JPH0249879B2

JPH0249879B2 - Kidobuoyobikudokeinobojinsochi

Info

Publication number: JPH0249879B2
Application number: JP22331786A
Authority: JP
Inventors: Natsushiro Kino; Katsuhiko Yoshida
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 1986-09-20
Filing date: 1986-09-20
Publication date: 1990-10-31
Anticipated expiration: 2006-09-20
Also published as: JPS6382221A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、直線若しくは曲線運動する移動台の
軌道部及び駆動系への塵やほこりの侵入を防ぐた
めの防塵装置に関するものである。

従来技術従来、直線若しくは曲線運動する移動台の軌道
部及び駆動系への塵やほこりの侵入を防ぐための
防塵装置としては、例えば、第８図ａ，ｂ，ｃに
示す防塵装置が知られている。

第８図ａ，ｂに示す防塵装置は、リニアベアリ
ング１のスライドユニツト２の軌道部である図示
せぬレールユニツトを覆うジヤバラ３（同図ａ参
照）若しくはテレスコープ式シールド４（同図ｂ
参照）で構成されている。上記ジヤバラ３及びテ
レスコープ式シールド４は、それぞれ一端部がス
ライドユニツト２に装着され、他端部がレールユ
ニツト端部に装着され、上記スライドユニツト２
の移動に伴つて伸縮し、軌道部への塵やほこりの
侵入を防止する。

第８図ｃに示す防塵装置は、移動台５の各車輪
５′，５′，…及び軌道部７，７′を覆うべく、こ
の移動台５の走行方向に、且つ左右にそれぞれ設
けられた固定カバー６，６′により構成されてい
る。

従来技術の問題点ところが、上記固定カバー６，６′においては、
一方に車輪５′，５′，…移動用の開口部８，８′
を有するため完全に塵やほこりの侵入を防止する
ことができない。

また、上記ジヤバラ３やテレスコープ式シール
ド４においては、ある程度の塵やほこりの侵入を
防止することはできるものの、ジヤバラ３やテレ
スコープ式シールド４がスライドユニツト２の移
動に伴つて常時伸縮を繰り返すため、寿命が短
く、比較的短期間のうちに部品交換しなければな
らないという問題点がある。更に、ジヤバラ３や
テレスコープ式シールド４においては、このジヤ
バラ３やテレスコープ式シールド４の収縮時にお
ける収納スペースが必要とされ、装置自体が大き
くなると共に円周若しくは無端長円形状に連続し
て周回運動する移動装置には適用できるという問
題点もある。

発明の目的本発明は、上記事情に鑑みて創案されたもので
あり、周回運動する移動装置にも適用可能で、塵
やほこりの侵入を完全に防止することができ、且
つメンテナンスが容易でコンパクトな軌道部及び
駆動系の防塵装置の提供を目的とするものであ
る。

発明の構成上記目的を達成するために、本発明が採用する
主たる手段は、その要旨とするところが、左右に
平行の槽部を具備した液溜槽と、上記両槽部に貯
溜された液体内に挿入される翼部を具備し、中央
部において上記液溜槽の中央部に設けた軌道部で
走行可能に支持された移動台と、上記移動台の中
央部に貫通状に設けた駆動系と、上記翼部内に形
成された空洞部及び両空洞部と連通する通路に貫
通状に挿入され、その下端が上記液体内に挿入さ
れ、且つ、その内部がシールされてなる固定カバ
ーとを具備してなる点に係る軌道部及び駆動系の
防塵装置である。

発明の作用液溜槽の左右に設けられた槽部の液体内に、中
央部において軌道部で走行可能に支持された移動
台の両翼部が漬つた状態で移動する。更に、上記
移動台の両翼部内に形成された空洞部及び両空洞
部と連通する通路に貫通状に挿入された固定カバ
ーが該固定カバーの両下端を上記液体内に漬した
状態で固定されている。従つて軌道部、駆動系を
具備する移動台中央部が固定カバーを介して液体
により完全にシールされ、軌道部、駆動系等の摺
動部への塵、ほこり等の侵入が防止される。

実施例以下添付図面を参照して、本発明を具体化した
実施例につき説明し、本発明の理解に供する。

尚、以下の実施例は、本発明を具体化した一例
であつて、本発明の技術的範囲を限定する性格の
ものではない。

ここに第１図は本発明の一実施例に係る軌道部
及び駆動系の防塵装置の平面図、第２図は第１図
におけるＡ−Ａ矢視断面図、第３図は第１図にお
けるＢ−Ｂ矢視部断面図、第４図は第１図におけ
るＣ−Ｃ矢視部断面図、第５図は本発明の他の実
施例に係る防塵装置を具備した移動装置の斜視
図、第６図は第５図におけるＤ−Ｄ矢視断面図、
第７図は第５図におけるＥ−Ｅ矢視断面図であ
る。

