JPH03111170A - 研磨加工装置 - Google Patents
研磨加工装置Info
- Publication number
- JPH03111170A JPH03111170A JP1245288A JP24528889A JPH03111170A JP H03111170 A JPH03111170 A JP H03111170A JP 1245288 A JP1245288 A JP 1245288A JP 24528889 A JP24528889 A JP 24528889A JP H03111170 A JPH03111170 A JP H03111170A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- polishing
- workpiece
- work holding
- holding plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明はワークが保持されたワーク保持盤を駆動δノ
zによって強制回転して上記ワークを研磨加工する研磨
加工装置に関する。
zによって強制回転して上記ワークを研磨加工する研磨
加工装置に関する。
(従来の技術)
研磨加工装置には種々のタイプのものがあり、その1つ
としてワークを保持したワーク保持盤を強制回転して上
記ワークを研磨加工する装置が知られている。
としてワークを保持したワーク保持盤を強制回転して上
記ワークを研磨加工する装置が知られている。
第4図はそのようなタイプの従来の研磨加工装置を示し
、図中1はワーク保持盤である。このワク保持盤1の下
面には複数のワーク2が接着剤によって貼着されている
。このワーク保持盤]は、その上面に貼着された両面粘
着テープ3によって駆動m4の下面に結合されている。
、図中1はワーク保持盤である。このワク保持盤1の下
面には複数のワーク2が接着剤によって貼着されている
。このワーク保持盤]は、その上面に貼着された両面粘
着テープ3によって駆動m4の下面に結合されている。
この駆動盤4の上面には駆動源である駆動モータ5によ
って回転駆動される駆動軸6が固着されている。そして
、上記ワーク2を研磨定盤7に接合させ、この研磨定盤
7上に研磨液を供給しながら上記ワーク保持盤1を上記
駆動モータ5によって強制回転させることで、上記ワー
ク2を研磨加工するようにしている。
って回転駆動される駆動軸6が固着されている。そして
、上記ワーク2を研磨定盤7に接合させ、この研磨定盤
7上に研磨液を供給しながら上記ワーク保持盤1を上記
駆動モータ5によって強制回転させることで、上記ワー
ク2を研磨加工するようにしている。
ところで、このような構成の研磨加工装置によると、駆
動モータ5によってワーク保持盤1を強制回転させると
、上記駆動モータ5で発生する熱が駆動軸6と駆動盤4
を介してワーク保持盤〕に伝わることが避けられない。
動モータ5によってワーク保持盤1を強制回転させると
、上記駆動モータ5で発生する熱が駆動軸6と駆動盤4
を介してワーク保持盤〕に伝わることが避けられない。
すると、このワーク保持盤1が熱々形するから、ワーク
保持盤1に保持されたワーク2の被研磨面が研磨定盤7
に均一に接触しなくなり、ワーク2の研磨精度が低下す
るということが生しる。
保持盤1に保持されたワーク2の被研磨面が研磨定盤7
に均一に接触しなくなり、ワーク2の研磨精度が低下す
るということが生しる。
(発明が解決しようとする課題)
このように従来の研磨加工装置はワークを保持したワー
ク保持盤が駆動源の熱影響を受けて変形するため、ワー
クの研磨精度が低下するということがあった。
ク保持盤が駆動源の熱影響を受けて変形するため、ワー
クの研磨精度が低下するということがあった。
この発明は」二記事情にもとずきなされたもので、その
目的とするところは、ワークを保持したワク保持盤が駆
動源の熱影響を受けることかないようにした研磨加工装
置を提供することにある。
目的とするところは、ワークを保持したワク保持盤が駆
動源の熱影響を受けることかないようにした研磨加工装
置を提供することにある。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段及び作用)上記課題を解決
するためにこの発明は、ワタを保持するワーク保持盤を
駆動軸によって回転駆動して上記ワークを研磨加工する
