JPH0238952A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH0238952A JPH0238952A JP18989888A JP18989888A JPH0238952A JP H0238952 A JPH0238952 A JP H0238952A JP 18989888 A JP18989888 A JP 18989888A JP 18989888 A JP18989888 A JP 18989888A JP H0238952 A JPH0238952 A JP H0238952A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は圧延鋼板等の移動する被検材の表面欠陥を効
率良く、且つ、高精度で検査することができるようにし
た表面欠陥検査装置の改良に関する。
率良く、且つ、高精度で検査することができるようにし
た表面欠陥検査装置の改良に関する。
圧延ラインの鋼板等の、移送中の被検材の表面欠陥の検
査は、従来、オペレータによる目視検査、レーザー光等
を被検付表゛面に照射して、その反射を利用して欠陥を
検査する方法、例えば、特開昭53−12383、特開
昭54−118289、特公昭58−14984等の各
号報に開示されているように、カメラとストロボにより
被検材の表面の静止画像を捕らえ、これから欠陥検査を
行う方法等がある。
査は、従来、オペレータによる目視検査、レーザー光等
を被検付表゛面に照射して、その反射を利用して欠陥を
検査する方法、例えば、特開昭53−12383、特開
昭54−118289、特公昭58−14984等の各
号報に開示されているように、カメラとストロボにより
被検材の表面の静止画像を捕らえ、これから欠陥検査を
行う方法等がある。
上記目視検査は、被検材のラインスピードが一定値以上
となると見逃しが増加し、未検査の状態に近くなるとい
う問題点がある。 又、レーザー光等の反射を利用した欠陥検査装置は、被
検材の表面欠陥の種類によっては、必ずしも目視検査と
比較して優れた合致率を示すものではなく、ある程度の
誤判定を許容しながら使用しなければならないという問
題点がある。 又、前記カメラとストロボを利用した表面欠陥検査方法
は、これのみでは被検材の表面における欠陥の有無が不
明であるため、被検材の全長に渡って検査する必要があ
り、表面欠陥がある部分のみを抽出して表面欠陥検査を
行うことができないという問題点がある。
となると見逃しが増加し、未検査の状態に近くなるとい
う問題点がある。 又、レーザー光等の反射を利用した欠陥検査装置は、被
検材の表面欠陥の種類によっては、必ずしも目視検査と
比較して優れた合致率を示すものではなく、ある程度の
誤判定を許容しながら使用しなければならないという問
題点がある。 又、前記カメラとストロボを利用した表面欠陥検査方法
は、これのみでは被検材の表面における欠陥の有無が不
明であるため、被検材の全長に渡って検査する必要があ
り、表面欠陥がある部分のみを抽出して表面欠陥検査を
行うことができないという問題点がある。
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、移動する鋼板等の被検材の表面欠陥を高速で、且
つ;5精度に検査することができるようにした表面欠陥
情報装!を提供することを目的とする。
って、移動する鋼板等の被検材の表面欠陥を高速で、且
つ;5精度に検査することができるようにした表面欠陥
情報装!を提供することを目的とする。
この発明は、移動する被検材の表面に光線を照射し、そ
の反射状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出
器と、この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基
づき、該表面欠陥の種類及びグレードを計算するための
計算機と、この計算機から出力される表面欠陥の種類及
びグレード信号に基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照
射する投光器及びその照射タイミングで該欠陥を撮影す
る異なる視野の複数のカメラと、を有してなり、前記計
X機からの表面欠陥情報に基づき、該欠陥の撮影に適し
た視野のカメラが少なくとも1台選択され、これにより
表面欠陥を撮影する表面欠陥検査装置を構成することに
よって上記目的を達成するものである。
