JPH02289942A - Method and instrument for measuring groove shape - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To detect the groove shapes of an optical disk with high accuracy and to automate the decision of the acceptance or rejection thereof by determining the cross sectional shape of the groove width and groove depth by the diffraction intensities of zero order, 1st order and 2nd order diffracted light rays of the collimated beams of the coherent light projected to the grooves and the intervals of the grooves. CONSTITUTION:The laser beam projected the optical disk 1 is diffracted on the surface by the track grooves thereof. The diffracted light thereof is detected by a photodetector 3 and the intensity thereof is photoelectrically converted and is measured by an optical power meter 33. The photodetector 3 consists of three optical sensors; the zero order optical sensor 3a which detects the zero order diffracted light, the 1st order optical sensor 3b which detects the 1st order diffracted light diffracted at the 1st order diffraction angle theta1 with the zero order diffracted light and the 2nd order optical sensor 3c which detects the 2nd order diffracted light with the inclination at the 2nd order diffraction angle theta2 with the zero order diffracted light. The intensities of the respective optical sensors 3a to 3c of the photodetector 3 measured by an optical power meter 33 is applied to a host computer 5 where the depth and depth of the cross section of the track grooves are calculated. The measurement accuracy is improved in this way and the groove shapes of the plural places are measured by relatively moving the optical means and optical disk. The acceptance or rejection thereof is thus automatically decided.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、光ディスクの溝形状の測定方法及び’ＪＷ
に関し、特にＨｅ−Ｎｅ　レーザ光を用い゛ζ、その回
折光の強度により溝形状の測定を行・う方法及び装置に
関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for measuring the groove shape of an optical disc and a method for measuring the groove shape of an optical disc.
In particular, the present invention relates to a method and apparatus for measuring groove shapes using He--Ne laser light and the intensity of its diffracted light.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

光ディスクにはＣＤ，　ＣＤ−ＲＯＭ及びＬＤの如くの
再生専用形と、ユーザで記録することが可能な追記形と
、光磁気ディスク等の書換形とがある。このような光デ
ィスクには信号を記録するだめのピント及び溝が形成さ
れている。このピソ１・及び溝は、はじめガラス製の原
盤に形成され、それ６こニソケル電鋳を行って得られた
ニンゲル製のスタンパを介して、これを金型として用い
て躬出成形法又は２１）（フォトボリマ）法と呼ばれる
紫外線硬化樹脂を用いる信号転写法により透明基板に転
写され生信号の０ハ比に多犬な影響を与えるため、その
形状測定による合否判定が、光ディスクの製造Ｉ二程に
おける品質管理上必要となっている。Optical disks include read-only types such as CDs, CD-ROMs, and LDs, write-once types that allow users to record, and rewritable types such as magneto-optical disks. Such an optical disc has a focus and a groove for recording signals. These piso 1 and grooves are first formed on a glass master disk, and then using a stamper made of Ningel obtained by performing Nisokel electroforming, this is used as a mold by the extrusion molding method or 21 ) (Photobolima) method, which uses an ultraviolet curable resin, is transferred to a transparent substrate and has a large effect on the 0 ratio of the raw signal. It is necessary for quality control.

従来の溝形状の測定方法としては、１光ディスクの測定
・評価技術Ｊ　　（１９８８年日本工業技術センタ刊）
の１２５頁に示され゛ζいる如く、光ディスクを再生さ
せて、その読取りビックアップのサーボ信号を測定する
ごとにより行う方法及び平行ビームを溝に照射したとき
に生じる回折現象を利用し、その１次回折光の回折角度
によりトラノクピソチを測定するもの（前述の［光ディ
スクの測定・評価技術１１５頁）又は１次回折光の光量
により溝形状を測定するもの（［オプ１・ロニクスＪ　
１９８８，Ｎｏ．５の１１５ｊＪ）がある。Conventional groove shape measurement methods include 1. Optical Disc Measurement and Evaluation Technology J (published by Japan Industrial Technology Center in 1988).
As shown on page 125 of ``ζ'', the method is carried out by reproducing the optical disk and measuring the read start-up servo signal, and the diffraction phenomenon that occurs when a parallel beam is irradiated onto the groove, Part 1 One that measures the groove shape using the diffraction angle of the second-order diffracted light (see above [Optical Disc Measurement and Evaluation Technology, p. 115), or one that measures the groove shape based on the amount of the first-order diffracted light ([Op 1 Ronix J
1988, No. 5, 115jJ).

