JPH023019Y2 - - Google Patents

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JPH023019Y2
JPH023019Y2 JP4152884U JP4152884U JPH023019Y2 JP H023019 Y2 JPH023019 Y2 JP H023019Y2 JP 4152884 U JP4152884 U JP 4152884U JP 4152884 U JP4152884 U JP 4152884U JP H023019 Y2 JPH023019 Y2 JP H023019Y2
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JP
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valve
port
air space
valve seat
electrostrictive element
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Description

【考案の詳細な説明】 (技術分野) 本考案は、電歪素子に設けられた弁体で直接弁
座の開閉を行なう電子弁に関し、特に両端支持構
造で弁本体に支持された2つの電歪素子で弁座を
開閉し、5ポート弁等として使用できる電子弁に
関する。
[Detailed description of the invention] (Technical field) The present invention relates to an electronic valve that directly opens and closes a valve seat with a valve body provided on an electrostrictive element, and in particular, the invention relates to an electronic valve that directly opens and closes a valve seat with a valve body provided on an electrostrictive element. This invention relates to an electronic valve that opens and closes a valve seat using a strain element and can be used as a 5-port valve or the like.

(背景技術) 従来から、空気圧回路に用いられている方向制
御弁では、電磁石により弁の切換えを行なう電磁
弁が多用されていた。この電磁弁を高速で作動さ
せようとすると、電磁石が大きく成つてしまい、
電磁石が電磁弁の小形化かつ高速作動の妨げと成
つていた。また、電磁弁では制御する側の電源等
の負担が多いので消費電力が大きいとともに、そ
れに伴う発熱により弁体、シール等を形成する弾
性材料を劣化させる原因と成つていた。さらに、
電磁石を高速作動させると騒音を発生するという
問題もあつた。
(Background Art) Conventionally, in directional control valves used in pneumatic circuits, solenoid valves that switch valves using electromagnets have been frequently used. If you try to operate this solenoid valve at high speed, the electromagnet will become large.
Electromagnets have been an impediment to miniaturization and high-speed operation of solenoid valves. Furthermore, in the case of electromagnetic valves, there is a heavy burden on the power supply and the like on the control side, resulting in large power consumption, and the accompanying heat generation causes deterioration of the elastic materials forming the valve body, seals, etc. moreover,
There was also the problem that the electromagnets generated noise when operated at high speeds.

特に、複動形のエアシリンダの操作等に用いら
れる3位置の5ポート弁として使用される電磁弁
は2つの電磁石により弁の開閉を行うので、内部
構造が複雑であり、小形化および高速作動はさら
に困難であつた。
In particular, solenoid valves used as 3-position, 5-port valves used to operate double-acting air cylinders, etc. open and close the valve using two electromagnets, so their internal structure is complex, and they require miniaturization and high-speed operation. was even more difficult.

本件出願人は、方向制御弁を電歪素子で作動さ
せることにより消費電力を少なくするとともに、
電歪素子の支持構造および電歪素子自体の構造に
改良を加え直接弁を開閉することにより小形でか
つ高速作動のできる3ポートの電子弁をすでに提
案している(実願昭58−168165)。
The applicant reduces power consumption by operating the directional control valve with an electrostrictive element, and
We have already proposed a three-port electronic valve that is compact and capable of high-speed operation by directly opening and closing the valve by improving the support structure of the electrostrictive element and the structure of the electrostrictive element itself (Utility Application 168165-1982). .

(考案の目的) そこで、本考案の目的は、電歪素子の支持構造
および電歪素子自体の構造に改良を加え直接弁を
開閉することにより小形化ができかつ高速で作動
させられ、5ポート弁として使用できる電子弁を
提供することにある。
(Purpose of the invention) Therefore, the purpose of the invention is to improve the supporting structure of the electrostrictive element and the structure of the electrostrictive element itself so that it can be made smaller and operated at high speed by directly opening and closing the valve. The object of the present invention is to provide an electronic valve that can be used as a valve.

