JPH025107Y2 - - Google Patents
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- JPH025107Y2 JPH025107Y2 JP14308285U JP14308285U JPH025107Y2 JP H025107 Y2 JPH025107 Y2 JP H025107Y2 JP 14308285 U JP14308285 U JP 14308285U JP 14308285 U JP14308285 U JP 14308285U JP H025107 Y2 JPH025107 Y2 JP H025107Y2
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 12
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 12
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本考案は、真空ポンプならびに空気圧縮ポンプ
等に使用される多段式流体機械に関する。[Detailed Description of the Invention] "Industrial Application Field" The present invention relates to a multistage fluid machine used for vacuum pumps, air compression pumps, and the like.
「従来の技術」
従来の、真空ポンプ等として使用されているも
のに、２つのポンプを組み合わせてなるものがあ
る。"Prior Art" Some conventional vacuum pumps and the like are made by combining two pumps.
これは、排気量が大きいが排気力の小さな１段
目ポンプと、排気量が小さいが排気力の大きな２
段目ポンプとを直列に接続してなるものであつ
て、これらポンプを同時に作動させて気体の排出
を行なうものである。そして、このような構成に
することによつて、この２段式真空ポンプは、吸
入気体の圧力と排出気体の圧力との差が小さい
間、排気速度の大きな１段目ポンプにつて主に排
出を行ない、次いで上記圧力差が大きくなつてか
らは一段目ポンプで若干加圧した気体を２段目ポ
ンプによつて強力に排気することができるもので
ある。 This consists of a first stage pump that has a large displacement but a small exhaust power, and a second stage pump that has a small displacement but a large exhaust power.
It is constructed by connecting stage pumps in series, and these pumps are operated simultaneously to discharge gas. With such a configuration, this two-stage vacuum pump is able to mainly discharge air with the first stage pump, which has a high pumping speed, while the difference between the pressure of suction gas and the pressure of exhaust gas is small. Then, after the pressure difference becomes large, the gas slightly pressurized by the first stage pump can be strongly evacuated by the second stage pump.
「考案が解決しようとする問題点」
本考案の多段式流体機械は、前述した従来の技
術における次のような問題点を解決せんとするも
のである。"Problems to be Solved by the Invention" The multi-stage fluid machine of the present invention is intended to solve the following problems in the conventional technology described above.
すなわち、前述の２段式真空ポンプにあつて
は、吸入気体と排出気体の圧力差が小さい間、排
出速度の大きな１段目ポンプが主に排出を担当す
るのであるが、この１段目ポンプの排出速度に２
段式ポンプの排出速度が追い付かず、両ポンプの
接続部で圧力が上昇してしまう問題を有してい
た。したがつて、従来では、１段目ポンプと２段
目ポンプとが同程度の排出速度になるまでの間、
上記接続部からガスを放出したりしており、その
間２段目ポンプは無駄に空転してしまい、効率が
悪いという問題を有していた。 In other words, in the case of the two-stage vacuum pump mentioned above, while the pressure difference between the suction gas and the exhaust gas is small, the first stage pump, which has a high discharge speed, is mainly responsible for discharging. to the discharge rate of 2
There was a problem in that the discharge speed of the stage pump could not keep up, and the pressure increased at the connection between the two pumps. Therefore, conventionally, until the first stage pump and the second stage pump reach the same discharge speed,
Gas is discharged from the connection, and during this time the second stage pump idles unnecessarily, resulting in a problem of poor efficiency.
「問題点を解決するための手段」
本考案の多段式流体機械は、複数のポンプを直
列に接続する通路および並列に接続する通路と、
上記通路のいずれかを選択的に開通する弁機構と
を備えたものであつて、上記の弁機構は、この多
段式流体機械の吸入口と排出口との圧力差が所定
値以下の時に各ポンプを並列に接続する通路を開
通し、上記圧力差が所定値以上の時には各ポンプ
を直列に接続する通路を開通するものである。"Means for solving the problem" The multistage fluid machine of the present invention has a passage connecting a plurality of pumps in series and a passage connecting them in parallel,
and a valve mechanism that selectively opens any one of the passages, and the valve mechanism opens each passage when the pressure difference between the suction port and the discharge port of the multistage fluid machine is below a predetermined value. A passage connecting the pumps in parallel is opened, and when the pressure difference is greater than a predetermined value, a passage connecting the pumps in series is opened.