研磨加工装置において、上記ワーク保持盤と上記駆動軸
とは磁気継手によって非接触状態で磁気的に結合する。
するためにこの発明は、ワタを保持するワーク保持盤を
駆動軸によって回転駆動して上記ワークを研磨加工する
研磨加工装置において、上記ワーク保持盤と上記駆動軸
とは磁気継手によって非接触状態で磁気的に結合する。
このよう構成とすることで、駆動源で発生した熱は磁気
継手によって遮断され、ワーク保持盤に伝わることかな
いから、ワーク保持盤が熱変形するのか防止される。
継手によって遮断され、ワーク保持盤に伝わることかな
いから、ワーク保持盤が熱変形するのか防止される。
(実施例)
以下、この発明の一実施例を第1図乃至第3図を参照し
て説明する。第1図に示す研磨加工装置はガラスや金属
なとて作られたワーク保持盤1]を有する。このワーク
保持盤11の下面には複数のワーク12が接着などの手
段によってその上面を接合させて保持されている。これ
らワーク12の被研暦面となる下面は研磨液が供給され
る研磨定盤]3の上面に接触させられる。この研磨定盤
13は図示しない駆動源によって回転駆動させることが
できるようになっている。
て説明する。第1図に示す研磨加工装置はガラスや金属
なとて作られたワーク保持盤1]を有する。このワーク
保持盤11の下面には複数のワーク12が接着などの手
段によってその上面を接合させて保持されている。これ
らワーク12の被研暦面となる下面は研磨液が供給され
る研磨定盤]3の上面に接触させられる。この研磨定盤
13は図示しない駆動源によって回転駆動させることが
できるようになっている。
上記ワーク保持盤1]の上面には磁気継手14を構成す
る第1の磁石]5が接合固定されている。
る第1の磁石]5が接合固定されている。
この第1の磁石15は、上面に半球形状の四部16か形
成されているとともに、その表面は第2図に示すように
N極とS極とか格子状に交互に磁化されている。さらに
、四部16の周辺部には周方向に90度間隔で4つの位
置決め孔]7か穿設されている。
成されているとともに、その表面は第2図に示すように
N極とS極とか格子状に交互に磁化されている。さらに
、四部16の周辺部には周方向に90度間隔で4つの位
置決め孔]7か穿設されている。
」二記第1の磁石15の上方には駆動軸18の下端に固
着された取付板1つか配設されている。この取付板19
の下面には上記四部16と対応する半球形状の凸状の第
2の磁石21が固着されている。この第2の磁石21の
表面は第3図に示すように上記四部16の表面と同様N
極とS極とが格子状に交互に磁化されている。すなわち
、上記第1の磁石]5と第2の磁石2]とで上記磁気継
手14を構成し、それによって第1の磁石]5と第2の
磁石21とが磁気的に非接触状態て結゛合されるように
なっている。
着された取付板1つか配設されている。この取付板19
の下面には上記四部16と対応する半球形状の凸状の第
2の磁石21が固着されている。この第2の磁石21の
表面は第3図に示すように上記四部16の表面と同様N
極とS極とが格子状に交互に磁化されている。すなわち
、上記第1の磁石]5と第2の磁石2]とで上記磁気継
手14を構成し、それによって第1の磁石]5と第2の
磁石21とが磁気的に非接触状態て結゛合されるように
なっている。
上記取付板19の上記第2の磁石21の周辺部の箇所に
は上記位置決め孔17と対応して4つの挿入孔22が穿
設されている。これら挿入孔22から上記位置決め孔]
8にはそれぞれテーバピン23が着脱自在に挿入される
ようになっている。
は上記位置決め孔17と対応して4つの挿入孔22が穿
設されている。これら挿入孔22から上記位置決め孔]
8にはそれぞれテーバピン23が着脱自在に挿入される
ようになっている。
さらに、取付板19にはギャップセンサ24が敗亡され
、このギャップセンサ24の先端は上記第1の磁石15
の上面周辺部に設けられた環状のギャップfltll定
リング25に対向する。それによって、ギャップセンサ
24と測定リング25とのギャプ、つまり第1の磁石1
5の凹部]6の表面と第2の磁石2]の表面とのギャッ
プを測定できるようになっている。
、このギャップセンサ24の先端は上記第1の磁石15
の上面周辺部に設けられた環状のギャップfltll定
リング25に対向する。それによって、ギャップセンサ
24と測定リング25とのギャプ、つまり第1の磁石1
5の凹部]6の表面と第2の磁石2]の表面とのギャッ
