JPH0288771A - 連続ドライプレーティング設備のストリップ温度制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、連続ドライプレーティング処理を経たスト
リップの冷却に供する連続ドライプレーティング設備の
ストリップ温度制御装置に関する。

（従来の技術） 一般にストリップの連続ドライプレーティング処理は第
５図に示すように、ストリップの両面に連続して行われ
る。

ここで図中１および２はストリップの片面毎のドライプ
レーティング処理にそれぞれ供するチャンバー、３は１
Ｏ−１ｔｏｒｒ〜１Ｏ−６ｔｏｒｒに保たれた真空室、
４はストリップであり、前段のチャンバー１に約３５０
〜４００°Ｃで導入したストリップは処理後５００〜１
０００°Ｃに昇温するので次にストリップを冷却ゾーン
５で再度３５０〜４００°Ｃまで冷却することによりス
トリップの表面および裏面の蒸着開始温度を同一とする
。ドライプレーティング処理開始時の温度の差を±３０
°Ｃ以内に収めかつドライプレーティング処理条件をス
トリップ表面用のチャンバーｌと同裏面用のチャンバー
２において等しくすることで長手方向に反りの無いドラ
イプレーティング処理済のストリップを得ると共に、表
面及び裏面の蒸発材料の密着性を確保するものである。

さらに冷却ゾーンには、ストリップを冷却することによ
りストリップが過加熱となり破断することを回避すると
いう機能がある。したがってストリップが破断した場合
に真空室内を大気圧状態に戻し、再びストリップを通板
し、真空に引き直すという不便を回避できる。

（発明が解決しようとする課題） さて、ドライプレーティング処理においては蒸発源から
蒸発する蒸発材料は方向特性を有し、すなわちストリッ
プにコーティングされる蒸発材料の量は蒸発源の直上部
からストリップの側縁部へと少なくなることが知られて
いる。したがってドライプレーティング処理後のストリ
ップにはその幅方向に温度差が生じ、かつ冷却後もその
差が維持されるためストリップの表面と裏面のドライプ
レーティング条件が異なってしまい、温度差がはなはだ
しい場合はストリップの中央部が伸びる形状不良が生じ
、歩留りの低下を招く。

この発明はドライプレーティング処理後のストリップ幅
方向の温度差を解消し得る装置を提供することによって
、ストリップの形状不良の発生を回避しようとするもの
である。

（課題を解決するための手段） この発明は、ドライプレーティング処理槽内のチャンバ
ーの出側に設けた冷却ゾーンに、ストリップの通板方向
に延びる複数本の冷却管をストリップの幅方向に並べて
配設し、冷却管に温度の異なる、又は流速の異なる冷却
媒体を導入してなる連続ドライプレーティング設備のス
トリップ温度制御装置である。

さて第１図にこの発明に従う、連続ドライプレーティン
グ設備の冷却ゾーンに配するストリップ温度制御装置の
上面図を、また第２図にその断面図を示す。図中３は１
０−　’　ｔｏｒｒ〜１０−６ｔｏｒｒに保たれた真空
室、４はストリップ、５は冷却ゾーンを形成するケーシ
ング、６はストリップのカテナリーを小さくするテーブ
ルローラー、７は冷却媒体を流入するケーシング５の回
りに配設した冷却管であり、数系統に分割してなる。こ
れら冷却管７の各系統に対し、温度の異なる冷却媒体又
は流速の異なる同一温度の冷却媒体を流入することでケ
ーシング５におけるストリップ幅方向の抜熱量に較差を
設け、ストリップ４の幅方向における輻射による抜熱量
に較差を生じさせ、ドライプレーティング処理に起因し
たストリップ幅方向の温度差をなくすことを特徴とする
。

（作　用） ここに発明者らの実験によれば、ライン速度６ｍ／ｍｉ
ｎで幅５００ｍｍ、厚み０．１８ｍｍのストリップに、
第６図に示す、ストリップの幅方向に蒸発源Ｒを２個配
列して、ＴｉＮをバイアス電圧１００Ｖを印加して０．
３μｍの厚みで蒸着を施す場合、蒸着直後の板温には第
７図に示すように中央部が７９２”Ｃ，端部が７５６°
Ｃと約３５°Ｃの温度差が生じる。また蒸着後６ｍの長
さの冷却ゾーン（自然放冷）で冷却しても同図に（八）
として示すように３０°Ｃ程度の温度差が生じる。

これに対しこの発明に従うストリップ温度制御装置を冷
却ゾーンに適用すれば、同図に（Ｂ）および（Ｃ）とし
て示すようにストリップの中央部と端部との温度差は減
少し得る。

