JPH0249515B2 - - Google Patents

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JPH0249515B2
JPH0249515B2 JP59197925A JP19792584A JPH0249515B2 JP H0249515 B2 JPH0249515 B2 JP H0249515B2 JP 59197925 A JP59197925 A JP 59197925A JP 19792584 A JP19792584 A JP 19792584A JP H0249515 B2 JPH0249515 B2 JP H0249515B2
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bit lines
transistor
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Junichi Myamoto
Junichi Tsujimoto
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Toshiba Corp
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Priority to DE8585109509T priority patent/DE3583091D1/de
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Publication of JPH0249515B2 publication Critical patent/JPH0249515B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/26Sensing or reading circuits; Data output circuits
    • G11C16/28Sensing or reading circuits; Data output circuits using differential sensing or reference cells, e.g. dummy cells

Landscapes

  • Read Only Memory (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] この発明は、特にEEPROM(電気的にデータ
の消去が可能なリード オンリ メモリ)に係
り、EEPROM特有のページモードライトの仕様
を満足するような半導体記憶装置に関する。
[発明の技術的背景とその問題点] EEPROM(以下、単にメモリと称する)にお
けるデータの読み出しは、通常100nSないし
200nSと非常に高速で行なえることが知られてい
る。他方、データの書き込みについては、そのデ
バイスの構造により1mSないし50mS程度の時
間がかかる。しかし、このデータ書き込み時間は
メモリのある特定のカラムについて並列書き込み
をしても所要時間は代わりないので、等価的にバ
イト当りのデータ書き込み時間を制限することが
可能である。例えば、実質的なデータ書き込み時
間が1mSの場合に16バイト単位でページモード
ライトを採用すると、1バイトのデータを一時的
にメモリストレージに書き込むのに必要な時間は
アクセス時間とほぼ同等の200nS程度なので、メ
モリストレージに要する時間を加味した1バイト
当りのデータ書き込み時間は(200nS×16+1m
S)×16となり、ほぼ63μSとなる。このように短
時間でデータの書き込みが行なえるということ
は、コンピユータのパワーダウン時のデータ待避
等、EEPROMの応用分野が広がる意味で極めて
有効である。
ところで、上記のようなメモリストレージ機能
を備え、データの消去および再書込みが可能な従
来のメモリでは、データを書込む際の経路と読み
出しの経路とが全く独立して設けられているのが
一般的である。このため、従来のメモリでは回路
構成が複雑になるという欠点がある。
また、上記のようなメモリではデータの消去な
らびにデータプログラムを行なう際に、この動作
が終了したかどうかを外部に対して示す機能が備
えられている。このような機能はデータポーリン
グ機能と称されている。従来のメモリではこのよ
うなデータポーリング機能を実現する場合に特別
の制御回路を設けるようにしているので、この点
での回路構成が複雑になるという欠点がある。
