JPH02284858A - 切削装置 - Google Patents
切削装置Info
- Publication number
- JPH02284858A JPH02284858A JP10537789A JP10537789A JPH02284858A JP H02284858 A JPH02284858 A JP H02284858A JP 10537789 A JP10537789 A JP 10537789A JP 10537789 A JP10537789 A JP 10537789A JP H02284858 A JPH02284858 A JP H02284858A
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- JP
- Japan
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- workpiece
- grindstone
- grinding wheel
- cutting
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、スライシングマシン或いはダイシングマシン
等の切削装置に関する。
等の切削装置に関する。
従来の技術
従来、シリコンウェハ等のワークをテーブルに固定し、
このワークを砥石により目的に応じて切断するスライシ
ングマシン或いはダイシングマシンがある。このような
スライシングマシン或いはダイシングマシンを含む切削
装置において、第2図に示すように、左右方向に往復動
されるテーブル50にターンテーブル51を設け、この
ターンテーブル51に固定されたワーク52をスピンド
ル53.54に駆動された砥石55.56により切削し
、ノズル57.58から砥石55.56に向けて切削液
を放出するようにした切削装置がある。複数のスピンド
ル53.54は上下方向に移動する一つの可動体(図示
せず)に支承されているものである。
このワークを砥石により目的に応じて切断するスライシ
ングマシン或いはダイシングマシンがある。このような
スライシングマシン或いはダイシングマシンを含む切削
装置において、第2図に示すように、左右方向に往復動
されるテーブル50にターンテーブル51を設け、この
ターンテーブル51に固定されたワーク52をスピンド
ル53.54に駆動された砥石55.56により切削し
、ノズル57.58から砥石55.56に向けて切削液
を放出するようにした切削装置がある。複数のスピンド
ル53.54は上下方向に移動する一つの可動体(図示
せず)に支承されているものである。
複数の砥石55.56を具備する理由は種々あるが、第
3図(a)に示すように、まず、一方向に傾斜させた砥
石55でワーク52を切削し、次に、第3図(b)に示
すように、組方向に傾斜させた砥石56でワーク52を
切削することにより、第3図(c)に示すように、内方
に向かうに従い幅が広くなる溝59を形成するような場
合が挙げられる。
3図(a)に示すように、まず、一方向に傾斜させた砥
石55でワーク52を切削し、次に、第3図(b)に示
すように、組方向に傾斜させた砥石56でワーク52を
切削することにより、第3図(c)に示すように、内方
に向かうに従い幅が広くなる溝59を形成するような場
合が挙げられる。
また、第4図に示すように、ワーク52に異なる複数の
溝60.61を互いに隣接間隔を正確に定めて形成する
場合には、それぞれの溝60,6■の形状に合った複数
の砥石が用いられる。
溝60.61を互いに隣接間隔を正確に定めて形成する
場合には、それぞれの溝60,6■の形状に合った複数
の砥石が用いられる。
さらに、第5図に示すように、ワーク52に深い溝62
を形成した後にこの溝62に面取加工としてV字形の溝
63を形成する場合、逆にV字形の溝63を形成してか
ら深い溝62を形成する場合には、それぞれ溝62.6
3に合った砥石が用いられる。
を形成した後にこの溝62に面取加工としてV字形の溝
63を形成する場合、逆にV字形の溝63を形成してか
ら深い溝62を形成する場合には、それぞれ溝62.6
3に合った砥石が用いられる。
さらに、第6図に示すように、異種材料のワーク64.
.65に溝66.67を形成する場合は、ワーク64.
65に適した材料の砥石が用いられる。
.65に溝66.67を形成する場合は、ワーク64.