(考案の構成) 前記目的を達成するために本考案による電子弁
は、本体に設けられた第1から第5ポートと、前
記本体内の第1の空気空間に設けられた第1およ
び第2の弁座と、前記本体内の第2の空気空間に
設けられた第3および第4の弁座とを有し、前記
第1のポートが前記第1および第3の弁座に、前
記第2のポートが前記第2の弁座に、前記第3の
ポートが前記第1の空気空間に、前記第4のポー
トが前記第2の空気空間に、前記第5のポートが
前記第4の弁座にそれぞれ接続されており、前記
第1から第4の弁座を開閉することにより動作流
体の方向を切換える制御弁であつて、前記第1お
よび第2の弁座を前記第1の空気空間に対面して
設け、前記第3および第4の弁座を前記第2の空
気空間に対面して設け、前記第1および第2の弁
座に対面して第1および第2の弁体が中央部に設
けられ何れか一方弁座を閉じるように両端で支さ
れ通電することにより他方の弁座を閉じるバイモ
ルフ構造の第1の電歪素子を前記第1の空気空間
に設け、前記第3および第4の弁座に対面して第
3および第4の弁体が中央部に設けられ何れか一
方の弁座を閉じるように両端で支持され通電する
ことにより他方の弁座を閉じるバイモルフ構造の
第2の電歪素子を前記第2の空気空間に設けて構
成されている。
(Structure of the invention) In order to achieve the above object, the electronic valve according to the invention includes first to fifth ports provided in the main body, and first and second ports provided in the first air space in the main body. a valve seat, and third and fourth valve seats provided in a second air space within the body, and the first port is connected to the first and third valve seats. The second port is connected to the second valve seat, the third port is connected to the first air space, the fourth port is connected to the second air space, and the fifth port is connected to the fourth valve seat. The control valve is connected to each valve seat and switches the direction of the working fluid by opening and closing the first to fourth valve seats, the control valve switching the direction of the working fluid by opening and closing the first to fourth valve seats, the third and fourth valve seats are provided facing the second air space, and the first and second valve bodies are provided facing the first and second valve seats; A first electrostrictive element having a bimorph structure is provided in the first air space, and is supported at both ends so as to close one valve seat, and closes the other valve seat when energized. A bimorph in which third and fourth valve bodies are provided in the center facing the third and fourth valve seats, supported at both ends so as to close one of the valve seats, and close the other valve seat when energized. A second electrostrictive element of the structure is provided in the second air space.

前記構成によれば本考案の目的は完全に達成で
きる。
According to the above structure, the object of the present invention can be completely achieved.

(実施例) 以下、図面等を参照して本考案をさらに詳しく
説明する。
(Example) Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to the drawings and the like.

第1図は本考案による電子弁の実施例を示す断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an electronic valve according to the present invention.

