JPH0249879B2 - Kidobuoyobikudokeinobojinsochi - Google Patents
KidobuoyobikudokeinobojinsochiInfo
- Publication number
- JPH0249879B2 JPH0249879B2 JP22331786A JP22331786A JPH0249879B2 JP H0249879 B2 JPH0249879 B2 JP H0249879B2 JP 22331786 A JP22331786 A JP 22331786A JP 22331786 A JP22331786 A JP 22331786A JP H0249879 B2 JPH0249879 B2 JP H0249879B2
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- Japan
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- drive system
- dust
- fixed cover
- track
- tank
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Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 32
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 24
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Chain Conveyers (AREA)
- Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、直線若しくは曲線運動する移動台の
軌道部及び駆動系への塵やほこりの侵入を防ぐた
めの防塵装置に関するものである。
軌道部及び駆動系への塵やほこりの侵入を防ぐた
めの防塵装置に関するものである。
従来技術
従来、直線若しくは曲線運動する移動台の軌道
部及び駆動系への塵やほこりの侵入を防ぐための
防塵装置としては、例えば、第8図a,b,cに
示す防塵装置が知られている。
部及び駆動系への塵やほこりの侵入を防ぐための
防塵装置としては、例えば、第8図a,b,cに
示す防塵装置が知られている。
第8図a,bに示す防塵装置は、リニアベアリ
ング1のスライドユニツト2の軌道部である図示
せぬレールユニツトを覆うジヤバラ3(同図a参
照)若しくはテレスコープ式シールド4(同図b
参照)で構成されている。上記ジヤバラ3及びテ
レスコープ式シールド4は、それぞれ一端部がス
ライドユニツト2に装着され、他端部がレールユ
ニツト端部に装着され、上記スライドユニツト2
の移動に伴つて伸縮し、軌道部への塵やほこりの
侵入を防止する。
ング1のスライドユニツト2の軌道部である図示
せぬレールユニツトを覆うジヤバラ3(同図a参
照)若しくはテレスコープ式シールド4(同図b
参照)で構成されている。上記ジヤバラ3及びテ
レスコープ式シールド4は、それぞれ一端部がス
ライドユニツト2に装着され、他端部がレールユ
ニツト端部に装着され、上記スライドユニツト2
の移動に伴つて伸縮し、軌道部への塵やほこりの
侵入を防止する。
第8図cに示す防塵装置は、移動台5の各車輪
5′,5′,…及び軌道部7,7′を覆うべく、こ
の移動台5の走行方向に、且つ左右にそれぞれ設
けられた固定カバー6,6′により構成されてい
る。
5′,5′,…及び軌道部7,7′を覆うべく、こ
の移動台5の走行方向に、且つ左右にそれぞれ設
けられた固定カバー6,6′により構成されてい
る。
従来技術の問題点
ところが、上記固定カバー6,6′においては、
一方に車輪5′,5′,…移動用の開口部8,8′
を有するため完全に塵やほこりの侵入を防止する
ことができない。
一方に車輪5′,5′,…移動用の開口部8,8′
を有するため完全に塵やほこりの侵入を防止する
ことができない。
また、上記ジヤバラ3やテレスコープ式シール
ド4においては、ある程度の塵やほこりの侵入を
防止することはできるものの、ジヤバラ3やテレ
スコープ式シールド4がスライドユニツト2の移
動に伴つて常時伸縮を繰り返すため、寿命が短
く、比較的短期間のうちに部品交換しなければな
らないという問題点がある。更に、ジヤバラ3や
