JPH0264506A

JPH0264506A - 光導波路形素子及びその製造方法

Info

Publication number: JPH0264506A
Application number: JP21765488A
Authority: JP
Inventors: Hidekazu Hasegawa; 英一長谷川
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1988-08-30
Filing date: 1988-08-30
Publication date: 1990-03-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は光通信用コンポーネント等に利用される光導波
路形素子の構造、及び該素子を製造する方法に関するも
のである。

〔従来の技術〕

第８図は光導波路形素子としての分波器の基板の構造を
示しており、同図に示すように、この分波器は基板（１
）の光導波路（２）のうち第１の導波路（３）に、所定
波長λ１、λ２、λ３、を含む光（４）を入射し、第２
の導波路（５）、第３の導波路（６）、第４の導波路（
７）からそれぞれ波長λ１、λ２、λ３の光（８）、（
９）、（１０）を出射させるためのものである。そのた
めには、分岐部（１１）に波長λｌの光のみを反射し、
波長λ２、λ、の光を透過する薄片ガラスフィルタ（１
２）を配設し、分岐部（１３）に波長λ２の光のみを反
射し波長λ３の光を透過するフィルタ（１４）・を配設
する必要がある。このフィルタ（１４）を配設する手段
として、従来は基板（１）の面’（１５）に垂直でかつ
導波路（２）に対し所定角度をもって幅４０〜ｌＯＯμ
ｍの溝（１６）、（１７）を形成し、この溝（ｌδ）、
（１７）にフィルタ（１２）、（１４）をそれぞれ埋め
込んでいた。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら上記のような従来の光導波路形素子の製造
において、極めて暢の狭い溝（１６）、（１７）を形成
するのは困難な作業である上、この狭い溝（ｌδ）、（
１７）に薄いガラスフィルタ（１２）、（１４）を嵌入
させなければならず、そのため作業性が悪く手間もかか
っていた。

また、フィルタ（１２）、（１４）の材質にはガラスを
用いているのでこのフィルタ（１２）、（１４）部での
光の損失が大きいという課題もあった。

本発明はかかる課題を解決するためになされたもので、
製造する際の作業が容易な光導波路形素子及びその製造
方法を提供することを目的とじており、また短時間に大
量の素子を同時に製造できる製造方法を提供することを
目的としている。

〔課題を解決するための失投〕

上記目的を達成するために、本発明の光導波路形素子に
おいては、ファイバアレイと密着する基板に光導波路が
形成され、所定波長の光を反射又は透過するフィルタが
上記光導波路の所定位置に配設された光導波路形、素子
において、上記フィルタを、上記基板の切断部に配置し
ている。

また、本発明に係る光導波路形素子の製造方法において
は、光導波路に交叉させて基板を所定箇所で切断した後
この切断面を研磨し、該研磨面にフィルタを配設したま
ま上記切断部を再結合するとともに１．ファイバアレイ
を該基板に密着させている。

さらに、短時間に大量の素子を同時に製造するために、
本発明に係る別の製造方法においては、複数組の光導波
路が形成された基板を、該光導波路に交叉させて所定箇
所で切断した後この切断面を研磨し、該研磨面にフィル
タを配設したまま上記切断部を再結合するとともに、複
数組の光ファイバが設けられたファイバアレイを該基板
に密着させ、その後個別の素子に切断分離している。

（作用）本発明においては、光導波路が形成された基板を一旦切
断して互いに分離させたため、この切断部にフィルタを
配置させた後再び結合させれば上記光導波路を横切って
フィルタが配設される。

（実施例〕以下第１〜７図を参照しながら本発明の一実施例を説明
する。第１図に示すように、基板（１）には上記第８図
と同様の３波（λ３、λ２、λ、）の光導波路（２）が
複数組形成されているが、この光導波路（２）の形成方
法としては、ガラス製の基板（１）の表面に適用するイ
オン交換法や、けい電装の基板（１）の表面に適用する
火炎たい積法等がある。

この実施例では基板（１）はガラス板の場合を示してい
る。上記光導波路（２）の各組（第１図には３組を図示
している）は、互いに平行に配置され、しかも基板（１
）を、点線で示す切断部（２１）、（２２）で切断した
場合に同じ分岐部を切断できるように配置されている。

この切断部（２１）、（２２）は光導波路（２）に交叉
しており、しかも第８図中の溝（１６）、（１７）と同
じ位置及び傾きになっている。またこの切断部（２１）
、（２２）及び両端面（２３）、（２４）は相互に平行
になっている。

上記のような構造の基板（１）の上面（２５）に、平面
形状がこの基板（１）とほぼ同一でかつ材質も同一なり
トイガラス（２６）を融着し、次いで一体化したこのガ
ラス（２６）及び基板（１）を切断部（２１）、（２２
）にそって切断する。第２図に切断部（２１）の面を示
している。次いで、第３図に示すように、ガラス（２６
）及び基板（１）を複数組重ね合せて（接着はせず）切
断面を研磨する。上記ヤトイガラス（２６）を基板（１
）　に予め融着する理由は上記切断及び研磨の際に光導
波路（２）の破壊を防止するためと補強のためである。

