JPH0271085A - 液体窒素発生装置 - Google Patents

液体窒素発生装置

Info

Publication number
JPH0271085A
JPH0271085A JP63222373A JP22237388A JPH0271085A JP H0271085 A JPH0271085 A JP H0271085A JP 63222373 A JP63222373 A JP 63222373A JP 22237388 A JP22237388 A JP 22237388A JP H0271085 A JPH0271085 A JP H0271085A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
refrigerator
bin
liquid nitrogen
absorption tower
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63222373A
Other languages
English (en)
Inventor
Akio Yamamoto
昭夫 山本
Tsuyoshi Takahashi
強 高橋
Yukiyoshi Yoshimatsu
吉松 幸祥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP63222373A priority Critical patent/JPH0271085A/ja
Publication of JPH0271085A publication Critical patent/JPH0271085A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J1/00Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
    • F25J1/02Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process
    • F25J1/0243Start-up or control of the process; Details of the apparatus used; Details of the refrigerant compression system used
    • F25J1/0257Construction and layout of liquefaction equipments, e.g. valves, machines
    • F25J1/0275Construction and layout of liquefaction equipments, e.g. valves, machines adapted for special use of the liquefaction unit, e.g. portable or transportable devices
    • F25J1/0276Laboratory or other miniature devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J1/00Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
    • F25J1/0002Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures characterised by the fluid to be liquefied
    • F25J1/0012Primary atmospheric gases, e.g. air
    • F25J1/0015Nitrogen
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J1/00Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
    • F25J1/006Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures characterised by the refrigerant fluid used
    • F25J1/0062Light or noble gases, mixtures thereof
    • F25J1/0065Helium
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J1/00Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
    • F25J1/02Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process
    • F25J1/0203Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process using a single-component refrigerant [SCR] fluid in a closed vapor compression cycle
    • F25J1/0204Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process using a single-component refrigerant [SCR] fluid in a closed vapor compression cycle as a single flow SCR cycle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J1/00Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
    • F25J1/02Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process
    • F25J1/0225Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process using other external refrigeration means not provided before, e.g. heat driven absorption chillers
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/40Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using hybrid system, i.e. combining cryogenic and non-cryogenic separation techniques
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/60Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using adsorption on solid adsorbents, e.g. by temperature-swing adsorption [TSA] at the hot or cold end
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2210/00Processes characterised by the type or other details of the feed stream
    • F25J2210/40Air or oxygen enriched air, i.e. generally less than 30mol% of O2
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2270/00Refrigeration techniques used
    • F25J2270/90External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2270/00Refrigeration techniques used
    • F25J2270/90External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration
    • F25J2270/908External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration by regenerative chillers, i.e. oscillating or dynamic systems, e.g. Stirling refrigerator, thermoelectric ("Peltier") or magnetic refrigeration
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2290/00Other details not covered by groups F25J2200/00 - F25J2280/00
    • F25J2290/42Modularity, pre-fabrication of modules, assembling and erection, horizontal layout, i.e. plot plan, and vertical arrangement of parts of the cryogenic unit, e.g. of the cold box
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02CCAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
    • Y02C20/00Capture or disposal of greenhouse gases
    • Y02C20/40Capture or disposal of greenhouse gases of CO2