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら前Ｈの方法はピンクアンプの特ｆ′４−に
依存ずるとごろが多く、光ディスクだけのデ夕を測定す
る方法としては不適であった。また後者の方法では、ト
ランクピノ千の計測については開示されているが、満幅
及び溝深さ等の溝形状を計測することに関しては具体的
には開示されていない。また１次回折光だけの光量測定
では、溝形状を精度よくδ１測ずることは困難である。However, the method of the previous H is highly dependent on the characteristic f'4- of the pink amplifier, and is therefore unsuitable as a method for measuring the data of only optical discs. Furthermore, although the latter method discloses the measurement of trunk pinots, it does not specifically disclose the measurement of groove shapes such as full width and groove depth. Furthermore, it is difficult to accurately measure the groove shape δ1 by measuring the amount of light using only the first-order diffracted light.

この発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、平
行ビームの０次、１次及び２次回折光の回折強度及び溝
の間陥に基づき溝形状を計測することにより、精度よく
溝形状を計測できる溝形状計測方法並びに光ディスクと
測定手段とを径方向及び周方向に相対移動させるごとに
より、複数点での溝形状の測定を行い、自動的に溝形状
の合否を判定できる溝形状測定装置を提供することを目
的とする。This invention was made in view of the above circumstances, and it is possible to accurately determine the groove shape by measuring the groove shape based on the diffraction intensity of the 0th-order, 1st-order and 2nd-order diffracted light of the parallel beam and the groove depth. Groove shape measurement method that can measure the groove shape and a groove shape measuring device that can measure the groove shape at multiple points by moving the optical disk and the measuring means relative to each other in the radial and circumferential directions, and automatically determine whether the groove shape is acceptable. The purpose is to provide

〔課題を解決するための丁段］ この発明に係る溝形状１１１測定方法は、溝に照射した
可干渉光の平行ビームの０次、１次及び２次回折光の回
折強度及び溝の間隔により満幅及び溝深さの溝の横断面
形状を求めるようにしたものであり、溝形状測定装置は
、ディスクを載置する測定台と、ディスクに平行ビーム
を照射し、そこからの０次、１次及び２次回折光の同折
強度を検出する光学手段とをディスクの径方向及び周方
向に相対移動させると共に光ディスクの複数の部｛ｉ＞
で検出された回折強度により夫々の部位の溝の横断面形
状を求めるようにしたものである。[Steps to Solve the Problems] The groove shape 111 measuring method according to the present invention is satisfied by the diffraction intensities of the 0th-order, 1st-order and 2nd-order diffracted lights of the parallel beam of coherent light irradiated onto the grooves and the groove spacing. The groove shape measuring device is designed to determine the cross-sectional shape of the groove in terms of width and groove depth. The optical means for detecting the diffracted intensities of the next and second-order diffracted lights are moved relative to each other in the radial direction and circumferential direction of the disc, and a plurality of parts of the optical disc {i>
The cross-sectional shape of the groove at each location is determined based on the diffraction intensity detected.

〔作用〕[Effect]

この発明の溝形状測定方法においては、光ディスクに平
行ビーノ・を照射し、そこからのＯ次、１次及び２次回
折光の回折強度を測定し、溝の間隔及び回折強度により
溝の横断面の幅及び深さを求める。又溝形状測定装置に
おいては、測定台と光学Ｔ段との相対移動により、光デ
ィスクの複数部位の溝形状を測定し、その結果により自
動的にディスクの合否判定が可能となる。In the groove shape measuring method of the present invention, an optical disc is irradiated with a parallel beam, the diffraction intensities of the O-order, 1st-order and 2nd-order diffracted light are measured, and the cross-section of the grooves is determined based on the groove spacing and the diffraction intensity. Find the width and depth. Furthermore, in the groove shape measuring device, the groove shapes of multiple parts of the optical disk can be measured by relative movement of the measuring table and the optical T-stage, and it is possible to automatically judge whether or not the disk is acceptable based on the results.

