JPH0242743A - 自動搬送制御方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体製造における自動搬送制御方式に係り
、特にその上位コンビエータの統括制御による被処理物
の移載を行う搬送制御方式に関するものである。

（従来の技術） 半導体製造工場の形態は、半導体素子の集積度の増大に
より塵埃を除去するために、自動化が不可欠の要素とな
ってきている。

このようなことから、最近の半導体製造工場は、半導体
ウェハを収納したカセットを倉庫より、半導体ウェハ処
理装置まで処理装置間、そして処理装置より倉庫まで自
動的に搬送するようにしている。この場合、カセットの
搬送は天井空間や地上に設置されている搬送車により行
われ、これらすべての搬送装置は上位コンピュータによ
り統括制御されている。

第３図は係る従来の自動搬送システムの概略構成図であ
る。

この図において、半導体ウェハを処理する処理袋＝２と
処理済半導体ウェハが収納されているカセットを処理装
置２から移載装置４へ搬送する搬送本３と、搬送車３か
らカセットを受は取る移載装Ｗ４とこれら装置を制御す
る上位コンピュータ（以後ＬＣと称する）１より構成さ
れている。

この場合、カセットの処理装置２より移載装置４への搬
送は、処理装置２からのカセット持ち出しの要求である
搬出要求Ｓ１と、カセットの届先である移載装置４から
のカセット持ち込み要求である搬入要求Ｓ２がそれぞれ
ＬＣＩに送信された時に、ＬＣＩがこれら搬出要求Ｓ１
と搬入要求Ｓ２が出揃ったことを確認して決定され、次
に、ＬＣＩが搬送車３に搬送指令Ｓ３を送信することに
より行う。

以上が基本的な搬送方式である。

次に、処理装置２　（又は移載装置４）側でトラブルが
発生した場合の搬送方式について述べる。

処理装置２が搬出要求ＳｌをＬＣＩに送信した後で、ま
だＬＣＩが処理装置２からのカセッＮｉｌ送を決定して
いない時、処理装置２で装置トラブルが発生したとする
。この場合、処理装置２は作業者の操作操作により、オ
フライン（上位系の制御からはずされる）にされ、トラ
ブル対処される。対処後、処理装置２は作業者により再
びオンライン（上位系の制御）にされる。しかし、この
時、処理装置の多くはトラブル時と同じようなカセット
状態で、オンライン立ち上げすることばできず、通常は
全くの最初からの立ち上げとなる。つまり、処理装置２
では搬出要求Ｓ１の対象となっていたカセットを取り除
いてから立ち上げられ、処理装置２としてはオフライン
立ち上げ後、新たに処理前ウェハの入ったキャリアが必
要となるので、搬入要求をしＣ１に送出する。

一方、ＬＣＩでは処理装置、移載装置からの搬入・搬出
要求を受信するごとに、ただ記憶するだけで、処理袋Ｗ
２の同一バソファからの要求としては、搬出要求と搬入
要求がＬＣＩに登録される。ここで、移載装置４から搬
入要求Ｓ２がＬＣＩに送信されると、ＬＣＩは処理装置
２から移載装置４へのキャリアの搬送を決定し、搬送車
３に搬送指令Ｓ３を送信する。搬送車３はＬＣＩからの
指示で処理装置２にキャリアを受取に行くが、キャリア
がないので通常終了となる（誤動作）。ＬＣＩはここで
、処理装置２にキャリアがないことを知り、処理装置２
からの搬出要求を削除する。

次に、処理装置２からは搬入要求が送信済なので、処理
装置２に運べるキャリアがあれば、搬送することになる
。

（発明が解決しようとする課Ｂ） しかしながら、以上述べた従来の方法では、ＬＣｌが管
理する処理装置、移載装置が多数台設置され、また搬送
も昼夜とわず行われる中で装置内トラブル、搬送トラブ
ルが発生した場合、作業者が介在し、また復帰は必ずし
もトラブル前と同一状態にできないため、ＬＣＩが管理
する搬入要求、搬出要求と処理装置及び移載装置の実際
のカセット有無状態に食い違いが発生していた。これに
より、搬入要求及び搬出要求によって決定される搬送の
誤動作が起きるという問題点があった。