プを測定できるようになっている。
上記駆動軸18は駆動源である駆動モータ26の回転軸
27に継手28によって連結されている。
27に継手28によって連結されている。
この駆動モータ26は図示しない駆動機構によって水平
方向と垂直方向とに駆動させることができるようになっ
ている。そして、上記駆動モータ26によって上記駆動
軸]8を回転駆動すれば、上記ワーク保持盤1]を磁気
継手14を介して連動させることができるようになって
いる。
方向と垂直方向とに駆動させることができるようになっ
ている。そして、上記駆動モータ26によって上記駆動
軸]8を回転駆動すれば、上記ワーク保持盤1]を磁気
継手14を介して連動させることができるようになって
いる。
つぎに、上記構成の研磨加工装置によってワーク12を
研磨加工する手順を説明する。ワーク保持盤11の下面
にワーク12を接着して保持し、これらワーク12を研
磨定盤]3に接触させたならば、取付板19の挿入孔2
2から第1の磁石15の位置決め孔17にテーパピン2
3を挿入する。それによって、第1の磁石15と第2の
磁石2]との水平方向における相対的な位置決めを行う
ことかできる。ついで、ギャップセンサ24の出力を見
ながら駆動モータ26とともに駆動軸18を下降させ、
第1の磁石]5と第2の磁石21とのギヤングを適切に
なるよう設定し、これらの垂直方向の位置決めを行う。
研磨加工する手順を説明する。ワーク保持盤11の下面
にワーク12を接着して保持し、これらワーク12を研
磨定盤]3に接触させたならば、取付板19の挿入孔2
2から第1の磁石15の位置決め孔17にテーパピン2
3を挿入する。それによって、第1の磁石15と第2の
磁石2]との水平方向における相対的な位置決めを行う
ことかできる。ついで、ギャップセンサ24の出力を見
ながら駆動モータ26とともに駆動軸18を下降させ、
第1の磁石]5と第2の磁石21とのギヤングを適切に
なるよう設定し、これらの垂直方向の位置決めを行う。
このようにして第1の磁石15と第2の磁石21との相
対的位置決めをしたなら、取イ・j板1つからテーパピ
ン23を抜き取って研磨定盤13上に研磨液(図示せず
)を供給しながら駆動モータ26を作動させて駆動軸1
8を同転させ、また研磨定盤13も図示しない駆動源を
作動させて回転駆動する。
対的位置決めをしたなら、取イ・j板1つからテーパピ
ン23を抜き取って研磨定盤13上に研磨液(図示せず
)を供給しながら駆動モータ26を作動させて駆動軸1
8を同転させ、また研磨定盤13も図示しない駆動源を
作動させて回転駆動する。
上記駆動軸18を回転さぜれば、この下端に取付板1つ
を介して取付けられた第2の磁石21が回転することに
なるから、この第2の磁石2]に磁気結合された第1の
磁石]5も回転する。したがって、この第1の磁石15
の下面のワーク保持盤]コに保持されたワ−り12の被
研磨面である下面が研磨定盤13の上面に供給された研
磨液によって研磨されることになる。
を介して取付けられた第2の磁石21が回転することに
なるから、この第2の磁石2]に磁気結合された第1の
磁石]5も回転する。したがって、この第1の磁石15
の下面のワーク保持盤]コに保持されたワ−り12の被
研磨面である下面が研磨定盤13の上面に供給された研
磨液によって研磨されることになる。
このようにしてワーク]2の研磨加工を継続すると、駆
動モータ26か発熱し、その熱か駆動軸]8から取付板
]9を介して磁気継手〕4を構成する第2の磁石21に
伝達される。この第2の磁石21と第1の磁石15とは
非接触状態で磁気的に結合されている。そのため、第2
の磁石21に伝達された駆動モータ26の熱はこの第2
の磁石21から第1の磁石15へはほとんど伝わること
かないから、第1の磁石15に取着されたワーク保持盤
11が熱変形することがない。
動モータ26か発熱し、その熱か駆動軸]8から取付板
]9を介して磁気継手〕4を構成する第2の磁石21に
伝達される。この第2の磁石21と第1の磁石15とは
非接触状態で磁気的に結合されている。そのため、第2
の磁石21に伝達された駆動モータ26の熱はこの第2
の磁石21から第1の磁石15へはほとんど伝わること
かないから、第1の磁石15に取着されたワーク保持盤
11が熱変形することがない。
したがって、ワーク保持盤11に取着されたワク12は
研磨定盤]3に対してほぼ一定の接触状態が保たれるか
