JPH0282106A - 光学的３次元位置計測方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光学的３次元位置計測方法に関し、もつと詳
しくは、レーザなどのスリット光を被計測物体に照射し
て、その被計測物体の３次元位置などを計測する方法に
関する。

従来の技術 典型的な先行技術は、接触式のグローブを用いて差動ト
ランスによってメカニカルな変位量を電気的な信号に変
換して、ずれ量を読取る構成を有する。

このような先行技術では、プローブを被計測物に接触す
る構成を有しているので、自動化が困難であり、また計
測作業に時間がかかる。

他の先行技術は、たとえば特開昭６０〜９３４２４およ
び特公昭６２−２６４０３にそれぞれ開示されている。

これらの先行技術では、固定位置からスリット光を被計
測物体の表面に照射し、その被計測物体上にあるスリッ
ト光をカメラで撮像する構成を有する。

発明が解決すべき課題 このような先行技術では、単一のスリ・ント光を用いて
いるので、高速で孔の中心の３次元位置に、または面の
姿勢を計測することができない。

本発明の目的は、被計測物体の３次元位置を非接触で計
測することができるようにした光学的３次元位置計測方
法を提供することである。

課題を解決するための手段 本発明は、複数のスリット光を被計測物体に照射してカ
メラで撮像し、スリット光の被計測物体上にある少なく
とも３つの点を検出し、これら３つの点の座標を求め、 これら３つの点を通る一平面内の物理量を測定すること
を特徴とする光学的３次元位置計測方法である。

また本発明は、複数のスリット光を被計測物体に照射し
、 被計測物体上にあるスリット光（光切断線）をカメラで
撮像して得た像に基づいて、被計測物体の表面の傾きを
計測することを特徴とする光学的３次元位置計測方法で
ある。

また本発明は、複数のスリット光を被計測物体に照射し
、 波計、１！物体上にある光切断線をカメラで撮像して得
た像に基づいて、被計測物体の表面とカメラとの間の距
離を計測することを特徴とする光学的３次元位置計測方
法である。

作　　用 本発明に従えば、複数、たとえば２のスリット光を被計
測物体に照射してカメラで撮像し、これによって被計測
物体上にある光切断線をカメラで撮像して像を得る。被
計測物体に孔などが存在するときには、その光切断線が
被計測物体の表面上で欠落していたり、あるいはまた屈
曲していたりし、したがって被計測物体上にある少なく
とも３つの点の座標を求めることができる。この少なく
とも３つの点の座標に基づいて一平面を決定し、これに
よって物理量、たとえば孔の中心位置またはその孔の面
積などを測定することができる。

さらにまた被計測物体上にある複数の光切断線をカメラ
で撮像して得た像に基づき、被計測物体の表面の傾きを
計測することができる。

さらにまた本発明に従えば、その被計測物体の表面とカ
メラとの間の距離を計測することができる。

実施例 第１図は、本発明の一実施例の簡略化した斜視図である
。ワークなどの被計測物体１の平面である表面に臨んで
真円の孔２が形成されている。この孔２には、複数（こ
の実施例では２）のスリット光が照射される。なお、カ
メラとスリット光を照射する２台の投光器３．４は一体
化されている。

スリット光は参照符５．６でそれぞれ示される平面であ
る。被計測物体１の表面にある光切断線は孔２において
欠落しており、これらの端点を参照符Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄで
それぞれ示す、被計測物体１の表面は、工業用テレビカ
メラ７によって撮像される。このカメラ７は、電荷蓄積
素子（略称ＣＣＤ）の撮像面８と、被計測物体１の表面
を撮像面８に結像するレンズ９とを含む、被計測物体の
３次元座標系をＸ、Ｙ、Ｚで示し、カメラ７のカメラ座
標系（ＣＣＤの撮像面上に設定される座櫃系）をＸｃ、
Ｙｃで示す、カメラ７からの出力は、処理回路１０に与
えられる。

