JPH02290536A - 顕微分光測定装置 - Google Patents

顕微分光測定装置

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JPH02290536A
JPH02290536A JP11129389A JP11129389A JPH02290536A JP H02290536 A JPH02290536 A JP H02290536A JP 11129389 A JP11129389 A JP 11129389A JP 11129389 A JP11129389 A JP 11129389A JP H02290536 A JPH02290536 A JP H02290536A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pinhole
light
afocal
light source
mirror
Prior art date
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Pending
Application number
JP11129389A
Other languages
English (en)
Inventor
Shingo Kashima
伸悟 鹿島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
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Publication of JPH02290536A publication Critical patent/JPH02290536A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、顕微分光測定装置に関する。
〔従来の技術〕
一般に、顕微鏡で分光測光をする場合は、先ず標本を置
かない状態でバックグラウンド(光源の分光特性とレン
ズ系の分光特性が含まれる。)を取り、次に標本の測光
をし、その相対比較で標本の分光特性を求めるが、ここ
で光源の分光特性にバラツキがあると、測光値に誤差が
乗ってくることになる。安定化電源等を用いることによ
り、光源の分光特性が一定という仮定のちとに演算処理
をすることもあるが、より正確な測光を行なうためには
光源の分光特性を常にモニタし、それをリファレンスと
して測光データを演算処理する必要がある。
そして、従来の顕微分光測定装置における光源モニタ法
は以下のものがあった。
その一つは、標本の代わりに分光反射率(分光透過率)
のわかっているものを置き、それによる光源,−レンズ
系等を含めた全系の分光特性を測定し、それをリファレ
ンスとする方法である。
他の一つは、集光レンズと同じ集光位置に分光反射率の
分かっているミラーを有する対物レンズ(以下、リファ
レンス対物レンズと呼ぶ。)をレボルバーに取付けてお
き、そのリファレンス対物レンズを光路中にもってくる
ことによって光源,レンズ系等を含めた全系の分光特性
を測定し、それをリファレンスとする方法である。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、上記従来例の前者では、リファレンスをとる
たびに標本を交換しなければならず、標本の位置出し等
も含め非常に効率が悪いという問題があった。
又、後者では、リファレンスをとるたびに、レボルバー
が回転して対物レンズが交換されるため、標本上にゴミ
等が落ちる危険性があるという問題があった。又、透過
分光測光には対応できないという問題があった。
本発明は、上記問題点に鑑み、標本や対物レンズを動か
すことなくリファレンスをとることが可能であり、さら
に透過分光測光にも対応し得る顕微分光測定装置を提供
することを目的としている。
〔課題を解決するための手段及び作用〕本発明による顕
微分光測定装置は、光源と、該光源により照明されたピ
ンホールをアフオーカル部を介して標本面に投影するピ
ンホール投影光学系と、ピンホール照明された標本から
の光をアフォーカル部を介して測光部に結像させる測光
光学系とを備えた顕微分光測定装置において、前記ピン
ホールからの光を前記アフォーカル部に置いた反射部材
の切換えによって直接測光部に導きモニタできるように
したことにより、標本や対物レンズを動かすことなくリ
ファレンスをとることを可能にしたものである。
又、上記アフォーカル部にハーフミラーを置いてピンホ
ール照明光を既知の分光反射率の反射鏡と標本とに導く
と共に、該ハーフミラーの反射鏡側においたシャッター