「実施例」
以下、本考案の一実施例を図面を用いて、詳細
に説明する。"Embodiment" Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１図および第２図は多段式流体機械の一例と
して２段式真空ポンプの構成を示す構成図であ
る。 FIGS. 1 and 2 are configuration diagrams showing the configuration of a two-stage vacuum pump as an example of a multi-stage fluid machine.
これらの図において、符号１は吸入口２と吸気
口３をを有する２段式真空ポンプであつて、この
２段式真空ポンプ１は、１段目ポンプ４と、２段
目ポンプ５と、シヤトル弁６と、逆止弁７とから
なるものである。上記１段目ポンプ４は排気速度
が大きく、排気力が小さいものであり、上記２段
目ポンプ５は排気速度が小さく、排気力が大きな
ものである。そして、これらポンプ４，５として
はベーン型等のポンプが好適に使用される。 In these figures, reference numeral 1 denotes a two-stage vacuum pump having an inlet 2 and an inlet 3, and this two-stage vacuum pump 1 includes a first stage pump 4, a second stage pump 5, It consists of a shuttle valve 6 and a check valve 7. The first stage pump 4 has a high pumping speed and a small pumping force, and the second stage pump 5 has a small pumping speed and a large pumping force. As these pumps 4 and 5, vane type pumps or the like are preferably used.
上記１段目ポンプ４は、その吸気口８がポンプ
９を経てポンプ吸入口２に接続されており、他
方、その排気口１０はポンプ１１を経てシヤトル
弁６の導入口１２に接続されている。 The first stage pump 4 has its intake port 8 connected to the pump intake port 2 via the pump 9, and its exhaust port 10 connected to the inlet port 12 of the shuttle valve 6 via the pump 11. .
上記シヤトル弁６は、２つの導出口１３，１４
を有する切替弁であつて。一方の導出口１３はポ
ンプ１５を経て２段目ポンプ５の吸気口１６に接
続されており、他方の導出口１４はポンプ１７を
経て前記排出口３に接続されている。そして、こ
のシヤトル弁６は、後述するように、２段式真空
ポンプ１の吸入気体と排出気体との圧力差が所定
値よりも小さい場合に、その導入口１２から流入
した気体を導出口１４から導出し、また上記圧力
差が所定値よりも大きい場合には流入した気体を
導出口１３から導出するものである。 The shuttle valve 6 has two outlet ports 13 and 14.
A switching valve having: One outlet 13 is connected to the intake port 16 of the second stage pump 5 via a pump 15, and the other outlet 14 is connected to the outlet 3 via a pump 17. As will be described later, when the pressure difference between the intake gas and exhaust gas of the two-stage vacuum pump 1 is smaller than a predetermined value, the shuttle valve 6 directs the gas that has flowed in from the inlet 12 to the outlet 14. When the pressure difference is larger than a predetermined value, the inflowing gas is led out from the outlet 13.
前記２段目ポンプ５の吸気口１６は、前記の通
りシヤトル弁６の導出口１３に接続されていると
同時に、逆止弁７を介して吸入口２に接続されて
いる。 The suction port 16 of the second stage pump 5 is connected to the outlet port 13 of the shuttle valve 6 as described above, and at the same time is connected to the suction port 2 via the check valve 7.
この逆止弁７は、吸入口２から２段目ポンプ５
への気体の流通を許容するが、その逆方向の流通
を阻止するものである。また、この２段目ポンプ
５の排気口１９はパイプ２０を経て排出口３に接
続されている。 This check valve 7 is connected to the second stage pump 5 from the suction port 2.
It allows the flow of gas to, but prevents the flow of gas in the opposite direction. Further, the exhaust port 19 of the second stage pump 5 is connected to the discharge port 3 via a pipe 20.