第２図は、第１図に示される実施例の電気的構成を示す
ブロック図である。投光器３．４は駆動回路１１．１２
によって駆動される。処理回路１０に備えられているテ
レビカメラコントローラ１３は、カメラ７の電荷蓄積素
子にライン１４を介して同期信号を与え、これによって
電荷蓄積素子から得られる映像信号はライン１５を介し
て処理回路１０．のアナログ／デジタル変換回路１６に
与えられてデジタル値に変換される。こうして得られる
アナログ／デジタル変換回路１６からの出力は、しきい
値設定器１７からの弁別レベルであるしきい値と、比較
器１８において比較されて、ライン１つからは２値化信
号が得られる。この２値化信号は、フレームメモリ２０
にストアされる。

メモリ２０の内容は、バス２１を介して処理手段２２に
与えられ、また通信コントローラ２３を介して外部の処
理手段とデータの転送を行うことができる。このような
基本的な構成を有する本発明の一実施例において、まず
孔２の中心位置の計測を行い（後述の■章〜■章）、次
に被計測物体１の平面である表面の傾き、すなわち姿勢
角を計測しく後述のｍ章）、さらにまた、その被計測物
体１の一表面とカメラ７との間の距離を計測する（後述
の■章）。

ます孔２の円の中心位置の計測原理を説明する。

処理回路１０では、第３図のステップｎ　１からステッ
プｒ＋　２に移り、交差する２本のスリット光５゜６を
、孔２を含む平面に対して投光し、孔２の縁で欠落する
４つの端点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄの３次元位置を計測する。

Ｉ、スリット光５．６による点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄの３次元
位置の計測方法。

第４図に示されるようにスリット光の投光器３と、カメ
ラ７とを配置し、スリット光平面５上の１点Ｐ（このＰ
は、前述の、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄを代表して表す）の物体座
標系での座標を（Ｘ、Ｙ。

Ｚ〉、点Ｐの撮像面８上の像の座標をカメラ座標系でＱ
　（Ｘｃ、Ｙｃ）とする。カメラ７の透視変換を第１式
に示す。

またスリット光平面５の方程式を第２式に示す。

ａ＊Ｘ＋ｂ＊Ｙ＋Ｚ＝ｄ　　　　　　　　　　　　　　
　−・べ２）したがって、Ｐの物体座標系における座標
（ＸＹ、Ｚ）は第１式および第２式を連立させて解くこ
とによって求まる。基本的には、スリット光平面５，６
上にあるすべての点の３次元座標を求めることができる
。

第１式と第２式から成る連立方程式を解く前に、係数（
Ｃｘ〜ｃｓ４．　ｈ　、　ａ　、　ｂ　、　ｄ　）を予
め求めておく。以下にその方法を示す。

（１）カメラパラメータのキャリブレーションについて
。

第１式のＣＩｌ〜Ｃ１４をカメラパラメータと称する。

カメラパラメータとは、レンズ９の焦点距離、レンズ９
の主点の位置、レンズつと受光面すなわち撮像面８との
距離などに依存して決定される値である。これらの値を
実測することは困難であるので、次の手法で求める。

第１式を展開し、係数りを消去すると、ＣＩｌ”Ｘ＋Ｃ
Ｉ２本Ｙ＋Ｃ，、本Ｚ”Ｃ＋　＋−Ｃｆｆｌ＊Ｘｃ本Ｘ
−Ｃ３１ＬＸｃ＊Ｙ−Ｃ１２本Ｘａ＊Ｚ−Ｃ＊＋’１Ｘ
ｃ＝　０・・・（３−１） Ｃ２ｌ＊Ｘ＋Ｃ２２本Ｙ＋（：、３本Ｚ”Ｃｚ＜−Ｃ３
１＊Ｘｃ＊Ｘ−Ｃ３２本Ｘｃ本Ｙ−Ｃ３ｓ’ＬＸｃ＊Ｚ
−Ｃｙ４”Ｘ（！＝　０・・（３−２） となる、したがって、同一平面上にない６点の既知の３
次元座標と、それぞれに対応するカメラ座標を第３−１
式および第３−２式に代入し、１２元連立方程式を解く
ことによって１２個の未知数（Ｃ８，〜Ｃ３４）が求ま
る。ここではカメラパラメータの算出の精度を向上する
ために、３次元座標が既知のｎ点（ｎ＞６＞の計測を行
い、最小２乗法によって求める。