〔実施例〕〔Example〕

以下、この発明をその−・実施例を示す圓面に基づいて
詳述する。Hereinafter, the present invention will be described in detail based on a circle showing embodiments thereof.

第１図はこの発明に係る溝形状測定装置の構成を示すブ
ロソク図である。図において３２は平板状のヘースであ
り、該ヘース３２の一端には光検知器３を取付けるため
の倒立Ｉ一字状のアーム３ｌが立設されている。またヘ
ース３２の中央部には光ディスク１を径方向に移動させ
るためのＸステージ２２が設けられている。χステージ
２２−トには後述するθステージ２１が載置されており
、図示しないリニアモータによりθステージ２１を径方
向に移動させ、光ディスク１を径方向に移動させる。θ
ステージ２１は図示しないステンビングモータによりそ
の上に載置された光ディスク１を間欠的に回転自在に駆
動するものであり、θステージ２１及びχステージ２２
の制御は、それらに接続されたステージコントローラ２
３により行われる。光ディスク１には１．６／／ｍ間隔
でスバイラル状のトラック溝が形成されており、そのト
ラック溝間又ぱｌ・ランク溝に情報が記録される。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a groove shape measuring device according to the present invention. In the figure, reference numeral 32 denotes a flat header, and an inverted I-shaped arm 3l is erected at one end of the header 32 to which the photodetector 3 is attached. Further, an X stage 22 for moving the optical disc 1 in the radial direction is provided at the center of the head 32. A θ stage 21, which will be described later, is mounted on the χ stage 22, and the θ stage 21 is moved in the radial direction by a linear motor (not shown), thereby moving the optical disc 1 in the radial direction. θ
The stage 21 intermittently rotatably drives the optical disc 1 placed thereon by a stevening motor (not shown), and includes a θ stage 21 and a χ stage 22.
are controlled by the stage controller 2 connected to them.
3. The optical disc 1 has spiral track grooves formed at intervals of 1.6 m, and information is recorded between the track grooves and in the rank grooves.

一方、光源たるｔｌｅ−Ｎｅレーザ源４は反射鏡６を介
して光ディスク１のトランク溝に平行ビームのレーザ光
を照射するものであり、光ディスク１の上方に設けられ
た反射鏡６の入射方向に配設されている。光ディスク１
乙こ照射されたレーザ光はそのトランク溝により光ディ
スクの表面で回折し、その回折光が光検知器３で検出さ
れ、その強度が光電変換されて光パワーメータ３３で測
定される。On the other hand, the tle-Ne laser source 4, which is a light source, irradiates a parallel beam of laser light to the trunk groove of the optical disc 1 via a reflecting mirror 6, and the laser beam is directed in the direction of incidence of the reflecting mirror 6 provided above the optical disc 1. It is arranged. optical disc 1
The irradiated laser light is diffracted on the surface of the optical disk by the trunk groove, the diffracted light is detected by the photodetector 3, and its intensity is photoelectrically converted and measured by the optical power meter 33.

第２図は、光検知器の構成を示す模式図であり、光検知
器３は０次回折光を検出する０次光センリー３８、０次
回折光に対して１次回折角θｌ傾いて回折する１次回折
光を検出する１次光センザ３ｂ及び０次回折光に対して
２次回折角θ２傾いて回折する２次回折光を検出する２
次光センサ３ｃの３つの光センサからなっている。なお
、ごの光センザ３ａ３ｈ・・・のレーザ光の光ディスク
１の照射位置から受光面までの距離は全て等しくなって
いる。また回折角θは次式で示す如く１・ラック溝の間
隔Ｐにより−・意に定まる。FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of a photodetector. The photodetector 3 includes a 0th-order optical sensor 38 that detects 0th-order diffracted light, and a 1st-order diffracted light sensor 38 that detects 0th-order diffracted light, and A first-order optical sensor 3b that detects the diffracted light, and a second-order optical sensor 2 that detects the second-order diffracted light that is tilted at a second-order diffraction angle θ2 with respect to the 0th-order diffracted light.
It consists of three optical sensors: a secondary optical sensor 3c; Note that the distances from the irradiation position of the optical disk 1 of the laser beams of the optical sensors 3a3h . . . to the light receiving surface are all equal. Further, the diffraction angle θ is determined by the interval P between the rack grooves as shown by the following equation.