テレスコープ式シールド4においては、このジヤ
バラ3やテレスコープ式シールド4の収縮時にお
ける収納スペースが必要とされ、装置自体が大き
くなると共に円周若しくは無端長円形状に連続し
て周回運動する移動装置には適用できるという問
題点もある。
ド4においては、ある程度の塵やほこりの侵入を
防止することはできるものの、ジヤバラ3やテレ
スコープ式シールド4がスライドユニツト2の移
動に伴つて常時伸縮を繰り返すため、寿命が短
く、比較的短期間のうちに部品交換しなければな
らないという問題点がある。更に、ジヤバラ3や
テレスコープ式シールド4においては、このジヤ
バラ3やテレスコープ式シールド4の収縮時にお
ける収納スペースが必要とされ、装置自体が大き
くなると共に円周若しくは無端長円形状に連続し
て周回運動する移動装置には適用できるという問
題点もある。
発明の目的
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたもので
あり、周回運動する移動装置にも適用可能で、塵
やほこりの侵入を完全に防止することができ、且
つメンテナンスが容易でコンパクトな軌道部及び
駆動系の防塵装置の提供を目的とするものであ
る。
あり、周回運動する移動装置にも適用可能で、塵
やほこりの侵入を完全に防止することができ、且
つメンテナンスが容易でコンパクトな軌道部及び
駆動系の防塵装置の提供を目的とするものであ
る。
発明の構成
上記目的を達成するために、本発明が採用する
主たる手段は、その要旨とするところが、左右に
平行の槽部を具備した液溜槽と、上記両槽部に貯
溜された液体内に挿入される翼部を具備し、中央
部において上記液溜槽の中央部に設けた軌道部で
走行可能に支持された移動台と、上記移動台の中
央部に貫通状に設けた駆動系と、上記翼部内に形
成された空洞部及び両空洞部と連通する通路に貫
通状に挿入され、その下端が上記液体内に挿入さ
れ、且つ、その内部がシールされてなる固定カバ
ーとを具備してなる点に係る軌道部及び駆動系の
防塵装置である。
主たる手段は、その要旨とするところが、左右に
平行の槽部を具備した液溜槽と、上記両槽部に貯
溜された液体内に挿入される翼部を具備し、中央
部において上記液溜槽の中央部に設けた軌道部で
走行可能に支持された移動台と、上記移動台の中
央部に貫通状に設けた駆動系と、上記翼部内に形
成された空洞部及び両空洞部と連通する通路に貫
通状に挿入され、その下端が上記液体内に挿入さ
れ、且つ、その内部がシールされてなる固定カバ
ーとを具備してなる点に係る軌道部及び駆動系の
防塵装置である。
発明の作用
液溜槽の左右に設けられた槽部の液体内に、中
央部において軌道部で走行可能に支持された移動
台の両翼部が漬つた状態で移動する。更に、上記
移動台の両翼部内に形成された空洞部及び両空洞
部と連通する通路に貫通状に挿入された固定カバ
ーが該固定カバーの両下端を上記液体内に漬した
状態で固定されている。従つて軌道部、駆動系を
具備する移動台中央部が固定カバーを介して液体
により完全にシールされ、軌道部、駆動系等の摺
動部への塵、ほこり等の侵入が防止される。
央部において軌道部で走行可能に支持された移動
台の両翼部が漬つた状態で移動する。更に、上記
移動台の両翼部内に形成された空洞部及び両空洞
部と連通する通路に貫通状に挿入された固定カバ
ーが該固定カバーの両下端を上記液体内に漬した
状態で固定されている。従つて軌道部、駆動系を
具備する移動台中央部が固定カバーを介して液体
により完全にシールされ、軌道部、駆動系等の摺
動部への塵、ほこり等の侵入が防止される。
実施例
以下添付図面を参照して、本発明を具体化した
実施例につき説明し、本発明の理解に供する。
実施例につき説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下の実施例は、本発明を具体化した一例
であつて、本発明の技術的範囲を限定する性格の
ものではない。
であつて、本発明の技術的範囲を限定する性格の
ものではない。
ここに第1図は本発明の一実施例に係る軌道部
及び駆動系の防塵装置の平面図、第2図は第1図
におけるA−A矢視断面図、第3図は第1図にお
けるB−B矢視部断面図、第4図は第1図におけ
るC−C矢視部断面図、第5図は本発明の他の実
施例に係る防塵装置を具備した移動装置の斜視
図、第6図は第5図におけるD−D矢視断面図、