次に、前記シヤトル弁６の構成を詳細に説明す
る。第３図は、このシヤトル弁６の一例の断面図
であつて、符号２１は円柱状のケースである。こ
のケース２１の内部には、ケース２１と同軸状に
円柱状の２つの弁室２２，２３がそれぞれ離間し
て形成されており、また、ケース２１内部中央に
は、上記の２つの弁室２２，２３を連通する、こ
れら弁室２２，２３よりも細径の円柱状の導入路
２４が形成されている。そして、上記ケース２１
には、上記弁室２２に連通する導出口１４、弁室
２３に連通する導出口１３、導入路２４に連通す
る導入口１２がそれぞれケース２１を貫通して形
成されている。 Next, the configuration of the shuttle valve 6 will be explained in detail. FIG. 3 is a sectional view of an example of this shuttle valve 6, and reference numeral 21 indicates a cylindrical case. Inside this case 21, two cylindrical valve chambers 22 and 23 are formed coaxially with the case 21 and spaced apart from each other, and in the center of the inside of the case 21, the above two valve chambers 22 and 23 are formed. , 23, a cylindrical introduction passage 24 having a smaller diameter than these valve chambers 22, 23 is formed. And the above case 21
An outlet 14 communicating with the valve chamber 22, an outlet 13 communicating with the valve chamber 23, and an inlet 12 communicating with the introduction passage 24 are formed through the case 21, respectively.
上記弁室２２、弁室２３ならび導入路２４によ
つて形成された空間には、弁体２５がケースの軸
線方向に移動可能に収容されている。この弁体２
５は、棒部２６の両端に円盤状の弁部２７，２８
が垂直に形成された形状であつて、上記棒部２６
は、導入路２４よりも長くされている。また、上
記２つの弁部２７，２８の外径はそれぞれの弁室
２２，２３の内径と略等とされており、したがつ
て導入路２４の内径よりも大きい。また、それぞ
れの弁部２７，２８には、それらの周縁部に切欠
２７ａ…，２８ａ…が複数形成されており、この
切欠２７ａ…，２８ａ…によつて各弁室２２，２
３内周面と各弁部２７，２８周縁との間を気体が
通過できるようにされている。そして、上記弁体
２５は、その棒部２６が導入路２４内に収容さ
れ、弁部２７が弁室２３に、弁部２８が弁室２２
にそれぞれ収容されている。 A valve body 25 is housed in a space defined by the valve chamber 22, valve chamber 23, and introduction passage 24 so as to be movable in the axial direction of the case. This valve body 2
5 has disk-shaped valve parts 27 and 28 at both ends of the rod part 26.
is vertically formed, and the rod portion 26
is longer than the introduction path 24. Further, the outer diameters of the two valve portions 27 and 28 are approximately equal to the inner diameters of the respective valve chambers 22 and 23, and are therefore larger than the inner diameter of the introduction passage 24. Further, a plurality of notches 27a..., 28a... are formed in the peripheral edges of each of the valve parts 27, 28, and each valve chamber 22, 2
Gas is allowed to pass between the inner circumferential surface of 3 and the periphery of each valve portion 27, 28. The rod portion 26 of the valve body 25 is housed in the introduction passage 24, the valve portion 27 is placed in the valve chamber 23, and the valve portion 28 is placed in the valve chamber 22.
are housed in each.
上記弁室２３はその一端側が円柱状の調節ネジ
２９によつて封止されている。この調節ネジ２９
はケース２１の端面に、螺合して嵌入されたもの
である。 One end of the valve chamber 23 is sealed by a cylindrical adjustment screw 29. This adjustment screw 29
is screwed and fitted into the end face of the case 21.
この調節ネジ２９と、弁部２７との間には、ス
プリング３０が圧縮されて取り付けられており、
このスプリング３０によつて、弁体２５は弁室２
２側に付勢されている。そして、上記調節ネジ２
９をケース２１に締め込むと上記スプリング３０
の付勢力は増大し、調節ネジ２９を緩めるとスプ
リング３０の付勢力は減少するようにされてい
る。 A spring 30 is compressed and attached between the adjustment screw 29 and the valve portion 27.