の反射状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出
器と、この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基
づき、該表面欠陥の種類及びグレードを計算するための
計算機と、この計算機から出力される表面欠陥の種類及
びグレード信号に基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照
射する投光器及びその照射タイミングで該欠陥を撮影す
る異なる視野の複数のカメラと、を有してなり、前記計
X機からの表面欠陥情報に基づき、該欠陥の撮影に適し
た視野のカメラが少なくとも1台選択され、これにより
表面欠陥を撮影する表面欠陥検査装置を構成することに
よって上記目的を達成するものである。
この発明においては、先ず、被検材の表面欠陥を検出器
によって検出し、その検出信号に基づいて計X、機によ
り表面欠陥の種類及びグレードを計算し、然る後、撮影
が必要な表面欠陥のみこれに適した視野を有するカメラ
を利用して撮影し、静止画像を得て、検査員により、能
率良く、且つ高精度に表面欠陥を検査することができる
。
によって検出し、その検出信号に基づいて計X、機によ
り表面欠陥の種類及びグレードを計算し、然る後、撮影
が必要な表面欠陥のみこれに適した視野を有するカメラ
を利用して撮影し、静止画像を得て、検査員により、能
率良く、且つ高精度に表面欠陥を検査することができる
。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
この実施例は、第1図に示されるように、圧延ラインに
おける鋼板10の表面にレーザー又は光を照射し、その
反射光を受光する投受光器を含み、前記反射光に基づい
て鋼板10の表面欠陥を検出する検出器12と、この検
出器12により得られた表面欠陥検出信号をハード的に
処理するための欠陥検出回路14と、この欠陥検出回路
14からの信号を取込み、ソフト的に処理し、表面欠陥
の種類及びグレードの判定を行う計!11116と、こ
の計算機16から出力され、る表面欠陥の種類及びグレ
ード信号に基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照射する
ストロボ18及びその照射タイミングで該欠陥を撮影す
る広視野カメラ2OA及び狭視野カメラ20B、これら
を制御する制御回路22を含む欠陥検査装置24と、を
含んで構成されている。 この欠陥検査装置24は、池に、画像処理回路26、画
像入出力回路28、タイミング制御回路18A及び21
と、モニタ30とキーボード32が含まれている。 又前記計算116には該計算機で判定された表面欠陥の
情報を表示するためのCRT16A及びこのCRT16
Aに表示された表面欠陥の情報に対して欠陥検査装置2
4で検査するか否かを検査員が入力するためのキーボー
ド16Bとが接続されている。 更に、計算8116には、パルス発生器34から出力さ
れるパルス信号が゛入力されるようになっている。 このパルス発生器34は、回教10に対してスリップが
発生しないように転接するロール36に連結され、該ロ
ール36の回転数に対応してパルス信号を出力するもの
である。 前記欠陥検査装置24における#J御回路22は、計x
、8116から入力される表面欠陥情報及び、計X機1
6が、パルス発生器34からのパルス信号に基づいて、
検出器12で検出された表面欠陥のトラッキングにより
、該表面欠陥がストロボ18及びカメラ2OA、20B
の位置に到達しなというタイミング信号に基づいて、タ
イミング制御回路18A、2OAを介してストロボ18
及び広視野カメラ20A又は狭視野カメラ20Bを作動
させるものである。 ここで、制御回路22は、計算fi16からの表面欠陥
情報に基づき、該表面欠陥の撮影にt&適な視野のカメ
ラを広視野カメラ2OA又は狭視野カメラ20Bから選
択するようにされている。 即ち、第3図に示される基準により、表面欠陥が点状欠
陥の場合は、狭視野カメラ20Bが、線状欠陥又は面状
欠陥の場合は広視野カメラ2OAが、それぞれ選択され
るように設定されている。 前記画像入出力回路28は、カメラ2OA又は20Bに
よって得られた鋼板10の表面欠陥の画像情報を取込む
ものである。 又画像処理回路26は、画像入出力回路28に取込まれ
た画像信号に基づき、欠陥判定等の画像処理を行うと共