第7図は第5図におけるE−E矢視断面図であ
る。
及び駆動系の防塵装置の平面図、第2図は第1図
におけるA−A矢視断面図、第3図は第1図にお
けるB−B矢視部断面図、第4図は第1図におけ
るC−C矢視部断面図、第5図は本発明の他の実
施例に係る防塵装置を具備した移動装置の斜視
図、第6図は第5図におけるD−D矢視断面図、
第7図は第5図におけるE−E矢視断面図であ
る。
この実施例に係る軌道部及び駆動系の防塵装置
Fは、第1図〜第4図に示す如く、左右に平行の
槽部10,10′を具備した液溜槽11と、上記
両槽部10,10′に貯溜された水中に挿入され
る翼部12,12′を具備し、中央部において上
記液溜槽11の中央部に設けた軌道部13で走行
可能に支持された移動台15と、この移動台15
を駆動するべく移動台15の中央部に設けられた
駆動系14と、上記翼部12,12′内に形成さ
れた空洞部16,16′及び両空洞部16,1
6′と連通する通路17に貫通状に挿入され、そ
の下端18,18′が上記水中に挿入され、且つ、
その内部がシールされてなる固定カバー9とを具
備して構成されている。
Fは、第1図〜第4図に示す如く、左右に平行の
槽部10,10′を具備した液溜槽11と、上記
両槽部10,10′に貯溜された水中に挿入され
る翼部12,12′を具備し、中央部において上
記液溜槽11の中央部に設けた軌道部13で走行
可能に支持された移動台15と、この移動台15
を駆動するべく移動台15の中央部に設けられた
駆動系14と、上記翼部12,12′内に形成さ
れた空洞部16,16′及び両空洞部16,1
6′と連通する通路17に貫通状に挿入され、そ
の下端18,18′が上記水中に挿入され、且つ、
その内部がシールされてなる固定カバー9とを具
備して構成されている。
まず、左右に平行の槽部10,10′を具備し
た液溜槽11は、例えば、本実施例のように無端
長円形状に形成され、複数の支持部材20,2
0,…によつて天井21に吊設されている。
た液溜槽11は、例えば、本実施例のように無端
長円形状に形成され、複数の支持部材20,2
0,…によつて天井21に吊設されている。
上記移動台15にはワーク22を搬送する搬送
装置23が装着されている。そして、移動台15
が移動する時、槽部10,10′の水に波がたた
ないように、上記翼部12,12′の断面は流線
形状に形成されている。
装置23が装着されている。そして、移動台15
が移動する時、槽部10,10′の水に波がたた
ないように、上記翼部12,12′の断面は流線
形状に形成されている。
ここで上記軌道部13(第3図参照)は、移動
台15の中央部に回転自在に軸着された車輪2
4,24,…と、この車輪24,24,…により
移動台15を液溜槽11に沿つて走行案内すべく
該液溜槽11の中央部に添設されたレール25,
25とで構成されている。
台15の中央部に回転自在に軸着された車輪2
4,24,…と、この車輪24,24,…により
移動台15を液溜槽11に沿つて走行案内すべく
該液溜槽11の中央部に添設されたレール25,
25とで構成されている。
上記駆動系14(第4図参照)は、移動台15
本体に一部が取り付けられ、液溜槽11の中央部
に沿つて楕円且つ無端状に張設されたチエーン2
6と、このチエーン26を案内支持するための液
溜槽11の中央部に回転自在に軸着された複数の
スプロケツト27,27,…と、上記チエーン2
6を走行駆動することによつて移動台15を液溜
槽11に沿つて走行させるための図示せぬモータ
とで構成されている。
本体に一部が取り付けられ、液溜槽11の中央部
に沿つて楕円且つ無端状に張設されたチエーン2
6と、このチエーン26を案内支持するための液
溜槽11の中央部に回転自在に軸着された複数の
スプロケツト27,27,…と、上記チエーン2
6を走行駆動することによつて移動台15を液溜
槽11に沿つて走行させるための図示せぬモータ
とで構成されている。
次に、上記固定カバー19は、上記液溜槽11
の形状に添うべく無端長円形状に形成されてい
る。更に上記固定カバー19は、上記液溜槽11
に対し、移動台15の通過時この移動台15との
干渉を回避すべく退避する複数の支持手段28,
28,…(第4図参照)によつて支持されてい
る。
の形状に添うべく無端長円形状に形成されてい
る。更に上記固定カバー19は、上記液溜槽11
に対し、移動台15の通過時この移動台15との