This spring 30 allows the valve body 25 to move into the valve chamber 2.
The second side is biased. And the above adjustment screw 2
9 into the case 21, the above spring 30
The biasing force of the spring 30 increases, and when the adjusting screw 29 is loosened, the biasing force of the spring 30 decreases.
また、導入路２４と弁室２２との境の端面３１
（リング状の部分）には、弁部２８の周縁部に当
接することのできるリング状の弾性体３２が嵌入
されている。 Further, an end surface 31 at the boundary between the introduction passage 24 and the valve chamber 22
A ring-shaped elastic body 32 that can come into contact with the peripheral edge of the valve portion 28 is fitted into the ring-shaped portion.
他方、同様に導入路２４と弁室２３との境の端
面３３には、弁部２７の周縁部に当接することの
できるリング状の弾性体３４が嵌入固定されてい
る。したがつて、弁体２５がスプリング３０の力
で弁室２２側に押されている場合には、弁部２８
と弾性体３２の間が離間されており、導入口１２
は導出口１４と連通され、他方導出口１３とは遮
断されている。また、弁体２５が弁室２３側に移
動された場合には、弁部２７と弾性体３４との間
が離間され、導入口１２は導出口１３と連通さ
れ、他方導出口１２とは遮断されるものである。 On the other hand, a ring-shaped elastic body 34 that can come into contact with the peripheral edge of the valve portion 27 is fitted and fixed on the end face 33 at the boundary between the introduction passage 24 and the valve chamber 23. Therefore, when the valve body 25 is pushed toward the valve chamber 22 by the force of the spring 30, the valve portion 28
and the elastic body 32 are spaced apart from each other, and the introduction port 12
is communicated with the outlet 14, and is blocked from the outlet 13. Further, when the valve body 25 is moved to the valve chamber 23 side, the valve part 27 and the elastic body 34 are separated, the inlet 12 is communicated with the outlet 13, and the other outlet 12 is cut off. It is something that will be done.
この実施例においては、シヤトル弁６と、逆止
弁７によつて弁機構を構成している。 In this embodiment, a shuttle valve 6 and a check valve 7 constitute a valve mechanism.
次に、本実施例の作用を詳細に説明する。すな
わち、２段式真空ポンプの吸入口２は図示しない
被脱気容器には接続されており、他方排出口３は
大気中に開放されている。 Next, the operation of this embodiment will be explained in detail. That is, an inlet 2 of the two-stage vacuum pump is connected to a container to be deaerated (not shown), and an outlet 3 is open to the atmosphere.
まず、２つのポンプ４，５を作動させる。両
ポンプ始動直後は各部内の圧力が大気圧とほぼ
等しく、シヤトル弁６の弁体２５にかかる力は
スプリング３０の付勢力のみであつて、弁体２
５は弁室２２側に押し付けられ、弁部２８と弾
性体３２とが難間されており、導入口１２と導
出口１４が連通されている。したがつて、１段
目ポンプ４の排気口１０から排気される空気
は、第１図のように、シヤトル弁６を通過して
排出口３から排出される。また、２段目ポンプ
５は、１段目ポンプ４同様に、吸入口２から逆
止弁７を介して吸気し、排出口３に排気する。
つまり、１段目ポンプ４と２段目ポンプ５は並
列に作動することとなる。 First, the two pumps 4 and 5 are activated. Immediately after starting both pumps, the pressure inside each part is almost equal to atmospheric pressure, and the force applied to the valve body 25 of the shuttle valve 6 is only the biasing force of the spring 30.
5 is pressed against the valve chamber 22 side, the valve portion 28 and the elastic body 32 are closely spaced, and the inlet 12 and the outlet 14 are communicated with each other. Therefore, the air exhausted from the exhaust port 10 of the first stage pump 4 passes through the shuttle valve 6 and is exhausted from the exhaust port 3, as shown in FIG. Similarly to the first stage pump 4, the second stage pump 5 takes in air from the suction port 2 via the check valve 7, and exhausts the air to the discharge port 3.