すなわち同図（Ｂ）は、第１図の冷却管において７ａお
よび７ｆには２００°Ｃ１６ｋｇ　／　ｃｍ　ｚの蒸気
を、そして７ｂおよび７ｅには１００°Ｃ，１ｋｇ／ｃ
ｍ２の蒸気をそれぞれ通し、また７ｃおよび７ｄには２
０°Ｃの水を供給することによって、中央部と端部との
間で１８０°Ｃの温度差となるように冷却媒体を流して
なる冷却ゾーンを通過後のストリップ温度を示し、蒸着
直後に３５°Ｃの温度差のあったストリップが冷却ゾー
ン通過後には温度差が５°Ｃ程度に減少したことがわか
る。

また同図（Ｃ）は、第１図の冷却管において、７ａおよ
び７ｆにはＱ、５ｍ／ｓで、７ｂおよび７ｅには１．５
ｍ／Ｓで、そして７Ｃおよび７ｄには４．５ｍ／ｓでそ
れぞれ３０″Ｃの水を流して中央部と端部との間の流量
差を５　ｍ　／　ｓとした冷却ゾーンを通過後のストリ
ップ温度を示し、ストリップの温度差は蒸着面後の３５
°Ｃから１５°Ｃ程度に減少したことがわかる。

（実施例） 次に第３および４図に示した、この発明の好適例につい
て具体的に説明する。

第３図は冷却管に導入する冷却媒体の温度を変化させる
ストリップ温度制御装置を示し、冷却管７８〜７ｆは第
２図に示したように、冷却ゾーンのケーシング５の上下
外壁に接触させて配設してなる。

また図中８は冷却管を通過した冷却媒体を回収する回収
タンク、９は冷却媒体を空冷するクーリングユニット、
１０は冷却媒体を強冷却する冷却器、１１は冷却媒体の
温度を検出する温度計、１２は冷却媒体の供給圧力を調
整するポンプ、１３ａ〜１３ｃは各温度の冷却媒体を冷
却管へ送給する前に貯える貯蔵タンク、１４は貯蔵タン
ク１３ａ〜１３ｃにおいて温度の異なる冷却媒体を温度
に合わせてミキシングするために設けられた仕切弁であ
り、貯蔵タンク１３ａ〜１３ｃから冷却管７８〜７ｆに
温度の異なる冷却媒体を流入できるようになっている。

さらに１５は冷却媒体の温度を２００°Ｃ程度にするだ
めの蒸気配管、１６はその戻り配管、１７は蒸気配管を
用いる場合と、温度差のない冷却を行う場合の系統切換
え仕切弁である。

また第４図は冷却媒体の流量を調整することによりスト
リップ幅方向温度制御を行う場合の実施例を示す上面図
であって、各系統ごとに流量調整を行う可変絞り弁１８
ａ〜１８ｃを設けることによって冷却管７ａ〜７ｆの各
系統に流量の異なる冷却媒体を流入する。また１９は流
量計である。

なお前記実施例では、冷却管系統を６分割としているが
、これに限ることなくさらに幅方向に均一な温度を得る
ためにさらに細く分割しても良い。

また冷却ゾーンのケーシングにパイプを溶接した形を示
したが、ケーシングを２重構造としてその間に冷却媒体
を流入しても良い。

（発明の効果） この発明を連続ドライプレーティング設備に適用するこ
とによって、ストリップ幅方向に生じる温度分布をなく
すことでストリップの形状不良が、大きく減少し、従っ
て歩留りの大きな向上をはかれ、また差圧室を有する連
続ドライプレーティング設備に適用した場合は、形状不
良部が、差圧を維持する隙間部にひっかかってストリッ
プの破断に至るという事態の回避が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に従うストリップ温度制御装置の上面
図、 第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿う断面図、第３および４
図はこの発明の好適例を示す模式第５図は通常の連続ド
ライプレーティング設備を示す説明図、 第６図は実験における蒸発源の配置を示す説明図、 第７図は板幅方向の温度プロフィル測定結果を示すグラ
フ、である。 １．２・・・チャンバー　　３・・・真空室４・・・ス
トリップ　　　　５・・・ケーシング６・・・テーブル
ローラー　７ａ〜７ｆ・・・冷却管８・・・回収タンク
　　　　９・・・クーリングユニット１０・・・冷却器 １２・・・ポンプ １４・・・仕切弁 １６・・・戻り配管 １７・・・系統の切換え用仕切弁 １８ａ＝１８ｃ・・・可変絞り弁　１９・・・流量計１
１・・・温度計 １３ａ〜１３ｃ・・・貯蔵タンク １５・・・蒸気配管

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ドライプレーティング処理槽内のチャンバーの出側
   に設けた冷却ゾーンに、ストリップの通板方向に延びる
   複数本の冷却管をストリップの幅方向に並べて配設し、
   冷却管に温度の異なる冷却媒体を導入してなる連続ドラ
   イプレーティング設備のストリップ温度制御装置。 ２、ドライプレーティング処理槽内のチャンバーの出側
   に設けた冷却ゾーンに、ストリップの通板方向に延びる
   複数本の冷却管をストリップの幅方向に並べて配設し、
   冷却管に流速の異なる冷却媒体を導入してなる連続ドラ
   イプレーティング設備のストリップ温度制御装置。