を開き且つ標本側においたシャッターを閉じることによ
って、前記ピンホールからの光を直接測光部に導きモニ
タできるようにしたことにより、上記と同様な作用が得
られるようにしたものである。
又、以下の理由により、補正用の光学系も必要なくなる
という利点もある。
一般に顕微分光測定を行なう際は、測定精度を上げるた
めにスポット照明方式(***・直良方式)で照明する。
そのため照明光は通常のケーラー照明と異なり、標本面
に集光するように投影光学系に導入される。例えば、落
射照明系では、照明されたピンホールからの光が標本面
に集光するように対物レンズに導入される。しかし、対
物レンズが有限設計の場合は、対物レンズに入る前に光
路を切り換えて光源からの光を測光側に直接導入すると
、その集光位置が実際の測光の際の集光位置と異なるの
で、それを補正する光学系が必要となる。
これに対して、本発明のように対物レンズが無限設計の
場合は、対物レンズに入る前でもアフォーカルの光束中
で切り換えればその集光位置は実際の測光の際の集光位
置と一致するため、補正用の光学系は必要なくなる。同
様に、透過照明系の場合でも、無限設計のコンデンサレ
ンズを用いてアフォーカルの光束中で切り換えれば、補
正用の光学系は必要なくなる。
〔実施例〕
以下、図示した実施例に基づき本発明を詳細に説明する
第1図は第1実施例の光学系(落射分光測光系)を示し
ており、■は光源、2はピンホール、3は結像レンズ、
4はハーフミラー 5は対物レンズ、6は標本、7は結
像レンズである。そして、結像レンズ3と対物レンズ5
との間及び対物レンズ5と結像レンズ7との間は何れも
アフォーカル部となっており、そこにハーフミラー4が
位置している。
本実施例は上述の如く構成されているから、通常の測光
の際には、光源1からの光で照明されたピンホール2が
結像レンズ3,ハーフミラー4,対物レンズ5を介して
標本面6に投影される。そのピンホール照明された微小
部分の反射光は、対物レンズ5,ハーフミラー4,結像
レンズ7を通って測光系に導かれる。一方、光源lをモ
ニタする時(リファレンスをとる時)は、第2図のよう
に、ハーフミラー4を90゜回転させることによって、
光源lからの光を直接測光系に導く。
かくして、標本6や対物レンズ5を動かすことなくリフ
ァレンスをとることができる。
第3図は第2実施例の光学系を示しており、これは第1
実施例のハーフミラー4の左側(透過側)にシャッター
8と分光反射率の分かっているミラー9を置き、またハ
ーフミラー4の下側(反射側)にもシャッター10を置
いたものである。
通常の測光の際には、シャッター8を閉じ且つシャッタ
ーlOを開いておく。一方、光源lをモニタする時(リ
ファレンスをとる時)は、シャッター8を開き且つシャ
ッター10を閉じることにより、ハーフミラー4,シャ
ッター8を通った光がミラー9で反射され、再びシャッ
ター8を通りハーフミラー4で反射されて測光系に導か
れる。
第4図は第3実施例の光学系(透過分光測光系)を示し
ており、1)はコンデンサーレンズ、12,13,14
.15はミラーである。そして、結像レンズ3とコンデ
ンサーレンズIIとの間及び対物レンズ5と結像レンズ
7との間は何れもアフォーカル部となっており、夫々に
ミラーI3及びミラーl5が挿脱可能に配置されている
本実施例は上述の如く構成されているから、通常の測光
時にはミラーI3が光路内にあり、ミラー15が光路か
ら離脱している。この時、光源lからの光で照明された
ピンホール2が結像レンズ3,コンデンサーレンズ1)
を介して標本面6に投影される。そのピンホール照明さ
れた微小部分から出た光は、対物レンズ5,結像レンズ
7を通って測光系に導かれる。一方、光源1をモニタす
る時(リファレンスをとる時)は、々ラー12が光路か
ら離脱し、ミラーl5が光路内に挿入されることによっ
て、光源1からの光がミラー13,ミラー14,  ミ
ラーI5を介して測光系に直接導かれる。
第5図は第4実施例の光学系を示しており、これは第2
実施例のシャッター8とミラー9との間に正レンズl6
を配置してミラー9上に集光させるようにしたものであ
る。
光源をモニタする方法は第2実施例と同じである。
第2実施例では、ミラー9の位置(傾き)を調整したあ
とハーフミラー4の交換等によりハーフミラー4の傾き
がずれると、ピンホール2を通ってハーフミラー4で反
射した光は標本6上で光軸からずれてしまう。そこで、
光軸上にくるようにピンホール2を動かすと今度は光源
モニタのための光がとんでもない方へ行ってしまうので
、これを避けるためにミラー9の傾きを再調整しなけれ
ばならない。そして、このやり方では、ハーフミラー4
の傾きが変わる毎にミラー9の傾きも調整することが必