[発明の目的] この発明の上記のような事情を考慮してなされ
たものであり、その目的はEEPROM特有のペー
ジモードライトを効率よく行なえる回路構成を有
する半導体記憶装置を提供することにある。
[発明の概要] 上記目的を達成するためこの発明にあつては、
不揮発性トランジスタからなるメモリセルおよび
ダミーセルがそれぞれ接続された第1および第2
のビツトラインを設け、上記第1および第2のビ
ツトラインそれぞれにはデータプログラム時に使
用される高電圧を発生する高電圧発生手段を接続
し、フリツプフロツプ回路からなるデータ検出記
憶手段により、データ読み出しの際に上記第1お
よび第2のビツトライン間に生じる電位差を増幅
してデータの検出を行ない、データ書き込みの際
には外部から入力される書き込み用データに応じ
たデータを一時的に記憶し、さらに一対のスイツ
チ用トランジスタを上記データ検出記憶手段の第
1、第2のデータ入出力ノードと上記第1、第2
のビツトラインとの間に設け、この一対のスイツ
チ用トランジスタを各動作状態に応じてスイツチ
制御するようにしている。
[発明の実施例] 以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説
明する。
第1図はこの発明に係る半導体記憶装置(メモ
リ)の一実施例の構成を示す回路図である。図に
おいて11および12はビツトラインである。上
記一方のビツトライン11には、それぞれフロー
テインゲートを有するデータ記憶用の不揮発性ト
ランジスタ13および選択用トランジスタ14か
らなるEEPROM型のメモリセル15が複数個接
続されていると共に、上記メモリセル15内のト
ランジスタ13が“1”レベルデータおよび
“0”レベルデータを記憶しているときのそれぞ
れのコンダクタンス中間のコンダクタンスに設定
され、フローテインゲートを有するデータ記憶用
の不揮発性トランジスタ16および選択用トラン
ジスタ17からなる1個のダミーセル18が接続
されている。同様に、上記他方のビツトライン1
2にも上記一方のビツトライン11に接続されて
いるものと同様の構成のメモリセル15が同数接
続されていると共に、上記と同様の構成のダミー
セル18が1個接続されている。また上記ビツト
ライン11,12にはそれぞれ、各メモリセル1
5でデータプログラムを行なう際に使用される高
電圧を発生する高電圧発生回路19が接続されて
いる。
上記メモリセル15およびダミーセル18は図
示しないデコーダにより選択されるようになつて
おり、一方のビツトライン11に接続されたメモ
リセル15が選択される場合には他方のビツトラ
イン12に接続されたダミーセル18が選択さ
れ、これとは逆に他方のビツトライン12に接続
されたメモリセル15が選択される場合には一方
のビツトライン11に接続されたダミーセル18
が選択されるようになつている。また、データの
消去およびプログラムのとき、メモリセル15内
のトランジスタ13の制御ゲートおよび選択用ト
ランジスタ14の各ゲートには、所定値の電圧が
図示しない手段から供給されるようになつてい
る。
20は上記ビツトライン11,12間に生じる
電位差を増幅してデータを検出すると共に、外部
から入力される書き込み用データを一時的に記憶
するデータ検出記憶回路である。このデータ検出
記憶回路20は、PチヤンネルMOSトランジス
タ21,22それぞれおよびNチヤンネルMOS
トランジスタ23,24それぞれからなる
CMOSインバータ25,26の入出力端子間を
交差接続してなるフリツプフロツプ27と、この
フリツプフロツプ27のアクテイブ状態を制御す
るための、電源VDDとこのフリツプフロツプ27
との間に挿入されたPチヤンネルMOSトランジ
スタ28および電源VSSとこのフリツプフロツプ
27との間に挿入されたNチヤンネルMOSトラ
ンジスタ29とで構成されている。上記一方の
CMOSインバータ25の出力端子は上記データ
検出記憶回路20の一方のデータ入出力ノード3
1にされ、このデータ入出力ノード31はトラン
ジスタ32を介して前記一方のビツトライン11
に接続されている。同様に、上記他方のCMOS
インバータ26の出力端子が上記データ検出記憶
回路20の他方のデータ入出力ノード33にさ
れ、このデータ入出力ノード33がトランジスタ
34を介して前記他方のビツトライン12に接続
されている。また、上記データ入出力ノード3
1,33それぞれと電源VDDとの間にはプリチヤ
ージ用のトランジスタ35,36が接続され、デ
ータ入出力ノード31,33相互間にはエコライ
ズ用のトランジスタ37が接続されている。これ
