JPH02302712A - 顕微鏡用透過光照明装置 - Google Patents

顕微鏡用透過光照明装置

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Publication number
JPH02302712A
JPH02302712A JP2110728A JP11072890A JPH02302712A JP H02302712 A JPH02302712 A JP H02302712A JP 2110728 A JP2110728 A JP 2110728A JP 11072890 A JP11072890 A JP 11072890A JP H02302712 A JPH02302712 A JP H02302712A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
condenser
distance
aperture
illumination device
Prior art date
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Pending
Application number
JP2110728A
Other languages
English (en)
Inventor
Franz Muchel
フランツ・ムヒエル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of JPH02302712A publication Critical patent/JPH02302712A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/12Condensers affording bright-field illumination

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、靭倣説用透過光照明装置に関する。
〔従来の技術〕 如倣続において便用ぜnる照明装置は、通例光源および
これに所属するコレクタのほかに、制御可能な直径t−
’4する照野軟りならびに同様に制御可能な開口1tI
pと共に2つまたは幾つかのレンズからなるコンデンサ
を有する。制御可能な照野軟シおよび開口絞シは、ケラ
−の照明条件を調節できるようにするために心安である
たとえば米国吾許第4521 CJ76号F#4#l曹
に記載されているような量率な構造の従来公知のコンデ
ンサは、平凸レンズの形の繭玉f、a有する。それとい
うのもこのようなレンズは比較的簡単に製造できるから
である。それにも拘らず、このレンズに対する公差の安
来がなおコスト金高める。それといプのも第一に、これ
らのレンズt−製造する場合にはくさび形収差(kei
lfehlθr)を十分に小さく保たねばならないから
である。
第二に、レンズはその収容体中に良好にセンタリングさ
れていなければならない。
西ドイツ国特許第593232号明細曹から、たんに白
熱電球とガラス球からなっている、鵬倣鏡用反射光照明
装置が公知である。この場合制御可能な煕野叙シも開口
絞りも設けられていないので、この公知装置ではケラ−
の照明条件は調節できない。むしろ照野の大きさは光源
とガラス球との間の距離を変えることによって調節され
、これは多かれ少かれ、光源自体が対物面の近くに結像
されるいわゆる臨界照明を生じる。
英国特許第123973号明細簀からはコンデンサとし
て使用されかつ光をガラス稙維の端面に入射するガラス
球を有するステージが公知である。この場合照野絞りも
開口絞9も設けられていないことは別として、記載され
た装置はガラス4維を検量するための特殊製作物であっ
て、aIt″9L鏡で任意の物体を照明するために使用
することはできない。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明の課題は十分に大きい開口の場合に慣用の方法で
ケラ−の照明条件のv14節は可能であるが、できるだ
け簡単かつ製造が低兼な構造を有する、独微説用の簡単
な透過光用照明装置を提供することでるる。
〔課題を解決するための手段〕
この課題は、特許請求の範囲の請求項1に記載されたt
p!f倣を有する構造によって解決される。
本発明によれば前玉は完全席体としで構成されているの
で、公差に注意しなけnばならないくさび形収差は全く
生じない。さらに、球はその枠中で自動的にセンタリン
グされるので、取付けにおけるこの公差も生じない。コ
ンデンサ中の唯1つのレンズとして球によシ既に、多く
の目的に対し十分に大きい、コンデン?OL1.45の
開口数を得ることができる。工り大きい開口絞が必要な
場合は、もう1つの集束レンズ、たとえば長焦点距離の
平凸レンズ金挿入するのが有利でるる。この手段を用い
ると、位相差法にも適当な、0.8の開口at有するコ
ンデンサ金つくることができる。従って、本発明は低線
であると同時に光字的性能が艮好な透過光コンデンサを
つくることを可能にする。
本発明の他の利点は、硝材図面による下記の実施例の記
7I11tから明らかでるる。
〔実施例〕
図示の実施例において、スライドガラスは1で示されて
いる。コンデンサは、照明すべきスライドガラス1の下
方d1の距離に前玉としてのガラス球ならびに開口絞り
3を有し、付加的にロロ枢シからd4の距離に、長焦点
距離の平凸の第2Vンズ5を有する。このコンデンサの
光学的データは次の表1に記載ざnている:半 径  
 m!/厚さ     ガ  ラ  スr/朋 d /
vtx a、=L1.4 r1=16.67 a2−”2r1    nal=1.60738  シ
ax=56.45d3二2.0 d4二16.0 r2二(資) d5=4.5 11clz=1.60738 シdz=
56.45r3=30.0 d6二100 囲口数二〇、8 このコンデンサV工、0.8の開口数金有し、従って倍
率100倍壕での対物レンズと結合して使用するために
も極めて好適である。そnというのも通常良好なコント
ラストのために、コンデンサの開口はいずれにせよ対物
レンズの開口よりも常に若干低く、対物レンズの開口の
約%に調節されるからである。
第6図による図面にはコンデンサおよび光Wを含めて完
全な透過光照明装置が示されている。
ここで、15は不完全に示された如微銚の基部を表わし
、10はステージ全表わす。基部15中には、照明装置
の白熱′題詠6ならびにコレクタ8が存在し、このコレ
クタに=す、リング9によって直径を調部可能な照野絞
ジ4の開口が照明される。光源6とコレクタ8との間に
は、照野&り4の平面内の光蜜反を均質にするために使
用される散乱板7が挿入さtている。
ステージ10の下方にねじで取付けられたコンデンサは
、同様に′1ttlJ御可能な開ロ絞シ3用のixmレ
バー19を備えている。完全球体として構成さ扛た前玉
2は、キャップ12により、コンデンサのケーシング1
3中のセンタリング支承部に圧接される。ここで取付け
の際に闇単に、球の…」玉2をその枠に嵌込み、キャッ
プ12をかぶせるように行なわれる。この場合、何らか
のセンタリング手段は心安でない。
開口絞93の下方に配置された第2Vンズ5は、調節ね
じにより元軸に対し直角に調整可能な枠14に収納さC
ている。第5図による図面には、2つの調節ねじの1つ
、即ちB)14mねじ18だげが認められる。調繁枠1
4用支持体16は、光軸に対し平行に転置された回転軸
を中心に旋回可能であるので、レンズ5は光路から外方
へ旋回させることができる。レンズ5と開口絞り3との
間には、位相りングまたは他の対比手段を光路中へ付加
的に入Cることのできるスライダないしはレボルバ用の
スペースがめいている。
ガラス球2用のセンタリング枠は弾性に構成さnている
ので、ガラス球2は、キャップ12に作用するねじリン
グ20と連結されているレバーを用いて沈下させること
ができる。レンズ5を外方へ旋回させ、前玉2を沈下さ
せると、大体において第2図に示さnた光路が得らt1
開口および照野の大きさは工す小さい倍率を有する対物
レンズに適合されている。この場合、正しい調節の際に
は、次の表Hに記載さnた、距離および開口数が該当す
る; 半径 距離  ガラス r /ll11Ld /mx dx=2.1 rに13.67 11g=2rl ndi”1.60738νax=56
.45ds=2.0 d4=1195 開口数=0.45
【図面の簡単な説明】
真版付図面は本発明の1芙j例金示すもので、第1図は
本発明による2つのレンズ′X)≧らなる光学系の概略
原理図であpX第2図は、第2レンズを旋回脱出した場
合のコンデンサの光学系の政略原理図でめシ、第3図は
枠を有する第1図によるコンデンサの、直立のam誂に
組込まれた状態での光軸に宿った断面図である。 1・・・スライドガラス、2・・・ガラス球 3・・・
開口績り4・・・照野絞95・・・第2Vンズ 6・・
・白IPl′RL球 7・・・散乱板 8・・・コレク
タ 9・・・リング 10・・・ステージ 12・・・
キャップ 13・・・ケーシング 14・・・枠 15
・・・基部 16・・・支持体 18・・・調節ねじ 
19・・・調節レバー20・・・ねじリング