干渉を回避すべく退避する複数の支持手段28,
28,…(第4図参照)によつて支持されてい
る。
この支持手段28は、固定カバー19の裏面に
取り付けられた被係合部材29と、該被係合部材
29とを係合することにより固定カバー19を支
持する係合部材30を有し、上記移動台15の接
近がリミツトスイツチ31で検出された時、この
移動台15との干渉を回避すべく上記係合部材3
0を下方へ退避させるソレノイド32とで構成さ
れている。
取り付けられた被係合部材29と、該被係合部材
29とを係合することにより固定カバー19を支
持する係合部材30を有し、上記移動台15の接
近がリミツトスイツチ31で検出された時、この
移動台15との干渉を回避すべく上記係合部材3
0を下方へ退避させるソレノイド32とで構成さ
れている。
上記したように構成される防塵装置Fにおいて
は、液溜槽11の槽部10,10′内の水中に固
定カバー19の下端18,18′と共に移動台1
5の翼部12,12′が挿入され、且つ移動台1
5がこの移動台15の空洞部16,16′と通路
17とで固定カバー19を包み込むようにして液
溜槽11の中央部に設けられた軌道部13及び駆
動系14で走行可能に支持されているため、上記
軌道部13及び駆動系14は外部に対して常時完
全に密封された状態となる。そして、その密封に
は液体が使用されるため、機械的消耗部品が全く
存在しないのである。
は、液溜槽11の槽部10,10′内の水中に固
定カバー19の下端18,18′と共に移動台1
5の翼部12,12′が挿入され、且つ移動台1
5がこの移動台15の空洞部16,16′と通路
17とで固定カバー19を包み込むようにして液
溜槽11の中央部に設けられた軌道部13及び駆
動系14で走行可能に支持されているため、上記
軌道部13及び駆動系14は外部に対して常時完
全に密封された状態となる。そして、その密封に
は液体が使用されるため、機械的消耗部品が全く
存在しないのである。
尚、上記固定カバー19内部は通常大気圧であ
るが、内部の圧力を真空ポンプやコンプレツサー
等の作用で外圧とは異ならしめることにより、更
に防塵効果の向上を図ることも可能である。
るが、内部の圧力を真空ポンプやコンプレツサー
等の作用で外圧とは異ならしめることにより、更
に防塵効果の向上を図ることも可能である。
更に、上記防塵装置Fにおいては、固定カバー
19が用いられているため、第8図a,bに示す
前記従来のジヤバラ3やテレスコープ式シールド
4の場合のような収納スペースを必要としない。
19が用いられているため、第8図a,bに示す
前記従来のジヤバラ3やテレスコープ式シールド
4の場合のような収納スペースを必要としない。
また、移動台15が図示せぬモータにより駆動
されるチエーン26を介して走行駆動されると
き、固定カバー19を支持する支持手段28,2
8,…が移動台15の通過時この移動台15との
干渉を回避すべく退避するため、移動台15の移
動軌跡を円周若しくは無端長円形状とすることが
できると共に移動台15の走行可能距離を相当長
くすることも可能もある。
されるチエーン26を介して走行駆動されると
き、固定カバー19を支持する支持手段28,2
8,…が移動台15の通過時この移動台15との
干渉を回避すべく退避するため、移動台15の移
動軌跡を円周若しくは無端長円形状とすることが
できると共に移動台15の走行可能距離を相当長
くすることも可能もある。
従つて、上記防塵装置Fは、軌道部や駆動系で
発生する粉塵を完全に密封することが必要とされ
ると共に比較的長い走行距離が必要とされる、例
えば半導体等が製造されるクリーンルーム内の自
動化ラインの搬送装置やクリーンロボツトの防塵
装置として最適である。
発生する粉塵を完全に密封することが必要とされ
ると共に比較的長い走行距離が必要とされる、例
えば半導体等が製造されるクリーンルーム内の自
動化ラインの搬送装置やクリーンロボツトの防塵
装置として最適である。
尚、上記実施例においては、固定カバー19内
の密封に使用される水は槽部10,10′内で停
滞しているが、この水をポンプ及びフイルターを
介して循環式とし、更に水があふれた時のために
上記槽部10,10′の外縁部に堰を設けること
により、槽部10,10′に浮遊する塵やほこり
等を回収することができる。
の密封に使用される水は槽部10,10′内で停
滞しているが、この水をポンプ及びフイルターを