要である。しかし、本実施例のようにレンズl6を入れ
てレンズl6の焦点面にミラー9が位置するようにする
と、レンズ16に入射した光はミラー9で反射された後
必ず入射光と平行にレンズ16から出てゆ《。従って、
最初のセッティングが適正であれば、ハーフミラー4の
傾きが変化してもピンホール2を動かして標本6上で光
軸上にピンホール像が出来るようにすれば、光源モニタ
の場合も光は必ず測光系の光軸上に集まる(ピンホール
像を形成する)ので好ましい。
〔発明の効果〕
上述の如く、本願発明による顕微分光測定装置は、標本
や対物レンズを動かすことなくリファレンスをとること
が可能であり、さらに透過分光測光にも対応し得るとい
う実用上重要な利点を有している。
【図面の簡単な説明】
第1図は第1実施例の光学系を示す図、第2図は第1実
施例においてハーフミラーを切換えた状態を示す図、第
3図は第2実施例の光学系の要部を示す図、第4図は第
3実施例の光学系を示す図、第5図は第4実施例の要部
を示す図である。 l・・・・光学系、2・・・・ピンホール、3,7・・
・・結像レンズ、4・・・・ハーフミラー 5・・・・
対物レンズ、6・・・・標本、8,lO・・・・シャッ
ター 9,12,  13.  14.  15・・・
・ミラー 1 l・・・・コンデンサーレンズ、l6・
・・・正レンズ。 1−4図 本 1′−1図 1−2図 オ3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光源と、該光源により照明されたピンホールをア
    フォーカル部を介して標本面に投影するピンホール投影
    光学系と、ピンホール照明された標本からの光をアフォ
    ーカル部を介して測光部に結像させる測光光学系とを備
    えた顕微分光測定装置において、前記ピンホールからの
    光を前記アフォーカル部に置いた反射部材の切換えによ
    って直接測光部に導きモニタできるようにしたことを特
    徴とする顕微分光測定装置。
  2. (2)光源と、該光源により照明されたピンホールをア
    フォーカル部を介して標本面に投影するピンホール投影
    光学系と、ピンホール照明された標本からの光をアフォ
    ーカル部を介して測光部に結像させる測光光学系とを備
    えた顕微分光測定装置において、前記アフォーカル部に
    ハーフミラーを置いてピンホール照明光を既知の分光反
    射率の反射鏡と標本とに導くと共に、該ハーフミラーの
    反射鏡側に置いたシャッターを開き且つ標本側に置いた
    シャッターを閉じることによって、前記ピンホールから
    の光を直接測光部に導きモニタできるようにしたことを
    特徴とする顕微分光測定装置。
JP11129389A 1989-04-28 1989-04-28 顕微分光測定装置 Pending JPH02290536A (ja)

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JP11129389A JPH02290536A (ja) 1989-04-28 1989-04-28 顕微分光測定装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0459819U (ja) * 1990-09-29 1992-05-22
JP2003106997A (ja) * 2001-09-28 2003-04-09 Jasco Corp 顕微分光装置
WO2017094082A1 (ja) * 2015-11-30 2017-06-08 オリンパス株式会社 湾曲情報導出装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0459819U (ja) * 1990-09-29 1992-05-22
JP2003106997A (ja) * 2001-09-28 2003-04-09 Jasco Corp 顕微分光装置
WO2017094082A1 (ja) * 2015-11-30 2017-06-08 オリンパス株式会社 湾曲情報導出装置
JPWO2017094082A1 (ja) * 2015-11-30 2018-10-04 オリンパス株式会社 湾曲情報導出装置
US10197386B2 (en) 2015-11-30 2019-02-05 Olympus Corporation Bend information computation apparatus

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