JPH0290011A - 軸心誤差測定装置 - Google Patents
軸心誤差測定装置Info
- Publication number
- JPH0290011A JPH0290011A JP24289488A JP24289488A JPH0290011A JP H0290011 A JPH0290011 A JP H0290011A JP 24289488 A JP24289488 A JP 24289488A JP 24289488 A JP24289488 A JP 24289488A JP H0290011 A JPH0290011 A JP H0290011A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lathe
- collimators
- axis
- surface plate
- tin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ０発明の目的
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ応用光学部品の表面加工に使用する高
精度研磨加工用定盤を旋削する時、旋盤の軸心誤差の測
定、修正旋削に用いる軸心誤差測定装置に関する。
精度研磨加工用定盤を旋削する時、旋盤の軸心誤差の測
定、修正旋削に用いる軸心誤差測定装置に関する。
レーザ応用光学部品の一例として、音響光学素子がある
。
。
この素子の光学面の加工に於ては、錫製定盤を用いラッ
ピング研磨を行なうが、この場合長さが２５ｍｍに於て
０．１５μ田の平面度が要求される。このラッピング研
磨加工に用いる錫製の定盤加工面を旋盤を用い旋削で作
製しようとする場合、通常の旋盤では旋削面は１００ｍ
ｍ当たり５０μｍの高さの円錐となるため、主軸軸心の
修正を要する。旋盤の主軸軸心の偏心は、旋削する旋盤
のベッドに対する軸心のねじれと、刃物台摺動面に対す
る直角度の角度ずれから成る。従来このような旋盤の主
軸軸心の偏心の測定並びに修正は、−度切削した端面形
状をダイヤルケージで測定して試行錯誤的に、ねじれ並
びに角度ずれを修正する作業を繰り返すことにより達成
していた。このような従来の方法により、１００ｍｍの
長さ当たり１μｍの平面度の旋削精度を得るには、熟練
した作業者でも２日を要していた。
ピング研磨を行なうが、この場合長さが２５ｍｍに於て
０．１５μ田の平面度が要求される。このラッピング研
磨加工に用いる錫製の定盤加工面を旋盤を用い旋削で作
製しようとする場合、通常の旋盤では旋削面は１００ｍ
ｍ当たり５０μｍの高さの円錐となるため、主軸軸心の
修正を要する。旋盤の主軸軸心の偏心は、旋削する旋盤
のベッドに対する軸心のねじれと、刃物台摺動面に対す
る直角度の角度ずれから成る。従来このような旋盤の主
軸軸心の偏心の測定並びに修正は、−度切削した端面形
状をダイヤルケージで測定して試行錯誤的に、ねじれ並
びに角度ずれを修正する作業を繰り返すことにより達成
していた。このような従来の方法により、１００ｍｍの
長さ当たり１μｍの平面度の旋削精度を得るには、熟練
した作業者でも２日を要していた。
本発明は、光学部品を研磨するための旋盤によリ旋削さ
れた錫定盤の、旋盤に取り付けられた旋盤主軸の平面度
の誤差について、旋盤のベッドに対するねじれと、刃物
台摺動面に対する角度ずれを計測する軸心誤差測定装置
を提供するもので、旋盤に取り付は旋削する錫定盤の旋
削加工を、有効に短時間に、面の仕上げ精度がよく旋削
加工を行なうものである。
れた錫定盤の、旋盤に取り付けられた旋盤主軸の平面度
の誤差について、旋盤のベッドに対するねじれと、刃物
台摺動面に対する角度ずれを計測する軸心誤差測定装置
を提供するもので、旋盤に取り付は旋削する錫定盤の旋
削加工を、有効に短時間に、面の仕上げ精度がよく旋削
加工を行なうものである。
口０発明の構成
〔課題を解決するための手段〕
光学部品を旋削する錫定盤を取り付けた旋盤の旋削面に
対向し、旋削面と平行な面で旋盤の回転軸中心が直交す
る中心位置で、しかも直交する対称位置の４箇所にコリ
メータを設置し、夫々のコリメータは旋盤の回転軸心に
平行に固定し、４個のコリメータにより、錫定盤上の旋
削面を刃により旋削し、腕前面上の傾きを計測するもの
である。
対向し、旋削面と平行な面で旋盤の回転軸中心が直交す
る中心位置で、しかも直交する対称位置の４箇所にコリ
メータを設置し、夫々のコリメータは旋盤の回転軸心に
平行に固定し、４個のコリメータにより、錫定盤上の旋
削面を刃により旋削し、腕前面上の傾きを計測するもの
である。
通常旋削された錫定盤面は盤中心に向かって円錐状をし
ており、直交する対称４点を計測することにより円錐状
に旋削されている錫定盤の面精度を測定出来るため、錫
定盤中心部の旋削量を決めることが出来、測定値の結果
により平坦な錫定盤面に仕上げるものである。
ており、直交する対称４点を計測することにより円錐状
に旋削されている錫定盤の面精度を測定出来るため、錫
定盤中心部の旋削量を決めることが出来、測定値の結果
により平坦な錫定盤面に仕上げるものである。
コリメータは点光源から出た光をコリメータレンズによ
り平行光にし、被検面からの戻り光を接眼レンズ直前に
取り付けであるスクリーン上に結像する。この時被検面
が光軸に対して角度を持つ場合、スクリーン上に結像す
る位置がずれることから角度差を検出する。例えば、日
本光学製のコリメータ、ニコンＤを用いた時、測定精度
は０．５秒であり、これは長さに換算すると４００ｍｍ
長さに対し１μｍを単位に測定出来る。
り平行光にし、被検面からの戻り光を接眼レンズ直前に