弁本体は、本体1と本体1aと本体2とから構
成されている。本体1と本体2とはシール9,9
により気密に結合することにより、空気空間10
0を形成している。本体1にはポートBが設けら
れており、ポートBは流路101,102を介し
て空気空間100に連通している。流路102の
空気空間100の出口には弁座11が設けられて
いる。本体1aと本体2とはシール9a,9aに
より気密に結合することにより、空気空間100
aを形成している。本体1aにはポートEが設け
られており、ポートEは流路101a,102a
を介して空気空間100aに連通している。流路
102aの空気空間100aの出口には弁座11
aが設けられている。本体2にはポートC、ポー
トDおよびポートAが設けられている。ポートC
は流路103,104を介して空気空間100に
連通し、ポートDは流路103a,104aを介
して空気空間100aに連通している。ポートA
は流路105から、流路106を介して空気空間
100に連通し、流路106aを介して空気空間
100aに連通している。流路106の空気空間
100の出口には弁座21が設けられており、流
路106aの空気空間100aの出口には弁座2
1aが設けられている。
The valve body is composed of a main body 1, a main body 1a, and a main body 2. Main body 1 and main body 2 have seals 9, 9
By airtightly connecting the air space 10
0 is formed. The main body 1 is provided with a port B, which communicates with the air space 100 via channels 101 and 102. A valve seat 11 is provided at the outlet of the air space 100 of the flow path 102 . The main bodies 1a and 2 are airtightly connected by seals 9a, 9a, thereby creating an air space 100.
It forms a. The main body 1a is provided with a port E, and the port E is connected to flow paths 101a and 102a.
It communicates with the air space 100a via. A valve seat 11 is provided at the outlet of the air space 100a of the flow path 102a.
A is provided. The main body 2 is provided with a port C, a port D, and a port A. Port C
communicates with the air space 100 via channels 103 and 104, and port D communicates with the air space 100a via channels 103a and 104a. Port A
The flow path 105 communicates with the air space 100 via the flow path 106, and communicates with the air space 100a via the flow path 106a. A valve seat 21 is provided at the outlet of the air space 100 of the flow path 106, and a valve seat 21 is provided at the outlet of the air space 100a of the flow path 106a.
1a is provided.

電歪素子3の中央部には本体4が設けられ、本
体4は弁座11に対向して設けられた本体41
と、弁座21と対向して設けられた弁体42とか
ら構成されている。電歪素子3aの中央部には弁
体4aが設けられ、弁体4aは弁座11aに対向
して設けられた弁体41aと、弁座21aと対向
して設けられた弁体42aとから構成されてい
る。
A main body 4 is provided in the center of the electrostrictive element 3, and the main body 4 has a main body 41 provided facing the valve seat 11.
and a valve body 42 provided opposite to the valve seat 21. A valve body 4a is provided in the center of the electrostrictive element 3a, and the valve body 4a includes a valve body 41a provided facing the valve seat 11a, and a valve body 42a provided facing the valve seat 21a. It is configured.

電歪素子3は、空気空間100に設けられてお
り、本体1,2に配設されたクツシヨンゴム51
および支持線52により、両端支持構造で支持さ
れている。支線線52は細長い円柱形の部材であ
つて、2つの円柱の母線で電歪素子3の端部を支
持している。このように、クツシヨンゴム51、
支持線52により支持持するのは電歪素子3を撓
みやすくするためである。電歪素子3aも空気空
間100aにクツシヨンゴム51a、支持線52
aにより電歪素子3と同様に支持されている。
The electrostrictive element 3 is provided in an air space 100, and the cushion rubber 51 provided on the main bodies 1 and 2
It is supported by support lines 52 in a support structure at both ends. The branch line 52 is an elongated cylindrical member, and supports the end of the electrostrictive element 3 with two cylindrical generatrixes. In this way, the cushion rubber 51,
The reason why the electrostrictive element 3 is supported by the support wire 52 is to make it easier to bend the electrostrictive element 3. The electrostrictive element 3a also has a cushion rubber 51a and a support wire 52 in the air space 100a.
Similarly to the electrostrictive element 3, it is supported by a.