この実施例に係る軌道部及び駆動系の防塵装置
Ｆは、第１図〜第４図に示す如く、左右に平行の
槽部１０，１０′を具備した液溜槽１１と、上記
両槽部１０，１０′に貯溜された水中に挿入され
る翼部１２，１２′を具備し、中央部において上
記液溜槽１１の中央部に設けた軌道部１３で走行
可能に支持された移動台１５と、この移動台１５
を駆動するべく移動台１５の中央部に設けられた
駆動系１４と、上記翼部１２，１２′内に形成さ
れた空洞部１６，１６′及び両空洞部１６，１
６′と連通する通路１７に貫通状に挿入され、そ
の下端１８，１８′が上記水中に挿入され、且つ、
その内部がシールされてなる固定カバー９とを具
備して構成されている。

まず、左右に平行の槽部１０，１０′を具備し
た液溜槽１１は、例えば、本実施例のように無端
長円形状に形成され、複数の支持部材２０，２
０，…によつて天井２１に吊設されている。

上記移動台１５にはワーク２２を搬送する搬送
装置２３が装着されている。そして、移動台１５
が移動する時、槽部１０，１０′の水に波がたた
ないように、上記翼部１２，１２′の断面は流線
形状に形成されている。

ここで上記軌道部１３（第３図参照）は、移動
台１５の中央部に回転自在に軸着された車輪２
４，２４，…と、この車輪２４，２４，…により
移動台１５を液溜槽１１に沿つて走行案内すべく
該液溜槽１１の中央部に添設されたレール２５，
２５とで構成されている。

上記駆動系１４（第４図参照）は、移動台１５
本体に一部が取り付けられ、液溜槽１１の中央部
に沿つて楕円且つ無端状に張設されたチエーン２
６と、このチエーン２６を案内支持するための液
溜槽１１の中央部に回転自在に軸着された複数の
スプロケツト２７，２７，…と、上記チエーン２
６を走行駆動することによつて移動台１５を液溜
槽１１に沿つて走行させるための図示せぬモータ
とで構成されている。

次に、上記固定カバー１９は、上記液溜槽１１
の形状に添うべく無端長円形状に形成されてい
る。更に上記固定カバー１９は、上記液溜槽１１
に対し、移動台１５の通過時この移動台１５との
干渉を回避すべく退避する複数の支持手段２８，
２８，…（第４図参照）によつて支持されてい
る。

この支持手段２８は、固定カバー１９の裏面に
取り付けられた被係合部材２９と、該被係合部材
２９とを係合することにより固定カバー１９を支
持する係合部材３０を有し、上記移動台１５の接
近がリミツトスイツチ３１で検出された時、この
移動台１５との干渉を回避すべく上記係合部材３
０を下方へ退避させるソレノイド３２とで構成さ
れている。

上記したように構成される防塵装置Ｆにおいて
は、液溜槽１１の槽部１０，１０′内の水中に固
定カバー１９の下端１８，１８′と共に移動台１
５の翼部１２，１２′が挿入され、且つ移動台１
５がこの移動台１５の空洞部１６，１６′と通路
１７とで固定カバー１９を包み込むようにして液
溜槽１１の中央部に設けられた軌道部１３及び駆
動系１４で走行可能に支持されているため、上記
軌道部１３及び駆動系１４は外部に対して常時完
全に密封された状態となる。そして、その密封に
は液体が使用されるため、機械的消耗部品が全く
存在しないのである。

尚、上記固定カバー１９内部は通常大気圧であ
るが、内部の圧力を真空ポンプやコンプレツサー
等の作用で外圧とは異ならしめることにより、更
に防塵効果の向上を図ることも可能である。

更に、上記防塵装置Ｆにおいては、固定カバー
１９が用いられているため、第８図ａ，ｂに示す
前記従来のジヤバラ３やテレスコープ式シールド
４の場合のような収納スペースを必要としない。

また、移動台１５が図示せぬモータにより駆動
されるチエーン２６を介して走行駆動されると
き、固定カバー１９を支持する支持手段２８，２
８，…が移動台１５の通過時この移動台１５との
干渉を回避すべく退避するため、移動台１５の移
動軌跡を円周若しくは無端長円形状とすることが
できると共に移動台１５の走行可能距離を相当長
くすることも可能もある。