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、制御可能な照野絞り(4)および開口絞り(3)と
    1つまたは2つのレンズ(2、5)を含有するコンデン
    サを有する顕微鏡用透過光照明装置において、コンデン
    サの前玉(2)が完全球体の形を有することを特徴とす
    る顕微鏡用透過光照明装置。 2、コンデンサが2つのレンズ(2、5)からなり、第
    2レンズ(5)が長焦点距離の集束レンズである、請求
    項1記載の透過光照明装置。 3、集束レンズ(5)が外方へ旋回可能である、請求項
    2記載の透過光照明装置。 4、レンズの半径r、距離および厚さdならびに使用し
    たガラスの屈折率ndおよび分散νdに対する下記表
    I に記載されたデータまたはこれらの値から出発し個々
    のパラメータを変えることにより比較可能の性能の照明
    装置を生じるデータを特徴とする請求項3記載の照明装
    置: 半径 距離/厚さ ガラス r/mm d/mm d_1=0.4 r_1=13.67 d_2=2r_1 n_d_1=1.60738 ν_
    d_1=56.45 d_3=2.0 d_4=16.0 r_2=∞ d_5=4.5 n_d_2=1.60738 ν_d
    _2=56.45 d_6=100 開口数=0.8 5、コンデンサが1つのレンズ(2)だけを有し、かつ
    レンズの半径r、使用したガラスの屈折率n_dおよび
    分散ν_dならびに距離dに対して下記表IIに記載した
    データまたはこれらの値から出発して個々のパラメータ
    を変えることによつて比較可能な性能の照明装置を生じ
    るデータが維持されていることを特徴とする請求項1記
    載の照明装置: 半径 距離 ガラス r/mm d/mm d_1=2.1 r_1=13.67 d_2=2r_1 n_d_1=1.60738 ν_
    d_1=56.45 d_3=2.0 d_4=119.5 開口数=0.45
JP2110728A 1989-04-29 1990-04-27 顕微鏡用透過光照明装置 Pending JPH02302712A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3914274A DE3914274C2 (de) 1989-04-29 1989-04-29 Durchlichtbeleuchtungseinrichtung für Mikroskope
DE3914274.4 1989-04-29

Publications (1)

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JPH02302712A true JPH02302712A (ja) 1990-12-14

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ID=6379797

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JP2110728A Pending JPH02302712A (ja) 1989-04-29 1990-04-27 顕微鏡用透過光照明装置

Country Status (5)

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US (1) US5032011A (ja)
JP (1) JPH02302712A (ja)
AT (1) AT399058B (ja)
CH (1) CH681048A5 (ja)
DE (1) DE3914274C2 (ja)

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US5032011A (en) 1991-07-16
DE3914274A1 (de) 1990-10-31
ATA96790A (de) 1994-07-15
AT399058B (de) 1995-03-27
DE3914274C2 (de) 1994-12-15
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