電歪素子3は2枚の圧電磁器31,32と異種
材料からなる金属板33とを貼り合わせたバイモ
ルフ構造を有する素子である。圧電磁器31,3
2の表面には焼付により銀電極が設けられてい
る。圧電磁器31,32は圧電係数の比較的大き
なものが適しており、例えばチタン酸ジルコン酸
鉛(PZT)系の磁器が用いられる。金属板33
は電極として用いられており、例えば黄銅が適し
ている。電歪素子3aも2枚の圧電磁器31a,
32aと金属板33aとを貼り合わせたバイモル
フ構造を有する素子であつて、電歪素子3と同様
の構造である。電歪素子3,3aは圧接力を強化
するために2枚以上重ね合わせて使用することも
ある。
The electrostrictive element 3 is an element having a bimorph structure in which two piezoelectric ceramics 31 and 32 and a metal plate 33 made of different materials are bonded together. Piezoelectric ceramic 31, 3
A silver electrode is provided on the surface of 2 by baking. It is suitable for the piezoelectric ceramics 31 and 32 to have a relatively large piezoelectric coefficient; for example, lead zirconate titanate (PZT) ceramic is used. metal plate 33
are used as electrodes, for example brass is suitable. The electrostrictive element 3a also includes two piezoelectric ceramics 31a,
The element has a bimorph structure in which a metal plate 32a and a metal plate 33a are bonded together, and has the same structure as the electrostrictive element 3. Two or more electrostrictive elements 3, 3a may be used in a stacked manner to strengthen the pressure contact force.

電歪素子3はリード線61,62に接続されて
おり、圧電磁器31,32の表面側にはリード線
61が、金属板33側にはリード線62がそれぞ
れ半田付けされている。リード線61,62間に
は抵抗体7が接続されている。そして、電歪素子
3の右端とリード線61,62、抵抗体7との接
続部は高分子材料8により、一体的にモールドさ
れている。電歪素子3の高速作動に対して接触不
良や断線などの事故を防止してバルブの信頼性を
向上させるためである。抵抗体7が挿入されてい
るのは、非導通にしたときに電歪素子3に蓄積さ
れた電荷を放電して、電歪素子3を復帰しやすく
するためである。実際には、電歪素子3をクツシ
ヨンゴム51、支持線52で支したのち電歪素子
3の固定も兼ねて本体1と一体にモールドする。
このため電歪素子3の支持構造は右端で固定され
るので、単純支持梁にするため左端を回動自在か
つ横方向の拘束を解く構造にしている。電歪素子
3aも同様にして、リード線61a,62aによ
り配線され、高分子材料8aにより一体的にモー
ルドされている。
The electrostrictive element 3 is connected to lead wires 61 and 62, and the lead wire 61 is soldered to the surface side of the piezoelectric ceramics 31 and 32, and the lead wire 62 is soldered to the metal plate 33 side. A resistor 7 is connected between the lead wires 61 and 62. The connection portions between the right end of the electrostrictive element 3, the lead wires 61 and 62, and the resistor 7 are integrally molded with a polymeric material 8. This is to improve the reliability of the valve by preventing accidents such as poor contact and disconnection due to high-speed operation of the electrostrictive element 3. The reason why the resistor 7 is inserted is to discharge the charge accumulated in the electrostrictive element 3 when the electrostrictive element 3 is made non-conductive, thereby making it easier to restore the electrostrictive element 3. Actually, the electrostrictive element 3 is supported by a cushion rubber 51 and a support wire 52, and then molded integrally with the main body 1, which also serves to fix the electrostrictive element 3.
For this reason, the support structure for the electrostrictive element 3 is fixed at the right end, so in order to use a simple support beam, the left end is designed to be rotatable and free from lateral constraints. Similarly, the electrostrictive element 3a is wired with lead wires 61a and 62a, and is integrally molded with a polymeric material 8a.

つぎに、本考案による電子弁の実施例の動作を
説明する。本考案による電子弁は電歪素子3,3
aへの通電のしかたにより、つぎの4通りの動作
が可能である。
Next, the operation of the embodiment of the electronic valve according to the present invention will be explained. The electronic valve according to the present invention has electrostrictive elements 3, 3
The following four types of operation are possible depending on the method of energizing a.

