JPH0229259Y2 - - Google Patents
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- JPH0229259Y2 JPH0229259Y2 JP7614786U JP7614786U JPH0229259Y2 JP H0229259 Y2 JPH0229259 Y2 JP H0229259Y2 JP 7614786 U JP7614786 U JP 7614786U JP 7614786 U JP7614786 U JP 7614786U JP H0229259 Y2 JPH0229259 Y2 JP H0229259Y2
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- Japan
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- vacuum pump
- stage
- exhaust
- chamber
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 14
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 18
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本考案は、二つの真空ポンプを直列に接続して
2段式にした真空ポンプに関する。
2段式にした真空ポンプに関する。
(従来の技術)
従来、高い真空度を得ることを目的とした無給
油式真空ポンプとして本出願人より、特開昭60−
222574号公報(特願昭59−79956号)に開示され
る技術があり、これは、一対のロータが協動して
回転することにより気体を吸引する回転式の一段
側真空ポンプと、該回転式の一段側真空ポンプか
らの気体を吸引する往復式の二段側真空ポンプと
から構成されるものである。このように、回転式
の一段側真空ポンプと往復式の二段側真空ポンプ
を直列に接続したことにより高真空を得ることが
できる。
油式真空ポンプとして本出願人より、特開昭60−
222574号公報(特願昭59−79956号)に開示され
る技術があり、これは、一対のロータが協動して
回転することにより気体を吸引する回転式の一段
側真空ポンプと、該回転式の一段側真空ポンプか
らの気体を吸引する往復式の二段側真空ポンプと
から構成されるものである。このように、回転式
の一段側真空ポンプと往復式の二段側真空ポンプ
を直列に接続したことにより高真空を得ることが
できる。
しかしながら、このような2段式の真空ポンプ
では、回転式の真空ポンプの排気速度が他の形式
のものより大きいので、大気圧から真空引きを開
始したとき、二つの真空ポンプを接続した部分の
圧力、すなわち各真空ポンプの各真空室間の中間
圧が一時的に大気圧以上になり異常な温度上昇を
起こして各部材に損傷を与えることになる。
では、回転式の真空ポンプの排気速度が他の形式
のものより大きいので、大気圧から真空引きを開
始したとき、二つの真空ポンプを接続した部分の
圧力、すなわち各真空ポンプの各真空室間の中間
圧が一時的に大気圧以上になり異常な温度上昇を
起こして各部材に損傷を与えることになる。
また、この問題点を解決するために、まず二段
側の真空ポンプを作動させておき、中間圧をある
程度下降させたところで一段側の真空ポンプを作
動させて中間圧の急激な上昇を防止する方法があ
る。しかし、この方法においては、各真空ポンプ
を作動させるタイミングを調整する複雑な機構が
必要となり、コストアツプや作動時間が長くなる
等の欠点がある。
側の真空ポンプを作動させておき、中間圧をある
程度下降させたところで一段側の真空ポンプを作
動させて中間圧の急激な上昇を防止する方法があ
る。しかし、この方法においては、各真空ポンプ
を作動させるタイミングを調整する複雑な機構が
必要となり、コストアツプや作動時間が長くなる
等の欠点がある。
そこでこれに対処するため、一段側の真空ポン
プと、該一段側の真空ポンプより排気速度が小さ
い二段側の真空ポンプと、前記一段側の真空ポン
プの排気口と前記二段側の真空ポンプの吸気口と
を接続する通路と、該通路と外部とを連通する開
口部と、該開口部に設けられ、前記通路内の圧力
に応じて開口部を開閉する弁装置と、を備えた真
空ポンプが提案されている。
プと、該一段側の真空ポンプより排気速度が小さ
い二段側の真空ポンプと、前記一段側の真空ポン
プの排気口と前記二段側の真空ポンプの吸気口と
を接続する通路と、該通路と外部とを連通する開
口部と、該開口部に設けられ、前記通路内の圧力
に応じて開口部を開閉する弁装置と、を備えた真
空ポンプが提案されている。
このような真空ポンプでは一段側の真空ポンプ