第３式から、係数Ｃ３，〜Ｃ５，に関する次の１２元２
ｎ連立方程式が得られる。

Ｅ本０＝Ｆ ・・・（４） Ｆ　＝　［Ｘ　ｃ　＋　Ｙ　ｃ　＋・・・・・・・・・
・・・・・・・−・・−・・ＸｃｎＹｃｊ　’・・・＜
６）Ｇ＝　［Ｃ１Ｉ　ＣＩ２　Ｃｍ３　ＣＩ４　Ｃ２＋
　Ｃｍ□Ｃ２３Ｃ２４Ｃｊ＋　Ｃ）２　Ｃ３３］　’　
　　・・・（７−１）ただし、 Ｃ３＊＝１　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・
（７−２）最小２乗法により Ｇ＝（Ｅ’恥Ｅ）−１ネＥｔ＊Ｆ　　　　　　　　　　
　　　　　　　・・・（８）を計算すると、Ｇが求まる
。

（２）スリット光の平面の方程式の係数の算出。

スリット光の平面上の既知の３点の３次元位置を第２式
に代入すれば、ａ、ｂ、ｄに関する３元連立方程式が得
られるので、これを解けばａ、ｂｄを算出できる。ここ
では精度を上げるために、既知のｒ１点（ｒ１〕・３）
の３次元座標を第２式に代入し、次の３元ｒｌ連立方程
式を最小２乗法で解く。

これを Ｊ＊に＝Ｌ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　、・　（１０）と置けば、 Ｋ＝　（Ｊｔ＊Ｊ）−’＊Ｊｔ＊し　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　・・・（１１）より求まる。

（３）特徴点の３次元座標の算出。

前述の方法でＣｚ〜Ｃ３４＋　ａ、　ｂ　、　ｄを求め
ておけば、特徴点の３次元座標は第２式と第３式を連立
して、次式を解くことで求まる。

Ｍ　＊　Ｎ　＝　Ｒ・・・（１２） ただし、 （以下余白） Ｎ＝［Ｘ　　　Ｙ　　　Ｚｌｔ　　　　　　　　　　　
　　　　　　・〜〈１４）Ｒ＝［ＣＩ４　　Ｃ３４＊Ｘ
ｃ　　Ｃｚ＋　　Ｃ３，＊Ｖｃ　　ｄ］’　　　　　　
−（１５−１）ただし、 Ｃ１＝１　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・　
＜１５−２＞第１２式より、 Ｎ＝Ｍ伺＊Ｒ・・・〈１６） ■、点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄを通る円の中心の計測方法。

点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄを通る円の中心は、 （１２１）　４点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄを通る平面上にある。

（２ａ）各点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄからの距離が等しい。

という２つの条件１ａ、２ａから求まる。

（１）波計（１Ｍ物体１の表面である４点Ａ、Ｂ。

Ｃ，Ｄを含む平面Ｐ１３、すなわち第５図の紙面の方程
式の係数の算出（第３（２！のステップｎ　３　）。

４点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄを含む平面の法線ベクトル成分は、
Ｚ成分が大きく、Ｘ、Ｙ成分および距離が小さいので、
平面の方程式を次式で表す。

ａ、＊ｘ＋−ｂ＋＊ｙ＋ｚ＝ｄ、　　　　　　　　　　
　　　　　　−−・（１７）４点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄは、こ
の平面上の点であるので、 これより、最小２乗法でεＬ、ｂ、ｄを算出し、あるい
はまた３点Ａ、Ｂ、Ｃの場会には、１行の成分を無視し
て逆行列で５’　ｌ＋　ｂ　Ｉ＋　ｄ＋を算出する。

（２）各点Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄのうちの２点からの距離が等
しい平面の方程式の係数の算出。

各点からの距離が等しい点（ｘ、ｙ、ｚ）は次式で表す
ことができる。

（ｘ−Ｘｉ）”＋　（ｙ−ｙ＋＞”＋　（ｚ−Ｚｌ）”
＝ｒ２　　　　　　　−・＜１９）（ｉ＝１〜４） 精度よく算出するために、互いに距離の大きい２点を用
いて算出する。ここでは点Ａ、Ｂと点Ｃ９Ｄのベアを用
いる。