第1の動作は、電歪素子3,3aの双方に電圧
を印加しない場合である。この場合には、電歪素
子3の弁体41は弁座11を開き、弁体42が弁
座21を閉じている。また、電歪素子3aの弁体
41aは弁座11aを閉じ、弁体42aが弁座2
1aを開いている。このとき、ポートAはポート
Dに接続され、他のポートB,C,Eには接続さ
れない。一方、ポートBとポートCは接続されて
いる。
The first operation is when no voltage is applied to both electrostrictive elements 3 and 3a. In this case, the valve body 41 of the electrostrictive element 3 opens the valve seat 11, and the valve body 42 closes the valve seat 21. Further, the valve body 41a of the electrostrictive element 3a closes the valve seat 11a, and the valve body 42a closes the valve seat 2.
1a is open. At this time, port A is connected to port D and not connected to other ports B, C, and E. On the other hand, port B and port C are connected.

第2の動作は、電歪素子3,3aの双方に所定
の電圧を印加する場合である。この場合には、電
歪素子3の弁体41は弁座11を閉じ、弁体42
が弁座21を開く。また、電歪素子3aの弁体4
1aは弁座11aを開き、弁体42aが弁座21
aを閉じる。このとき、ポートAはポートCに接
続され、他のポートB,D,Eには接続されな
い。一方、ポートDとポートEは接続されてい
る。
The second operation is when a predetermined voltage is applied to both electrostrictive elements 3 and 3a. In this case, the valve body 41 of the electrostrictive element 3 closes the valve seat 11, and the valve body 42 closes the valve seat 11.
opens the valve seat 21. Further, the valve body 4 of the electrostrictive element 3a
1a opens the valve seat 11a, and the valve body 42a opens the valve seat 21.
Close a. At this time, port A is connected to port C and not connected to other ports B, D, and E. On the other hand, port D and port E are connected.

第3の動作は、電歪素子3には所定の電圧を印
加して、電歪素子3aには電圧を印加しない場合
である。この場合には、電歪素子3の弁体41は
弁座11を閉じ、弁体42が弁座21を開く。ま
た、電歪素子3aの弁体41aは弁座11aを閉
じ、弁体42aが弁座21aを開いている。この
とき、ポートAはポートCおよびポートDの双方
に接続されている。一方、ポートBとポートEは
いずれのポートとも接続されない。
In the third operation, a predetermined voltage is applied to the electrostrictive element 3, but no voltage is applied to the electrostrictive element 3a. In this case, the valve body 41 of the electrostrictive element 3 closes the valve seat 11, and the valve body 42 opens the valve seat 21. Further, the valve body 41a of the electrostrictive element 3a closes the valve seat 11a, and the valve body 42a opens the valve seat 21a. At this time, port A is connected to both port C and port D. On the other hand, port B and port E are not connected to any port.

第4の動作は、電歪素子3には電圧を印加しな
いで、電歪素子3aには所定の電圧を印加する場
合である。この場合には、電歪素子3の弁体41
は弁座11を開き、弁体42が弁座21を閉じ
る。また、電歪素子3aの弁体41aは弁座11
aを開き、弁体42aが弁座21aを閉じてい
る。このとき、ポートAはポートCとポートDの
双方に接続されない。一方、ポートBはポートC
に接続され、ポートDとポートEは接続される。
The fourth operation is a case where no voltage is applied to the electrostrictive element 3, but a predetermined voltage is applied to the electrostrictive element 3a. In this case, the valve body 41 of the electrostrictive element 3
opens the valve seat 11, and the valve body 42 closes the valve seat 21. Further, the valve body 41a of the electrostrictive element 3a is connected to the valve seat 11.
a is opened, and the valve body 42a closes the valve seat 21a. At this time, port A is not connected to both port C and port D. On the other hand, port B is port C
, and port D and port E are connected.

(使用例) つぎに、本考案による電子弁により複動形エア
シリンダを操作する使用例を説明する。
(Example of Use) Next, an example of use in which a double-acting air cylinder is operated by the electronic valve according to the present invention will be described.