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体窒素発生装置に係り、特に大学各研究所
における、細胞や***などの保存、医療用(臓器保存)
、更にスーパーコンヒュータにおけるOPUボードの冷
却など、小容量向に好適な液体室;txA生装置に関す
るものである。
〔従来の技術〕
小容量向で数17日と云う需要に答えるような液体窒素
発生装置は現在のところ見当らない。数l!/hのオー
ダーの装置では、精溜塔と膨張タービンの組合せでもっ
て製品化しているものがあるが、構成i!&器(精留塔
、膨張タービン、熱交換器。
旧処理冷凍機等)、およびその保冷などから小型化が難
しく、また、容量も数J−LN2/hが限度である。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、大学や各研究所が要求している数1−
LNz1日 クラスの装置、およびそのコンパクト化(
移動可能〕について配慮されておらず、操作上、またコ
ストの面で、上記機関が購入しにくいと云う課題があっ
た。
本発明の目的は、小容量でコンパクト、かつ、LN2価
格が購入LNz並みあるいはそれ以下となるような液体
窒素発生装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、原料空気中の前処理(H2O,002除去
〕並びに窒素濃縮に圧力スイング吸着塔(PSA吸看塔
)、窒素液化にHe冷凍機を用いることにより、達成さ
れる。
〔作  用〕
空気の前処理および窒素濃縮をPSA吸着塔で行なわせ
る二とにより、小容量のドライ濃縮窒素がコンパクトな
装置(吸M塔)で得られ、また、液化にHe冷凍機を用
いることにより、保冷は不要(デユワ−ビン内に冷却管
(He冷凍機シリンダー)が入るため)となって、装置
gのコンパクト化が容易に可能となった。
〔実 施 例〕
以下、本発明の一実施例を第1図、第2図により説明す
る。
図において、原料空気lは、フィルター2で除屑された
後、オイルフッ−ベビコン3で所定の圧力(4〜5KP
/c+dG)l:’!t’昇圧サレ、すo2゜H20除
去用の吸着剤の入った吸着塔4および酸素吸着剤の入っ
た吸着塔5を通って、ドライ窒素力゛ス6(〜99.9
9チN2)となる。
なお、旧処理吸着塔4.酸素吸着埼5は、吸着剤の二層
充填(002,H20吸着剤+酸素吸着剤)により1塔
化が可能である。
また、吸着は、二項切替で行なわれ、再生は、ドライ窒
素ガス6を大気圧でリサイクルすることにより行なわれ
る。
ドライ窒素ガス6は、減圧弁7で大気圧に減圧された後
、デユワ−ビン8へ供給され、ここでHe冷凍8!9の
シリンダ−10先f1部に接触して冷却液化され、デユ
ワ−ビン8に貯蔵される。
なお、He冷凍機9へは、Heコンプレッサー11で加
圧されたHeガス球が供給され、一方、He冷凍機9で
膨張減圧したHeガス12はHeコンプレッサー11ヘ
リサイクルされている。
デユワ−ビン8に貯蔵された液体窒素13は、必要時に
、気化弁14を開とすることにより真空二重管構造を持
つ供給ライン15を通って供給される。
ここで気化弁14は、デユワ−ビン8外に設けられてお
り、必要時に気化弁14を関とする二とにより、微量の
LN2がここで気化するため、デユワ−ビン内が加圧さ
れLN2が外へ押し出される形で取り出されて行く。な
お、この加圧は数100ftlll Aqで充分であり
、また、デユワ−ビン8は基本的には大気圧下で使用す
るので、特にデユワ−ビン8が異常加圧されないよう、
吹出弁16を設けである。
二の吹出弁16は、LN2取出しに必要な圧力よりも若
干高い吹出し圧力に設定されている。また、取り小弁1
7までの供給ライン15は、真空保冷されている。
次に、本発明による製品イメージを第2図に示す。
この製品18は、5J−LN2/日(99チ)を想定し
たものの一実施例で、外形で約700R11X700r
utx 1.500mあれば光分であり、餌述の要素機
器に操作パネル19を取り付けたものである。
このような装置であれば、充分移動も可能である。
また、本−実施例をもとにLN2単価を試算した結果、
約300 T/l!−LN2となり、はぼ購入LN2単
価並みとなることが判った。
〔発明の効果〕
本発明によれば、PSAとHe冷凍機の組合せが可能と
なったので、小容量でコンパクト、かつ、購入LN2価
格並みのLN2が任意の時間に得られる等の効果が島る
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例のプロセスの概略図、第2
図は、製品イメージを示した斜視図である。 2・・・・・・フィルター 3・・・・・・オイルフリ
ーベビコン、4・・・・・・前処理用吸着塔、5・・・
・・・酸素吸着塔、7・・・・・・減圧弁、8・・・・
・・デユワ−ビン、9・・・・・・He冷凍機、10・
・・・・・He冷凍機シリンダー、11・・・・・・H
eコンプレッサー、14・・・・・・気化弁、16・・
・・・・吹出弁、17・・・・・・取出口弁、18・・
・・・・製品本体、19・・・・・・操作パネル 代理人 弁理士  小 川 勝 男 イ 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、空気中の窒素を濃縮して、液体窒素を製造する液体
    窒素装置において、 空気中の窒素濃縮に圧力スイング吸着塔(PSA吸着塔
    )を用い、濃縮窒素の液化にHe冷凍機を用いたことを
    特徴とする液体窒素発生装置。 2、特許請求の範囲第1項において、空気中の水分、二
    酸化炭素をも合わせてPSA吸着塔で除去することを特
    徴とする液体窒素発生装置。
JP63222373A 1988-09-07 1988-09-07 液体窒素発生装置 Pending JPH0271085A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63222373A JPH0271085A (ja) 1988-09-07 1988-09-07 液体窒素発生装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63222373A JPH0271085A (ja) 1988-09-07 1988-09-07 液体窒素発生装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0271085A true JPH0271085A (ja) 1990-03-09