従つて、上記防塵装置Ｆは、軌道部や駆動系で
発生する粉塵を完全に密封することが必要とされ
ると共に比較的長い走行距離が必要とされる、例
えば半導体等が製造されるクリーンルーム内の自
動化ラインの搬送装置やクリーンロボツトの防塵
装置として最適である。

尚、上記実施例においては、固定カバー１９内
の密封に使用される水は槽部１０，１０′内で停
滞しているが、この水をポンプ及びフイルターを
介して循環式とし、更に水があふれた時のために
上記槽部１０，１０′の外縁部に堰を設けること
により、槽部１０，１０′に浮遊する塵やほこり
等を回収することができる。

更に他の実施例について、第５図〜第７図に基
づいて説明する。

この実施例に係る防塵装置Ｇは、同図に示す如
く、前記防塵装置Ｆ（第１図〜第４図参照）と基
本的構造をほぼ同様とし、Ｘ軸方向及びＹ軸方向
に移動可能な移動装置Ｈに使用される場合のもの
である。

上記防塵装置Ｇでは、移動台１５′が直線運動
のみを行い、且つその走行距離が比較的短いた
め、軌道部１３′は、レールユニツト３３，３３
と複数のスライドユニツト３４，３４，…とから
なりリニアベアリングにより構成されている。

駆動系１４′は、液溜槽１１′に回転自在に取り
付けられ且つモータ３５に直結されたボールネジ
シヤフト３６と、このボールネジシヤフト３６に
螺合し且つ移動台１５′に取り付けられたボール
ネジナツト３７とで構成されている。

更に、固定カバー１９′は、第５図及び第７図
に示す如く、その両端部がゴムパツキン３８，３
８を介して液溜槽１１′の槽部１０ａ，１０a′の
両端部に取り付けられている。

上記したように防塵装置Ｇは構成さているた
め、固定カバー１９′は、支持手段２８で支持さ
れる前記防塵装置Ｆ（第１図及び第４図参照）の
固定カバー１９よりも安価に構成することができ
る。

尚、上記実施例の駆動系１４′を構成している
ボールネジシヤフト３６及びボールネジナツト３
７に代わつて、ラツクとピニオンとで駆動系１
４′を構成することも可能である。

発明の効果本発明は、上記したように、左右に平行の槽部
を具備した液溜槽と、上記両槽部に貯溜された液
体内に挿入される翼部を具備し、中央部において
上記液溜槽の中央部に設けた軌道部で走行可能に
支持された移動台と、上記移動台の中央部に貫通
状に設けた駆動系と、上記翼部内に形成された空
洞部及び両空洞部と連通する通路に貫通状に挿入
され、その下端が上記液体内に挿入され、且つ、
その内部がシールされてなる固定カバーとを具備
してなることを特徴とする軌道部及び駆動系の防
塵装置であるから、周回運動する移動装置にも適
用可能で、塵やほこりの侵入を完全に防止するこ
とができ、且つメンテナンスが容易でコンパクト
な軌道部及び駒動系の防塵装置を提供し得るので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る軌道部及び駆
動系の防塵装置の平面図、第２図は第１図におけ
るＡ−Ａ矢視断面図、第３図は第１図におけるＢ
−Ｂ矢視部断面図、第４図は第１図におけるＣ−
Ｃ矢視部断面図、第５図は本発明の他の実施例に
係る防塵装置を具備した移動装置の斜視図、第６
図は第５図におけるＤ−Ｄ矢視断面図、第７図は
第５図におけるＥ−Ｅ矢視断面図、第８図ａ，
ｂ，ｃは従来の軌道部及び駆動系の防塵装置の斜
視図である。（符号の説明）、１０，１０′，１０ａ，１０
a′……槽部、１１，１１′……液溜槽、１２，１
２′……翼部、１３，１３′……軌道部、１４，１
４′……駆動系、１５，１５′……移動台、１６，
１６′……空洞部、１７……通路、１８，１８′…
…下端、１９，１９′……固定カバー、Ｆ，Ｇ…
…防塵装置。

Claims

【特許請求の範囲】１左右に平行の槽部を具備した液溜槽と、上記両槽部に貯溜された液体内に挿入される翼
部を具備し、中央部において上記液溜槽の中央部
に設けた軌道部で走行可能に支持された移動台
と、上記移動台の中央部に貫通状に設けた駆動系
と、上記翼部内に形成された空洞部及び両空洞部と
連通する通路に貫通状に挿入され、その下端が上
記液体内に挿入され、且つ、その内部がシールさ
れてなる固定カバーとを具備してなることを特徴
とする軌道部及び駆動系の防塵装置。２上記カバー内部の圧力を外圧とは異ならしめ
る如くなした特許請求の範囲第１項記載の軌道部
及び駆動系の防塵装置。