ら、上記ワーク]2を高精度に研磨加工することができ
る。
研磨定盤]3に対してほぼ一定の接触状態が保たれるか
ら、上記ワーク]2を高精度に研磨加工することができ
る。
なお、」二記−実施例では第1の磁石と第2の磁石との
対向する表面をそれぞれ半球形状にしたが、これらの対
向する表面は平面であってもよく、要は非接触状態で結
合する磁気継手を構成できればよい。
対向する表面をそれぞれ半球形状にしたが、これらの対
向する表面は平面であってもよく、要は非接触状態で結
合する磁気継手を構成できればよい。
また、この発明はラッピング、ポリッシング、フロート
ポリッシングなどのワークを強制回転させる研磨加工装
置であれば適用することができる。
ポリッシングなどのワークを強制回転させる研磨加工装
置であれば適用することができる。
さらに、上記一実施例では駆動モータの回転軸に駆動軸
を連結し、この駆動軸に取付板を介して第1の磁石を取
付けたが、上記駆動モータの回転軸に取(−J板を介し
て第1の磁石を取付けるようにしてもよい。つまり、駆
動モータの回転軸を駆動軸として利用してもよい。
を連結し、この駆動軸に取付板を介して第1の磁石を取
付けたが、上記駆動モータの回転軸に取(−J板を介し
て第1の磁石を取付けるようにしてもよい。つまり、駆
動モータの回転軸を駆動軸として利用してもよい。
「発明の効果コ
以」二述べたようにこの発明は、ワークが取着されるワ
ーク保持盤と駆動軸とを磁気継手によって非接触状態で
磁気的に結合するようにしたから、上記駆動源で発生す
る熱が駆動軸に伝達されても、この駆動軸と非接触状態
で結合されたワーク保持盤には伝達されることがない。
ーク保持盤と駆動軸とを磁気継手によって非接触状態で
磁気的に結合するようにしたから、上記駆動源で発生す
る熱が駆動軸に伝達されても、この駆動軸と非接触状態
で結合されたワーク保持盤には伝達されることがない。
したがって、上記ワーク保持盤が駆動源の熱影響を受け
て熱変形し、ワークと研磨定盤との接触状態に狂いが生
じるということがないから、上記ワークを高精度に研磨
加工することができる。
て熱変形し、ワークと研磨定盤との接触状態に狂いが生
じるということがないから、上記ワークを高精度に研磨
加工することができる。
第1図はこの発明の一実施例を示す研磨加工装置の縦断
面図、第2図は同しく第1の磁石の平面図、第3図は同
しく第2の磁石の平面図、第4゛コ゛は従来の研磨加工
装置の縦断面図である。 N111・・・ワーク保持盤、12・・ワーク、14・
・磁気継手、15・・・第1の磁石、18・・・駆動軸
、21・・・第2の磁石。
面図、第2図は同しく第1の磁石の平面図、第3図は同
しく第2の磁石の平面図、第4゛コ゛は従来の研磨加工
装置の縦断面図である。 N111・・・ワーク保持盤、12・・ワーク、14・
・磁気継手、15・・・第1の磁石、18・・・駆動軸
、21・・・第2の磁石。
Claims (1)
- ワークを保持するワーク保持盤を駆動軸によって回転駆
動して上記ワークを研磨加工する研磨加工装置において
、上記ワーク保持盤と上記駆動軸とは磁気継手によって
非接触状態で磁気的に結合されることを特徴とする研磨
加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1245288A JPH03111170A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | 研磨加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1245288A JPH03111170A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | 研磨加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03111170A true JPH03111170A (ja) | 1991-05-10 |
Family