？　λ θ一■ｓｉｎ−’　　（　　　　　　）Ｐ ここで　　Ｐ：トラック溝の間隔 ｎ：回折光の次数 λ＝レーザ光の波長 θ：回折角 なお、この例ではＰ−　１．６μｍ．λ−０．６３３μ
ｍであるので、１次回折角θ，　＝２３．３゜、２次回
折角θ２＝５２．３゜となる。? λ θ - ■sin-' ( )P where P: Interval between track grooves n: Order of diffracted light λ = Wavelength of laser light θ: Diffraction angle In this example, P- 1.6 μm. λ-0.633μ
m, the first-order diffraction angle θ, = 23.3° and the second-order diffraction angle θ2 = 52.3°.

また、光バワーメータ３３で測定された光検知器３の各
光センサ３ａ，３ｂ，３ｃの強度はポストコンビュタ５
に与えられ、そこで後述する演算により１・ランク溝の
横断面の幅及び深さが算出される。またホス１・コンピ
ュータ５はステージコン１・ローラ２３に動作指令を与
える。即ち光ディスク１上の一点の溝形状の計測が終了
すると、ポストコンピュータ５はステージコントローラ
２３に動作指令を与え、それに応してステージコン１−
ローラ２３はＸステージ２２及びθステージ２１を適宜
制御し、周方向に３１カ所、径方向に７カ所設けられた
測定点で溝形状を測定できるように光ディスク１を回転
及び移動させる。Further, the intensity of each optical sensor 3a, 3b, 3c of the photodetector 3 measured by the optical power meter 33 is determined by the post computer 5.
Then, the width and depth of the cross section of the 1-rank groove are calculated by calculations described later. Further, the host 1/computer 5 gives operation commands to the stage controller 1/roller 23. That is, when the measurement of the groove shape at one point on the optical disk 1 is completed, the post computer 5 gives an operation command to the stage controller 23, and the stage controller 1-
The roller 23 appropriately controls the X stage 22 and the θ stage 21, and rotates and moves the optical disc 1 so that the groove shape can be measured at 31 measuring points in the circumferential direction and 7 in the radial direction.

次にこの溝形状測定方法による溝形状の測定手順につい
て説明する。Next, a procedure for measuring the groove shape using this groove shape measuring method will be explained.

第３図は、この発明方法の測定手順を示ずフ「２−チャ
ートである。光ディスクｌをθステージ２１にセ／１一
する（Ｓ１）と、ホストニ１ンピ１−夕５はステージコ
ンｌ・口〜ラ２３に対してＸステージ２２を初朋位置に
移動ずべく制御ずるように指令する（Ｓ２）。FIG. 3 is a 2-chart that does not show the measurement procedure of the method of the present invention. When the optical disk 1 is placed on the θ stage 21 (S1), the host・Instructs the mouth 23 to control the X stage 22 so as not to move it to the first friend position (S2).

次にポストコンピュータ５はｌｉｅ−Ｎｅ　レーザーｇ
４にし・−ザ光を照射するように指令し、光ディスクの
上にレーザ光が照射される（Ｓ３）。そしてトラック溝
により回折されたレーザ光のＯ次、１次及び２次回折光
強度である光量が各光セン→ノ“３ａ，３ｂ，３ｃで検
出され、それが光電変換され光パワーメータ３３で測定
される（Ｓ４）。次に各光量値がホス１・コンビュータ
に送られ、溝形状が計算される（Ｓ５）。Next, post computer 5 is lie-Ne laser g
4, a command is given to irradiate laser light, and the laser light is irradiated onto the optical disc (S3). The light intensity, which is the O-th, 1st- and 2nd-order diffracted light intensity of the laser beam diffracted by the track groove, is detected by each optical sensor 3a, 3b, 3c, and is photoelectrically converted and measured by an optical power meter 33. (S4).Next, each light amount value is sent to the computer 1, and the groove shape is calculated (S5).