介して循環式とし、更に水があふれた時のために
上記槽部10,10′の外縁部に堰を設けること
により、槽部10,10′に浮遊する塵やほこり
等を回収することができる。
更に他の実施例について、第5図〜第7図に基
づいて説明する。
づいて説明する。
この実施例に係る防塵装置Gは、同図に示す如
く、前記防塵装置F(第1図〜第4図参照)と基
本的構造をほぼ同様とし、X軸方向及びY軸方向
に移動可能な移動装置Hに使用される場合のもの
である。
く、前記防塵装置F(第1図〜第4図参照)と基
本的構造をほぼ同様とし、X軸方向及びY軸方向
に移動可能な移動装置Hに使用される場合のもの
である。
上記防塵装置Gでは、移動台15′が直線運動
のみを行い、且つその走行距離が比較的短いた
め、軌道部13′は、レールユニツト33,33
と複数のスライドユニツト34,34,…とから
なりリニアベアリングにより構成されている。
のみを行い、且つその走行距離が比較的短いた
め、軌道部13′は、レールユニツト33,33
と複数のスライドユニツト34,34,…とから
なりリニアベアリングにより構成されている。
駆動系14′は、液溜槽11′に回転自在に取り
付けられ且つモータ35に直結されたボールネジ
シヤフト36と、このボールネジシヤフト36に
螺合し且つ移動台15′に取り付けられたボール
ネジナツト37とで構成されている。
付けられ且つモータ35に直結されたボールネジ
シヤフト36と、このボールネジシヤフト36に
螺合し且つ移動台15′に取り付けられたボール
ネジナツト37とで構成されている。
更に、固定カバー19′は、第5図及び第7図
に示す如く、その両端部がゴムパツキン38,3
8を介して液溜槽11′の槽部10a,10a′の
両端部に取り付けられている。
に示す如く、その両端部がゴムパツキン38,3
8を介して液溜槽11′の槽部10a,10a′の
両端部に取り付けられている。
上記したように防塵装置Gは構成さているた
め、固定カバー19′は、支持手段28で支持さ
れる前記防塵装置F(第1図及び第4図参照)の
固定カバー19よりも安価に構成することができ
る。
め、固定カバー19′は、支持手段28で支持さ
れる前記防塵装置F(第1図及び第4図参照)の
固定カバー19よりも安価に構成することができ
る。
尚、上記実施例の駆動系14′を構成している
ボールネジシヤフト36及びボールネジナツト3
7に代わつて、ラツクとピニオンとで駆動系1
4′を構成することも可能である。
ボールネジシヤフト36及びボールネジナツト3
7に代わつて、ラツクとピニオンとで駆動系1
4′を構成することも可能である。
発明の効果
本発明は、上記したように、左右に平行の槽部
を具備した液溜槽と、上記両槽部に貯溜された液
体内に挿入される翼部を具備し、中央部において
上記液溜槽の中央部に設けた軌道部で走行可能に
支持された移動台と、上記移動台の中央部に貫通
状に設けた駆動系と、上記翼部内に形成された空
洞部及び両空洞部と連通する通路に貫通状に挿入
され、その下端が上記液体内に挿入され、且つ、
その内部がシールされてなる固定カバーとを具備
してなることを特徴とする軌道部及び駆動系の防
塵装置であるから、周回運動する移動装置にも適
用可能で、塵やほこりの侵入を完全に防止するこ
とができ、且つメンテナンスが容易でコンパクト
な軌道部及び駒動系の防塵装置を提供し得るので
ある。
を具備した液溜槽と、上記両槽部に貯溜された液
体内に挿入される翼部を具備し、中央部において
上記液溜槽の中央部に設けた軌道部で走行可能に
支持された移動台と、上記移動台の中央部に貫通
状に設けた駆動系と、上記翼部内に形成された空
洞部及び両空洞部と連通する通路に貫通状に挿入
され、その下端が上記液体内に挿入され、且つ、
その内部がシールされてなる固定カバーとを具備
してなることを特徴とする軌道部及び駆動系の防
塵装置であるから、周回運動する移動装置にも適
用可能で、塵やほこりの侵入を完全に防止するこ
とができ、且つメンテナンスが容易でコンパクト
な軌道部及び駒動系の防塵装置を提供し得るので
ある。
第1図は本発明の一実施例に係る軌道部及び駆
動系の防塵装置の平面図、第2図は第1図におけ
るA−A矢視断面図、第3図は第1図におけるB
−B矢視部断面図、第4図は第1図におけるC−
C矢視部断面図、第5図は本発明の他の実施例に
係る防塵装置を具備した移動装置の斜視図、第6