In other words, the first stage pump 4 and the second stage pump 5 operate in parallel.
次いで、しだいに吸入する気体の圧力が低下
すると、シヤトル弁６の弁体２５にスプリング
３０の付勢力に抗する押圧力がかかり始める。
すなわち、第３図において、導入路２４内の圧
力P2は弁室２２内の圧力Pa（＝大気圧）と等し
くなつており（連通している）、他方弁室２３
内の圧力P1は、この弁室２３が逆止弁７を介
して吸入口２に接続されているので、ほぼ吸入
口２の圧力P0と等しくなつている。よつて、
弁体２５にかかる押圧力は、弁部２７が弾性体
３４によつて囲まれている面積S1にこの弁部２
７両面の圧力差（P2−P1）を乗じたものであ
る。 Next, as the pressure of the gas to be sucked gradually decreases, a pressing force that resists the biasing force of the spring 30 begins to be applied to the valve body 25 of the shuttle valve 6.
That is, in FIG. 3, the pressure P 2 in the introduction passage 24 is equal to (communicates with) the pressure Pa (=atmospheric pressure) in the valve chamber 22, and
Since this valve chamber 23 is connected to the suction port 2 via the check valve 7, the pressure P 1 inside is approximately equal to the pressure P 0 of the suction port 2. Then,
The pressing force applied to the valve body 25 is applied to the area S1 where the valve part 27 is surrounded by the elastic body 34.
7 multiplied by the pressure difference on both sides (P 2 - P 1 ).
押圧力＝S1（P2−P1）＝S1（Pa−Po）
したがつて、この押圧力は吸入口２の圧力
Poが低くなるにつれ増大していく。Pushing force = S 1 (P 2 - P 1 ) = S 1 (Pa - Po) Therefore, this pushing force is equal to the pressure at the suction port 2.
It increases as Po becomes lower.
やがて吸入口２の圧力Poが所定値（調節ネ
ジ２９によつて設定される）よりも低くなる
と、上記の押圧力がスプリング３０の付勢力に
打ち勝つ。すると弁体２５は弁室２３側に移動
され、弁部２７と弾性体３４とが離間し、他方
弁部２８は弾性体３２に当接する。 When the pressure Po of the suction port 2 eventually becomes lower than a predetermined value (set by the adjustment screw 29), the above-mentioned pressing force overcomes the biasing force of the spring 30. Then, the valve body 25 is moved toward the valve chamber 23, the valve portion 27 and the elastic body 34 are separated, and the other valve portion 28 comes into contact with the elastic body 32.
そのため、シヤトル弁６の導入口１２と導出
口１３が連通し、１段目ポンプ４の排気口１０
は２段目ポンプ５の吸気口１６と連通される。
また、この時逆止弁７は、吸入口２における圧
力よりも、２段日ポンプ５の吸気口における圧
力の方が高い（１段目ポンプ４によつて加圧さ
れている）ため閉鎖される。したがつて、両ポ
ンプ４，５の接続は第２図に示すように直列と
され、１段目ポンプ４によつて排気した空気を
さらに、２段目ポンプ５を通して排気するた
め、強力な排気力を得ることができる。 Therefore, the inlet port 12 and outlet port 13 of the shuttle valve 6 communicate with each other, and the exhaust port 10 of the first stage pump 4 communicates with each other.
is communicated with the intake port 16 of the second stage pump 5.
Also, at this time, the check valve 7 is closed because the pressure at the intake port of the second-stage pump 5 is higher than the pressure at the intake port 2 (it is pressurized by the first-stage pump 4). Ru. Therefore, both pumps 4 and 5 are connected in series as shown in FIG. 2, and the air exhausted by the first stage pump 4 is further exhausted through the second stage pump 5, so that a powerful exhaust You can gain power.
ところで、この状態においては、弁部２８に押
圧力がかかつている。これは、弁部２８が弾性体
３２によつて囲まれている面積S2に弁部２８の両
面にかかる圧力差（Pa−P2）を乗じたものであ
る。 By the way, in this state, a pressing force is applied to the valve portion 28. This is the area S2 in which the valve part 28 is surrounded by the elastic body 32 multiplied by the pressure difference (Pa- P2 ) applied to both sides of the valve part 28.
