JPH023129A - 光ディスク原盤用現像装置 - Google Patents
光ディスク原盤用現像装置Info
- Publication number
- JPH023129A JPH023129A JP63142161A JP14216188A JPH023129A JP H023129 A JPH023129 A JP H023129A JP 63142161 A JP63142161 A JP 63142161A JP 14216188 A JP14216188 A JP 14216188A JP H023129 A JPH023129 A JP H023129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- developer
- discharge port
- optical disk
- rinse
- developing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 33
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 37
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 28
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 13
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 abstract 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012487 rinsing solution Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ビデオディスク、ディジタルオーディオディ
スク、静止画・文書ファイルなどの光ディスクを作製す
るだめの光ディスク原盤用現像装置に関するものである
。
スク、静止画・文書ファイルなどの光ディスクを作製す
るだめの光ディスク原盤用現像装置に関するものである
。
従来の技術
一般に光ディスクはその情報密度が極めて大きいことや
、S/N比が大きく、ノイズが少ないことなどから情報
媒体として有望視され、ビデオディスクやディジタルオ
ーディオディスクとして商品化され、ディジタル信号を
記録、再生する光ディスクとしても近年研究開発が行な
われている。
、S/N比が大きく、ノイズが少ないことなどから情報
媒体として有望視され、ビデオディスクやディジタルオ
ーディオディスクとして商品化され、ディジタル信号を
記録、再生する光ディスクとしても近年研究開発が行な
われている。
以下、図面を参照しながら上述した従来の光ディスク原
盤用現像装置の一例について説明する。
盤用現像装置の一例について説明する。
第7図は、従来の光ディスク原盤用現像装置の概要を示
すものである。第7図において、1は吐出口保持用アー
ム、2は現像液、リンス液吐出口、3は現像液、リンス
液供給用パイプ、4は光ディスク原盤、5はターンテー
ブル、6はターンテーブル回転用モータである。第8図
は、従来の現像工程のフローチャートを示すものである
。現像する場合には、まずレーザ光などにより露光記録
した光ディスク原盤4をターンテーブル5にのせ、次に
現像液、リンス液吐出口2をターンテーブル中心部ある
いは、光ディスク原盤の中心部に置く。
すものである。第7図において、1は吐出口保持用アー
ム、2は現像液、リンス液吐出口、3は現像液、リンス
液供給用パイプ、4は光ディスク原盤、5はターンテー
ブル、6はターンテーブル回転用モータである。第8図
は、従来の現像工程のフローチャートを示すものである
。現像する場合には、まずレーザ光などにより露光記録
した光ディスク原盤4をターンテーブル5にのせ、次に
現像液、リンス液吐出口2をターンテーブル中心部ある
いは、光ディスク原盤の中心部に置く。
そして、ターンテーブルを回転用モータ6で一定速度で
回転しながら吐出口2より、水などのリンス液、水酸化
すl−IJウム希釈液などの現像液、リンス液の順に液
を吐出することに現像を行なう。
回転しながら吐出口2より、水などのリンス液、水酸化