の排気速度が大きく、真空ポンプを接続する通路
内の圧力が上昇しても、所定圧力(たとえば、大
気圧)に達したときに弁装置が開いて圧力上昇を
抑えることができる。
の排気速度が大きく、真空ポンプを接続する通路
内の圧力が上昇しても、所定圧力(たとえば、大
気圧)に達したときに弁装置が開いて圧力上昇を
抑えることができる。
(考案が解決しようとする問題点)
上記のような従来例では、排気すべき気体が二
段側真空ポンプの排気口からばかりでなく弁装置
からも放出されるため、放出される気体が窒素や
空気の場合には問題ないが、特殊ガスの場合に
は、一旦処理した後に外気に放出する必要がある
ため、二段側真空ポンプの排気口ばかりでなく弁
装置にも特殊ガス処理用の配管をしなければなら
ず、排気処理のために構造が複雑とならざるを得
なかつた。
段側真空ポンプの排気口からばかりでなく弁装置
からも放出されるため、放出される気体が窒素や
空気の場合には問題ないが、特殊ガスの場合に
は、一旦処理した後に外気に放出する必要がある
ため、二段側真空ポンプの排気口ばかりでなく弁
装置にも特殊ガス処理用の配管をしなければなら
ず、排気処理のために構造が複雑とならざるを得
なかつた。
また、上記従来例では通路に弁装置が介装され
ているため、一段側および二段側真空ポンプ間の
配管が複雑となるばかりでなく、大型化するとい
う問題もあつた。
ているため、一段側および二段側真空ポンプ間の
配管が複雑となるばかりでなく、大型化するとい
う問題もあつた。
本考案はかかる問題点を解決するためになされ
たもので、排気処理が容易な真空ポンプを得るこ
とを目的とする。
たもので、排気処理が容易な真空ポンプを得るこ
とを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
本考案は、通路と二段側の真空ポンプにおける
排気室とを連通する連通路に設けられ、前記通路
側の圧力に応じて前記排気室の排気口を介して前
記通路を大気に開放する弁装置を備えてなるもの
である。
排気室とを連通する連通路に設けられ、前記通路
側の圧力に応じて前記排気室の排気口を介して前
記通路を大気に開放する弁装置を備えてなるもの
である。
(作用)
一段側および二段側真空ポンプの作動により、
二段側真空ポンプの真空室が所定の圧力に達する
と、弁装置が開き、通路内の気体が二段側真空ポ
ンプの排気室の排気口から大気に放出される。
二段側真空ポンプの真空室が所定の圧力に達する
と、弁装置が開き、通路内の気体が二段側真空ポ
ンプの排気室の排気口から大気に放出される。
また、通路内の圧力が所定値以下になると、弁
装置が閉じるため、真空室の気体は、一旦圧縮さ
れた後に二段側真空ポンプの排気室の排気口から
大気に放出される。
装置が閉じるため、真空室の気体は、一旦圧縮さ
れた後に二段側真空ポンプの排気室の排気口から
大気に放出される。
(実施例)
以下、本考案の実施例を図面を参照しながら説
明すると、第1図において、1は、一段側の回転
式のスクリユ真空ポンプで、該真空ポンプは、筒
状のケーシング2の両端を吸気側のカバー3と排
気側のカバー4で覆つた真空室5の内部に、ベア
リング6,6…で軸7,8の部分を回動自在に支
持された雌ロータ9と雄ロータ10で概略構成さ
れる。吸気側のカバー3には、図示しない吸込口
が設けられ、該吸込口を真空にしたい被真空体に
接続されるようになつている。
明すると、第1図において、1は、一段側の回転
式のスクリユ真空ポンプで、該真空ポンプは、筒
状のケーシング2の両端を吸気側のカバー3と排
気側のカバー4で覆つた真空室5の内部に、ベア
リング6,6…で軸7,8の部分を回動自在に支
持された雌ロータ9と雄ロータ10で概略構成さ
れる。吸気側のカバー3には、図示しない吸込口
が設けられ、該吸込口を真空にしたい被真空体に
接続されるようになつている。
排気側のカバー4には二段側の往復動式の真空
ポンプ11のケーシング12が結合されている。
該ケーシング12の他側はカバー13で閉塞され
ており、側部にはシリンダ14が取付けられてい
る。さらに、該ケーシング12の内部には、駆動
軸15に結合されたクランク軸16がベアリング
17,17…により回転自在に貫通しており、カ
バー4の内部に設けられたクラツチ18を介して
軸8に結合されている。軸7と軸8はギヤ19,
20によつて結合されている。クランク軸16に
はコンロツド21を介してピストン22が結合さ
れており、該ピストン22の作動により後述する
吸入室23内の気体を負圧にするようになつてい
る。
ポンプ11のケーシング12が結合されている。
該ケーシング12の他側はカバー13で閉塞され
ており、側部にはシリンダ14が取付けられてい
る。さらに、該ケーシング12の内部には、駆動
軸15に結合されたクランク軸16がベアリング
17,17…により回転自在に貫通しており、カ