らトランジスタ35,36,37のゲートにはプ
リチヤージ制御信号が並列に供給されるようにな
つている。
さらに、上記データ入出力ノード31,33そ
れぞれと電源VSSとの間にはデータ書き込み用の
トランジスタ41,42が接続されている。また
上記一方のデータ入出力ノード33にはインバー
タ43の入力端子が接続されている。このインバ
ータ43は前記データ検出記憶回路20が前記ビ
ツトライン11,12間の電位差を増幅してデー
タ検出を行なうデータ読み出し動作の際に、上記
データ入出力ノード33に得られるデータを反転
増幅するものであり、その出力データは出力デー
タレベル設定回路44に供給されている。この出
力データレベル設定回路44は、データ読み出し
動作の際、データ読み出しが行われたメモリセル
15が上記ビツトライン11,12のうちどちら
に接続されているかに応じて、上記インバータ4
3の出力データをそのままのレベルで出力する
か、もしくはレベル反転した状態で出力制御する
ものである。すなわち、上記ビツトライン11,
12には共にメモリセル15が接続されているの
で、データ検出記憶回路20で検出されるデータ
をそのままのレベルで出力することはできない。
これは、同じデータが記憶されているメモリセル
15が異なるビツトラインで選択された場合に、
データ検出記憶回路20の検出データが互いにレ
ベルが異なつてしまうからである。そこで、選択
されたメモリセル15がどちらのビツトラインに
接続されているかに応じてデータ検出記憶回路2
0の検出データのレベルを反転する必要が生じ
る。そしてこの出力データレベル設定回路は44
は前記メモリセル15の選択状態に応じて、例え
ばデコーダの出力に応じてデータのレベル設定を
行なう。ここで設定されたデータは出力バツフア
45を介して外部に出力される。
また46は外部からの書き込み用データが入力
される入力バツフアである。この入力バツフア4
6の出力データは入力データ設定回路47に供給
される。この入力データ設定回路47は上記書き
込み用データから互いに相補の関係にある一対の
データを発生するものであり、この相補のデータ
は前記トランジスタ41,42それぞれのゲート
に供給される。
第2図は、前記高電圧発生回路19の具体的構
成を示す回路図である。この回路19はトランジ
スタ51,52,53およびコンデンサ54から
なる周知のチヤージポンプ型の電圧昇圧回路であ
り、トランジスタ51の一端には例えば20Vの高
電圧VPPが供給され、トランジスタ53の一端に
はパルス信号Pが供給される。またこの高電圧発
生回路19では、ビツトライン11(もしくは1
2)と電源VSSとの間にトランジスタ55が挿入
されている。
この高電圧発生回路19において、ビツトライ
ン11(もしくは12)の初期電位が0Vの場合、
トランジスタ51はオフ状態のままにされてビツ
トライン電位は0Vのままにされる。他方、ビツ
トラインの初期電位が0Vでない場合に、この電
位はチヤージポンプの原理でVPPに近い電位まで
昇圧される。
また、この実施例のメモリでは、上記第1図の
ような構成の回路が複数回路設けられている。
次に上記のような構成のメモリの動作を説明す
る。
まず、データ読み出しの場合、予めトランジス
タ32,34は共にオン状態にされる。これによ
り、ビツトライン11,12はデータ検出記憶回
路20に直接に接続される。次に図示しない手段
によりアドレスの変化が検出されると、トランジ
スタ35,36,37が所定期間だけオン状態に
される。この結果、ビツトライン11,12は共
に電源VDDまでプリチヤージされて同電位に設定
される。プリチヤージの終了後、上記変化したア
ドレスに対応して、ビツトライン11,12に接
続されている1個のメモリセル15およびダミー
セル18が選択される。このとき、前記のように
一方のビツトライン11に接続されているメモリ
セル15が選択された場合には他方のビツトライ
ン12に接続されているダミーセル18が選択さ
れ、反対に他方のビツトライン12に接続されて
いるメモリセル15が選択された場合には一方の
ビツトライン11に接続されているダミーセル1
8が選択される。この後、上記ビツトライン1
1,12の電位は共に低下していくが、選択され
たメモリセル15とダミーセル18内のトランジ
スタ13と16のコンダクタンスが予め異なつて
いるので、第3図の特性図に示すようにその記憶
データに応じて、両電位の下がり方が異なる。そ
してビツトライン11,12相互間の電位差が十
分大きくなつた時点でデータ検出記憶回路20内