次いで、第２図に示す研磨面のうち、フィルタを設けな
い第２導波路部（２８）の部分にはマスクをし、第８図
中の分岐部（１１）に該当する第１導波路部（２７）に
は、所定波長の光を反射又は透過する波長遭択式のフィ
ルタを蒸着によって配設する。このフィルタは、第８図
中のフィルタ（１２）に対応する、波長λ１の光のみを
反射し、波長λ２、λ、の光を透過する性質をもってい
る多層膜フィルタである。一方切断部（２２）において
は、第３導波路部（２９）には、第８図中のフィルタ（
１４）に対応する、波長λ２の光のみを反射しλ３の光
を透過する多層膜フィルタを蒸着する。

次いで第４図のように、フィルタが蒸着された切断部（
２１）、（２２）を再結合して各導波路部（２７）〜（
２９）を接続するとともに、基板（１）の端面（２３）
には、光ファイバ（３０）を備えたファイバアレイ（３
１）を密着させ、端面（２４）には、光ファイバ（３２
）を備えたファイバアレイ（３３）を密着させて固定す
る。

このファイバアレイ（３１）、　　（３３）には複数組
の光ファイバ（３０Ｌ　（３２）がそれぞれ規則的に設
けられており、基板（１）の光導波路（２）と接続でき
るようになっている。その後第４図中の鎖線（３４）に
そって切断分離することにより、第５図に示すような個
別の光導波路形分波器（３５）とすることができる。

したがってこの実施例においては、切断部（２１）、（
２２）の接合、及びファイバアレイ（３１）、（３３）
との接合の際、１組の位置合わせをすれば他の組も必然
的に位置合せがされることとなり、作業能率が向上する
。また、この実施例ではフィルタ部にガラスを用いてい
ないので光の損失を小さくすることができる。

第６図はヤトイガラス（２６）を外した場合の分波器（
３５）の斜視図であり、第７図はヤトイガラス（２６）
を取付けた場合の斜視図である。なお、第１〜５図に示
す分岐器は形状が平行四辺形であるが、この第６図、第
７図は矩形のものを示している。

ところで、上記実施例では切断部（２１）、（２２）の
研磨面にフィルタを蒸着させる場合を示したが、フィル
タ蒸着のかわりに、予めフィルタが蒸着された薄片ガラ
スを上記研碧面に取付けてもよい。

また、ファイバアレイ（３１）、（３３）にも干渉フィ
ルタを設ければ、消光比を高めることができる。

また、光導波路形素子としては上述のような分岐器の他
、他の素子、例えば合流器、分岐器、合波器、スターカ
プラー等であってもよい。

〔発明の効果〕

本発明は上述のとおり構成されているので、次に記載す
る効果を奏する。

請求項１及び２の光導波路形素子及びその製造方法にお
いては、製造の際に狭い溝に薄いフィルタを嵌入させる
必要がなくなり、製造作業が容易になる。

請求項３の光導波路形素子の製造方法においては、上記
効果に加え短時間のうちに大量の素子を同時に製造する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１〜７図は本発明の一実施例を示す図で、第１図は光
導波路形素子の基板の平面図、第２図は第１図中のＩＩ
　−ＩＩ線に沿う切断面を示す断面図、第３図は第２図
に示す基板とヤトイガラスを複数組重ね合せた状態を示
す断面図、第４図は基板とファイバアレイとを密着した
平面図、第５図は分波器の平面図、第６図はヤトイガラ
スを外した場合の分岐器の内部構造を示す斜視図、第７
図は同じくヤトイガラスを取付けた斜視図、第８図は従
来における分波器の基板の平面図である。（１）・・・基板、（２）・・・光導波路、（２１）、（２２）・・・切断部、（３０）、（３２）・・・光ファイバ、（３１）、（３
３）・・・ファイバアレイ、（３５）・・・光導波路形
素子（分波器）。なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ファイバアレイと密着する基板に光導波路が形成
され、所定波長の光を反射又は透過するフィルタが上記
光導波路の所定位置に配設された光導波路形素子におい
て、上記フィルタを、上記基板の切断部に配置したこと
を特徴とする光導波路形素子。
（２）光導波路に交叉させて基板を所定箇所で切断した
後この切断面を研磨し、該研磨面にフィルタを配設した
まま上記切断部を再結合するとともに、ファイバアレイ
を該基板に密着させることを特徴とする請求項１記載の
光導波路形素子の製造方法。
（３）複数組の光導波路が形成された基板を、該光導波
路に交叉させて所定箇所で切断した後この切断面を研磨
し、該研磨面にフィルタを配設したまま上記切断部を再
結合するとともに、複数組の光ファイバが設けられたフ
ァイバアレイを該基板に密着させ、その後個別の素子に
切断分離することを特徴とする請求項１記載の光導波路
形素子の製造方法。