この場合には、ポートAをインポートととして
圧縮空気源に接続し、ポートDを第1のアウトポ
ートとして前記エアシリンダのロツド側に接続
し、ポートCを第2のアウトポートとして前記エ
アシリンダのベツド側に接続し、ポートB,Eを
排気ポートとして使用する。
In this case, port A is connected to the compressed air source as an input port, port D is connected to the rod side of the air cylinder as the first out port, and port C is connected as the second out port of the air cylinder. Connect to the bed side and use ports B and E as exhaust ports.

前記第1の動作によりポートAがポートDに接
続されるとともに、ポートCがポートBに接続さ
れる。したがつて、圧縮空気はポートAからポー
トDを通り、前記エアシリンダのロツド側に導か
れ、ピストンをヘツド側に移動させる。このと
き、ヘツド側の空気はポートCからポートBを通
つて排気される。前記第2の動作によりポートA
がポートCに接続されるとともに、ポートDがポ
ートEに接続される。したがつて、圧縮空気はポ
ートAからポートCを通り、前記エアシリンダの
ヘツド側に導かれ、ピストンをロツド側に移動さ
せる。このとき、ロツド側の空気はポートDから
ポートEを通つて排気される。この第1および第
2の動作を繰り返すことにより前記エアシリンダ
の往復動を制御する。
Port A is connected to port D and port C is connected to port B by the first operation. Therefore, compressed air passes from port A to port D and is led to the rod side of the air cylinder, moving the piston toward the head side. At this time, air on the head side is exhausted from port C through port B. Due to the second operation, port A
is connected to port C, and port D is connected to port E. Therefore, compressed air passes from port A to port C and is led to the head side of the air cylinder, moving the piston toward the rod side. At this time, air on the rod side is exhausted from port D through port E. By repeating the first and second operations, the reciprocating movement of the air cylinder is controlled.

さらに、本考案の電子弁では第3の動作をする
ことによりポートAがポートC、ポートDの双方
に接続されることにより、前記エアシリンダのピ
ストンを低速作動するか、またはロツドの無いエ
アシリンダのピストンを任意の位置に固定するこ
とができる。また、第4の動作をすることにより
前記エアシリンダのピストンを無負荷にして手動
によりピストンを移動させることができる。つま
り、3位置弁として使用することもできるわけで
ある。
Furthermore, in the electronic valve of the present invention, port A is connected to both port C and port D by performing the third operation, so that the piston of the air cylinder can be operated at low speed, or the air cylinder without a rod can be operated at low speed. The piston can be fixed at any position. Moreover, by carrying out the fourth operation, the piston of the air cylinder can be placed under no load and can be manually moved. In other words, it can also be used as a 3-position valve.

また、電歪素子3,3aに印加する電圧を調節
することにより弁体と弁座間の間隙を可変させ、
流量の調節をすることができる。したがつて、比
例弁としての使用もできる。例えば、ポートB、
ポートEを封止して、ポートCをインポート、ポ
ートAをアウトポート、ポートDを排気ポートと
すれば、シール性のよい3ポートの比例弁として
使用することができる。
In addition, by adjusting the voltage applied to the electrostrictive elements 3 and 3a, the gap between the valve body and the valve seat is varied,
The flow rate can be adjusted. Therefore, it can also be used as a proportional valve. For example, port B,
If port E is sealed, port C is used as an import port, port A is used as an out port, and port D is used as an exhaust port, it can be used as a three-port proportional valve with good sealing performance.