に、モニタ30に欠陥画像を静止画像として表示させる
ものである。 前記キーボード32は、モニタ30に表示された欠陥画
像により、表面欠陥の種類グレード等の2次判定がなさ
れた後、その判定結果を、検査員により画像処理回路2
6、制御回路22を経て計算機16に入力させるもので
ある。 次に上記実施例に係る表面欠陥検査装置により銅板10
の表面欠陥を検査する過程につき説明する。 鋼板10が、圧延ラインにおいて第1図の左方に移動し
ている間、検出器12はその表面にレーザー又は光を投
光し、且つ、その反射光を受光器により受光して、反射
状態から、鋼板10の表面にある欠陥を検出し、欠陥検
出回路14を経て計算11116に表面欠陥情報を出力
する。 計$t1116は、欠陥検出回路14からの信号を処理
し、検出した表面欠陥の種類及びグレードの判定(1次
判定)を行う。 一方、計Xal16は、パルス発生器34で入力される
パルス信号に基づき、検出器12が検出した表面欠陥が
、検出点XOから、カメラ2OA、20Bの撮影ポイン
トXcLに到達するまでの距離×の開トラッキングし、
カメラ2OA、20Bとストロボ18のタイミング合わ
せ時間を考慮して、該表面欠陥が前記撮影ポイントXα
の少し前に到達した時点で、欠陥検査装置24における
制御回路22にタイミング信号を出力する。 ここで、計算機16で1次判定された表面欠陥の情報は
、CRT16Aに表示され、CRT16Aに表示された
表面欠陥情報に対して、検査員が、予めキーボード16
Bにより設定しである条件に基づき計算fi16から制
御回路22に送られる。 制御回路22は、計算機216から入力される表面欠陥
情報に基づいて、例えば第5図に示されるような点状欠
陥の場合は、狭視野カメラ20Bを、又、第6図又は第
7図に示されるような線状又は面状欠陥の場合は広視野
カメラ2OAをそれぞれ選択すると共に、入力されるタ
イミング信号に基づき、当該表面欠陥が撮影ポイントX
(Lに到達した時点で、タイミング制御回路18A、2
1を介して、ストロボ18を発光させ、同時に、カメラ
2OA又は20Bにより、鋼板10の表面欠陥を撮影さ
せる。 撮影された鋼板10の表面欠陥情報は、画像として画像
入出力回路28に取込まれ、この画像入出力回路28に
取込まれな画像は画像処理回路26で欠陥判定等の画像
処理が行われ、更にモニタ30に表面欠陥が静止画像と
して表示される。 このようにして、モニタ30に静止画像として表示され
た表面欠陥画像は、検査員により表面欠陥の種類、グレ
ード等の2次判定を受ける。 検査員はその2次判定の結果を、キーボード32から正
確な表面欠陥情報として、再度針3Efi16に入力す
る。この入力された表面欠陥情報は、事前に計算116
で1次判定された表面欠陥情報とを突合わせがなされる
。 前記計算機16の1次判定結果は、例えば第4図に示さ
れるように、CRT16Aに表示される。 即ち、第4図のマトリックスは、縦軸に欠陥グレード、
横軸に欠陥種類を表示するもので、マトリックス中のY
ES、Noは、計算機16がらカメラ2OA、20B及
びストロボ18を利用した欠陥検査装置24に対して検
出した欠陥を出力する(YES)か否(NO)かを表示
するものである。 第4図の表示例では、計算機16による判定が、点状欠
陥イ、欠陥グレードがC1とされ、マトリックスに従い
欠陥情報は出力される(YES)こととなる。 ここで、前記マトリックス内のYES又はNOの判定は
、検査員による目視の判定結果と一致するように設定す
る。 例えばマトリックス内を、全てYESと設定すると、検
出器12によって検出された全ての表面欠陥の情報が制
御回路22に送られて、カメラ20A、20Bによって
撮影され、モニタ30に表示される。逆にマトリックス
内を全てNOと設定すれば、全ての欠陥情報が送られな
いので、カメラ2OA、20Bによって撮影されること
はない。 ところで、一般に、冷延鋼板等の欠陥は、形態的には、
前記のような点状欠陥、線状欠陥及び面状欠陥の3つに
大きく分類される。 点状欠陥としては押疵及びタルハゲがあり、線状欠陥と
しては、スケール及びスリーバ、又は面状欠陥としては
油染、汚れ等の種類がある。 前記実施例においては、1次判定による欠陥の形態的分
類、即ち点状欠陥、線状欠陥又は面状欠陥の分類に従っ
て、カメラ2OA、20Bが選択されるものであるが、
本発明はこれに限定されるものでなく、上記のような欠
陥種類、即ち押疵、タルハゲ、スケール、スリーバ、油