Family

ID=16781337

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63222373A Pending JPH0271085A (ja) 1988-09-07 1988-09-07 液体窒素発生装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0271085A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0427388U (ja) * 1990-06-27 1992-03-04
JPH04114428U (ja) * 1991-03-15 1992-10-08 岩谷産業株式会社 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置
JP2010243017A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Air Water Inc 簡易液体窒素製造装置
CN102997614A (zh) * 2012-12-04 2013-03-27 安徽万瑞冷电科技有限公司 小型氦液化装置
CN105191910A (zh) * 2015-10-22 2015-12-30 上海原能细胞医学技术有限公司 一种便携式超低温细胞运输存储装置
JP2019138414A (ja) * 2018-02-14 2019-08-22 アルバック・クライオ株式会社 低温液化ガス発生装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0427388U (ja) * 1990-06-27 1992-03-04
JPH04114428U (ja) * 1991-03-15 1992-10-08 岩谷産業株式会社 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置
JPH0634817Y2 (ja) * 1991-03-15 1994-09-14 岩谷産業株式会社 機器冷却用液化ガス貯蔵容器への液化ガス自動供給装置
JP2010243017A (ja) * 2009-04-03 2010-10-28 Air Water Inc 簡易液体窒素製造装置
CN102997614A (zh) * 2012-12-04 2013-03-27 安徽万瑞冷电科技有限公司 小型氦液化装置
CN105191910A (zh) * 2015-10-22 2015-12-30 上海原能细胞医学技术有限公司 一种便携式超低温细胞运输存储装置
JP2019138414A (ja) * 2018-02-14 2019-08-22 アルバック・クライオ株式会社 低温液化ガス発生装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU626494B2 (en) Pre-purification of air for separation
KR860006681A (ko) 고순도 질소 및 산소 가스 제조장치
JP2002510226A (ja) 酸素濃縮装置から携帯用液体酸素を生成する方法および装置
KR920021441A (ko) 저온 흡착에 의해 아르곤을 정제하는 방법
US4732595A (en) Oxygen gas production apparatus
KR920016342A (ko) 아르곤 정제 시스템
CN108458549A (zh) 从天然气中提氦并液化的***与方法
KR860001329A (ko) 고순도 질소가스 제조장치
US2983585A (en) Preparation of liquid hydrogen
JPH06229668A (ja) ガス状酸素の製造方法並びに設備
JPH0271085A (ja) 液体窒素発生装置
US3058314A (en) Process and apparatus for the low temperature separation of air
KR850005607A (ko) 고순도 질소가스 제조장치
JP2627144B2 (ja) 排ガス中の炭酸ガス分離方法及び炭酸ガスの系統処理装置
JPH0533911Y2 (ja)
JP3001060U (ja) 産業排気ガスからの炭酸ガス回収液化装置
US5787730A (en) Thermal swing helium purifier and process
JPS59164874A (ja) 窒素ガス製造装置
JPH0942831A (ja) 高純度窒素ガス製造装置
JP2969360B2 (ja) 高純度製品採取用空気液化分離装置の加温乾燥方法及びこの方法を実施する高純度製品採取用空気液化分離装置
JPS59164612A (ja) 炭酸ガスを含む廃ガスを原料とする炭酸ガスの製造方法
JP3259099B2 (ja) 超高純度窒素製造装置及びその起動方法
JPH0293282A (ja) 液体窒素及び窒素ガスの製造方法及び装置
JPS5844190B2 (ja) クウキノ エキカブンリホウホウ
JPH01184370A (ja) 超電導物質用の冷却方法及び装置