この計算方法は、以下の通りである。The calculation method is as follows.

フラウンホーファ−領域の回折像の振幅分布ＩＪ　（　
／／　，υは Ｕ　　（　μ，　　　ｖ）　　−−ＣＳＬ＋　　ｅｘｐ
　　　（　　　２　　π　ｉ（　　１ｉ　　ξ十υη）
｝ｄξｄη　・・・（１） で表される。Amplitude distribution IJ of the diffraction image in the Fraunhofer region (
// , υ is U (μ, v) --CSL+ exp
(2 π i( 1i ξ1υη)
}dξdη ...(1) It is expressed as follows.

断面形状がＹ−ｇ（ｘ）で表される凹凸が周期Ｐなお、
この演算は代入法で行われるため、溝形状を１ｌＩｍの
精度で求めるためにはホスト：１ンビュータ５の処理能
力に高い能力が要求され、ホストコンピュータ５が高価
となるので、予め溝形状の範囲を限定し、その範囲内で
溝幅Ｗ、溝深さｄに対してマトリノクス状に回折強度の
計算を行い、その結果をホスｌ・コンピエータ５内にテ
ーブルとＬ２で記憶しておき、回折強度の測定値をテー
ブルと比較することにより光ディスク１の溝形状（溝幅
Ｗ及び溝深さｄ）を求めてもよい。ごれ６こより、計算
の場合２１７カ所の溝形状を測定するの６こ１時間要し
ていたものが、７分程度に短縮された。The unevenness whose cross-sectional shape is represented by Y-g(x) has a period P.
Since this calculation is performed by the substitution method, in order to obtain the groove shape with an accuracy of 1 lIm, the host computer 5 requires a high processing capacity, and the host computer 5 becomes expensive. is defined, and within that range, the diffraction intensity is calculated in a matrix manner for the groove width W and the groove depth d.The results are stored in the table and L2 in the computer 5, and the diffraction intensity is The groove shape (groove width W and groove depth d) of the optical disc 1 may be determined by comparing the measured values of with a table. Based on this calculation, the time required to measure the groove shapes at 217 locations was reduced to about 7 minutes.

溝形状が求まるとポストコンビ上−夕５はその溝形状を
位置と対応づけてメモリに記憶Ｌ，（Ｓ６）、レーザ光
を消灯ずるようにｌｌｅ−Ｎｅ　レーザ源４に指令ずる
（Ｓ７）。次にポストコンピュータ５はステージコンＩ
−　［：Ｉ−ラ２３に対してθステージ２１を約１１゜
（−３６０゜／３１）回転ずるように指令し（Ｓ８）、
その位置カ月周の終りか否かを判定し（Ｓ９）、終りで
ない場合はステップ３に戻り次の位置の溝形状を求める
。終りの場合はホストコンピュータ５はステンコントロ
ーラ２３に対してＸステージ２２を次の半径位置に移動
さ一已るように指令し（５１０）　、移動した位置が径
方向（Ｘ方向）の最終位置か否かを判定し（Ｓｌｌ）　
、最終位置ではないときはステンプ３に戻り、最終位置
のときは各位置の溝形状からその平均値及び分散値を算
出し（８１．２）　、それと予め記憶してある規格値と
を比較してその光ディスクの合否判定を行い（Ｓ１３）
終了する。Once the groove shape is determined, the post-combiner 5 associates the groove shape with the position and stores it in the memory (S6), and instructs the lle-Ne laser source 4 to turn off the laser beam (S7). Next, post computer 5 is stage computer I.
- [: Command to rotate the θ stage 21 by about 11 degrees (-360 degrees/31) with respect to the I-ra 23 (S8),
It is determined whether the position is at the end of the monthly cycle (S9), and if it is not the end, the process returns to step 3 to find the groove shape at the next position. In the case of the end, the host computer 5 instructs the stainless controller 23 to move the X stage 22 to the next radial position (510), and determines whether the moved position is the final position in the radial direction (X direction). Determine whether or not (Sll)
, if it is not the final position, return to Step 3, and if it is the final position, calculate the average value and variance value from the groove shape at each position (81.2), and compare it with the standard value stored in advance. and performs a pass/fail judgment on the optical disc (S13).
finish.

