JPH0279350A - 電子顕微鏡の記録媒体用マガジン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明は電子顕微鏡内において用いられる記録媒体用マ
ガジンに関し、特に詳細には、ホルダーに収納された蓄
積性蛍光体シートを収容可能な記録媒体用マガジンに関
するものである。

（従来の技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。この電子顕微鏡には多くの場合カメ
ラ室が設けられており、このカメラ室内に写真感光フィ
ルム等の記録媒体を配設して、該記録媒体に試料を透過
した電子線を照射することにより、試料の電子顕微像を
記録媒体に記録（撮影）するようになっている。

上記記録媒体が写真感光フィルムである場合には、該フ
ィルムはカセツテ内に１枚ずつ収納されてカセツテ内に
収納されたまま撮影に供せられる。

撮影が終了すると上記カセツテはカメラ室から取り出さ
れ、カセツテ内のフィルムは取り出されて現像処理が施
される。

また本出願人は、上記写真感光フィルムの代りに記録媒
体として、例えば特開昭５２−１２４２９号、同５５−
１１６３４０号、同５５−１６３４７２号、同５ｆｌｌ
−１１８９５号。

同５Ｂ−１０４８４５号公報等に開示されている蓄積性
蛍光体シートを用いた電子顕微鏡像記録再生方法を先に
提案した。（特開昭６１−５１７３８号、特開昭６１−
９３５３９号等）。この電子顕微鏡像記録再生方法は、
基本的に、電子線エネルギーを蓄積する蓄積性蛍光体シ
ートに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し
、次いで該蓄積性蛍光体シートに励起光照射等を行なっ
て蓄積されたエネルギーを輝尽発光光として放出させ、
この放出光を光電的に検出して画像信号を得、この画像
信号を用いて試料の透過放射線画像を再生するものであ
る。

さらに、上記電子顕微鏡としては、同一カメラ室内にお
いて、記録媒体として上述した写真感光フィルムと蓄積
性蛍光体シートとを目的に応じて使いわけることのでき
るようにしたものも既に提案されている（特開昭８１−
２３７３５５号）。

上記写真感光フィルム、蓄積性蛍光体シートといった電
子顕微鏡における記録媒体は、電子顕微鏡内において供
給マガジン内に複数枚収納されており、該供給マガジン
から１枚ずつ取り出されて電子線が照射される記録位置
に供給される。また、撮影が終了した記録媒体は、記録
媒体を複数枚収納可能な収納マガジン内に順次搬入され
るようになっている。また、本出願人は、上記供給マガ
ジンと収納マガジンが一体化されてなり、同一マガジン
内に未撮影の記録媒体と撮影済の記録媒体を共に収納す
るようにしたマガジンを既に提案した（特願昭６２−３
１７７３２号）。かかるマガジンは、記録媒体を１枚ず
つ収納可能な複数の媒体収納部が連設されてなる、上下
動可能な媒体収納棚を有し、所定の高さ位置で棚内の記
録媒体を押し出すとともに、記録媒体を該棚内に収納す
る収納手段を有するものである。かかるマガジンによれ
ば、未撮影、撮影済の記録媒体を共に収納して電子顕微
鏡内のマガジンの数を減らすことができる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、実際には写真感光フィルムはカメラ室に
おいてカセツテに収納された状態で取り扱われるのに対
し、蓄積性蛍光体シートは、シートに励起光を照射して
画像信号を得る読取時に屈曲搬送される必要があること
等によりシートだけで取り扱われるため、電子顕微鏡内
において、カセツテに収納された写真感光フィルムと蓄
積性蛍光体シートでは両者の機械的性質が違うため搬送
不良を起こしやすい。このため、前述したように写真感
光フィルムと蓄積性蛍光体シートを使い分けるようにし
た電子顕微鏡においては、上述したマガジンを、蓄積性
蛍光体シート用と写真感光フィルム用にそれぞれ設けな
ければならないとともに、搬送系も蓄積性蛍光体シート
用と写真感光フィルム用に別々に設けなければならず、
電子顕微鏡全体が大型化してしまうという不都合がある
。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、未
撮影の記録媒体と撮影済の記録媒体を共に収納すること
ができるとともに、蓄積性蛍光体シートの収納形態を工
夫することにより、蓄積性−４＝ 蛍光体シートと写真感光フィルムが共用することの可能
な電子顕微鏡の記録媒体用のマガジンを提供することを
目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明の電子顕微鏡の記録媒体用マガジンは、蓄積性蛍
光体シートを１枚ずっ取出可能に収納する電子線透過性
を有する複数のホルダーを保持可能なホルダー収容部、
該ホルダー収容部に対して前記ホルダーを出し入れする
ホルダー搬入搬出手段および、前記ホルダー収容部内の
任意のホルダーが前記ホルダー搬入搬出手段と接続可能
なように、前記ホルダー収容部をホルダー搬入搬出手段
に対して相対的に移動させる移動手段からなることを特
徴とするものである。