取り付けであるスクリーン上に結像する。この時被検面
が光軸に対して角度を持つ場合、スクリーン上に結像す
る位置がずれることから角度差を検出する。例えば、日
本光学製のコリメータ、ニコンＤを用いた時、測定精度
は０．５秒であり、これは長さに換算すると４００ｍｍ
長さに対し１μｍを単位に測定出来る。
即ち、本発明は旋盤の回転軸心に対称に上下左右４箇所
に、旋盤のベッド上に回転軸に光の軸が平行になるよう
コリメータを固定し構成したことを特徴とする軸心誤差
測定装置である。
に、旋盤のベッド上に回転軸に光の軸が平行になるよう
コリメータを固定し構成したことを特徴とする軸心誤差
測定装置である。
光学部品のラッピング研磨に使用する錫定盤の面を旋盤
により旋削しながら面の平面度を計測するもので、旋削
する錫定盤に対面する位置に、旋削面と平行な面で直交
する対称位置に４個のコリメータを配置し、夫々のコリ
メータ上に結像する像から旋削する面の角度を計測する
ことにより、非接触で目的とする２００ｍｍの長さで、
１μ履以下の平面度を容易に直ちに計測出来、平面度の
よい錫定盤を短時間に提供出来る。
により旋削しながら面の平面度を計測するもので、旋削
する錫定盤に対面する位置に、旋削面と平行な面で直交
する対称位置に４個のコリメータを配置し、夫々のコリ
メータ上に結像する像から旋削する面の角度を計測する
ことにより、非接触で目的とする２００ｍｍの長さで、
１μ履以下の平面度を容易に直ちに計測出来、平面度の
よい錫定盤を短時間に提供出来る。
第１図は光学部品をラッピング研磨する錫定盤表面を旋
削する旋盤と、本発明による軸心誤差測定装置を示す。
削する旋盤と、本発明による軸心誤差測定装置を示す。
本発明による軸心誤差測定装置は、旋削する錫定盤面に
平行な面で、旋盤の回転中心に対称な位置の上下左右４
箇所に支持台５に取り付けた４本のコリメータ１，２，
３．４がら成るコリメータ１，２，３．４の光の軸は旋
盤回転軸に平行で、回転軸を中心とした対称位置４箇所
にコリメータを取り付ける。コリメータを取り付けた支
持台５は、旋盤のベッド８上に取り付けてあり、錫定盤
とコリメータとの間には錫定盤６の面を旋削する切削刃
１０を取り付けた刃物台７が設置され、コリメータと錫
定盤との間は１２０ｃｍ程はなれている。この装置を用
いて、錫定盤６の被加工面形状を評価する場合、上下の
コリメータ１並びに３により検出される角度誤差の差は
、旋盤のベッド８に対する主＃Ｉ９のねじれである。一
方、左右のコリメータ２並びに４で検出される角度誤差
の内、」二記ねじれ分を除いたものが刃物台７の摺動面
に対する主軸９の角度ずれである。以上の角度誤差は修
正量をコリメータで確認しながら修正作業を行なえるた
め、未経験者でも正確に作業を行なうことが出来る。
平行な面で、旋盤の回転中心に対称な位置の上下左右４
箇所に支持台５に取り付けた４本のコリメータ１，２，
３．４がら成るコリメータ１，２，３．４の光の軸は旋
盤回転軸に平行で、回転軸を中心とした対称位置４箇所
にコリメータを取り付ける。コリメータを取り付けた支
持台５は、旋盤のベッド８上に取り付けてあり、錫定盤
とコリメータとの間には錫定盤６の面を旋削する切削刃
１０を取り付けた刃物台７が設置され、コリメータと錫
定盤との間は１２０ｃｍ程はなれている。この装置を用
いて、錫定盤６の被加工面形状を評価する場合、上下の
コリメータ１並びに３により検出される角度誤差の差は
、旋盤のベッド８に対する主＃Ｉ９のねじれである。一
方、左右のコリメータ２並びに４で検出される角度誤差
の内、」二記ねじれ分を除いたものが刃物台７の摺動面
に対する主軸９の角度ずれである。以上の角度誤差は修
正量をコリメータで確認しながら修正作業を行なえるた
め、未経験者でも正確に作業を行なうことが出来る。
尚、旋削した錫定盤面の平面度はオプチカルフラットを
用い確認し、錫定盤の径は通常３００ｍｍあり、使用す
るオプチカルフラットは径が３００ｍｍ以上のものを使
用する。
用い確認し、錫定盤の径は通常３００ｍｍあり、使用す
るオプチカルフラットは径が３００ｍｍ以上のものを使
用する。
ハ１発明の効果
光学部品のラッピング研磨用定盤の平面度は、２００ｍ
ｍ長さに対し１μｍの平面度を必要とし、従来はダイヤ
ルゲージを用い計測するため、表面に疵を生じ、又面接
触しながら計測し旋削するため時間を要して、又表面に
疵をつけていたが、４個のコリメータを用いてコリメー
タ上で計測される角度誤差より旋削面精度を測定するも
ので、非接触で計測するため旋削表面に疵をつけること
がなく、又接触による計測でないため面精度も短時間４
に計測出来るので、旋削仕上げ時間も大幅に短く出来る
。
ｍ長さに対し１μｍの平面度を必要とし、従来はダイヤ
ルゲージを用い計測するため、表面に疵を生じ、又面接
触しながら計測し旋削するため時間を要して、又表面に
疵をつけていたが、４個のコリメータを用いてコリメー
タ上で計測される角度誤差より旋削面精度を測定するも
ので、非接触で計測するため旋削表面に疵をつけること
がなく、又接触による計測でないため面精度も短時間４
に計測出来るので、旋削仕上げ時間も大幅に短く出来る
。
第１図は、本発明による軸心誤差測定装置を旋盤に設置
した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（Ｃ）は
側面図。 １、２．３．４・・・コリメータ、５・・・支持台、６
・・・錫定盤、７・・・刃物台、８・・・ベッド、９・
・・主軸、１０・・・切削刃。
した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（Ｃ）は