のトランジスタ28,29が共にオン状態にされ
る。上記両トランジスタ28,29がオン状態に
されるとフリツプフロツプ31が動作可能状態に
され、これによりビツトライン11,12の電位
差が急速に広げられて上記読み出しデータがフリ
ツプフロツプ27に記憶される。例えばいま、ビ
ツトライン11に接続されているメモリセル15
が選択され、このメモリセル15内のトランジス
タ13のコンダクタンスがダミーセル18内のト
ランジスタ16よりも高い状態にあれば、ビツト
ライン11が“0”レベル、ビツトライン12が
“1”レベルの状態でフリツプフロツプ27にデ
ータが記憶される。もちろんこの反応に、上記選
択されたメモリセル15内のトランジスタ13の
コンダクタンスがダミーセル18内のトランジス
タ16よりも低い状態にあれば、ビツトライン1
1が“1”レベル、ビツトライン12が“0”レ
ベルの状態でフリツプフロツプ27にデータが記
憶される。上記のようにしてフリツプフロツプ2
7に記憶されたデータはインバータ43で増幅さ
れ、さらに出力データレベル設定回路44で前記
のようなレベル設定が行われた後、出力バツフア
45を介して外部に出力される。
次にデータ書き込みの動作を説明する。データ
書き込みの場合には第4図のタイミングチヤート
に示すように、ライトイネーブル信号に同期
して外部から書き込み用データが順次供給され
る。そしてまず、1回めに入力したライトイネー
ブル信号に同期して、トランジスタ32,3
4がオフ状態にされる。これによりデータ検出記
憶回路20がビツトライン11,12から切り離
される。さらにデータ検出記憶回路20内のトラ
ンジスタ28,29が共にオン状態にされてフリ
ツプフロツプ31が動作可能状態にされる。この
状態で入力バツフア46を介して1ビツトのデー
タが図示しないデータマルチプレクを介して入力
データ設定回路47に供給される。さらに、第1
図と同様の他の回路でも同様にデータマルチプレ
クを介して各1ビツトのデータが各入力データ設
定回路47に供給される。入力データ設定回路4
7は入力されたデータから互にい相補の関係にあ
る一対のデータを発生する。従つてこの後、この
相補データに応じて前記トランジスタ41,42
のいずれか一方がオン状態に、他方がオフ状態に
それぞれされる。ここでいま、ビツトライン11
に接続されているメモリセル15に“0”レベル
のデータを書き込む場合、入力データ設定回路4
7はトランジスタ41のゲートに“1”レベル信
号を、トランジスタ42のゲートに“0”レベル
信号を供給する。これにより、トランジスタ41
がオン状態に、トランジスタ42がオフ状態にさ
れて、フリツプフロツプ27には一方のデータ入
出力ノード31が“0”レベル、他方のデータ入
出力ノード33が“1”レベルとなるようなデー
タが記憶される。これとは逆にビツトライン11
に接続されているメモリセル15に“1”レベル
のデータを書き込む場合に、入力データ設定回路
47はトランジスタ41のゲートに“0”レベル
信号を、トランジスタ42のゲートに“1”レベ
ル信号を供給する。そしてこれら一連の動作がす
べてフリツプフロツプ27に対して行われること
によつて、各入力データ設定回路47にはこれら
メモリセル15に書き込むためのデータが記憶さ
れる。すなわち、各入力データ設定回路47はペ
ージモードライトにおけるデータストレージを行
なうことになる。
第5図は上記第1図に示されるメモリセル15
に対してデータの消去、プログラムを行なう際
に、トランジスタの各部に供給される電圧の関係
をまとめて示したものである。図においてDは選
択用トランジスタ14のドレインすなわちビツト
ラインに供給される電圧、SGはこの選択用トラ
ンジスタ14のゲートに供給される電圧、CGは
トランジスタ13の制御ゲートに供給される電
圧、Sはトランジスタ13のソースに供給される
電圧である。データ消去の際に上記のような電圧
がメモリセル15に供給されると、不揮発性トラ
ンジスタ13のしきい値電圧Vthが+5Vにされ
る。このときの記憶データ論理を“1”レベルと
する。他方、データ消去後のデータプログラムの
際に上記のような電圧がメモリセル15に供給さ
れると、不揮発性トランジスタ13のしきい値電
圧Vthが−1Vにされる。このときの記憶データ
の論理を“0”レベルとする。なお、この第5図
中の電圧の値はデバイスの設計値、プロセスパラ
メータなどによつて大きく変動するのでこれらの
値は一応の目安である。
上記のように各データ検出記憶回路20でデー
タストレージがなされている状態のとき、例えば
