JPH0288771A - 連続ドライプレーティング設備のストリップ温度制御装置 - Google Patents
連続ドライプレーティング設備のストリップ温度制御装置Info
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- JPH0288771A JPH0288771A JP23659988A JP23659988A JPH0288771A JP H0288771 A JPH0288771 A JP H0288771A JP 23659988 A JP23659988 A JP 23659988A JP 23659988 A JP23659988 A JP 23659988A JP H0288771 A JPH0288771 A JP H0288771A
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 55
- 239000002826 coolant Substances 0.000 abstract description 15
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、連続ドライプレーティング処理を経たスト
リップの冷却に供する連続ドライプレーティング設備の
ストリップ温度制御装置に関する。
リップの冷却に供する連続ドライプレーティング設備の
ストリップ温度制御装置に関する。
(従来の技術)
一般にストリップの連続ドライプレーティング処理は第
5図に示すように、ストリップの両面に連続して行われ
る。
5図に示すように、ストリップの両面に連続して行われ
る。
ここで図中1および2はストリップの片面毎のドライプ
レーティング処理にそれぞれ供するチャンバー、3は1
O−1torr〜1O−6torrに保たれた真空室、
4はストリップであり、前段のチャンバー1に約350
〜400°Cで導入したストリップは処理後500〜1
000°Cに昇温するので次にストリップを冷却ゾーン
5で再度350〜400°Cまで冷却することによりス
トリップの表面および裏面の蒸着開始温度を同一とする
。ドライプレーティング処理開始時の温度の差を±30
°C以内に収めかつドライプレーティング処理条件をス
トリップ表面用のチャンバーlと同裏面用のチャンバー
2において等しくすることで長手方向に反りの無いドラ
イプレーティング処理済のストリップを得ると共に、表
面及び裏面の蒸発材料の密着性を確保するものである。
レーティング処理にそれぞれ供するチャンバー、3は1
O−1torr〜1O−6torrに保たれた真空室、
4はストリップであり、前段のチャンバー1に約350
〜400°Cで導入したストリップは処理後500〜1
000°Cに昇温するので次にストリップを冷却ゾーン
5で再度350〜400°Cまで冷却することによりス
トリップの表面および裏面の蒸着開始温度を同一とする
。ドライプレーティング処理開始時の温度の差を±30
°C以内に収めかつドライプレーティング処理条件をス
トリップ表面用のチャンバーlと同裏面用のチャンバー
2において等しくすることで長手方向に反りの無いドラ
イプレーティング処理済のストリップを得ると共に、表
面及び裏面の蒸発材料の密着性を確保するものである。
さらに冷却ゾーンには、ストリップを冷却することによ
りストリップが過加熱となり破断することを回避すると
いう機能がある。したがってストリップが破断した場合
に真空室内を大気圧状態に戻し、再びストリップを通板
し、真空に引き直すという不便を回避できる。
りストリップが過加熱となり破断することを回避すると
いう機能がある。したがってストリップが破断した場合
に真空室内を大気圧状態に戻し、再びストリップを通板
し、真空に引き直すという不便を回避できる。
(発明が解決しようとする課題)
さて、ドライプレーティング処理においては蒸発源から
蒸発する蒸発材料は方向特性を有し、すなわちストリッ
プにコーティングされる蒸発材料の量は蒸発源の直上部
からストリップの側縁部へと少なくなることが知られて