染あるいは汚れによって、カメラ20A、20Bを選択
するようにしてもよい。 ス、点状欠陥、線状欠陥及び面状欠陥を、広視野カメラ
2OAで撮影した場合は、第5図(A)、第6図(A)
、第7図(A)に示されるようになり、又、狭視野カメ
ラ20B″′c撮影した場合は、第5図(B)、第6図
(B)及び第7図(B)にそれぞれ示されるようになる
。 これらの例から明らかなように、点状欠陥は欠陥部の面
積が小さいため、狭視野カメラ20Bによって撮影した
ほうが、モニタ30上で検査員が欠陥を判定する場合、
又、画像処理により自動的に判定する場合に有利である
。 反対に、線状欠陥及び面状欠陥については広視野カメラ
2OAにより撮影したほうが有利である。 しかしながら、本発明はこれに限定されるものでなく、
例えば、広視野カメラ2OAと狭視野カメラ20Bによ
り同時に同じ欠陥を撮影して、得られた画像から欠陥の
認識の容易な画面を選択するようにしても良い。 更に、上記実施例は、鋼材10の進行方向に2つのカメ
ラ20A、20Bを配置し、且つ、照明用のストロボ1
8を配置したものであるが、本発明はこれに限定される
ものでなく、カメラは、3台以上の視野の異なるカメラ
であっても良く、又、カメラを鋼材10の幅方向に配列
しても良く、更には、ストロボ以外の照明手段を用いる
ようにしても良い。 又、上記実施例において、第4図に示されるマトリック
スにおける欠陥グレードの例として、軽欠陥から重大欠
陥を、A〜Eの順序で表示するようにしたが、一般的に
、重大欠陥は検出器12、欠陥検出回路14の検出に基
づき、計Xfi16の1次判定でほぼ検出す゛ることが
でき、該計算機16の判定も比較的正確である。 従って外観基準が比較的緩い場合このような重大欠陥は
、通常検査員による2次判定の頻度を少なくすることが
できる。 しかしながら、外観検査基準が厳しい場合微少欠陥等の
、第4図のマトリックスにおいてはグレードA、Bの軽
欠陥の場合、製品の品質保証上必ず判定を要するもので
あり、計算機16による1次判定結果は参考として、最
終的に検査員の2次判定が必要となる。 従って、このような場合は、第4図のマトリックスのよ
うに、CRT16Aを設定しておけば、計算機16によ
る1次判定に曖昧さを多く含んだ欠陥について欠陥画像
を撮影し、検査員による2次判定結果を最終判定とした
検査を行うことができる。 又この実施例においては、モニタ30に表示された欠陥
画像に基づく、検査員の2次判定結果が、キーボード3
2から制御回路22を経て計算機16に送られるので、
これと1次判定結果を突合わせることにより、オンライ
ンで学習することにより1次判定結果の向上を図ること
ができる。 なお上記実施例は圧延ラインにおける鋼板10の表面欠
陥を検査する場合についてのものであるが、本発明はこ
れに限定されるものでなく、鋼板以外の移動する被検材
め表面における表面欠陥を検査する場合につき一般的に
適用されるものである。 【発明の効果1 本発明は上記のように構成したので、計X機からの欠陥
情報出力時のみ投光器及びカメラにより表面欠陥の画像
を撮影し、検査員がこの画像を検査するだけで足りるの
で、能率の良い検査を行うことができ、又検査員は表面
欠陥を現す静止画像のみをチエツクするので、検査可能
なラインスピードの制限を解除することができ、更に、
2次判定で検査員による静止画像に基づく正確な表面欠
陥検査を得られるのみならず、計X81により学習する
ことで1次判定の精度向上を図ることができ、又、i&
週視野のカメラを用いて撮影することにより、微少欠陥
の検出、判定が容易となると共に、その池の欠陥につい
ても、検査員の判定効率を向上させることができ、その
結果、連続焼鈍ラインのような中間工程で、従来、外観
検査基準の厳しい製品を精整等の次工程に送って検査し
ていたものを、送る必要がなくなり、工程の短縮、歩留
りの向上、次工程の節時化、省力等の優れた効果を有す
る。
おける鋼板10の表面にレーザー又は光を照射し、その
反射光を受光する投受光器を含み、前記反射光に基づい
て鋼板10の表面欠陥を検出する検出器12と、この検
出器12により得られた表面欠陥検出信号をハード的に
処理するための欠陥検出回路14と、この欠陥検出回路
14からの信号を取込み、ソフト的に処理し、表面欠陥
の種類及びグレードの判定を行う計!11116と、こ
の計算機16から出力され、る表面欠陥の種類及びグレ
ード信号に基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照射する