（作　　用） 上記のように、マガジンをホルダーに収納された蓄積性
蛍光体シートを保持可能なものにしておけば、写真感光
フィルムについても従来のカセツテに収納する代りに上
記ホルダーに収納することにより、蓄積性蛍光体シート
と共に同一のマガジンに収容させることが可能となる。

また上記ホルダーを上記カセツテと同様な形状に形成し
ておけば、カセツテに収納された写真感光フィルムとホ
ルダーに収納された蓄積性蛍光体シートを共に上記マガ
ジンに収容することもできる。また、同一マガジンに蓄
積性蛍光体シートと写真感光フィルムを共に収容する場
合には、所望の記録媒体を適宜取り出すことが必要であ
るが、本発明のマガジンは、任意のホルダーがホルダー
搬入搬出手段と接続可能となっているので、ホルダー収
容部内における位置に関係なく、所望の記録媒体を収納
しているホルダー（又はカセツテ）を取り出すことがで
きる。

（実　施　例） 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。

第１図は本発明の一実施例による記録媒体用マガジンを
備えた電子顕微鏡の概略図である。

電子顕微鏡１の鏡体部１ａは、−様の速度の電子線２を
射出する電子銃３と、電子線２を試料面に絞り込む磁気
レンズ、静電レンズ等からなる少なくとも１コの集束レ
ンズ４と、試料台５と、上記集束レンズ４と同様の対物
レンズ６と、投影レンズ７とを有してなる。試料台５上
に載置された試料８を透過した電子線２は上記対物レン
ズ６により屈折され、該試料８の拡大散乱像８ａを形成
する。

この拡大散乱像８ａは投影レンズ７により、結像面９に
結像投影される。（図中の８ｂ）。

上記電子顕微鏡の鏡体部１ａの下方には、電子顕微鏡像
記録装置１０が配置されている。この電子顕微鏡像記録
装置１０は、図中左方に、記録媒体である蓄積性蛍光体
シート１１を多数枚収容可能な、本実施例による記録媒
体用マガジン（以下、単にマガジンと称する）１００が
配設されており、前記結像面９を含む位置には記録部１
４が設けられている。

上記マガジン１００は、第１図およびマガジン内部を正
面からみた第２図に示すように、蓄積性蛍光体シート１
１を１枚ずつ収納可能なホルダー１０１を突部１０２ａ
により支持して上下方向に並べて複数枚保持可能なホル
ダー収容部１０２を有している。

このホルダー収容部１０２には、マガジン１００の筐体
１０３にベアリング１０４を介して固定されているスク
リューロッド１０５が取り付けられ、ギア１０６゜１０
７を介してモータ１０８によりスクリューロッド１０５
が回転せしめられることにより上下動可能となっている
。また上記筐体１０３の記録部１４側の側面には、ホル
ダー１０１をマガジン１００に対して出し入れするため
のスリット１０３ａが形成されている。

マガジン１００から未撮影の蓄積性蛍光体シート１１を
収納したホルダー１０１を取り出す場合には、取り出さ
れるホルダー１０１が上記スリット１０３ａに隣接する
ようにホルダー収容部１０２が上下動せしめられる。続
いてホルダー１０１がホルダー搬入搬出手段によりスリ
ット１０３ａからマガジン１００外へ搬出される。すな
わち、第３図に示すように、ホルダー１０１はその両側
端面にラック１０１ａが形成されており、スリット１０
３ａの近傍には、このラック１０１ａと結合可能なピニ
オン１１０が配されている。