すl−IJウム希釈液などの現像液、リンス液の順に液
を吐出することに現像を行なう。
現像終了後は、ターンテーブルを高速回転することによ
り水切り、乾燥を行なう。
り水切り、乾燥を行なう。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、現像前に付着した
ホコリや汚れあるいは現像液をリンス液だけでは完全に
取り除くことが出来ず、現像後に付着による汚れが発生
したりあるいは、現像前にイ」着していたホコリや汚れ
などの付着物の影響により現像液の流れが不均一になり
現像の不充分な部かが発生する。
ホコリや汚れあるいは現像液をリンス液だけでは完全に
取り除くことが出来ず、現像後に付着による汚れが発生
したりあるいは、現像前にイ」着していたホコリや汚れ
などの付着物の影響により現像液の流れが不均一になり
現像の不充分な部かが発生する。
本発明は上記の課題に鑑み、さらに高精度の光ディスク
を作製出来る光ディスク原盤用現像装置を提供するもの
である。
を作製出来る光ディスク原盤用現像装置を提供するもの
である。
課題を解決するだめの手段
と記の課題を解決するために本発明の光ディスク原盤用
現像装置は、左右に移動する洗浄専用の洗浄液吐出口を
設け、さらにはその先端を細くあるいはスプレーノズル
を付け、現像の前後に光ディスク原盤土を洗浄するもの
である。
現像装置は、左右に移動する洗浄専用の洗浄液吐出口を
設け、さらにはその先端を細くあるいはスプレーノズル
を付け、現像の前後に光ディスク原盤土を洗浄するもの
である。
作用
本発明は上記構成により光ディスク原盤上のホコリや汚
れ、あるいは現像液を完全に取υ除くことが出来、従っ
て高品質の現像を行なうことが出来る。
れ、あるいは現像液を完全に取υ除くことが出来、従っ
て高品質の現像を行なうことが出来る。
実施例
以下本発明の一実施例の光ディスク原盤用現像装置につ
いて図面を参照しながら説明する。
いて図面を参照しながら説明する。
第1図は本発明の第1の実施例における光ディスク原盤
用現像装置の断面図を示すものである。
用現像装置の断面図を示すものである。
第2図はその平面図を示すものである。第3図は本発明
の現像装置の現像工程のフローチャートを示すものであ
る。第4図は洗浄液吐出口の断面を示すものである。第
1図において、11は吐出口保持用アーム、12は現像
液、リンス液吐出口、13は現像液、リンス液供給用パ
イプ、14は光ディスク原盤、15はターンテーブル、
16はターンテーブル回転用モータ、17は洗浄液供給
用パイプ、18は洗浄液吐出口、19は洗浄液吐出口保
持用アーム、20はアーム保持用支柱、21は支柱回転
用モータを示すものである。
の現像装置の現像工程のフローチャートを示すものであ
る。第4図は洗浄液吐出口の断面を示すものである。第
1図において、11は吐出口保持用アーム、12は現像
液、リンス液吐出口、13は現像液、リンス液供給用パ
イプ、14は光ディスク原盤、15はターンテーブル、
16はターンテーブル回転用モータ、17は洗浄液供給
用パイプ、18は洗浄液吐出口、19は洗浄液吐出口保
持用アーム、20はアーム保持用支柱、21は支柱回転
用モータを示すものである。
以上のように構成された光ディスク原盤用現像装首につ
いて、以下図を用いてその動作を説明する。第3図に示
すように現像工程のリンスの前後に洗浄を行なう。これ
は、ターンテーブル回転用モータ16を回転することに
より光ディスク原盤を回転しながら洗浄液吐出口18よ
り水などの洗浄液を滴下あるいは吹きつけ洗浄を行なう
もので、この場合支柱回転用モータ21を繰り返し左右
に回わすことにより第2図に示すように洗浄液吐出口を
左右に移動し光ディスク原盤全面を洗浄するものである
。また、洗浄液吐出口を第4図に示すように先端を細く
することにより洗浄液吐出圧力を上げ洗浄能力をさらに
上げたものである。現像の前の前洗浄においては重に付
着したホコリや汚れを取り除き、現像後の後洗浄ではリ
ンスで増り除けなかった現像液を完全に取り除くもので
ある。
いて、以下図を用いてその動作を説明する。第3図に示
すように現像工程のリンスの前後に洗浄を行なう。これ
は、ターンテーブル回転用モータ16を回転することに
より光ディスク原盤を回転しながら洗浄液吐出口18よ
り水などの洗浄液を滴下あるいは吹きつけ洗浄を行なう