本発明は、以上述べたように、上位コンピュータが管理
する処理装置、移載装置にトラブルが発生した場合、Ｌ
ＣＩが管理する搬入要求、搬出要求と処理装置及び移載
装置の実際のカセット有無状態に食い違いが発生し、搬
送の誤動作が起こるという問題点を除去し、自動搬送シ
ステムの搬送制御を的確に行うことができる自動搬送制
御方式を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記問題点を解決するために、自動搬送シス
テムの上位コンピュータの統括制御による搬送制御を行
う場合において、上位コンピュータによる搬入及び搬出
要求の管理を処理装置又は移載装置のカセット置場毎に
管理し、１つのキャリア置場には移載装置のカセット置
場毎に管理し、１つのキャリア置場には１つの搬入要求
又は１つの搬出要求しか登録しないようにし、（又はど
らちも登録しない）、最新の搬入又は搬出要求があった
場合は、最新の前記要求を重ね書きするようにする手段
と、かつ、上位コンピュータが搬送可能な搬入要求及び
搬出要求を見出した場合、該当する処理装置又は移載装
置に対して、カセット有無状態の問い合わせを行い、そ
の情報に食い違いがあった場合は、問い合わせ情報をそ
のカセット置場の情報として書き換える手段を設けたこ
とにより、上位コンピュータが管理する搬入要求、搬出
要求と処理装置及び移載装置の実際のカセット有無状態
に食い違いが起きないように、また、食い違った場合で
も、修正できるようにしたものである。

（作用） 本発明によれば、上記したように自動搬送システムの搬
送制御方法において、上位コンピュータは処理装置又は
移載装置からの搬出及び搬入要求をカセット置場毎に管
理し、また、前記要求の登録で重ね書き修正を行い、更
に、処理装置及び移載装置に対してカセットの有無状態
の問い合わせの送受信を行うことにより、上位コンピュ
ータが管理する搬出及び搬入要求を修正する手段を設け
るようにしたので、システム内装置にトラブルが発生し
た場合においても、上位コンピュータが管理する搬出及
び搬入要求と、処理装置及び移載装置の実際のカセット
の有無に食い違いが起こることなく搬送の誤動作をなく
すことができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の実施例を示す自動搬送システムの具体
的構成図、第２図は本発明の実施例を示す自動搬送シス
テムの概略構成図である。

図中、１０は上位コンピュータであり、この上位コンピ
ュータ１０はＣＰＵ　（中央処理装置）１１、ＲＯＭ１
２、ＲＡＭ１３、入出力インタフェース１４からなる。

２０は半導体ウェハの処理装置（以下、単に処理装置と
いう）５０のためのコンピュータであり、このコンピュ
ータ２０はＣＰＵ　（中央処理装置Ｆ）　２１、ＲＯＭ
２２、ＲＡＭ２３、入出力インタフェース２４からなる
。ここで、ＲＡＭ２３には被処理装置のカセット置場に
対応したアドレスを有しており、カセット置場に配置さ
れるセンサからの情報により書換できるようになってい
る。３０は移載装置６０のためのコンピュータであり、
このコンピュータ２０はＣＰＵ　（中央処理装置）３１
、ＲＯＭ３２、ＲＡＭ３３、入出力インタフェース３４
からなる。４０は搬送車７０のためのコンピュータであ
り、このコンピュータ４０はＣＰＵ　（中央処理装置）
４１、ＲＯＭ４２、ＲＡＭ４３、入出力インタフェース
４４からなる。また、５１は処理装置１ｆ５０の半導体
ウェハのカセット置場、５２はそのカセット置場５１に
設けられるセンサである。

そこで、この搬送制御方式は、第１図及び第２図に示さ
れるように、処理装置５０と処理済ウェハが収納されて
いるカセットを処理装置５０から移載装置６０へ搬送す
る搬送車７０とこの搬送車７０からカセットを受は取る
移ｆ２装置６０とこれらを統括制御する上位コンピュー
タ１０からなり、この上位コンピュータＩＯから搬送に
先立ち処理語Ｗ５０と移載装置６０へ通知される。カセ
ット有無問い合わせ信号Ｓ６．　Ｓ８及びその応答信号
Ｓ７．　Ｓ９により、上位コンピュータ１０が管理する
搬入要求、搬出要求と処理装置５０及び移載装置６０の
実際のカセット有無状態に食い違いが発生した場合でも
、上位コンピュータ１０が管理する前記情報を物理状態
と同じように修正するように構成されている。

第４図はＬＣＩＯが処理装置５０より移載装置６０へ被
処理物の搬送を決定する場合のフローチャートを示して
おり、左側は上位コンピュータｌＯ側を示しており、右
側は処理装置５０及び移載装置６０側を示している。

以下処理装置５０より移載装置６０への被処理物の搬送
決定までを説明する。

処理装置５０はステップ■において力セントの搬出可の
状態待ち、又はステップ■においてＬＣＩＯからのカセ
ット有無問い合わせ信号Ｓ６の待ち状態にあり、カセッ
トの搬出が可能になると、ステップ■においてＬＣＩＯ
に対して搬出要求信号Ｓ４を送信する。

移載装置６０はステップ■においてカセットの搬入可の
状態待ち又はステップ■においてＬＣＩＯからのカセッ
ト有無問い合わせ信号Ｓ８の待ち状態にあり、カセット
の搬入が可能になると、ステップ■においてＬＣＩＯに
対して搬入要求信号Ｓ５を送信する。