上記のホルダー収容部１０２の上下動により、マガジン
１００から取り出されるホルダー１０１のラック１０１
ａがピニオン１１０と係合すると、ピニオン１１０はモ
ータ１１１により回転せしめられ、上記ホルダー１０１
はホルダー収容部１０２から搬出される。本実施例にお
いては、上記ラック１０１ａおよびピニオン１１０によ
り、ホルダー搬入搬出手段が構成されている。

上記のようにしてホルダー収容部１０２から搬出されて
スリット１０３ａ外に突出せしめられたホルダー１０１
は、スリット１０３ａの近傍に配設された搬送ローラ１
８ａ、１８ｂにより把持される。ホルダー１０１はこの
搬送ローラ等により記録部１４に送られて、記録部１４
内に設けられた２対のニップローラ２８，２９により前
記結像面９の位置に停止せしめられる。

ホルダー１０１は電子線透過性を有する材料により形成
されており、蓄積性蛍光体シート１１はホルダー１（ｊ
ｌに収納されたまま電子顕微鏡像を記録される。

前記鏡体部１ａと記録部１４との間には、それぞれ図中
矢印Ａ方向に回動可能なシャッター３０と、蛍光スクリ
ーン８１とが設けられ、これらシャッター３０とスクリ
ーン３１は各々、図示しないレバーによって回動操作さ
れるようになっている。また上記スクリーン３１の上方
において、鏡体部１ａの周壁には例えば鉛ガラスからな
る観察窓３２が設けられている。前記電子線は、蛍光ス
クリーン３１に当たって蛍光を発生させるので、該電子
線２が担持する拡大散乱像８ａが、観察窓３２を通して
観察される。

このように蛍光スクリーン３１を観察して拡大散乱像８
ａのピント、倍率および視野範囲が決定された後、シャ
ッター３０と蛍光スクリーン３１は、前述のレバーを操
作することにより、電子線２を遮らない位置まで跳ね上
げられる。こうすると電子線２は、記録部１４において
ホルダー１０１に収納されて保持されている蓄積性蛍光
体シート１１に到達し、拡大散乱像８ｂを担持する電子
線エネルギーが該シート１１に蓄積記録される。

上記のようにシャッター３０を開いて電子線露光を行な
った後、シャッター３０が閉じられる。そして拡大散乱
像８ｂを蓄積記録した蓄積性蛍光体シー）１１を収納し
たホルダー１０１は、前記ニップローラ２８．２９によ
り第１図左方向に送られ、搬送ローラＬ８ａ、　Ｌ８ｂ
によりマガジン１００内に搬入される。

その際にマガジン１００内のホルダー収容部１０２は、
予め空の部分がスリット１０３ａに隣接するように配置
せしめられている。ホルダー１０１は、前記搬送ローラ
Ｌ８ａ、１８ｂにより、ホルダー収容部１０２内に搬入
され、前述したラック１０１ａがマガジン内のピニオン
１１０に係合すると、ピニオンの回転により、ホルダー
収容部１０２内に完全に収容される。また、上記スリッ
ト１０３ａの上下には遮光板１１２が配設されており、
マガジンに対してホルダーを出し入れする時以外はスリ
ット１０３ａを塞いでマガジン１００内に光が入ること
を防止する。

上記のようにして、マガジン１００からは、未撮影の蓄
積性蛍光体シート１１を収納したホルダー１０１が順次
取り出されて撮影に供される。なお、ホルダー１吋の中
には蓄積性蛍光体シートの代りに写真感光フィルムが収
納されているものがあってもよく、顕微鏡像の種類等に
応じて蓄積性蛍光体シートと写真感光フィルムを使い分
けてもよい。

マガジン１００からはホルダー収容部１０２を上下動さ
せることにより、任意のホルダーを取り出し得るので、
所望の記録媒体を収納したホルダーの取出しは自在に行
なうことができる。このようにしてホルダー取り出し、
撮影、撮影済のホルダーのマガジン１００への搬入がく
り返され１．マガジン内のホルダーに収納されている蓄
積性蛍光体シート１１がすべて撮影済のものになると、
このマガジン１００は電子顕微鏡像記録装置１０から取
り出され、マガジン内の蓄積性蛍光体シートは、公知の
放射線画像情報読取装置において、その電子顕微鏡像が
読取られる。なお、上述した電子顕微鏡の、上記鏡体部
１ａの内部と、電子顕微鏡像記録装置１０の内部は、電
子顕微鏡の稼働中、公知の排気装置によって真空状態に
維持されるが、鏡体部１ａと電子顕微鏡像記録装置１０
との間には公知の遮断部材（図示せず）が設けられ、該
遮断部材によって鏡体部１ａ内部と電子顕微鏡像記録装
置１０の内部とを互いに遮断することにより、マガジン
１００の装着あるいは取出しの際に、電子顕微鏡像記録
装置１０内の真空を破壊しても、鏡体部１ａ内は真空状
態に維持できるようになっている。

