JPH0263990U - - Google Patents

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JPH0263990U
JPH0263990U JP14123388U JP14123388U JPH0263990U JP H0263990 U JPH0263990 U JP H0263990U JP 14123388 U JP14123388 U JP 14123388U JP 14123388 U JP14123388 U JP 14123388U JP H0263990 U JPH0263990 U JP H0263990U
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shaped
clamp
shaped lever
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の実施例のクランプ機構Aを示
す図、第2図は本考案の実施例のクランプ機構B
を示す図、第3図は本考案の実施例の動作を説明
するための図、第4図及び第5図は従来の搬送装
置を示す図である。 図において、10は被搬送物、11,12はレ
ール、13,13′,15,15′はピン、14
はY字状のレバー、16はT字状のレバー、17
は支持板、21は圧縮ばね、22は駆動部を示す

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 板状の搬送物を受け渡しする搬送装置であつて
    、 A,B2つのクランプ機構よりなり、一方のク
    ランプ機構Aは、被搬送物10の両端を支持する
    ための断面L字形の平行する2本のレール11,
    12と、該2本のレールの間隔を変える駆動手段
    とを有し、他方のクランプ機構Bは、2本ずつの
    ピン13,13′及び15,15′が互いに反対
    方向に連動して動けるようにしたY字状のレバー
    14とT字状のレバー16とを有する4点支持機
    構と、該機構を被搬送物10をクランプする方向
    にT字状レバー16を押圧付勢するばね21と、
    開放する方向にY字状レバー16を押圧駆動する
    駆動手段22を有すること特徴とする板状物体搬
    送装置。
JP14123388U 1988-10-31 1988-10-31 板状物体搬送装置 Expired - Lifetime JPH0637906Y2 (ja)

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JP14123388U JPH0637906Y2 (ja) 1988-10-31 1988-10-31 板状物体搬送装置

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JP14123388U JPH0637906Y2 (ja) 1988-10-31 1988-10-31 板状物体搬送装置

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JPH0263990U true JPH0263990U (ja) 1990-05-14
JPH0637906Y2 JPH0637906Y2 (ja) 1994-10-05

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ID=31406126

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017183665A (ja) * 2016-03-31 2017-10-05 芝浦メカトロニクス株式会社 基板搬送装置、基板処理装置及び基板処理方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017183665A (ja) * 2016-03-31 2017-10-05 芝浦メカトロニクス株式会社 基板搬送装置、基板処理装置及び基板処理方法

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Publication number Publication date
JPH0637906Y2 (ja) 1994-10-05

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