バー4の内部に設けられたクラツチ18を介して
軸8に結合されている。軸7と軸8はギヤ19,
20によつて結合されている。クランク軸16に
はコンロツド21を介してピストン22が結合さ
れており、該ピストン22の作動により後述する
吸入室23内の気体を負圧にするようになつてい
る。
一段側の真空ポンプ1の排気側のカバー4は真
空室5の排気口24が形成されており、該排気口
24は、二段側の真空ポンプ11の吸入室23の
吸気口25と通路26とで接続されている。
空室5の排気口24が形成されており、該排気口
24は、二段側の真空ポンプ11の吸入室23の
吸気口25と通路26とで接続されている。
ピストン22が摺動自在に嵌挿されたシリンダ
ボア27の開口部には、弁座27aを介してシリ
ンダヘツド28が設置されている。該シリンダヘ
ツド28は隔壁29によつて2つの室、すなわち
吸入室23と排気室30とが画成され、それぞれ
の室23,30の底部には、シリンダボア27と
連通する通孔31,32が形成され、各通孔3
1,32には、これらを開閉する開閉弁33,3
4が取付けられている。上記隔壁29には、吸入
室23と排気室30とを連通させる連通路である
連通孔35が形成され、該連通孔35には、吸入
室23の圧力に応じて該連通孔35を開閉する弁
装置36が設けられている。
ボア27の開口部には、弁座27aを介してシリ
ンダヘツド28が設置されている。該シリンダヘ
ツド28は隔壁29によつて2つの室、すなわち
吸入室23と排気室30とが画成され、それぞれ
の室23,30の底部には、シリンダボア27と
連通する通孔31,32が形成され、各通孔3
1,32には、これらを開閉する開閉弁33,3
4が取付けられている。上記隔壁29には、吸入
室23と排気室30とを連通させる連通路である
連通孔35が形成され、該連通孔35には、吸入
室23の圧力に応じて該連通孔35を開閉する弁
装置36が設けられている。
第2図は、該弁装置36を示すもので、連通孔
35は小径部35aと大径部35bとからなり、
小径部35aと大径部35bとの段差部における
角部は切除され、該切除部には弁座37が取付け
られている。大径部35bの端部には、ボルト3
8を介して環状部材39が取付けられ、該部材3
9の一端面は連通孔35内に位置して段部を形成
している該大径部35b内には、弁体40と、該
弁体40を弁座37方向に弾発付勢するばね41
とが配設されてあつて、該ばね41の一端は弁体
40に取付けられ、また他端は環状部材39に取
付けらている。
35は小径部35aと大径部35bとからなり、
小径部35aと大径部35bとの段差部における
角部は切除され、該切除部には弁座37が取付け
られている。大径部35bの端部には、ボルト3
8を介して環状部材39が取付けられ、該部材3
9の一端面は連通孔35内に位置して段部を形成
している該大径部35b内には、弁体40と、該
弁体40を弁座37方向に弾発付勢するばね41
とが配設されてあつて、該ばね41の一端は弁体
40に取付けられ、また他端は環状部材39に取
付けらている。
つぎに上記構成に係る真空ポンプの作用につい
て述べる。排気すべきチヤンバ内の圧力が大気圧
または大気圧付近の状態にあるとき、真空ポンプ
を始動させると、吸引された気体は真空ポンプ1
で圧縮され、一段側の真空ポンプ1の排気速度が
二段側の真空ポンプ2の排気速度より大きいた
め、真空室5と吸入室23とを結ぶ通路26内の
圧力が上昇して大気圧以上となり、吸入室23内
の圧力も大気圧以上となる。この結果、弁体40
はばね41の弾発付勢力に抗して弁座37から離
れるため、吸入室23内の気体は連通孔35から
排気室30内に流入し、さらに排気室30の排気
口42から外部に流出する。
て述べる。排気すべきチヤンバ内の圧力が大気圧
または大気圧付近の状態にあるとき、真空ポンプ
を始動させると、吸引された気体は真空ポンプ1
で圧縮され、一段側の真空ポンプ1の排気速度が
二段側の真空ポンプ2の排気速度より大きいた
め、真空室5と吸入室23とを結ぶ通路26内の
圧力が上昇して大気圧以上となり、吸入室23内
の圧力も大気圧以上となる。この結果、弁体40
はばね41の弾発付勢力に抗して弁座37から離
れるため、吸入室23内の気体は連通孔35から
排気室30内に流入し、さらに排気室30の排気
口42から外部に流出する。
そしてこの状態からある時間経過すると、吸入
室23内の圧力は大気圧かまたは大気圧以下にな
り、この結果、弁体40はばね41の弾発付勢力
によつて弁座37に当接し、吸入室23と排気室
30との連通は遮断され、吸入室23内の気体は
開閉弁33をその圧力によつて開き、シリンダボ
ア27内に流入する。流入した気体は、ピストン
22によつて圧縮され、その圧力によつて開閉弁
34を開き排気室30内に流入する。
室23内の圧力は大気圧かまたは大気圧以下にな