蓄積性蛍光体シート１１に蓄積記録された電子顕微鏡像
を読取る際には、蓄積性蛍光体シートがホルダーから取
り出されて読取ゾーンに送られることが必要となるが、
ホルダーは必ずしもマガジンから取り出される必要はな
い。そこでホルダー１０１の上下面には、該ホルダーか
らの蓄積性蛍光体シートの取り出しを良好に行なわせる
ために切り欠き１０１ｂ　（第３図および第４図参照）
が形成されている。すなわち、第４図に示すように読取
装置側に、マガジンの装填位置に近接させて上記切り欠
き１０１ｂより短い長さのニップローラ１２０を蓄積性
蛍光体シート取出し手段として設けておき、前述したラ
ック１０１ａとピニオンとによりホルダー１０１ｂごと
蓄積性蛍光体シート１１を矢印方向に移動させれば、切
欠き１０１ｂにより露出された蓄積性蛍光体シートの部
分が上記ニップローラ１２０に把持される。蓄積性蛍光
体シート１１がニップローラ１２０に把持されるとピニ
オン１１０は回転を停止し、蓄積性蛍光体シートがニッ
プローラ１２０によりホルダー１１０内から完全に搬出
されると、ピニオンは逆転してホルダーを元の位置に戻
す。このようにすれば、ホルダーをわずかに前後移動さ
せるだけで、ホルダー内の蓄積性蛍光体シートを取り出
して順次読取ゾーンに送ることができる。

なお、本発明のマガジンの各部の具体的な構造は、上記
実施例に示したものに限られるものではなく、上述した
ように複数のホルダーを収容して、任意のホルダーを取
り出すことができれば、どのようなものであってもよい
。例えばホルダー収容部は、ホルダーを起立させた状態
で横方向に並べて保持するものであってもよいし、ホル
ダーを出し入れする際にはホルダー搬入搬出手段をホル
ダー収容部に対して移動させるようにしてもよい。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明の電子顕微鏡の記録媒体用
マガジンによれば、蓄積性蛍光体シートを収納した複数
のホルダーを収容可能としたので、蓄積性蛍光体シート
と写真感光フィルムを同じマガジンに収容させることが
できるとともに、上記マガジンからは任意のホルダーを
取り出すことができるので、必要に応じて蓄積性蛍光体
シートを収納したホルダーと、写真感光フィルムを収納
したホルダー（又はカセツテ）を選択して取り出し、撮
影に供給することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による記録媒体用マガジンを
有する電子顕微鏡の概略図、 第２図はマガジン内部の正面図、 第３図は上記マガジンの要部の斜視図、第４図は読取装
置内におけるホルダーの平面図である。 １・・・電子顕微鏡　　　　　９・・・結像面１０・・
・電子顕微鏡像記録装置 １１・・・蓄積性蛍光体シート１４・・・記録部１００
・・・記録媒体用マガジン １０１・・・ホルダー　　　　１０１ａ・・・ラック１
０２・・・ホルダー収容部　１０３・・・筐体１０３ａ
・・・スリット −１６＝ １．０５・・・スクリューロッド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 電子顕微鏡内において、試料を透過した電子線を記録媒
   体に照射する記録位置に該記録媒体を供給するマガジン
   であって、 前記記録媒体である蓄積性蛍光体シートを１枚ずつ取出
   可能に収納する電子線透過性を有するホルダーを複数枚
   保持可能なホルダー収容部、該ホルダー収容部に対して
   前記ホルダーを出し入れするホルダー搬入搬出手段およ
   び、前記ホルダー収容部内の任意のホルダーが前記ホル
   ダー搬入搬出手段と接続可能なように、前記ホルダー収
   容部をホルダー搬入搬出手段に対して相対的に移動させ
   る移動手段からなる電子顕微鏡の記録媒体用マガジン。