ストロボ18及びその照射タイミングで該欠陥を撮影す
る広視野カメラ2OA及び狭視野カメラ20B、これら
を制御する制御回路22を含む欠陥検査装置24と、を
含んで構成されている。 この欠陥検査装置24は、池に、画像処理回路26、画
像入出力回路28、タイミング制御回路18A及び21
と、モニタ30とキーボード32が含まれている。 又前記計算116には該計算機で判定された表面欠陥の
情報を表示するためのCRT16A及びこのCRT16
Aに表示された表面欠陥の情報に対して欠陥検査装置2
4で検査するか否かを検査員が入力するためのキーボー
ド16Bとが接続されている。 更に、計算8116には、パルス発生器34から出力さ
れるパルス信号が゛入力されるようになっている。 このパルス発生器34は、回教10に対してスリップが
発生しないように転接するロール36に連結され、該ロ
ール36の回転数に対応してパルス信号を出力するもの
である。 前記欠陥検査装置24における#J御回路22は、計x
、8116から入力される表面欠陥情報及び、計X機1
6が、パルス発生器34からのパルス信号に基づいて、
検出器12で検出された表面欠陥のトラッキングにより
、該表面欠陥がストロボ18及びカメラ2OA、20B
の位置に到達しなというタイミング信号に基づいて、タ
イミング制御回路18A、2OAを介してストロボ18
及び広視野カメラ20A又は狭視野カメラ20Bを作動
させるものである。 ここで、制御回路22は、計算fi16からの表面欠陥
情報に基づき、該表面欠陥の撮影にt&適な視野のカメ
ラを広視野カメラ2OA又は狭視野カメラ20Bから選
択するようにされている。 即ち、第3図に示される基準により、表面欠陥が点状欠
陥の場合は、狭視野カメラ20Bが、線状欠陥又は面状
欠陥の場合は広視野カメラ2OAが、それぞれ選択され
るように設定されている。 前記画像入出力回路28は、カメラ2OA又は20Bに
よって得られた鋼板10の表面欠陥の画像情報を取込む
ものである。 又画像処理回路26は、画像入出力回路28に取込まれ
た画像信号に基づき、欠陥判定等の画像処理を行うと共
に、モニタ30に欠陥画像を静止画像として表示させる
ものである。 前記キーボード32は、モニタ30に表示された欠陥画
像により、表面欠陥の種類グレード等の2次判定がなさ
れた後、その判定結果を、検査員により画像処理回路2
6、制御回路22を経て計算機16に入力させるもので
ある。 次に上記実施例に係る表面欠陥検査装置により銅板10
の表面欠陥を検査する過程につき説明する。 鋼板10が、圧延ラインにおいて第1図の左方に移動し
ている間、検出器12はその表面にレーザー又は光を投
光し、且つ、その反射光を受光器により受光して、反射
状態から、鋼板10の表面にある欠陥を検出し、欠陥検
出回路14を経て計算11116に表面欠陥情報を出力
する。 計$t1116は、欠陥検出回路14からの信号を処理
し、検出した表面欠陥の種類及びグレードの判定(1次
判定)を行う。 一方、計Xal16は、パルス発生器34で入力される
パルス信号に基づき、検出器12が検出した表面欠陥が
、検出点XOから、カメラ2OA、20Bの撮影ポイン
トXcLに到達するまでの距離×の開トラッキングし、
カメラ2OA、20Bとストロボ18のタイミング合わ
せ時間を考慮して、該表面欠陥が前記撮影ポイントXα
の少し前に到達した時点で、欠陥検査装置24における
制御回路22にタイミング信号を出力する。 ここで、計算機16で1次判定された表面欠陥の情報は
、CRT16Aに表示され、CRT16Aに表示された
表面欠陥情報に対して、検査員が、予めキーボード16
Bにより設定しである条件に基づき計算fi16から制
御回路22に送られる。 制御回路22は、計算機216から入力される表面欠陥
情報に基づいて、例えば第5図に示されるような点状欠
陥の場合は、狭視野カメラ20Bを、又、第6図又は第
7図に示されるような線状又は面状欠陥の場合は広視野
カメラ2OAをそれぞれ選択すると共に、入力されるタ
イミング信号に基づき、当該表面欠陥が撮影ポイントX
(Lに到達した時点で、タイミング制御回路18A、2
1を介して、ストロボ18を発光させ、同時に、カメラ
2OA又は20Bにより、鋼板10の表面欠陥を撮影さ
せる。 撮影された鋼板10の表面欠陥情報は、画像として画像
入出力回路28に取込まれ、この画像入出力回路28に
取込まれな画像は画像処理回路26で欠陥判定等の画像