押圧力＝S2（Pa−P2）＝S2（Pa−P1）
ここで、弁室２２内の圧力P1は吸入口２にお
ける圧力Poよりも、１段目ポンプ４で加圧され
ている分だけ高くなつており、然、弁体２５が移
動した直後の上記圧力差（Pa−P1）はの状態
における弁部２７の両面にかかる圧力差よりも小
さくなる。したがつて、スプリング３０の付勢力
に打ち勝つて弁部２８を弾性体３２に当接させて
おくためには、S2をS1よりも大きくしておく必要
があり、具体的には、リング状の弾性体３２の直
径を、１段目ポンプ４の排気性能を考慮して、弾
性体３４の直径よりも大きくする。 Pressing force = S 2 (Pa - P 2 ) = S 2 (Pa - P 1 ) Here, the pressure P 1 in the valve chamber 22 is pressurized by the first stage pump 4, which is higher than the pressure Po at the suction port 2. However, the pressure difference (Pa-P 1 ) immediately after the valve body 25 moves is smaller than the pressure difference applied to both sides of the valve portion 27 in the state shown in FIG. Therefore, in order to overcome the biasing force of the spring 30 and keep the valve portion 28 in contact with the elastic body 32, it is necessary to make S2 larger than S1 . The diameter of the elastic body 32 is made larger than the diameter of the elastic body 34 in consideration of the exhaust performance of the first stage pump 4.
第４図はこの２段式真空ポンプ１の作動特性を
示す吸入圧力とポンプ１の排気量とのグラフであ
つて、横軸は吸入圧力、縦軸は排気量を示してい
る。図中Q1は、吸入圧力が大気圧Paの場合の１
段目ポンプ４の排気量、Q2は吸入圧力が大気圧
Paの場合の２段目ポンプの排気量である。 FIG. 4 is a graph of the suction pressure and the displacement of the pump 1 showing the operating characteristics of the two-stage vacuum pump 1, where the horizontal axis shows the suction pressure and the vertical axis shows the displacement. In the diagram, Q 1 is 1 when the suction pressure is atmospheric pressure Pa
The displacement of stage pump 4, Q 2 , is the suction pressure at atmospheric pressure.
This is the displacement of the second stage pump in the case of Pa.
従来の２段式真空ポンプの作動特性を鎖線Ａで
示す。従来のポンプでは作動開始時に２段目ポン
プは空転しているため、この時の排気量はQ1で
あつて、やがて吸入圧力がP2に達したときに排
気量が０となる。また、１段目ポンプと２段目ポ
ンプとを並列に接続した場合を一点鎖線Ｂで示
す。 The operating characteristics of a conventional two-stage vacuum pump are shown by a chain line A. In conventional pumps, the second-stage pump is idling at the start of operation, so the displacement at this time is Q1 , and eventually becomes 0 when the suction pressure reaches P2 . Further, a dashed-dotted line B shows a case where the first-stage pump and the second-stage pump are connected in parallel.
このような並列接続の場合、作動直後の排気量
は（Q1＋Q2）であるが、１段目ポンプの排気力
が小さいために、吸入圧力がP1に達した時に既
に排気量がＯとなつてしまう。一方、本実施例の
２段式真空ポンプ１では、作動直後の排気量が
（Q1＋Q2）であつて、一点鎖線Ｂにそつて排気量
が変化する。そして、切り替え圧力Poに達した
時に各ポンプ４，５の接続が直列とされ、以後鎖
線Ａにそつて排気し、やがて吸入圧力がP2に達
した時に排気量が０となる。 In the case of such a parallel connection, the displacement immediately after activation is (Q 1 + Q 2 ), but because the exhaust force of the first stage pump is small, the displacement has already decreased to O when the suction pressure reaches P 1 . I become confused. On the other hand, in the two-stage vacuum pump 1 of this embodiment, the displacement immediately after operation is (Q 1 +Q 2 ), and the displacement changes along the dashed line B. When the switching pressure Po is reached, the pumps 4 and 5 are connected in series, and the pumps are then evacuated along the chain line A. When the suction pressure reaches P2 , the displacement becomes 0.