65に適した材料の砥石が用いられる。
このように、使用形態に応じて複数の砥石が使い分けら
れている。
れている。
発明が解決しようとする課題
上述したように、複数のスピンドル53.54が一つの
可動体に支承されているため複数の砥石55.56が同
時にワーク52に接触する。このため、これらの砥石5
5.56は自ら切削した切粉や切削液を互いに飛散し影
響を及ぼし合う。また、−本のスピンドル53又は54
の場合はワーク52の直径より僅かに余裕をもたせたス
トロークをもってテーブル50を往復動させることによ
り、ワーク52を切削することができるが、二本のスピ
ンドル53.54を並設した場合には略2倍のストロー
クをもってテーブル50を移動させなければならず、装
置全体が大型化する。
可動体に支承されているため複数の砥石55.56が同
時にワーク52に接触する。このため、これらの砥石5
5.56は自ら切削した切粉や切削液を互いに飛散し影
響を及ぼし合う。また、−本のスピンドル53又は54
の場合はワーク52の直径より僅かに余裕をもたせたス
トロークをもってテーブル50を往復動させることによ
り、ワーク52を切削することができるが、二本のスピ
ンドル53.54を並設した場合には略2倍のストロー
クをもってテーブル50を移動させなければならず、装
置全体が大型化する。
課題を解決するための手段
ワークを保持するテーブルに対して相対的に3軸方向に
移動する可動体を設け、この可動体に前記テーブルの表
面に沿う軸心をもって砥石支持体を回転自在に装着し、
この砥石支持体の外周側の複数箇所に砥石を保持すると
ともに駆動部に連結された複数のスピンドルを所定の間
隔を開けて回転自在に設けた。
移動する可動体を設け、この可動体に前記テーブルの表
面に沿う軸心をもって砥石支持体を回転自在に装着し、
この砥石支持体の外周側の複数箇所に砥石を保持すると
ともに駆動部に連結された複数のスピンドルを所定の間
隔を開けて回転自在に設けた。
作用
砥石支持体を任意角回転させることにより特定の砥石を
選択してワークに接触させることができ、これにより、
複数の砥石をワークに接触させて切削加工を能率的に行
うことができ、また、常に一つの砥石をワークに接触さ
せることにより、可動体に対してテーブルを切削方向に
相対的に往復動させる時にそのストロークを小さくする
ことができ、さらに、常に一つの砥石のみをワークに接
触させるため、ワークから離れている砥石による切粉の
発生がなく、かつ、ワークから離れている砥石のための
切削液を止めることもでき、したがって、複数の砥石が
互いに切粉や切削液の影響を及ぼし合うことがない。
選択してワークに接触させることができ、これにより、
複数の砥石をワークに接触させて切削加工を能率的に行
うことができ、また、常に一つの砥石をワークに接触さ
せることにより、可動体に対してテーブルを切削方向に
相対的に往復動させる時にそのストロークを小さくする
ことができ、さらに、常に一つの砥石のみをワークに接
触させるため、ワークから離れている砥石による切粉の
発生がなく、かつ、ワークから離れている砥石のための
切削液を止めることもでき、したがって、複数の砥石が
互いに切粉や切削液の影響を及ぼし合うことがない。
実施例
本発明の一実施例を第1図に基づいて説明する。
lは左右方向に移動するベツドで、このベツドlの上面
にはワーク2を保持するテーブルであるターンテーブル
3が回転自在に設けられている。また、前記ベツド1に
はリニアガイドベアリング4とリニアガイド5とにより
スライダ6が前後方向に移動自在に保持されている。こ
のスライダ6には可動体7が案内部材(図示せず)によ
り案内されて昇降自在に保持されている。また、スライ
ダ6の上部に固定されたモータ8に駆動されるボール螺
子9が可動体7に螺合されている。この可動体7には外
周の一部にウオームホイール10が形成された砥石支持
体11が支軸12を中心として回転自在に保持されてい
る。さらに、前記可動体7には、前記ウオームホイール
lOに噛合されたウオームギヤ13と、このウオームギ
ヤ13の軸に固定されたギヤ14と、このギヤ14に噛
合されたギヤ15とが回転自在に保持され、このギヤ1
5が直結された正逆回転自在のモータ16が可動体7に
固定されている。
にはワーク2を保持するテーブルであるターンテーブル