もので、この場合支柱回転用モータ21を繰り返し左右
に回わすことにより第2図に示すように洗浄液吐出口を
左右に移動し光ディスク原盤全面を洗浄するものである
。また、洗浄液吐出口を第4図に示すように先端を細く
することにより洗浄液吐出圧力を上げ洗浄能力をさらに
上げたものである。現像の前の前洗浄においては重に付
着したホコリや汚れを取り除き、現像後の後洗浄ではリ
ンスで増り除けなかった現像液を完全に取り除くもので
ある。
以下本発明の第2の実施例について図面を参照しながら
説明する。第6図は本発明の第2の実施例における光デ
ィスク用現像装置の断面図を示すものである。第6図は
その平面図を示すものである。第6図において、31は
吐出口保持用アーム。
説明する。第6図は本発明の第2の実施例における光デ
ィスク用現像装置の断面図を示すものである。第6図は
その平面図を示すものである。第6図において、31は
吐出口保持用アーム。
32は現像液、リンス液吐出口、33は現像液。
リンス液供給用パイプ、34は光ディスク原盤、35は
ターンテーブル、36にターンテーブル回転用モータ、
37は洗浄液供給用パイプ、38に洗浄液吐出口、39
はアーム保持用支柱、4oは支柱回転用モータを示すも
のである。第1図と異なるのは、洗浄液吐出口保持用ア
ームを現像液。
ターンテーブル、36にターンテーブル回転用モータ、
37は洗浄液供給用パイプ、38に洗浄液吐出口、39
はアーム保持用支柱、4oは支柱回転用モータを示すも
のである。第1図と異なるのは、洗浄液吐出口保持用ア
ームを現像液。
リンス液吐出口保持用アームと共用にした点である。こ
のようにアームを共用することにより現像装置を簡素化
したものである。
のようにアームを共用することにより現像装置を簡素化
したものである。
発明の効果
以上のように本発明は、現像液、リンス液の吐出口とは
別に左右に移動する洗浄専用の洗浄液吐出口を設けるこ
とにより、さらには吐出口を細くあるいはスプレーノズ
ル全件は吐出圧力を上げることにより、現像前に付着し
たホコリや汚れあるいは現像後の現像液を完全に取り除
くことが出来るようにしたものである。
別に左右に移動する洗浄専用の洗浄液吐出口を設けるこ
とにより、さらには吐出口を細くあるいはスプレーノズ
ル全件は吐出圧力を上げることにより、現像前に付着し
たホコリや汚れあるいは現像後の現像液を完全に取り除
くことが出来るようにしたものである。
第1図は本発明の第1の実施例における光ディスク原盤
用現像装置の断面図、第2図はその平面図、第3図は本
発明の第1の実施例における光ディスク原盤用現像装置
全用いた場合の現像工程のフローチャート、第4図は洗
浄液吐出口の断面図、第5図は本発明の第2の実施例に
おける光ディスク原盤用現像装置の断面図、第6図はそ
の平面図。 第7図は従来の光ディスク用現像装置の断面図、第8図
は従来の現像工程のフローチャート’に示すものである
。 11.31・・・・・・吐出口保持用アーム、12゜3
2・・・・・・現像液、リンス液吐出口、13,330
.。 ・・・現像液、リンス液供給用パイプ、14,341.
。 10.光ディスク原盤、15.35・川・・ターンテー
ブル、16.36・・・・・・ターンテーブル回転用モ
ータ。 17 、37・・・・・洗浄液供給用パイプ、18.3
829.・・・洗浄液吐出口、19・・・・・・洗浄液
吐出口保持用アーム、20,39・・・・・・アーム保
持用支柱、21゜40・・・・・支柱回転用モータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名1−
−−[11出D4珀ハL4 +−4テ穆フクλ梠: 5−・−ダーシデ−7)し
用現像装置の断面図、第2図はその平面図、第3図は本
発明の第1の実施例における光ディスク原盤用現像装置
全用いた場合の現像工程のフローチャート、第4図は洗
浄液吐出口の断面図、第5図は本発明の第2の実施例に
おける光ディスク原盤用現像装置の断面図、第6図はそ
の平面図。 第7図は従来の光ディスク用現像装置の断面図、第8図
は従来の現像工程のフローチャート’に示すものである
。 11.31・・・・・・吐出口保持用アーム、12゜3
2・・・・・・現像液、リンス液吐出口、13,330
.。 ・・・現像液、リンス液供給用パイプ、14,341.
