されている。

」二記第１の磁石１５の上方には駆動軸１８の下端に固
着された取付板１つか配設されている。この取付板１９
の下面には上記四部１６と対応する半球形状の凸状の第
２の磁石２１が固着されている。この第２の磁石２１の
表面は第３図に示すように上記四部１６の表面と同様Ｎ
極とＳ極とが格子状に交互に磁化されている。すなわち
、上記第１の磁石］５と第２の磁石２］とで上記磁気継
手１４を構成し、それによって第１の磁石］５と第２の
磁石２１とが磁気的に非接触状態て結゛合されるように
なっている。

上記取付板１９の上記第２の磁石２１の周辺部の箇所に
は上記位置決め孔１７と対応して４つの挿入孔２２が穿
設されている。これら挿入孔２２から上記位置決め孔］
８にはそれぞれテーバピン２３が着脱自在に挿入される
ようになっている。

さらに、取付板１９にはギャップセンサ２４が敗亡され
、このギャップセンサ２４の先端は上記第１の磁石１５
の上面周辺部に設けられた環状のギャップｆｌｔｌｌ定
リング２５に対向する。それによって、ギャップセンサ
２４と測定リング２５とのギャプ、つまり第１の磁石１
５の凹部］６の表面と第２の磁石２］の表面とのギャッ
プを測定できるようになっている。

上記駆動軸１８は駆動源である駆動モータ２６の回転軸
２７に継手２８によって連結されている。

この駆動モータ２６は図示しない駆動機構によって水平
方向と垂直方向とに駆動させることができるようになっ
ている。そして、上記駆動モータ２６によって上記駆動
軸］８を回転駆動すれば、上記ワーク保持盤１］を磁気
継手１４を介して連動させることができるようになって
いる。

つぎに、上記構成の研磨加工装置によってワーク１２を
研磨加工する手順を説明する。ワーク保持盤１１の下面
にワーク１２を接着して保持し、これらワーク１２を研
磨定盤］３に接触させたならば、取付板１９の挿入孔２
２から第１の磁石１５の位置決め孔１７にテーパピン２
３を挿入する。それによって、第１の磁石１５と第２の
磁石２］との水平方向における相対的な位置決めを行う
ことかできる。ついで、ギャップセンサ２４の出力を見
ながら駆動モータ２６とともに駆動軸１８を下降させ、
第１の磁石］５と第２の磁石２１とのギヤングを適切に
なるよう設定し、これらの垂直方向の位置決めを行う。

このようにして第１の磁石１５と第２の磁石２１との相
対的位置決めをしたなら、取イ・ｊ板１つからテーパピ
ン２３を抜き取って研磨定盤１３上に研磨液（図示せず
）を供給しながら駆動モータ２６を作動させて駆動軸１
８を同転させ、また研磨定盤１３も図示しない駆動源を
作動させて回転駆動する。

上記駆動軸１８を回転さぜれば、この下端に取付板１つ
を介して取付けられた第２の磁石２１が回転することに
なるから、この第２の磁石２］に磁気結合された第１の
磁石］５も回転する。したがって、この第１の磁石１５
の下面のワーク保持盤］コに保持されたワ−り１２の被
研磨面である下面が研磨定盤１３の上面に供給された研
磨液によって研磨されることになる。

このようにしてワーク］２の研磨加工を継続すると、駆
動モータ２６か発熱し、その熱か駆動軸］８から取付板
］９を介して磁気継手〕４を構成する第２の磁石２１に
伝達される。この第２の磁石２１と第１の磁石１５とは
非接触状態で磁気的に結合されている。そのため、第２
の磁石２１に伝達された駆動モータ２６の熱はこの第２
の磁石２１から第１の磁石１５へはほとんど伝わること
かないから、第１の磁石１５に取着されたワーク保持盤
１１が熱変形することがない。

したがって、ワーク保持盤１１に取着されたワク１２は
研磨定盤］３に対してほぼ一定の接触状態が保たれるか
ら、上記ワーク］２を高精度に研磨加工することができ
る。

なお、」二記−実施例では第１の磁石と第２の磁石との
対向する表面をそれぞれ半球形状にしたが、これらの対
向する表面は平面であってもよく、要は非接触状態で結
合する磁気継手を構成できればよい。

また、この発明はラッピング、ポリッシング、フロート
ポリッシングなどのワークを強制回転させる研磨加工装
置であれば適用することができる。

さらに、上記一実施例では駆動モータの回転軸に駆動軸
を連結し、この駆動軸に取付板を介して第１の磁石を取
付けたが、上記駆動モータの回転軸に取（−Ｊ板を介し
て第１の磁石を取付けるようにしてもよい。つまり、駆
動モータの回転軸を駆動軸として利用してもよい。

「発明の効果コ 以」二述べたようにこの発明は、ワークが取着されるワ
ーク保持盤と駆動軸とを磁気継手によって非接触状態で
磁気的に結合するようにしたから、上記駆動源で発生す
る熱が駆動軸に伝達されても、この駆動軸と非接触状態
で結合されたワーク保持盤には伝達されることがない。

したがって、上記ワーク保持盤が駆動源の熱影響を受け
て熱変形し、ワークと研磨定盤との接触状態に狂いが生
じるということがないから、上記ワークを高精度に研磨
加工することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す研磨加工装置の縦断
面図、第２図は同しく第１の磁石の平面図、第３図は同
しく第２の磁石の平面図、第４゛コ゛は従来の研磨加工
装置の縦断面図である。 Ｎ１１１・・・ワーク保持盤、１２・・ワーク、１４・
・磁気継手、１５・・・第１の磁石、１８・・・駆動軸
、２１・・・第２の磁石。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ワークを保持するワーク保持盤を駆動軸によって回転駆
   動して上記ワークを研磨加工する研磨加工装置において
   、上記ワーク保持盤と上記駆動軸とは磁気継手によって
   非接触状態で磁気的に結合されることを特徴とする研磨
   加工装置。