ビツトライン11に接続されている1個のメモリ
セル15に対して“0”レベルのデータを書き込
む場合は次のようにして行なわれる。まず、トラ
ンジスタ32がオフ状態にされ、トランジスタ5
5が所定期間オン状態にされてビツトライン11
がVSSに放電される。そしてデータを書き込むべ
きメモリセル15内の各トランジスタ13,14
のゲートに図示しない手段から、例えば20Vの電
圧がそれぞれ供給される。これにより、上記メモ
リセル15内のトランジスタ13のしきい値電圧
Vthが+5Vに設定されてデータの消去がなされ
る。
次にトランジスタ32,34がオン状態にさ
れ、ビツトライン11,12がデータ検出記憶回
路20に接続される。このときデータ検出記憶回
路20では前記のように、予め一方のデータ入出
力ノード31が“1”レベル、他方のデータ入出
力ノード33が“0”レベルとなるようなデータ
記憶がなされている。このため、トランジスタ3
2,34がオン状態にされると、一方のビツトラ
イン11は“1”レベルに、他方のビツトライン
12は“0”レベルにそれぞれ設定される。“1”
レベルに設定された方のビツトライン11では高
電圧発生回路19で前記のような昇圧動作が行な
われるので、その電位が20V程度の高電位にされ
る。従つて、このメモリセル15内のトランジス
タ14のゲート電圧を20Vに、トランジスタ13
の制御ゲート電圧を0Vにそれぞれ設定すれば
“0”レベルデータが書き込まれることになる。
上記とは逆にデータ検出記憶回路20で予め一
方のデータ入出力ノード31が“0”レベル、他
方のデータ入出力ノード33が“1”レベルとな
るようなデータ記憶が予めなされている場合、ビ
ツトライン11は“0”レベルに設定されるの
で、このビツトライン11に接続されている高電
圧発生回路19では昇圧動作が行われない。従つ
て、トランジスタ14のゲート電圧を20Vに、ト
ランジスタ13の制御ゲート電圧を0Vに設定し
ても、トランジスタ13のしきい値電圧Vthは元
の+5Vのままにされ、“1”レベルデータが記憶
されたままの状態となる。このとき、他方のビツ
トライン12は“1”レベルに設定されるので、
このビツトライン12に接続されている高電圧発
生回路19では昇圧動作が行われる。ところが、
ビツトライン12に接続されているすべてのメモ
リセル15は非選択状態(選択用トランジスタ1
4のゲート電圧が0V)であるので、高電圧発生
回路19で昇圧動作が行われても記憶データは変
化しない。
このように、この実施例におけるデータ検出記
憶回路20は、データ読み出しの際にビツトライ
ン11,12間の電位差を増幅してデータを検出
するセンスアンプと、データ書き込みの際のデー
タストレージの機能を兼備えたものとなつてい
る。このため、データを書き込む際の経路とデー
タを読み出す際の経路を一部重複して使用するこ
とができ、従来のように両経路が全く独立して設
けられる場合に比較して回路構成が簡単化でき
る。
しかもこの実施例回路では次のようにしてデー
タポーリング機能が簡単に実現されている。すな
わち、メモリセル15から“0”レベルのデータ
を読み出す場合にビツトラインは“0”レベルに
されるが、“0”レベルのデータをメモリセル1
5に記憶させる場合に入力データ設定回路47お
よびトランジスタ41,42を介してビツトライ
ンを“1”レベルに設定する必要がある。すなわ
ち、データの消去およびデータプログラムを行な
つている場合、入力バツフア46から入力したデ
ータとインバータ43、出力データレベル設定回
路44および出力バツフア45を介して出力され
るデータとはレベルが反転している。従つて、デ
ータ書込みの動作の終わりにデータ読み出し動作
を追加し、そのときの出力データのレベルを検出
すればデータの消去およびデータプログラムの途
中か否かを判断することができる。これはとりも
なおさずEEPROMのデータポーリング機能であ
り、この実施例回路によれば何の回路も追加せず
にこの機能が実現されている。
第6図はこの発明の変形例の構成を示す回路図
である。
一般にEEPROMなどのメモリに使用されるメ
モリセルの集積回路上の占有面積は前記データ検
出記憶回路20に比べて小さく、各一対のビツト
ライン11,12毎にデータ検出記憶回路20を
接続することはチツプ面積を最少にする上で好ま
しくない。そこでこの変形例のメモリでは、複数
対のビツトライン11A,12A,11B,12
B,11C,12C…11N,12Nに対して1
個のデータ検出記憶回路20を設け、このデータ
検出記憶回路20とN対のビツトライン11A,