。 10.光ディスク原盤、15.35・川・・ターンテー
ブル、16.36・・・・・・ターンテーブル回転用モ
ータ。 17 、37・・・・・洗浄液供給用パイプ、18.3
829.・・・洗浄液吐出口、19・・・・・・洗浄液
吐出口保持用アーム、20,39・・・・・・アーム保
持用支柱、21゜40・・・・・支柱回転用モータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名1−
−−[11出D4珀ハL4 +−4テ穆フクλ梠: 5−・−ダーシデ−7)し
Claims (2)
- (1)光ディスク原盤を載置するターンテーブルと、こ
のターンテーブルを回転させるターンテーブル回転用モ
ータと、前記光ディスク原盤に現像液、リンス液を吐出
する吐出口と、左右に移動する洗浄専用の洗浄液吐出口
を備えたことを特徴とする光ディスク原盤用現像装置。 - (2)洗浄専用の洗浄液吐出口の液吐出し圧力を上げる
ため、吐出口先端を先細形状とするか、あるいは吐出口
先端にスプレーノズルを設けたことを特徴とする請求項
1記載の光ディスク原盤用現像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63142161A JPH023129A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | 光ディスク原盤用現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63142161A JPH023129A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | 光ディスク原盤用現像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH023129A true JPH023129A (ja) | 1990-01-08 |
Family
ID=15308782
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63142161A Pending JPH023129A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | 光ディスク原盤用現像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH023129A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5377970A (en) * | 1990-04-20 | 1995-01-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Sheet feeding apparatus with reduced vibration separator |
US5722653A (en) * | 1994-07-25 | 1998-03-03 | Avery Dennison Corporation | Single-sheet feeder |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP63142161A patent/JPH023129A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5377970A (en) * | 1990-04-20 | 1995-01-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Sheet feeding apparatus with reduced vibration separator |
US5722653A (en) * | 1994-07-25 | 1998-03-03 | Avery Dennison Corporation | Single-sheet feeder |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR850001002B1 (ko) | 비데오 디스크 제조방법 | |
JPH023129A (ja) | 光ディスク原盤用現像装置 | |
CA1334687C (en) | Cleaning device | |
JPH05134398A (ja) | フオトマスクの洗浄装置及びフオトマスクの製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JPH01214863A (ja) | 現像装置 | |
JPH10166268A (ja) | バックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置 | |
JPS592116Y2 (ja) | メッキ装置 | |
JPS5852326B2 (ja) | 洗浄方法 | |
KR20050047147A (ko) | 웨이퍼 세정 장치 | |
JPS5860424A (ja) | ヘツドクリ−ニングデイスク | |
JP2525255B2 (ja) | 光ディスク原盤の現像処理方法 | |
JPH0125137B2 (ja) | ||
JP5446208B2 (ja) | スクラブ部材浄化方法、スクラブ部材浄化装置、スクラブ洗浄装置、ディスク材、並びに磁気ディスク | |
JPS58102934A (ja) | フオトレジスト層を現像する方法 | |
JP2519986B2 (ja) | ガラス原盤乾燥機 | |
JPH02124575A (ja) | フォトレジストの現像方法 | |
KR19990013723A (ko) | 디스크 기록매체의 재생방법 및 금속반사막 재생장치 | |
JPH0214443A (ja) | 光ディスク原盤用洗浄装置 | |
JPH1049868A (ja) | 磁気ディスク用基板の洗浄方法 | |
JPH0617283Y2 (ja) | スクラバー洗浄機 | |
JPH04105230A (ja) | 光ディスク原盤の現像処理方法 | |
JP2532590B2 (ja) | 光ディスク原盤用洗浄装置 | |
JP2908120B2 (ja) | レチクル洗浄装置 | |
JPS63307741A (ja) | 基板面の異物除去装置 | |
JPH07130009A (ja) | 洗浄装置 |