第５図の平面図を参照して、点Ａ、Ｂから等しい距離に
ある点は次式になる（第３図のステップｒ１４）。

２＊ｘ５本ｘ＋ｘ１２２＊ｙ＋　”ｙ　＋Ｆ＋”　　２
本ｚ　、　＊ｚ＋ｚ　、　２＝−２＊ｘ２＊ｘ＋ｘ２’
−２本ｙ２＊ｙ＋ｙｔ’　　２＊Ｚ２＊Ｚｚ２Ｈ・・（
２０−１）２（ｘｌｘｚ）ネｘ＋２（ｙ、　　ｙｚ）　
＊ｙ　＋　２（Ｚｌ　　２２）　＊ｚ＝（ＸＩ２Ｘ２’
）　＋　（３’ｌ”　　ｌ’２２）モ＜ｚ、”　−ｚ２
”）　　　　　　　　　　　　　＝−＜２０−２＞この
第２０−２式を、 ａ２＊ｘ−ｔ−ｂｔ＊ｙ＋Ｃ，＊Ｚ＝（１２・・（２０
−３＞と置く。第２０−３式は、平面ｐＨの式である。

点Ｃ，Ｄも同様に算出する〈第３図のステップｎ　５　
）　。

２（ｘ、−Ｘｉ）＊ｘ＋２（ｙ＊　３’＋）”ｙ＋２（
ｚ３−２２）＊Ｚ−（Ｘ３２　　ｘ４”）＋（ｙｔ’　
　　ｙ＜２＞＋（ｚｓ”　　　Ｚ４”）　　　　　　　
　　　　　　　　　　・・・　（２１−１＞これを ＥＬ３＊　Ｘ　＋　１）３’ｋ　ｙ＋　Ｃｓ＊　ｚ＝４
　　　　　　　　　　　・・・（２１−２＞と置く、第
２１−２式は、平面Ｐ１２の式である。

〈３〉円の中心０の算出。

第１７式、第２０−３式、第２１−２式の３平面の交点
が円の中心である。したがって、円の中心座標（ｘｃｌ
、ｙｃｌ、ｚｃｌ）は次式の連立方程式を解くことで求
まる（第３図のステップｎ６）。

これより ■、平面Ｐ１３のＸ軸まわりの姿勢角αおよびＹ軸まわ
りの姿勢角βの計測。

第６図（１）において、平面Ｐ１３ａがＸ軸まわりに＋
Δαだけ角変位して平面Ｐ　１３　七＋の姿勢となった
とき、スリット光５の平面Ｐ　１３　ＥＬ上の光切断線
２６は、平面Ｐ１３ｂ上では光切断線２７のとおりとな
る。カメラ７の撮像面８において。

α＝０の光切断線２６の像は参照符２６　ｆＬで示され
、その回転後の光切断線２７の像は参照符２７Ｆｔで示
される。また第７１２１（１）で示されるように、平面
Ｐ１３ｃがＹ軸まわりに角度Δβだけ角変位して平面Ｐ
　１３　ｃｌとなったときには、平面ト−。

１３ｃ上の光切断線２８は平面Ｐ１３ｄ上で光切断線２
９となる。したがってカメラ７の撮像面Ｓにおいて、光
切断線２８の像２８ａは光切断線２９の像２９　ＥＬと
なる。こうして撮像面８上の像２７ａ、２９ａによって
、平面Ｐ１３ａ、Ｐ１３１：＋の相互の角度Δαと平面
Ｆ’１３ｃ、Ｐ１３ｄの角度＋Δβと演算して求めるこ
とができる。第６図および第７図にΔα、Δβｆ）定義
を示し、さらに第８図〜第１０口を参照して平面の傾き
を求める手法について具体的に述べる。

