JPH0265405A - 弾性表面波共振子の周波数調整法 - Google Patents
弾性表面波共振子の周波数調整法Info
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- JPH0265405A JPH0265405A JP21714988A JP21714988A JPH0265405A JP H0265405 A JPH0265405 A JP H0265405A JP 21714988 A JP21714988 A JP 21714988A JP 21714988 A JP21714988 A JP 21714988A JP H0265405 A JPH0265405 A JP H0265405A
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- surface acoustic
- acoustic wave
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、中央部の励振電極を挟んで左右に一対の反射
器が夫々基板の弾性表面波が伝搬する面に設置される弾
性表面波共振子に係わり、特に前記弾性表面波共振子の
周波数調整法に関するものである。
器が夫々基板の弾性表面波が伝搬する面に設置される弾
性表面波共振子に係わり、特に前記弾性表面波共振子の
周波数調整法に関するものである。
［従来の技術］
以下図面を用いて従来の技術を説明する。
第３図は従来の一般に用いられる弾性表面波共振子のｍ
造園である。
造園である。
第３図において、Ａｏは弾性表面波を用いた弾性表面波
共振子である。この弾性表面波を用いた弾性表面波共振
子ＡＯにあって、数十〜数百ＭＨ２という高い周波数で
利用されており、その共振周波数は、櫛形′ｆ４極のピ
ッチで決定されている。
共振子である。この弾性表面波を用いた弾性表面波共振
子ＡＯにあって、数十〜数百ＭＨ２という高い周波数で
利用されており、その共振周波数は、櫛形′ｆ４極のピ
ッチで決定されている。
１は共振測定に対して弾性定数の良い例えば水晶やリチ
ウムナイオベート＜Ｌ、ｉ Ｎｂ ０３ ）やリチウム
タンタレート（Ｌ、Ｔ、Ｏコ）等から成る基板であり、
例えば基板にＳＴカット水晶を用いて７５０ＭＨ２の共
振子を実現する場合の電極のピッチは２μｍとなる。２
は基板１の中央部分にエツチング等の加工技術を用いて
設けられた例えばＡＩ等から成るＷＪ振電極である。３
は励振電極２を挟んで左右に前記したようなエツチング
法等を用いて設けられた例えばＡＩ等から成る一対の反
射器である。この様な弾性表面波共振子ＡＯは、基板両
端部分を例えばハーメチック端子や発振回路を含むプリ
ント基板上等（図省略）の他の固定要素に接着刑等を用
いて取付・固定され、用いられている。
ウムナイオベート＜Ｌ、ｉ Ｎｂ ０３ ）やリチウム
タンタレート（Ｌ、Ｔ、Ｏコ）等から成る基板であり、
例えば基板にＳＴカット水晶を用いて７５０ＭＨ２の共
振子を実現する場合の電極のピッチは２μｍとなる。２
は基板１の中央部分にエツチング等の加工技術を用いて
設けられた例えばＡＩ等から成るＷＪ振電極である。３
は励振電極２を挟んで左右に前記したようなエツチング
法等を用いて設けられた例えばＡＩ等から成る一対の反
射器である。この様な弾性表面波共振子ＡＯは、基板両
端部分を例えばハーメチック端子や発振回路を含むプリ
ント基板上等（図省略）の他の固定要素に接着刑等を用
いて取付・固定され、用いられている。
［発明が解決しようとする課Ｍ］
ところで、このような構造においては電極のピッチが前
記したように例えば２μｍと小さいために、製作が非常
に難しい上に、この結果として得る測定データにおいて
も共振周波数のばらつきがあり、所望のデータを得るこ
とが難しいという測定上の影響がある。又、電極の膜厚
や波の伝搬方向でも共振周波数に影響を与えるので、共
振周波数を所望の周波数に合せるなめに、例えば、低速
の基板エッチで清を形成して質量付加効果で伝搬速度を
変える基板エツチング法（範囲： −１５０００ＰＰ鵡
以上、稍度： １０ ｐｐＩ１以内）や、水晶表面に紫
外光を当てて表面の不整構造を整えて伝搬速度を上げる
紫外線照射法（範囲： ＨＡＸ、２５０ ＰＰｍ 、精
度＝２０１）Ｉ）１１以内）や、反射器のグレーディン
グを焼切り電気的に開放して反射率・伝搬速度を変える
レーザー・パニング法（範囲： ＨＡＸ、２５０ ＰＰ
ｉ 、 ２０００ｐｐ１以上、精度：正確な資料熱）等
による周波数ａｍｌ！！が必要になる等面倒である、と
いう間層点があった。
記したように例えば２μｍと小さいために、製作が非常
に難しい上に、この結果として得る測定データにおいて
も共振周波数のばらつきがあり、所望のデータを得るこ
とが難しいという測定上の影響がある。又、電極の膜厚
や波の伝搬方向でも共振周波数に影響を与えるので、共
振周波数を所望の周波数に合せるなめに、例えば、低速
の基板エッチで清を形成して質量付加効果で伝搬速度を
変える基板エツチング法（範囲： −１５０００ＰＰ鵡
以上、稍度： １０ ｐｐＩ１以内）や、水晶表面に紫
外光を当てて表面の不整構造を整えて伝搬速度を上げる
紫外線照射法（範囲： ＨＡＸ、２５０ ＰＰｍ 、精
度＝２０１）Ｉ）１１以内）や、反射器のグレーディン
グを焼切り電気的に開放して反射率・伝搬速度を変える
レーザー・パニング法（範囲： ＨＡＸ、２５０ ＰＰ
ｉ 、 ２０００ｐｐ１以上、精度：正確な資料熱）等
による周波数ａｍｌ！！が必要になる等面倒である、と
いう間層点があった。
本発明は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、簡単
な方法で表面波の伝搬速度を変化させて共振周波数の調
整を行うことができる弾性表面波共振子の周波数調整法
を提供するらのである。
てなされたものであり、その目的とするところは、簡単
な方法で表面波の伝搬速度を変化させて共振周波数の調
整を行うことができる弾性表面波共振子の周波数調整法
を提供するらのである。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明は、中央部分に励振
電極、該励振電極を挟んで左右に一対の反射器が夫々基
板の弾性表面波が伝搬する面に設置される弾性表面波共
振子において、前記弾性表面波が伝搬する面の反対側の
面からエツチングを行い、共振周波数を調整することを
特徴とするものである。
電極、該励振電極を挟んで左右に一対の反射器が夫々基
板の弾性表面波が伝搬する面に設置される弾性表面波共