これにより光ディスクの溝形状が高精度で検出できると
共にその合否判定が自動化される。As a result, the groove shape of the optical disc can be detected with high precision, and the pass/fail judgment can be automated.

次に他の実施例について説明する。Next, other embodiments will be described.

第４図は他の実施例の光検知器の構成を示す模式図であ
る。この実施例では１次、２次の回折光の光センザ３ｂ
，３ｈ及び同３ｃ，３ｃを正負両方の側に設けてあり、
前述の実施例と比べてさらに測定精度が向」二し、受光
エラーにだいするマージンが多くなる。なお、その他の
構成及び動作については第１の実施例と同様であり、説
明を省略する。FIG. 4 is a schematic diagram showing the configuration of a photodetector according to another embodiment. In this embodiment, an optical sensor 3b for first-order and second-order diffracted light
, 3h and 3c, 3c are provided on both the positive and negative sides,
The measurement accuracy is further improved compared to the above-mentioned embodiment, and the margin for light reception errors is increased. Note that the other configurations and operations are the same as those in the first embodiment, and their explanations will be omitted.

第５図はさらに他の実施例の光検知器の構成を示す模式
図である。この実施例ではレーザ光の照射位置と光セン
ナ３ｄ、同３ｈ，３ｈ及び３ｃ，３ｃとの間に５個のジ
ャック７ａ，　７ｂ．　７ｂ，　７ｃ，　７ｃを設ける
。ごのソヤッタ７ａ，７ｈ・・は光セン→ナ３ａ．３ｂ
・・・にあたっ人二回折光がそこで反射され、再度光デ
ィスク１に戻り、そごで再度回折現象が生じ、それが再
度光センサ３ａ，３ｂ・・・にて検出され、測定値がそ
れにより影響を受けるのを防止するために設けられるも
のであり、各光センサ３ａ，３ｂ・・の測定時シャッタ
７ａ，７ｈ・を１つずつ開口し、他の光センサ３＋＋，
３ｂ・・からの反射光の回折を防止する。FIG. 5 is a schematic diagram showing the configuration of a photodetector according to still another embodiment. In this embodiment, five jacks 7a, 7b. 7b, 7c, and 7c are provided. Go soyatta 7a, 7h... is the light sensor → na 3a. 3b
... is reflected there and returns to the optical disk 1 again, where another diffraction phenomenon occurs, which is detected again by the optical sensors 3a, 3b, etc., and the measured value is changed accordingly. The shutters 7a, 7h are opened one by one when each optical sensor 3a, 3b... is being measured, and the other optical sensors 3++, 3++, .
3b... Prevents diffraction of reflected light.

なお、ごのシャッタは光センサ３ａ　．　３ｈ・・・か
ら反射したレーザ光の回折を防ぐだめのものであるので
、例えばビー１、スプリノタの如く入射光と反射光とを
分離して光センサ３ａ，３ｈ・・・からの反射光が光デ
ィスク１に行かないようにしてもよい。この場合シャソ
タとは異なり同時に各次回折光を４（ク定できる利点が
ある。Note that the shutter is connected to the optical sensor 3a. This is to prevent diffraction of the laser light reflected from the optical sensors 3a, 3h, etc., so the reflected light from the optical sensors 3a, 3h... It may be arranged not to go to the optical disc 1. In this case, there is an advantage that four (4) orders of diffracted light can be determined simultaneously, unlike in the case of a shadow filter.

なお、以上３つの実施例では光センサを各次回折光毎に
設けたが、この発明はこれに限るものではなく、光セン
号を１つとし、それを各次回折光の回折角度に移動させ
る移動手段を設けて各次回折光を測定してもよい。In addition, in the above three embodiments, an optical sensor is provided for each order of diffraction light, but the present invention is not limited to this.It is possible to use one optical sensor and move it to the diffraction angle of each order of diffraction light. A means may be provided to measure each order of diffracted light.