（１）第９図に示される対象面Ｐ１３のＸ軸まわりの姿
勢角αと、その対象面Ｐ１３のＹＭまわりの姿勢角βと
を求めるにあたり、まず■カメラ７の撮像面８上の水平
スリット光の光切断線３０の方程式を予め求めておき、
この光切断線３０の方程式と、■予め求めておいた前述
のカメラパラメータＣ５，−〇ｆｆｌとから、■光切断
線３０とレンズ９の主点を通る平面Ｐ１４の方程式を求
める（第８図のステラ７　ｍ　ｌ　、　ｍ　２　）。ま
た■スリット光の平面Ｐ１５の方程式を予め求めておく
（第８図のステップｒｎ　３　）。

（２）前のバラグラフ（１）で示した方程式■。

■、■と、カメラパラメータ■とによって、平面Ｐ１４
．Ｐ１５の各平面の法線ベク■・ルを求め、その法線ベ
クトルをＰ２．ＰＩとし、平面Ｐ１４゜ＰＩ５の交線３
１の方向ベクトルを １　、＝　（１，ｔ、、　ｕ、）　　　　　　　　　　
　　　・・（２４）とすると、ｉ、とｐ２．ｐ、とは直
交するので、Ｐ２・／　、＝０　　　　　　　　　　　
　　　　・・・（２５）Ｐ、・ｌ　、＝Ｏ・・・〈２６
） これにより、！、が求められる（第８図のステップｍ４
）。

（３）同様にして第１０図から、光切断線３２とカメラ
パラメータより平面Ｐ　１６の方程式を求め、平面Ｐ１
７の方程式も求めておけば、平面Ｐ１６、ＰＩ７の法線
ベクトルをそれぞれＰ、、Ｆ’、、交線３３の方向ベク
トルを １　、＝　（ｓｓ、　１　、　ｕｓ）　　　　　　　　
　　　　　−（２７）として、 Ｐ、・１．＝０　　　　　　　　　　　　　　　・・・
（２８）Ｐ、・ｌ、＝０　　　　　　　　　　　　　　
　・・・〈２９）これより、ｌＩｌが求められる（第８
（２のステツア用７）。

この第１０図において、平面Ｐ１６はレンズ９の主点を
通る平面であり、ＰＩ７は投光器３のスリット光がなす
平面を示している。

（４）対象面Ｐ１３の法線ベクトル Ｐｅ＝　（ｓ、　ｔ、、　１　）　　　　　　　　　　
　　−（３０）はｌ　、、　Ｉ　、に直交するから、 Ｐ、　・ｅ　　、＝Ｏ・・　（３１） Ｐｏ・Ｐ６＝０　　　　　　　　　　　　　　　　・・
・（３２）これより、ＰＯが求められる（第８［２１の
ステップｒｎ　８　）　。

センサの撮像面８の対象面Ｐ１３に対する姿勢角α（Ｘ
軸まわりの回転角）、β（Ｙ軸まわりの回転角）は次式
で求められる（第８１２Ｉのステップｍ９）。

α＝　ｔ　ａ　ｒｒ−’　　（ｔｏ）　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　−（３３）β−ｔａｎ−’　（ｓｏ＞　　　　
　　　　　　　　　−（３４）■、距離の計測方法。

第１１図に示されるように、平面Ｐ１３ｅとカメラ７の
撮像面８との間の距離を計測する際、この平面Ｐ１３ｅ
がＰｉ　３ｆおよびＰＬ３ｇで示すように検出可能な範
囲で変位すると、第１１図（２）で示されるように撮像
面８上では、投光器３のスリット光５の光切断線３４．
３５．３６は像３４εｔ、３５ａ、３６ａとなって検出
される。このようにして撮像面８上の俸３４　ａ　、　
３５　ａ　、　３６ａを検出することによって、平面Ｐ
１３ｅ、Ｐ１３ｆ、Ｐ１３ｇの距離を計測することがで
きる。

この手法を第１２図および第１３図を参照してさらに具
体的に説明する。

（１〉カメラ７の光軸の方程式は、 ｘ＝ｙ＝Ｑ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　・・・（３５）であって、その撮像面８と
対象面Ｐ１３との距離ｄは、カメラ７のレンズ９の光軸
と対象面Ｐ１３の交点のＺ座標と定義する。