いる。したがってドライプレーティング処理後のストリ
ップにはその幅方向に温度差が生じ、かつ冷却後もその
差が維持されるためストリップの表面と裏面のドライプ
レーティング条件が異なってしまい、温度差がはなはだ
しい場合はストリップの中央部が伸びる形状不良が生じ
、歩留りの低下を招く。
蒸発する蒸発材料は方向特性を有し、すなわちストリッ
プにコーティングされる蒸発材料の量は蒸発源の直上部
からストリップの側縁部へと少なくなることが知られて
いる。したがってドライプレーティング処理後のストリ
ップにはその幅方向に温度差が生じ、かつ冷却後もその
差が維持されるためストリップの表面と裏面のドライプ
レーティング条件が異なってしまい、温度差がはなはだ
しい場合はストリップの中央部が伸びる形状不良が生じ
、歩留りの低下を招く。
この発明はドライプレーティング処理後のストリップ幅
方向の温度差を解消し得る装置を提供することによって
、ストリップの形状不良の発生を回避しようとするもの
である。
方向の温度差を解消し得る装置を提供することによって
、ストリップの形状不良の発生を回避しようとするもの
である。
(課題を解決するための手段)
この発明は、ドライプレーティング処理槽内のチャンバ
ーの出側に設けた冷却ゾーンに、ストリップの通板方向
に延びる複数本の冷却管をストリップの幅方向に並べて
配設し、冷却管に温度の異なる、又は流速の異なる冷却
媒体を導入してなる連続ドライプレーティング設備のス
トリップ温度制御装置である。
ーの出側に設けた冷却ゾーンに、ストリップの通板方向
に延びる複数本の冷却管をストリップの幅方向に並べて
配設し、冷却管に温度の異なる、又は流速の異なる冷却
媒体を導入してなる連続ドライプレーティング設備のス
トリップ温度制御装置である。
さて第1図にこの発明に従う、連続ドライプレーティン
グ設備の冷却ゾーンに配するストリップ温度制御装置の
上面図を、また第2図にその断面図を示す。図中3は1
0− ’ torr〜10−6torrに保たれた真空
室、4はストリップ、5は冷却ゾーンを形成するケーシ
ング、6はストリップのカテナリーを小さくするテーブ
ルローラー、7は冷却媒体を流入するケーシング5の回
りに配設した冷却管であり、数系統に分割してなる。こ
れら冷却管7の各系統に対し、温度の異なる冷却媒体又
は流速の異なる同一温度の冷却媒体を流入することでケ
ーシング5におけるストリップ幅方向の抜熱量に較差を
設け、ストリップ4の幅方向における輻射による抜熱量
に較差を生じさせ、ドライプレーティング処理に起因し
たストリップ幅方向の温度差をなくすことを特徴とする
。
グ設備の冷却ゾーンに配するストリップ温度制御装置の
上面図を、また第2図にその断面図を示す。図中3は1
0− ’ torr〜10−6torrに保たれた真空
室、4はストリップ、5は冷却ゾーンを形成するケーシ
ング、6はストリップのカテナリーを小さくするテーブ
ルローラー、7は冷却媒体を流入するケーシング5の回
りに配設した冷却管であり、数系統に分割してなる。こ
れら冷却管7の各系統に対し、温度の異なる冷却媒体又
は流速の異なる同一温度の冷却媒体を流入することでケ
ーシング5におけるストリップ幅方向の抜熱量に較差を
設け、ストリップ4の幅方向における輻射による抜熱量
に較差を生じさせ、ドライプレーティング処理に起因し
たストリップ幅方向の温度差をなくすことを特徴とする
。
(作 用)
ここに発明者らの実験によれば、ライン速度6m/mi
nで幅500mm、厚み0.18mmのストリップに、
第6図に示す、ストリップの幅方向に蒸発源Rを2個配
列して、TiNをバイアス電圧100Vを印加して0.
3μmの厚みで蒸着を施す場合、蒸着直後の板温には第
7図に示すように中央部が792”C,端部が756°
Cと約35°Cの温度差が生じる。また蒸着後6mの長
さの冷却ゾーン(自然放冷)で冷却しても同図に(八)
として示すように30°C程度の温度差が生じる。
nで幅500mm、厚み0.18mmのストリップに、
第6図に示す、ストリップの幅方向に蒸発源Rを2個配
列して、TiNをバイアス電圧100Vを印加して0.