また測定物も光ディスクだけではなく、そのガラス原盤
、スタンバ、レプリカ等の溝形状を測定することが可能
である。Furthermore, it is possible to measure the groove shape of not only optical discs but also glass master discs, stub bars, replicas, etc.

さらに径方向の移動は光学累を駆動してもよく、またそ
の測定点数も適宜定めてよいことは言うまでもない。Furthermore, it goes without saying that the movement in the radial direction may be achieved by driving the optical system, and the number of measurement points may be determined as appropriate.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したとおり、この発明によれば、０１．２次の
各次回折光の強度を測定することにより溝形状を求めて
いるので、その測定精度が向上ずる。また光学手段と光
ディスクとを移動手段により相対移動させて複数場所の
溝形状を測定し、その合否を自動判定できる等優れた効
果を奏する。As explained above, according to the present invention, the groove shape is determined by measuring the intensity of each 01.2-order diffracted light, so the measurement accuracy is improved. Moreover, the optical means and the optical disk are moved relative to each other by the moving means to measure groove shapes at a plurality of locations, and it is possible to automatically judge whether the shapes are acceptable or not, and other excellent effects are achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図はこの発明に係る溝形状測定装置の構成を示すブ
ロック図、第２図は光検知器の構成を示ず模式図、第３
図は測定手順を示すフローチャート、第４図は他の実施
例の光検知器の構成を示す模式図、第５図はさらに他の
実施例の光検知器の構成を示す模式図である。 ■・・・光ディスク　３・・・光検知器　４・・・ｌｌ
ｅ−Ｎｅレーザ源　２１・・・θステージ　２２・・・
Ｘステージ　３１・・光パワーメータ なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a groove shape measuring device according to the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of a photodetector, and FIG.
4 is a schematic diagram showing the configuration of a photodetector according to another embodiment. FIG. 5 is a schematic diagram showing the configuration of a photodetector according to another embodiment. ■...Optical disc 3...Photodetector 4...ll
e-Ne laser source 21...θ stage 22...
X stage 31... Optical power meter In the drawings, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）ディスクの周方向に所定の間隔で形成された溝の
横断面形状を可干渉光の平行ビームを用いて測定する溝
形状測定方法であって、 前記平行ビームを前記溝に照射し、そこか らの０次、１次及び２次回折光の回折強度を測定し、測
定した回折強度及び前記間隔に基づき前記横断面形状を
求めることを特徴とする溝形状測定方法。(1) A groove shape measuring method that measures the cross-sectional shape of grooves formed at predetermined intervals in the circumferential direction of a disk using a parallel beam of coherent light, the method comprising: irradiating the groove with the parallel beam; A groove shape measuring method characterized by measuring the diffraction intensities of zero-order, first-order, and second-order diffraction lights from there, and determining the cross-sectional shape based on the measured diffraction intensities and the intervals. （２）請求項１記載の溝形状測定方法の実施に用いる装
置であって、 前記ディスクを載置する測定台と、 前記ディスクに平行光を照射し、そこから の０次、１次及び２次回折光の回折強度を検出する光学
手段と、 前記測定台と前記光学手段とを、前記ディ スクの径方向及び周方向に相対移動させる移動手段と、 前記光学手段にて検出された回折強度及び前記間隔によ
り前記横断面形状を求める手段とを備えることを特徴と
する溝形状測定装置。(2) An apparatus used for carrying out the groove shape measuring method according to claim 1, comprising: a measuring table on which the disk is placed; and a parallel light beam irradiated onto the disk, from which zero-order, first-order, and second-order light are emitted. an optical means for detecting the diffraction intensity of the next-order diffracted light; a moving means for relatively moving the measuring table and the optical means in the radial direction and the circumferential direction of the disk; and the diffraction intensity detected by the optical means and the A groove shape measuring device comprising means for determining the cross-sectional shape based on an interval.