処理が行われ、更にモニタ30に表面欠陥が静止画像と
して表示される。 このようにして、モニタ30に静止画像として表示され
た表面欠陥画像は、検査員により表面欠陥の種類、グレ
ード等の2次判定を受ける。 検査員はその2次判定の結果を、キーボード32から正
確な表面欠陥情報として、再度針3Efi16に入力す
る。この入力された表面欠陥情報は、事前に計算116
で1次判定された表面欠陥情報とを突合わせがなされる
。 前記計算機16の1次判定結果は、例えば第4図に示さ
れるように、CRT16Aに表示される。 即ち、第4図のマトリックスは、縦軸に欠陥グレード、
横軸に欠陥種類を表示するもので、マトリックス中のY
ES、Noは、計算機16がらカメラ2OA、20B及
びストロボ18を利用した欠陥検査装置24に対して検
出した欠陥を出力する(YES)か否(NO)かを表示
するものである。 第4図の表示例では、計算機16による判定が、点状欠
陥イ、欠陥グレードがC1とされ、マトリックスに従い
欠陥情報は出力される(YES)こととなる。 ここで、前記マトリックス内のYES又はNOの判定は
、検査員による目視の判定結果と一致するように設定す
る。 例えばマトリックス内を、全てYESと設定すると、検
出器12によって検出された全ての表面欠陥の情報が制
御回路22に送られて、カメラ20A、20Bによって
撮影され、モニタ30に表示される。逆にマトリックス
内を全てNOと設定すれば、全ての欠陥情報が送られな
いので、カメラ2OA、20Bによって撮影されること
はない。 ところで、一般に、冷延鋼板等の欠陥は、形態的には、
前記のような点状欠陥、線状欠陥及び面状欠陥の3つに
大きく分類される。 点状欠陥としては押疵及びタルハゲがあり、線状欠陥と
しては、スケール及びスリーバ、又は面状欠陥としては
油染、汚れ等の種類がある。 前記実施例においては、1次判定による欠陥の形態的分
類、即ち点状欠陥、線状欠陥又は面状欠陥の分類に従っ
て、カメラ2OA、20Bが選択されるものであるが、
本発明はこれに限定されるものでなく、上記のような欠
陥種類、即ち押疵、タルハゲ、スケール、スリーバ、油
染あるいは汚れによって、カメラ20A、20Bを選択
するようにしてもよい。 ス、点状欠陥、線状欠陥及び面状欠陥を、広視野カメラ
2OAで撮影した場合は、第5図(A)、第6図(A)
、第7図(A)に示されるようになり、又、狭視野カメ
ラ20B″′c撮影した場合は、第5図(B)、第6図
(B)及び第7図(B)にそれぞれ示されるようになる
。 これらの例から明らかなように、点状欠陥は欠陥部の面
積が小さいため、狭視野カメラ20Bによって撮影した
ほうが、モニタ30上で検査員が欠陥を判定する場合、
又、画像処理により自動的に判定する場合に有利である
。 反対に、線状欠陥及び面状欠陥については広視野カメラ
2OAにより撮影したほうが有利である。 しかしながら、本発明はこれに限定されるものでなく、
例えば、広視野カメラ2OAと狭視野カメラ20Bによ
り同時に同じ欠陥を撮影して、得られた画像から欠陥の
認識の容易な画面を選択するようにしても良い。 更に、上記実施例は、鋼材10の進行方向に2つのカメ
ラ20A、20Bを配置し、且つ、照明用のストロボ1
8を配置したものであるが、本発明はこれに限定される
ものでなく、カメラは、3台以上の視野の異なるカメラ
であっても良く、又、カメラを鋼材10の幅方向に配列
しても良く、更には、ストロボ以外の照明手段を用いる
ようにしても良い。 又、上記実施例において、第4図に示されるマトリック
スにおける欠陥グレードの例として、軽欠陥から重大欠
陥を、A〜Eの順序で表示するようにしたが、一般的に
、重大欠陥は検出器12、欠陥検出回路14の検出に基
づき、計Xfi16の1次判定でほぼ検出す゛ることが
でき、該計算機16の判定も比較的正確である。 従って外観基準が比較的緩い場合このような重大欠陥は
、通常検査員による2次判定の頻度を少なくすることが
できる。 しかしながら、外観検査基準が厳しい場合微少欠陥等の
、第4図のマトリックスにおいてはグレードA、Bの軽
欠陥の場合、製品の品質保証上必ず判定を要するもので
あり、計算機16による1次判定結果は参考として、最
終的に検査員の2次判定が必要となる。 従って、このような場合は、第4図のマトリックスのよ
うに、CRT16Aを設定しておけば、計算機16によ
る1次判定に曖昧さを多く含んだ欠陥について欠陥画像
を撮影し、検査員による2次判定結果を最終判定とした