対象面ＰＩ３上の１点の座標を求めれば、対象面Ｐ１３
の法線ベクトルとから対象面Ｐ１３の平面の方程式が決
定できる。その点は、平面Ｐ１４Ｐ１５．Ｐ１７の交点
として得られ、その点を、（Ｘ　０１　ｙ　ｏ、ｚｏ　
）とすると、対象面Ｐ１３の方程式は、 ｓｏ＜ｘ　ｘｏ＞＋ｔｏ（３’　Ｍｏ）　＋１・（ｚ　
ｚｏ）＝０　−＜３６）となる（第１２図のステップｒ
ｌ、ｒ２）。

（２）距１ｌＩｌｄは、 ｃｌ＝ｓｏＸｏ＋ｔｏＹｏ＋Ｚｏ　　　　　　　　　　
　　＝’　（３７）として求められる（第１２図のステ
ップ３．ｒ４）。

■、面位置の計測。

第１４図を参照して、面１３の位置計測にあたっては、
単一の投光器４からのスリット光６を投光し、カメラ７
の光軸３７は、物体座標系のＸ−Ｙ平面に垂直であるも
のとする。このとき、計測対象となる平面Ｐ１３とスリ
ント光平面６の交線３８上の１点３つの３次元位置を計
測し、そのＺ軸成分を面位置（すなわち高さ）とする。

本発明は、孔２の中心位置を計測することができるだけ
ではなく、その孔２の面積およびその池の物理量を広く
演算して求めることが可能であり、そのような改変は当
業者に容易である。

発明シｌ）効果 以上のように本発明によれば、被計測物体に接触するこ
となしに、迅速に、物理量、その被計測物体、７】表面
の傾き、およびその表面の位置を計測することが可能に
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の簡略化した斜視図、第２
図は第１図に示される実施例の電気的構成を示すブロッ
ク図、第３図は孔２の中心位置の算出手順を示すフロー
チャート・、第４図はスリット光５による点Ｐの３次元
α１計測の手法を示す斜視図、第５図は平面Ｆ“１３の
平面図、第６図は平面の姿勢角ａの定義を示す図、第７
図は平面の姿勢角βの定義を示す簡略化した図、第８図
は姿勢角α、βを計測する手順を示すフローチャート、
第９，１０［Ｊは対象面Ｐ１３のＸ軸まわりの姿勢角α
とＹ軸まわりｆ）姿勢角βを計測するための手法を示す
簡略化した図、第１１１１Ｆは平面Ｐ１３ｅ。 Ｐ１３ｆ、Ｐ１３ｇの距湘の計測原理を示す簡略化した
図、第１２図は平面の距離（ｌグ）算出手順を示すフロ
ーチャート、第１３図は距離ｄの計測を行うための構成
を簡略化して示す図、第１４図は本発明のさらに他の実
施例の面１３，７）位置計測を行う原理を示す簡略１ヒ
した図である。 ２・・・孔、３．４・・・スリット・光の投光器、７・
・・カメラ、８・・・撮像面、９・・・レンズ、１０・
・処理回Ｓ３代理人　　弁理士　画数　圭一部 第 凶 第 図 第 図 第 図 第 図 ２９′ａ 第 ６： 第 図 ′Ｙ 第１０＝ 第 １２図 第１１ 図 第１４図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数のスリット光を被計測物体に照射してカメラ
   で撮像し、スリット光の被計測物体上にある少なくとも
   ３つの点を検出し、 これら３つの点の座標を求め、 これら３つの点を通る一平面内の物理量を測定すること
   を特徴とする光学的３次元位置計測方法。
2. （２）複数のスリット光を被計測物体に照射し、被計測
   物体上にあるスリット光をカメラで撮像して得た像に基
   づいて、被計測物体の表面の傾きを計測することを特徴
   とする光学的３次元位置計測方法。
3. （３）複数のスリット光を被計測物体に照射し、被計測
   物体上にあるスリット光をカメラで撮像して得た像に基
   づいて、被計測物体の表面とカメラとの間の距離を計測
   することを特徴とする光学的３次元位置計測方法。