12A,11B,12B,11C,12C…11
N,12Nそれぞれとの間に接続されているトラ
ンジスタ32A,32B,32C…32N,34
A,34B,34C…34Nを図示しないカラム
デコーダのデコード信号CDA,CDB,CDC…
CDNで制御するようにしたものである。この回
路でも、デコード信号に応じて選択された特定の
カラムに対して前記と同様の動作を行なわせるこ
とができる。しかも、チツプ面積が最少にでき
る。
[発明の効果] 以上説明したようにこの発明によれば、
EEPROM特有のページモードライトを効率よく
行なえる回路構成を有する半導体記憶装置を提供
することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に係る半導体記憶装置の一実
施例の構成を示す回路図、第2図は上記実施例回
路の一部を具体的に示す回路図、第3図は上記実
施例回路の動作を説明するための特性図、第4図
は上記実施例回路の動作を説明するためのタイミ
ングチヤート、第5図は上記実施例回路を動作さ
せる際の各部の電圧の関係をまとめて示した図、
第6図はこの発明の変形例の構成を示す回路図で
ある。 11,12……ビツトライン、15……メモリ
セル、18……ダミーセル、19……高電圧発生
回路、20……データ検出記憶回路、27……フ
リツプフロツプ、44……出力データレベル設定
回路、47……入力データ設定回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 不揮発性トランジスタからなるメモリセルお
    よびダミーセルがそれぞれ接続された第1および
    第2のビツトラインと、上記第1および第2のビ
    ツトラインそれぞれに接続される高電圧発生手段
    と、第1および第2のデータ入出力ノードを有す
    るフリツプフロツプ回路からなり、データ読み出
    しの際には上記第1および第2のビツトライン間
    に生じる電位差を増幅してデータの検出を行な
    い、データ書き込みの際には外部から入力される
    書き込み用データに応じたデータを一時的に記憶
    するデータ検出記憶手段と、上記データ検出記憶
    手段の第1、第2のデータ入出力ノードと上記第
    1、第2のビツトラインとの間に設けられる一対
    のスイツチ用トランジスタとを具備したことを特
    徴とする半導体記憶装置。 2 前記データ書き込みの際に、前記データ検出
    記憶手段には外部から入力される前記書き込み用
    データの反転データが記憶される特許請求の範囲
    第1項に記載の半導体記憶装置。 3 前記一対のスイツチ用トランジスタは、前記
    データ読み出しおよびデータプログラムの際にオ
    ン状態に設定され、データ消去の際にはオフ状態
    に設定される特許請求の範囲第1項に記載の半導
    体記憶装置。 4 前記データ検出記憶手段が複数の第1および
    第2のビツトラインに対して共通に設けられてい
    る特許請求の範囲第1項に記載の半導体記憶装
    置。 5 前記メモリセルが、データを記憶する不揮発
    性トランジスタおよびこのトランジスタを選択す
    る選択用トランジスタで構成されている特許請求
    の範囲第1項に記載の半導体記憶装置。 6 不揮発性トランジスタからなるメモリセルお
    よびダミーセルがそれぞれ接続された第1および
    第2のビツトラインと、上記第1および第2のビ
    ツトラインそれぞれに接続される高電圧発生手段
    と、第1および第2のデータ入出力ノードを有す
    るフリツプフロツプ回路からなるデータ検出記憶
    手段と、上記データ検出記憶手段の第1、第2の
    データ入出力ノードと上記第1、第2のビツトラ
    インとの間に設けられる一対のスイツチ用トラン
    ジスタと、上記データ検出記憶手段の第1、第2
    のデータ入出力ノードの少なくとも一方に得られ
    るデータを外部に出力制御するデータ出力制御手
    段と、上記データ検出記憶手段の第1、第2のデ
    ータ入出力ノードそれぞれと所定の電位点との間
    に挿入される一対のデータ入力用トランジスタ
    と、外部から入力される書き込み用データに応じ
    て上記一対のデータ入力用トランジスタを制御す
    るデータ入力制御手段とを具備したことを特徴と
    する半導体記憶装置。
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