このような構成からなる本実施列の２段式真空
ポンプ１にあつては、この２段式真空ポンプ１の
吸入口２と排出口３との圧力差が所定値以下の時
に各ポンプ４，５を並列に接続する通路を開通
し、上記圧力差が所定値以上の時にはポンプ４，
５を直列に接続する通路を開通するように構成し
たものなので、吸入圧と排気圧との差が小さいう
ちは各ポンプ４．５を直列に接続して、迅速な排
気を行うことができ、また上記圧力差が大きくな
つた場合には、各ポンプ４，５を直列に接続して
排気力の大きな排気を行なうことができる。した
がつて、この２段式真空ポンプ１にあつては、各
ポンプ４，５を無駄なく作動させることができ、
排気能率を高めることが可能である。 In the two-stage vacuum pump 1 of this embodiment having such a configuration, each pump 4, 5 is opened in parallel, and when the pressure difference is above a predetermined value, the pumps 4,
Since the structure is such that a passage is opened to connect the pumps 4 and 5 in series, each pump 4.5 can be connected in series to perform rapid exhaust while the difference between the suction pressure and the exhaust pressure is small. Further, when the pressure difference becomes large, the pumps 4 and 5 can be connected in series to perform exhaust with a large exhaust force. Therefore, in this two-stage vacuum pump 1, each pump 4, 5 can be operated without waste,
It is possible to increase exhaust efficiency.
なお、上述の２段式真空ポンプ１は、上記と全
く同一の原理によつてそのまま空気圧縮ポンプと
しても使用することができ、その場合には調節ネ
ジ２９を調節して、各ポンプの直列・並列切り替
え圧力差を変えれば良い。 The two-stage vacuum pump 1 described above can also be used as an air compression pump as it is based on the same principle as above, and in that case, by adjusting the adjustment screw 29, each pump can be connected in series or All you have to do is change the parallel switching pressure difference.
また、本考案の多段式流体機械は上記実施列に
限られるものではなく、他にも種々の変形が可能
である。例えば、上記実施列の２段式真空ポンプ
１を１つのポンプとして、この２段式真空ポンプ
を２つ用いて第１図に示すように構成のポンプに
することも可能であり、このようにした場合に
は、吸入口と排出口の圧力差が小さい間は４つの
ポンプが並列に接続されて極めて迅速な排気を行
ない、上記圧力差が所定の値に達した時には４つ
のポンプが直列に接続されて強力な排気を行なう
ことができる。 Further, the multistage fluid machine of the present invention is not limited to the above embodiments, and various other modifications are possible. For example, it is also possible to use the two-stage vacuum pump 1 of the above-mentioned row as one pump and use two of these two-stage vacuum pumps to create a pump configured as shown in FIG. In this case, four pumps are connected in parallel for extremely rapid evacuation while the pressure difference between the inlet and outlet is small, and when the pressure difference reaches a predetermined value, the four pumps are connected in series. Can be connected to provide powerful exhaust.
また、前記実施列で示したシヤトル弁６に関し
ても、他に種々の変形が可能である。例えば、ダ
イアフラム弁等を用いることも可能であつて、そ
の場合には、より精度の高いポンプの接続切り換
えを行なうことができる。 Furthermore, various other modifications are possible with respect to the shuttle valve 6 shown in the above-mentioned embodiments. For example, it is also possible to use a diaphragm valve or the like, and in that case, the pump connection can be switched with higher precision.
