JPH0244171U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の第一実施例を示すものであつ
て、第１図は真空用二重シールバルブにおけるメ
タルシール部およびＯリングシール部が開放され
ている状態を示す縦断側面図、第２図は真空用二
重シールバルブにおけるメタルシール部が閉じら
れると共にＯリングシール部が開放されている状
態を示す縦断側面図、第３図は第１図におけるシ
ールリングおよびＯリング付近を拡大して示す縦
断側面図である。 図において、１は中空室、２は真空側流路、３
は排気低真空側流路、４は弁箱、５は弁座、６は
内側環状溝、７は外側環状溝、８はメタルシール
リング、９はゴム製Ｏリング、１０はメタルシー
ル開閉用駆動軸、１１は押圧面、１２はメタルシ
ール用弁体、１３は環状端面、１４はＯリングシ
ール開閉用駆動軸、１５は伝動部材、１６はＯリ
ングシール用弁体、１７はシール用第１ベローズ
、１８はシール用第２ベローズ、２１は円環状シ
ール本体、２２は耐圧用螺旋状スプリング、２３
はガイド筒、２６は軸受、２７はボルト、２８は
駆動軸移動部材、３０は回動工具係合用角軸部、
３１はキー、３２はキー溝、３５は雄ねじ部、３
６は回動工具係合用角軸部、３７は雌ねじ孔、３
８は透孔である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 中空室１とその中空室１の一端部の中央に連通
   する真空側流路２と前記中空室１の側部に連通す
   る排気低真空側流路３とを備えている弁箱４にお
   ける前記中空室１の一端部の弁座５に、内側環状
   溝６および外側環状溝７が設けられ、内側環状溝
   ６にメタルシールリング８が嵌合されると共に、
   外側環状溝７にゴム製Ｏリング９が嵌合され、弁
   箱４の中心線上に配置されてメタルシールリング
   ８側に向かつて進退移動されるメタルシール開閉
   用駆動軸１０の一端部に、前記メタルシールリン
   グ８に圧接される截頭円錐形の押圧面１１を備え
   ているメタルシール用弁体１２が取付けられ、前
   記ゴム製Ｏリング９に圧接される環状端面１３を
   備えかつＯリングシール開閉用駆動軸１４により
   伝動部材１５を介して移動されるＯリングシール
   用弁体１６は、前記メタルシール開閉用駆動軸１
   ０の中間部に摺動自在に嵌設され、シール用第１
   ベローズ１７の一端部および他端部はメタルシー
   ル用弁体１２およびＯリングシール用弁体１６に
   気密に固着され、シール用第２ベローズ１８の一
   端部および他端部は、Ｏリングシール用弁体１６
   および弁箱４における弁座５と反対側の端部に気
   密に固着されている真空用二重シールバルブ。