ID=17131436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1245288A Pending JPH03111170A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | 研磨加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03111170A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007189837A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Yaskawa Electric Corp | シリンダ形リニアモータおよびそのガイド装置 |
WO2009051150A1 (ja) * | 2007-10-15 | 2009-04-23 | Nissin Manufacturing Co., Ltd. | 工作機械の加工ツール保護装置およびホーニング盤 |
JP2015104762A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 株式会社ナノテム | 砥石およびそれを用いる研削装置 |
-
1989
- 1989-09-22 JP JP1245288A patent/JPH03111170A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007189837A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Yaskawa Electric Corp | シリンダ形リニアモータおよびそのガイド装置 |
WO2009051150A1 (ja) * | 2007-10-15 | 2009-04-23 | Nissin Manufacturing Co., Ltd. | 工作機械の加工ツール保護装置およびホーニング盤 |
JP2015104762A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 株式会社ナノテム | 砥石およびそれを用いる研削装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2564214B2 (ja) | 均一速度両面研磨装置及びその使用方法 | |
TW434090B (en) | Polishing apparatus including attitude controller for dressing apparatus | |
JPH03111170A (ja) | 研磨加工装置 | |
ATE203943T1 (de) | Vorrichtung zum ausrichten von rundlauffehlern eines werkzeugs | |
JP3613345B2 (ja) | 研磨装置および研磨装置用キャリア | |
US4870743A (en) | Quick change tool assembly for ultrasonic machine tool | |
TWI796408B (zh) | 順應機台以及形成其之基部的方法 | |
JPH10235542A (ja) | 端面研磨方法及び装置 | |
JPH06270139A (ja) | 硬脆性材の穴加工方法 | |
JPS63221968A (ja) | キヤリア | |
JP2941317B2 (ja) | 定寸研磨加工方法 | |
JPH01306172A (ja) | 薄膜の研磨方法及び装置 | |
JP2000117607A (ja) | 研磨工具 | |
JPS62102974A (ja) | 加工用パツドと平面加工装置 | |
KR200349821Y1 (ko) | 평판표시소자용 후처리 시스템 | |
JPH04261768A (ja) | 両面ラップ加工装置 | |
JPH0425372A (ja) | 両面研磨装置 | |
JP2748569B2 (ja) | 研削加工方法 | |
JPH11156707A (ja) | 研磨装置用ワークキャリヤ | |
EP1285230A2 (en) | Laser gyroscope block with annular recesses | |
JP2007203426A (ja) | ドリルのシンニング装置及びシンニング形成方法 | |
KR910009719B1 (ko) | 오목구면 연삭장치 | |
JPH01153242A (ja) | 被加工物の形伏制御方法 | |
JPH0639353U (ja) | 研磨装置 | |
JPH01135475A (ja) | 研磨装置 |