図は第5図におけるD−D矢視断面図、第7図は
第5図におけるE−E矢視断面図、第8図a,
b,cは従来の軌道部及び駆動系の防塵装置の斜
視図である。 (符号の説明)、10,10′,10a,10
a′……槽部、11,11′……液溜槽、12,1
2′……翼部、13,13′……軌道部、14,1
4′……駆動系、15,15′……移動台、16,
16′……空洞部、17……通路、18,18′…
…下端、19,19′……固定カバー、F,G…
…防塵装置。
動系の防塵装置の平面図、第2図は第1図におけ
るA−A矢視断面図、第3図は第1図におけるB
−B矢視部断面図、第4図は第1図におけるC−
C矢視部断面図、第5図は本発明の他の実施例に
係る防塵装置を具備した移動装置の斜視図、第6
図は第5図におけるD−D矢視断面図、第7図は
第5図におけるE−E矢視断面図、第8図a,
b,cは従来の軌道部及び駆動系の防塵装置の斜
視図である。 (符号の説明)、10,10′,10a,10
a′……槽部、11,11′……液溜槽、12,1
2′……翼部、13,13′……軌道部、14,1
4′……駆動系、15,15′……移動台、16,
16′……空洞部、17……通路、18,18′…
…下端、19,19′……固定カバー、F,G…
…防塵装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 左右に平行の槽部を具備した液溜槽と、 上記両槽部に貯溜された液体内に挿入される翼
部を具備し、中央部において上記液溜槽の中央部
に設けた軌道部で走行可能に支持された移動台
と、 上記移動台の中央部に貫通状に設けた駆動系
と、 上記翼部内に形成された空洞部及び両空洞部と
連通する通路に貫通状に挿入され、その下端が上
記液体内に挿入され、且つ、その内部がシールさ
れてなる固定カバーとを具備してなることを特徴
とする軌道部及び駆動系の防塵装置。 2 上記カバー内部の圧力を外圧とは異ならしめ
る如くなした特許請求の範囲第1項記載の軌道部
及び駆動系の防塵装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22331786A JPH0249879B2 (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | Kidobuoyobikudokeinobojinsochi |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22331786A JPH0249879B2 (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | Kidobuoyobikudokeinobojinsochi |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6382221A JPS6382221A (ja) | 1988-04-13 |
JPH0249879B2 true JPH0249879B2 (ja) | 1990-10-31 |
Family
ID=16796257
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22331786A Expired - Lifetime JPH0249879B2 (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | Kidobuoyobikudokeinobojinsochi |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0249879B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63267366A (ja) * | 1988-04-05 | 1988-11-04 | Terumo Corp | 中空糸型人工肺 |
-
1986
- 1986-09-20 JP JP22331786A patent/JPH0249879B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6382221A (ja) | 1988-04-13 |
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