側面図。 １、２．３．４・・・コリメータ、５・・・支持台、６
・・・錫定盤、７・・・刃物台、８・・・ベッド、９・
・・主軸、１０・・・切削刃。
Claims (1)
- １、旋盤の回転軸心に対称に上下左右４箇所に、旋盤の
ベッド上に回転軸に光の軸が平行になるようコリメータ
を固定し構成したことを特徴とする軸心誤差測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24289488A JPH0290011A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 軸心誤差測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24289488A JPH0290011A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 軸心誤差測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290011A true JPH0290011A (ja) | 1990-03-29 |
Family
ID=17095801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24289488A Pending JPH0290011A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 軸心誤差測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0290011A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009056550A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Ksk:Kk | 車輪用旋盤装置 |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP24289488A patent/JPH0290011A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009056550A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Ksk:Kk | 車輪用旋盤装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5271271A (en) | Method and apparatus for inspection of gears | |
| KR20190028339A (ko) | 기어 스카이빙을 위한 장치 및 방법 | |
| JPH0683957B2 (ja) | 円筒研磨装置 | |
| US4769917A (en) | Method and apparatus for orienting a feeler of a gear testing apparatus | |
| JPH0296609A (ja) | Ｖ型溝の検査方法及び加工方法 | |
| JPS608701A (ja) | 歯車の歯形及び歯すじを検査する持運び可能な検測装置並びに検測法 | |
| US5678964A (en) | Method of determining slide straightness and for providing a straight reference surface for a machine tool | |
| JPH0290011A (ja) | 軸心誤差測定装置 | |
| US2821024A (en) | Inspection device | |
| US2829442A (en) | Means for inspecting screw threads | |
| CN206618368U (zh) | 一种圆度测量装置 | |
| JPH01277731A (ja) | 円筒状コネクタピン内に埋込まれた導波路の偏心度を測定する方法および装置 | |
| CN116734776A (zh) | 一种基于自准直仪测量的三点支承转台的调平方法 | |
| US5121555A (en) | Proximity differential indicator for aligning machine tools | |
| JP3920446B2 (ja) | 形状測定装置 | |
| DE69604539T2 (de) | Verfahren zur Bewertung verschiedener Fehler einer Werkzeugmaschine | |
| JP3379127B2 (ja) | 玉型形状測定装置 | |
| JPS61156022A (ja) | 自動眼鏡玉摺装置 | |
| US1374759A (en) | Sine-bar | |
| JPH07164294A (ja) | レンズ芯取機およびレンズ芯取り方法 | |
| WO2023123560A1 (zh) | 基于深矢高工件的内壁测量***以及测量方法 | |
| CN206488759U (zh) | 保持架轮廓检测辅助台架 | |
| JP5578549B2 (ja) | 眼鏡レンズ加工装置 | |
| JP2007301695A (ja) | 眼鏡レンズの面取り方法および面取り装置 | |
| JP2896843B2 (ja) | 段付砥石の精度測定方法及び装置 |