振子において、前記弾性表面波が伝搬する面の反対側の
面からエツチングを行い、共振周波数を調整することを
特徴とするものである。
［実施例］
実施例について図面を参照して説明する。
尚、以下の図面において、第２図と重複する部分は同一
番号を付してその説明は省略する。
番号を付してその説明は省略する。
第１図は本発明の具体的実施例を示す弾性表面波共振子
の断面構造図である。
の断面構造図である。
第１図において、本発明の弾性表面波共振子Ａ、は、基
板１０の弾性表面波αが伝搬する而（ここでは表面）上
の中央部分に励振電極２を挟んで左右に一対の反射器３
が夫々設置され、共振周波数を調整するなめに、基板１
の弾性表面波が伝搬する面の反対側の血（ここでは矢印
βで示す裏面）にエツチングが施される。
板１０の弾性表面波αが伝搬する而（ここでは表面）上
の中央部分に励振電極２を挟んで左右に一対の反射器３
が夫々設置され、共振周波数を調整するなめに、基板１
の弾性表面波が伝搬する面の反対側の血（ここでは矢印
βで示す裏面）にエツチングが施される。
ところで弾性表面波共振子に一般に使われているレーリ
ー波は、基板表面に振幅が集中する波動である。第２図
は本発明の説明に供する図であり、レーリー波の境界近
傍の相対振幅を示す。
ー波は、基板表面に振幅が集中する波動である。第２図
は本発明の説明に供する図であり、レーリー波の境界近
傍の相対振幅を示す。
第２図において、横軸に相対振幅（ｚ＝０でＵ＝１００
とした場合、但しＵは伝搬方向の変位）をとり、縦軸に
波長λに対する厚み方向の位ＷＺ（Ｚ／λ）をとった時
の伝搬する表面波αのＵ。
とした場合、但しＵは伝搬方向の変位）をとり、縦軸に
波長λに対する厚み方向の位ＷＺ（Ｚ／λ）をとった時
の伝搬する表面波αのＵ。
Ｗ（厚み方向の変位）の振幅特性を示す、第２図から、
波長＾の２倍程度の部分に表面波αのエネルギーが集中
していることが分る。従って、弾性表面波共振子の周波
数調整をするために、基板１０の裏面からエツチングし
て波動の振幅に影響を与えることで、表面波の伝搬速度
を変化させて、共振子の共振周波数を変化させることが
できる。
波長＾の２倍程度の部分に表面波αのエネルギーが集中
していることが分る。従って、弾性表面波共振子の周波
数調整をするために、基板１０の裏面からエツチングし
て波動の振幅に影響を与えることで、表面波の伝搬速度
を変化させて、共振子の共振周波数を変化させることが
できる。
［発明の効果］
本発明は、以上説明したように基板の裏面からのエツチ
ングによるために、本来の弾性表面波の波動に与える影
響を小さく押えた周波数調整が可能となる上に、周波数
調整の感度が小さいので、微調整が可能となる、という
効果を奏する。
ングによるために、本来の弾性表面波の波動に与える影
響を小さく押えた周波数調整が可能となる上に、周波数
調整の感度が小さいので、微調整が可能となる、という
効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の具体的実施例を示す弾性表面波共振子
の断面構造図、第２図は本発明の説明に供する図、第３
図は従来の弾性表面波共振子の構造図である。
の断面構造図、第２図は本発明の説明に供する図、第３
図は従来の弾性表面波共振子の構造図である。
Claims (1)
- 中央部分に励振電極、該励振電極を挟んで左右に一対の
反射器が夫々基板の弾性表面波が伝搬する面に設置され
る弾性表面波共振子において、前記弾性表面波が伝搬す
る面の反対側の面からエッチングを行い、共振周波数を
調整することを特徴とする弾性表面波共振子の周波数調
整法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21714988A JPH0265405A (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 弾性表面波共振子の周波数調整法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21714988A JPH0265405A (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 弾性表面波共振子の周波数調整法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265405A true JPH0265405A (ja) | 1990-03-06 |
Family
ID=16699626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21714988A Pending JPH0265405A (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 弾性表面波共振子の周波数調整法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0265405A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009269086A (ja) * | 2008-04-08 | 2009-11-19 | Nippon Steel Corp | 熱延の冷却装置および冷却方法 |
| US9061335B2 (en) | 2009-10-07 | 2015-06-23 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Cooling apparatus and cooling method for hot rolling |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP21714988A patent/JPH0265405A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009269086A (ja) * | 2008-04-08 | 2009-11-19 | Nippon Steel Corp | 熱延の冷却装置および冷却方法 |
| US9061335B2 (en) | 2009-10-07 | 2015-06-23 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Cooling apparatus and cooling method for hot rolling |
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