り、この結果、弁体40はばね41の弾発付勢力
によつて弁座37に当接し、吸入室23と排気室
30との連通は遮断され、吸入室23内の気体は
開閉弁33をその圧力によつて開き、シリンダボ
ア27内に流入する。流入した気体は、ピストン
22によつて圧縮され、その圧力によつて開閉弁
34を開き排気室30内に流入する。
なお、上記実施例ではシリンダヘツド28の隔
壁29に連通路である連通孔35を形成し、連通
孔35に弁装置36を設けるようにしたが、本考
案はこれに限らず連通路をどのように配置しても
よく、例えば、通路26の途中から分岐させた側
路を排気室30に接続し、該側路を連通路として
該側路に上記弁装置36を設けるようにしてもよ
い。
壁29に連通路である連通孔35を形成し、連通
孔35に弁装置36を設けるようにしたが、本考
案はこれに限らず連通路をどのように配置しても
よく、例えば、通路26の途中から分岐させた側
路を排気室30に接続し、該側路を連通路として
該側路に上記弁装置36を設けるようにしてもよ
い。
上記の如くして排気室30に流入した気体は、
排気管43から排気処理装置44に流入し、ここ
で処理された後、外気に放出される。
排気管43から排気処理装置44に流入し、ここ
で処理された後、外気に放出される。
(考案の効果)
本考案は、以上から明らかなように、気体の放
出個所は一個所だけであるから、排気処理装置は
一個所だけに設ければよく、したがつて構成の簡
素化が図れることになる。
出個所は一個所だけであるから、排気処理装置は
一個所だけに設ければよく、したがつて構成の簡
素化が図れることになる。
また、従来の如く、第一および第二段真空ポン
プ間の通路に弁装置を設ける必要がなく、したが
つて該通路内の簡素化が可能になるとともに該弁
装置に排気処理装置を設ける必要がないため、小
型化が図れることになる。
プ間の通路に弁装置を設ける必要がなく、したが
つて該通路内の簡素化が可能になるとともに該弁
装置に排気処理装置を設ける必要がないため、小
型化が図れることになる。
第1図は本考案に係る真空ポンプの横断面図、
第2図は弁装置の詳細図である。 1……一段側真空ポンプ、11……二段側真空
ポンプ、24……一段側真空ポンプの排気口、2
5……二段側真空ポンプの吸気口、26……通
路、29……隔壁、30……排気室、35……連
通孔(連通路)、36……弁装置、42……排気
口。
第2図は弁装置の詳細図である。 1……一段側真空ポンプ、11……二段側真空
ポンプ、24……一段側真空ポンプの排気口、2
5……二段側真空ポンプの吸気口、26……通
路、29……隔壁、30……排気室、35……連
通孔(連通路)、36……弁装置、42……排気
口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一段側の真空ポンプと、 該一段側の真空ポンプよりも排気速度が小さい
二段側の真空ポンプと、 前記一段側の真空ポンプの排気口と前記二段側
の真空ポンプの吸入室に形成された吸気口とを接
続する通路と、 該通路と二段側の真空ポンプにおける排気室と
を連通する連通路に設けられ、前記通路側の圧力
に応じて前記排気室の排気口を介して前記通路を
大気に開放する弁装置と、 を備えてなる真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7614786U JPH0229259Y2 (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7614786U JPH0229259Y2 (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62188567U JPS62188567U (ja) | 1987-12-01 |
JPH0229259Y2 true JPH0229259Y2 (ja) | 1990-08-06 |
Family
ID=30922954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7614786U Expired JPH0229259Y2 (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0229259Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-05-20 JP JP7614786U patent/JPH0229259Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62188567U (ja) | 1987-12-01 |
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