3μmの厚みで蒸着を施す場合、蒸着直後の板温には第
7図に示すように中央部が792”C,端部が756°
Cと約35°Cの温度差が生じる。また蒸着後6mの長
さの冷却ゾーン(自然放冷)で冷却しても同図に(八)
として示すように30°C程度の温度差が生じる。
これに対しこの発明に従うストリップ温度制御装置を冷
却ゾーンに適用すれば、同図に(B)および(C)とし
て示すようにストリップの中央部と端部との温度差は減
少し得る。
却ゾーンに適用すれば、同図に(B)および(C)とし
て示すようにストリップの中央部と端部との温度差は減
少し得る。
すなわち同図(B)は、第1図の冷却管において7aお
よび7fには200°C16kg / cm zの蒸気
を、そして7bおよび7eには100°C,1kg/c
m2の蒸気をそれぞれ通し、また7cおよび7dには2
0°Cの水を供給することによって、中央部と端部との
間で180°Cの温度差となるように冷却媒体を流して
なる冷却ゾーンを通過後のストリップ温度を示し、蒸着
直後に35°Cの温度差のあったストリップが冷却ゾー
ン通過後には温度差が5°C程度に減少したことがわか
る。
よび7fには200°C16kg / cm zの蒸気
を、そして7bおよび7eには100°C,1kg/c
m2の蒸気をそれぞれ通し、また7cおよび7dには2
0°Cの水を供給することによって、中央部と端部との
間で180°Cの温度差となるように冷却媒体を流して
なる冷却ゾーンを通過後のストリップ温度を示し、蒸着
直後に35°Cの温度差のあったストリップが冷却ゾー
ン通過後には温度差が5°C程度に減少したことがわか
る。
また同図(C)は、第1図の冷却管において、7aおよ
び7fにはQ、5m/sで、7bおよび7eには1.5
m/Sで、そして7Cおよび7dには4.5m/sでそ
れぞれ30″Cの水を流して中央部と端部との間の流量
差を5 m / sとした冷却ゾーンを通過後のストリ
ップ温度を示し、ストリップの温度差は蒸着面後の35
°Cから15°C程度に減少したことがわかる。
び7fにはQ、5m/sで、7bおよび7eには1.5
m/Sで、そして7Cおよび7dには4.5m/sでそ
れぞれ30″Cの水を流して中央部と端部との間の流量
差を5 m / sとした冷却ゾーンを通過後のストリ
ップ温度を示し、ストリップの温度差は蒸着面後の35
°Cから15°C程度に減少したことがわかる。
(実施例)
次に第3および4図に示した、この発明の好適例につい
て具体的に説明する。
て具体的に説明する。
第3図は冷却管に導入する冷却媒体の温度を変化させる
ストリップ温度制御装置を示し、冷却管78〜7fは第
2図に示したように、冷却ゾーンのケーシング5の上下
外壁に接触させて配設してなる。
ストリップ温度制御装置を示し、冷却管78〜7fは第
2図に示したように、冷却ゾーンのケーシング5の上下
外壁に接触させて配設してなる。
また図中8は冷却管を通過した冷却媒体を回収する回収
タンク、9は冷却媒体を空冷するクーリングユニット、
10は冷却媒体を強冷却する冷却器、11は冷却媒体の
温度を検出する温度計、12は冷却媒体の供給圧力を調
整するポンプ、13a〜13cは各温度の冷却媒体を冷
却管へ送給する前に貯える貯蔵タンク、14は貯蔵タン
ク13a〜13cにおいて温度の異なる冷却媒体を温度
に合わせてミキシングするために設けられた仕切弁であ
り、貯蔵タンク13a〜13cから冷却管78〜7fに
温度の異なる冷却媒体を流入できるようになっている。
タンク、9は冷却媒体を空冷するクーリングユニット、
10は冷却媒体を強冷却する冷却器、11は冷却媒体の
温度を検出する温度計、12は冷却媒体の供給圧力を調
整するポンプ、13a〜13cは各温度の冷却媒体を冷
却管へ送給する前に貯える貯蔵タンク、14は貯蔵タン
ク13a〜13cにおいて温度の異なる冷却媒体を温度
に合わせてミキシングするために設けられた仕切弁であ
り、貯蔵タンク13a〜13cから冷却管78〜7fに
温度の異なる冷却媒体を流入できるようになっている。
さらに15は冷却媒体の温度を200°C程度にするだ
めの蒸気配管、16はその戻り配管、17は蒸気配管を
用いる場合と、温度差のない冷却を行う場合の系統切換
え仕切弁である。
めの蒸気配管、16はその戻り配管、17は蒸気配管を
用いる場合と、温度差のない冷却を行う場合の系統切換
え仕切弁である。
また第4図は冷却媒体の流量を調整することによりスト
リップ幅方向温度制御を行う場合の実施例を示す上面図
であって、各系統ごとに流量調整を行う可変絞り弁18
a〜18cを設けることによって冷却管7a〜7fの各
系統に流量の異なる冷却媒体を流入する。また19は流
量計である。
リップ幅方向温度制御を行う場合の実施例を示す上面図
であって、各系統ごとに流量調整を行う可変絞り弁18
a〜18cを設けることによって冷却管7a〜7fの各
系統に流量の異なる冷却媒体を流入する。また19は流
量計である。
なお前記実施例では、冷却管系統を6分割としているが
、これに限ることなくさらに幅方向に均一な温度を得る
ためにさらに細く分割しても良い。
、これに限ることなくさらに幅方向に均一な温度を得る
ためにさらに細く分割しても良い。
また冷却ゾーンのケーシングにパイプを溶接した形を示
したが、ケーシングを2重構造としてその間に冷却媒体
を流入しても良い。
したが、ケーシングを2重構造としてその間に冷却媒体