(考案の効果) 以上詳しく説明したように、本考案によれば、
電歪素子の支持構造および電歪素子自体の構造に
改良を加え直接弁を開閉することにより、小形で
かつ高速作動のできる5ポート弁として使用でき
る電子弁が実現できた。さらな、従来の電磁弁等
に比較して操作性も向上した。
(Effects of the invention) As explained in detail above, according to the invention,
By improving the support structure of the electrostrictive element and the structure of the electrostrictive element itself and directly opening and closing the valve, we were able to realize an electronic valve that is small and can be used as a 5-port valve that can operate at high speed. Furthermore, operability has been improved compared to conventional solenoid valves.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本考案による電子弁の実施例を示す断
面図である。 1,1a,2……本体、11,12,11a,
12a……弁座、3,3a……電歪素子、31,
32,31a,32a……圧電磁器、33,33
a……金属板、4,41,42,4a,41a,
42a……弁体、51,51a……クツシヨンゴ
ム、52,52a……支持線、6,61,62,
6a,61a,62a……リード線、7,7a…
…抵抗体、8,8a……高分子材料、9,9a…
…シール材。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an electronic valve according to the present invention. 1, 1a, 2...Main body, 11, 12, 11a,
12a... Valve seat, 3, 3a... Electrostrictive element, 31,
32, 31a, 32a... piezoelectric ceramic, 33, 33
a...Metal plate, 4, 41, 42, 4a, 41a,
42a... Valve body, 51, 51a... Cushion rubber, 52, 52a... Support line, 6, 61, 62,
6a, 61a, 62a... Lead wire, 7, 7a...
...Resistor, 8, 8a... Polymer material, 9, 9a...
...Sealing material.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 本体に設けられた第1から第5のポートと、前
記本体内の第1の空気空間に設けられた第1およ
び第2の弁座と、前記本体内の第2の空気空間に
設けられた第3および第4の弁座とを有し、前記
第1のポートが前記第1および第3の弁座に、前
記第2のポートが前記第2の弁座に、前記第3の
ポートが前記第1の空気空間に、前記第4のポー
トが前記第2の空気空間に、前記第5のポートが
前記第4の弁座にそれぞれ接続されており、前記
第1から第4の弁座を開閉することにより動作流
体の方向を切換える制御弁であつて、前記第1お
よび第2の弁座を前記第1の空気空間に対面して
設け、前記第3および第4の弁座を前記第2の空
気空間に対面して設け、前記第1および第2の弁
座に対面して第1および第2の弁体が中央部に設
けられ何れか一方の弁座を閉じるように両端で支
持され通電することにより他方の弁座を閉じるバ
イモルフ構造の第1の電歪素子を前記第1の空気
空間に設け、前記第3および第4の弁座に対面し
て第3および第4の弁体が中央部に設けられ何れ
か一方の弁座を閉じるように両端で支持され通電
することにより他方の弁座を閉じるバイモルフ構
造の第2の電歪素子を前記第2の空気空間に設け
て構成したことを特徴する電子弁。
first to fifth ports provided in the main body; first and second valve seats provided in a first air space within the main body; and first and second valve seats provided in a second air space within the main body. third and fourth valve seats, the first port is located on the first and third valve seats, the second port is located on the second valve seat, and the third port is located on the second valve seat. The fourth port is connected to the first air space, the fourth port is connected to the second air space, and the fifth port is connected to the fourth valve seat, and the first to fourth valve seats are connected to each other. A control valve that switches the direction of a working fluid by opening and closing, wherein the first and second valve seats are provided facing the first air space, and the third and fourth valve seats are provided facing the first air space. A first valve body is provided facing the second air space, and first and second valve bodies are provided in the center facing the first and second valve seats, and the valve bodies are provided at both ends so as to close one of the valve seats. A first electrostrictive element having a bimorph structure that closes the other valve seat by being supported and energized is provided in the first air space, and a third and fourth valve seat is provided facing the third and fourth valve seats. A second electrostrictive element having a bimorph structure in which a valve body is provided in the center, is supported at both ends so as to close one valve seat, and closes the other valve seat when energized is provided in the second air space. An electronic valve characterized by being configured with
JP4152884U 1984-03-23 1984-03-23 electronic valve Granted JPS60154674U (en)

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JPS60154674U JPS60154674U (en) 1985-10-15
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US7448412B2 (en) * 2004-07-23 2008-11-11 Afa Controls Llc Microvalve assemblies and related structures and related methods

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