検査を行うことができる。 又この実施例においては、モニタ30に表示された欠陥
画像に基づく、検査員の2次判定結果が、キーボード3
2から制御回路22を経て計算機16に送られるので、
これと1次判定結果を突合わせることにより、オンライ
ンで学習することにより1次判定結果の向上を図ること
ができる。 なお上記実施例は圧延ラインにおける鋼板10の表面欠
陥を検査する場合についてのものであるが、本発明はこ
れに限定されるものでなく、鋼板以外の移動する被検材
め表面における表面欠陥を検査する場合につき一般的に
適用されるものである。 【発明の効果1 本発明は上記のように構成したので、計X機からの欠陥
情報出力時のみ投光器及びカメラにより表面欠陥の画像
を撮影し、検査員がこの画像を検査するだけで足りるの
で、能率の良い検査を行うことができ、又検査員は表面
欠陥を現す静止画像のみをチエツクするので、検査可能
なラインスピードの制限を解除することができ、更に、
2次判定で検査員による静止画像に基づく正確な表面欠
陥検査を得られるのみならず、計X81により学習する
ことで1次判定の精度向上を図ることができ、又、i&
週視野のカメラを用いて撮影することにより、微少欠陥
の検出、判定が容易となると共に、その池の欠陥につい
ても、検査員の判定効率を向上させることができ、その
結果、連続焼鈍ラインのような中間工程で、従来、外観
検査基準の厳しい製品を精整等の次工程に送って検査し
ていたものを、送る必要がなくなり、工程の短縮、歩留
りの向上、次工程の節時化、省力等の優れた効果を有す
る。
第1図は本発明に係る表面欠陥検査装置の実施例を示す
ブロック図、第2図は同実施例におけるカメラの配置状
慇を示す斜視図、第3図は検出された欠陥形態と選択す
るカメラとの関係を示す線図、第4図は同実施例におけ
る計算機の判定結果を示す線図、第5図乃至第7図は、
点状欠陥、線状欠陥及び面状欠陥を広視野カメラ及び狭
カメラにより撮影した画像を示す平面図である。 10・・・鋼板、 12・・・検出器、 14・・・欠陥検出回路、 16・・・計算機、 18・・・ストロボ、 2OA・・・広視野カメラ、 20B・・・狭視野カメラ、 22・・・制御回路、 24・・・欠陥検出装置、 26・・・画像処理回路、 28・・・画像入出力回路、 34・・・パルス発生器。
ブロック図、第2図は同実施例におけるカメラの配置状
慇を示す斜視図、第3図は検出された欠陥形態と選択す
るカメラとの関係を示す線図、第4図は同実施例におけ
る計算機の判定結果を示す線図、第5図乃至第7図は、
点状欠陥、線状欠陥及び面状欠陥を広視野カメラ及び狭
カメラにより撮影した画像を示す平面図である。 10・・・鋼板、 12・・・検出器、 14・・・欠陥検出回路、 16・・・計算機、 18・・・ストロボ、 2OA・・・広視野カメラ、 20B・・・狭視野カメラ、 22・・・制御回路、 24・・・欠陥検出装置、 26・・・画像処理回路、 28・・・画像入出力回路、 34・・・パルス発生器。
Claims (1)
- (1)移動する被検材の表面に光線を照射し、その反射
状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出器と、
この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基づき、
該表面欠陥の種類及びグレードを計算するための計算機
と、この計算機から出力される表面欠陥の種類及びグレ
ード信号に基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照射する
投光器及びその照射タイミングで該欠陥を撮影する異な
る視野の複数のカメラと、を有してなり、前記計算機か
らの表面欠陥情報に基づき、該欠陥の撮影に適した視野
のカメラが少なくとも1台選択され、これにより表面欠
陥を撮影することを特徴とする表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63189898A JPH0663985B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63189898A JPH0663985B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0238952A true JPH0238952A (ja) | 1990-02-08 |
JPH0663985B2 JPH0663985B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=16249037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63189898A Expired - Lifetime JPH0663985B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0663985B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5331178A (en) * | 1991-07-05 | 1994-07-19 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Optical surface inspecting system for inspecting the surface of a rolling roll having mechanism for keeping clean a window through which a camera detects a condition of the rolling roll |
JP2002277408A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4094399B2 (ja) * | 2002-10-16 | 2008-06-04 | 新日本製鐵株式会社 | 鋼板の疵検査方法およびその装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5384793A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Crack detecting method by television camera and apparatus for carrying out the method |
JPS5990035A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-24 | Kawasaki Steel Corp | 走行金属ストリツプの表面欠陥検査方法 |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP63189898A patent/JPH0663985B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5384793A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Crack detecting method by television camera and apparatus for carrying out the method |
JPS5990035A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-24 | Kawasaki Steel Corp | 走行金属ストリツプの表面欠陥検査方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5331178A (en) * | 1991-07-05 | 1994-07-19 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Optical surface inspecting system for inspecting the surface of a rolling roll having mechanism for keeping clean a window through which a camera detects a condition of the rolling roll |
JP2002277408A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Saki Corp:Kk | 外観検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0663985B2 (ja) | 1994-08-22 |
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