ＬＣＩＯはステップ■において処理装置５０からの搬出
要求信号Ｓ４及びステップ■における移載装置６０から
の搬入要求信号Ｓ５の待ち状態にある。

ここで、ＬＣＩＯは処理装置５０からの搬出要求信号Ｓ
４を受信すると、ステップ■においてＬＣＩＯ内の管理
情報は今まで管理されていた情報をＲＡＭ１３を削除し
、新たに搬出要求を処理装置５０に対して登録する（重
ね書き修正）。また、移載装置６０からの搬入要求信号
Ｓ５を受信すると、上記同様、移載装置６０に対して搬
入要求の重ね書き修正登録を行う。ＬＣＩＯはステップ
＠において処理装置５０からの搬出要求及び移載装置６
０からの搬入要求があると、ステップ０において処理装
置５０に対して、カセット問い合わせ信号Ｓ６を送信す
る。そして、ステップ■においてカセット有無応答信号
Ｓ７の受信において、カセット無の場合は、ステップ［
相］において処理装置５０の搬出要求を削除修正し、移
載は中止となる。カセット有の場合、次に、ステップ［
相］において移載装置６０に対してカセット有無の問い
合わせ信号Ｓ８を送信する。更に、ステップ［相］にお
いて力セント有無応答信号Ｓ９の受信において、カセッ
ト有の場合は、ステップ［相］においてステップ［相］
における移載袋ｆｆ６０の搬入要求を削除修正し、移載
ば中止となる。カセット無の場合は搬送処理を行う。

一方、処理装置５０はステップ■においてＬＣＩＯがら
カセッ有無問い合わせ信号Ｓ６を受信すると、ステップ
■においてＬＣＩＯに対して力セント有無応答信号Ｓ７
を送信する。

一方、移載装置５０においても同様にステップ■におい
てＬＩＪＯから、カセット有無問い合わせ信号Ｓ８を受
信すると、ステップ■においてＬＣＩＯに対して力セン
ト有無応答信号Ｓ９を送信する。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、上記し
たように自動搬送システムにおける搬送制御において、
上位コンピュータは処理装置又は移載装置からの搬出及
び搬入要求をカセット置場毎に管理し、また前記要求の
登録で重ね書き修正を行い、更に処理装置及び移載装置
に対してカセットの有無状態の問い合わせの送受信を行
うことにより、上位コンピュータが管理する搬出及び搬
入要求を修正する手段を設けたので、システム内装置に
トラブルが発生した場合においても、上位コンピュータ
が管理する搬出及び搬入要求と、処理装置及び移ｉ！装
置の実際のカセット有無に食い違いが起こることなく、
搬送の誤動作をなくすことができる。従って、搬送制御
を的確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す自動搬送システムの具体
的構成図、第２図は本発明の実施例を示す自動搬送シス
テムの概略構成図、第３図は従来の自動搬送システムの
概略構成図、第４図は本発明の自動搬送処理の動作フロ
ーチャートである。 １０−・・上位コンピュータ、１１．２１．３１．４１
・ＣＰＵ（中央処理装置）　、１２．２２．３２．４２
−ＲＯＭ、１３、２３．３３．４３・・・ＲＡＭ、１４
．２４．３４．４４・・・人出カインタフェース、２０
・・・処理装置用コンピュータ、３０・・・移載装置用
コンピュータ、４０・・・搬送車用コンピュータ、５０
・・・半導体ウェハの処理装置、５１・・・カセット置
場、５２・・・センサ、６０・・・移載装置、７０・・
・搬送車。 特許出願人　沖電気工業株式会社 代理人　弁理士　　清　水　　守（外１名）Ｓ４：夛？
：！：―未。 Ｓｓ　：　’Ｒ）Ｘ穿禾′ 第 図 度を呆）曾我嘴乙叉シＺタムっ虞を時に柳す矢−２第３
図 讃送鷹理、 Ａ優ν訂、臼セ１訝送賛ｄ乍プロー升−μ第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 上位コンピュータの統括制御ｎにより被処理物の搬送が
   行われる搬送装置と、被処理物の移載を行う移載装置と
   、半導体ウェハの処理を行う処理装置を有する自動搬送
   制御方式において、 （ａ）前記上位コンピュータは前記移載装置からの搬出
   又は搬入要求を被処理物の置場毎に管理し、前記要求を
   重ね書き修正登録する手段と、 （ｂ）前記上位コンピュータと前記移載装置間で被処理
   物の有無問い合わせの送受信を行うことにより、前記上
   位コンピュータの管理する搬出及び搬入要求を修正する
   手段とを具備してなることを特徴とする自動搬送制御方
   式。