「考案の効果」
本考案の多段式流体機械は、各ポンプの接続を
切に替える機械を備えたものであつて、上記の弁
機械は、この多段式流体機械の吸入口と排出口と
の圧力差が所定値以下の時に各ポンプを並列に接
続する通路を開通し、上記圧力差が所定値以上の
時には各ポンプを直列に接続する通路を開通する
ように構成したものなので、吸入圧と排気圧との
差が小さいうちは各ポンプを直列に接続して、迅
速な排気を行なうことができ、また上記圧力差が
大きくなつた場合には、各ポンプを直列に接続し
て排気力の大きな排気を行なうことができる。し
たがつて、この多段式流体機械にあつては、各ポ
ンプを無駄なく作動させることができ、排気能率
を高めることが可能である。"Effect of the invention" The multi-stage fluid machine of the present invention is equipped with a machine that switches the connection of each pump, and the above-mentioned valve machine connects the inlet and outlet of the multi-stage fluid machine. The structure is such that when the pressure difference is below a predetermined value, a passage connecting each pump in parallel is opened, and when the pressure difference is above a predetermined value, a passage connecting each pump in series is opened. As long as the difference between the exhaust pressure and the exhaust pressure is small, each pump can be connected in series for quick exhaustion, and when the pressure difference becomes large, each pump can be connected in series to reduce the exhaust force. A large exhaust can be carried out. Therefore, in this multi-stage fluid machine, each pump can be operated without waste, and the pumping efficiency can be improved.
第１図および第２図は、本考案の一実施列の２
段式真空ポンプの構成を示す構成図、第３図は上
記実施列の要部を示す断面図、第４図は本考案の
効果を示すグラフである。
１……２段式真空ポンプ、２……吸入口、３…
…排出口、４……１段目ポンプ、５……２段目ポ
ンプ、６……シヤトル弁、７……逆止弁。
FIGS. 1 and 2 are two views of one embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a block diagram showing the structure of a stage vacuum pump, FIG. 3 is a sectional view showing the main parts of the above-mentioned implementation row, and FIG. 4 is a graph showing the effects of the present invention. 1...Two-stage vacuum pump, 2...Suction port, 3...
...Discharge port, 4...1st stage pump, 5...2nd stage pump, 6...Shuttle valve, 7...Check valve.
Claims (1)
に接続する通路および並列に接続する通路と、上
記通路のいずれかを選択的に開通する弁機構とか
らなる多段式流体機械であつて、上記弁機構は、
この多段式流体機械の吸入口と排出口との圧力差
が所定値以下の時に各ポンプを並列に接続する通
路を開通し、上記圧力差が所定値以上の時には各
ポンプを直列に接続する通路を開通することを特
徴とする多段式流体機械。 A multi-stage fluid machine comprising a plurality of pumps, passages connecting these pumps in series and passages connecting them in parallel, and a valve mechanism that selectively opens any of the passages, wherein the valve mechanism is ,
When the pressure difference between the inlet and outlet of this multistage fluid machine is below a predetermined value, a passage connecting each pump in parallel is opened, and when the pressure difference is above a predetermined value, a passage connecting each pump in series is opened. A multi-stage fluid machine characterized by opening.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14308285U JPH025107Y2 (en) | 1985-09-19 | 1985-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14308285U JPH025107Y2 (en) | 1985-09-19 | 1985-09-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6252291U JPS6252291U (en) | 1987-04-01 |
| JPH025107Y2 true JPH025107Y2 (en) | 1990-02-07 |
Family
ID=31052424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14308285U Expired JPH025107Y2 (en) | 1985-09-19 | 1985-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH025107Y2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174822A (en) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Panasonic Corp | Fluid heating device |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010033373A1 (en) * | 2010-08-04 | 2012-02-09 | Inficon Gmbh | Leak Detector |
| WO2012140931A1 (en) * | 2011-04-11 | 2012-10-18 | 株式会社村田製作所 | Fluid control device and pump connection method |
| JP5776793B2 (en) | 2011-12-09 | 2015-09-09 | 株式会社村田製作所 | Gas control device |
| JP6078749B2 (en) * | 2013-11-26 | 2017-02-15 | オリオン機械株式会社 | Suction system |
-
1985
- 1985-09-19 JP JP14308285U patent/JPH025107Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174822A (en) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Panasonic Corp | Fluid heating device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6252291U (en) | 1987-04-01 |
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