を流入しても良い。
(発明の効果)
この発明を連続ドライプレーティング設備に適用するこ
とによって、ストリップ幅方向に生じる温度分布をなく
すことでストリップの形状不良が、大きく減少し、従っ
て歩留りの大きな向上をはかれ、また差圧室を有する連
続ドライプレーティング設備に適用した場合は、形状不
良部が、差圧を維持する隙間部にひっかかってストリッ
プの破断に至るという事態の回避が可能となる。
とによって、ストリップ幅方向に生じる温度分布をなく
すことでストリップの形状不良が、大きく減少し、従っ
て歩留りの大きな向上をはかれ、また差圧室を有する連
続ドライプレーティング設備に適用した場合は、形状不
良部が、差圧を維持する隙間部にひっかかってストリッ
プの破断に至るという事態の回避が可能となる。
第1図はこの発明に従うストリップ温度制御装置の上面
図、 第2図は第1図のA−A線に沿う断面図、第3および4
図はこの発明の好適例を示す模式第5図は通常の連続ド
ライプレーティング設備を示す説明図、 第6図は実験における蒸発源の配置を示す説明図、 第7図は板幅方向の温度プロフィル測定結果を示すグラ
フ、である。 1.2・・・チャンバー 3・・・真空室4・・・ス
トリップ 5・・・ケーシング6・・・テーブル
ローラー 7a〜7f・・・冷却管8・・・回収タンク
9・・・クーリングユニット10・・・冷却器 12・・・ポンプ 14・・・仕切弁 16・・・戻り配管 17・・・系統の切換え用仕切弁 18a=18c・・・可変絞り弁 19・・・流量計1
1・・・温度計 13a〜13c・・・貯蔵タンク 15・・・蒸気配管
図、 第2図は第1図のA−A線に沿う断面図、第3および4
図はこの発明の好適例を示す模式第5図は通常の連続ド
ライプレーティング設備を示す説明図、 第6図は実験における蒸発源の配置を示す説明図、 第7図は板幅方向の温度プロフィル測定結果を示すグラ
フ、である。 1.2・・・チャンバー 3・・・真空室4・・・ス
トリップ 5・・・ケーシング6・・・テーブル
ローラー 7a〜7f・・・冷却管8・・・回収タンク
9・・・クーリングユニット10・・・冷却器 12・・・ポンプ 14・・・仕切弁 16・・・戻り配管 17・・・系統の切換え用仕切弁 18a=18c・・・可変絞り弁 19・・・流量計1
1・・・温度計 13a〜13c・・・貯蔵タンク 15・・・蒸気配管
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ドライプレーティング処理槽内のチャンバーの出側
に設けた冷却ゾーンに、ストリップの通板方向に延びる
複数本の冷却管をストリップの幅方向に並べて配設し、
冷却管に温度の異なる冷却媒体を導入してなる連続ドラ
イプレーティング設備のストリップ温度制御装置。 2、ドライプレーティング処理槽内のチャンバーの出側
に設けた冷却ゾーンに、ストリップの通板方向に延びる
複数本の冷却管をストリップの幅方向に並べて配設し、
冷却管に流速の異なる冷却媒体を導入してなる連続ドラ
イプレーティング設備のストリップ温度制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23659988A JPH0288771A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 連続ドライプレーティング設備のストリップ温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23659988A JPH0288771A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 連続ドライプレーティング設備のストリップ温度制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0288771A true JPH0288771A (ja) | 1990-03-28 |
Family
ID=17003032
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23659988A Pending JPH0288771A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 連続ドライプレーティング設備のストリップ温度制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0288771A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02175869A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板冷却装置 |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP23659988A patent/JPH0288771A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02175869A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板冷却装置 |
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