3が回転自在に設けられている。また、前記ベツド1に
はリニアガイドベアリング4とリニアガイド5とにより
スライダ6が前後方向に移動自在に保持されている。こ
のスライダ6には可動体7が案内部材(図示せず)によ
り案内されて昇降自在に保持されている。また、スライ
ダ6の上部に固定されたモータ8に駆動されるボール螺
子9が可動体7に螺合されている。この可動体7には外
周の一部にウオームホイール10が形成された砥石支持
体11が支軸12を中心として回転自在に保持されてい
る。さらに、前記可動体7には、前記ウオームホイール
lOに噛合されたウオームギヤ13と、このウオームギ
ヤ13の軸に固定されたギヤ14と、このギヤ14に噛
合されたギヤ15とが回転自在に保持され、このギヤ1
5が直結された正逆回転自在のモータ16が可動体7に
固定されている。
しかして、前記砥石支持体11の外周部には、それぞれ
異なる砥石17.18が固定された複数のスピンドル1
9.20が所定の間隔を開けて回転自在に支承されてい
るとともに、砥石17.18の両側及び上部を覆う砥石
カバー21.22が固定されている。一方のスピンドル
19は時計方向に、他方のスピンドル20は反時計方向
に駆動されるように、これらのスピンドル19.20は
、図示しないが、前記砥石支持体11の回転軸心上で共
通のモータに駆動されるプーリにベルトにより連結され
ているが、他の動力伝動装置を用いても良い。さらに、
前記可動体7には、前記ワーク2に向けて切削液を放出
するノズル(図示せず)が設けられている。
異なる砥石17.18が固定された複数のスピンドル1
9.20が所定の間隔を開けて回転自在に支承されてい
るとともに、砥石17.18の両側及び上部を覆う砥石
カバー21.22が固定されている。一方のスピンドル
19は時計方向に、他方のスピンドル20は反時計方向
に駆動されるように、これらのスピンドル19.20は
、図示しないが、前記砥石支持体11の回転軸心上で共
通のモータに駆動されるプーリにベルトにより連結され
ているが、他の動力伝動装置を用いても良い。さらに、
前記可動体7には、前記ワーク2に向けて切削液を放出
するノズル(図示せず)が設けられている。
このような構成において、モータ9の回転方向を交互に
変えることにより、砥石支持体11が時計方向と反時計
方向とに交互に回転し、砥石17゜18が交互にワーク
2に接触する。ワーク2に対する砥石17.18の切り
込み量はモータ8により可動体7を上方又は下方へ移動
させることにより行う。そして、ベツドlをターンテー
ブル3とともに左右方向に往復動させることによりワー
ク2が砥石17又は18により切削される。
変えることにより、砥石支持体11が時計方向と反時計
方向とに交互に回転し、砥石17゜18が交互にワーク
2に接触する。ワーク2に対する砥石17.18の切り
込み量はモータ8により可動体7を上方又は下方へ移動
させることにより行う。そして、ベツドlをターンテー
ブル3とともに左右方向に往復動させることによりワー
ク2が砥石17又は18により切削される。
ここで、ベツド1の反転動作と砥石支持体11の反転動
作とを同期させ、ベツド1が左方へ移動する時に時計方
向に回転する砥石17で切削を行い、ベツド1が右方へ
移動する時に反時計方向に回転する砥石18で切削を行
うことにより、常にアンダーカットの方法で切削を行う
ことができる。
作とを同期させ、ベツド1が左方へ移動する時に時計方
向に回転する砥石17で切削を行い、ベツド1が右方へ
移動する時に反時計方向に回転する砥石18で切削を行
うことにより、常にアンダーカットの方法で切削を行う
ことができる。
したがって、アッパーカットの方法に比較して、切削抵
抗が小さく、これにより、砥石17.18の摩耗を少な
くするとともにワーク2の欠損を防止することができ、
ベツドlの移動方向と砥石17.18の回転方向とに合
わせて切削液を放出することにより、ワーク2と砥石1
7.18との間に切削液を入れ易くすることができる。
抗が小さく、これにより、砥石17.18の摩耗を少な
くするとともにワーク2の欠損を防止することができ、
ベツドlの移動方向と砥石17.18の回転方向とに合
わせて切削液を放出することにより、ワーク2と砥石1
7.18との間に切削液を入れ易くすることができる。
また、常に一つの砥石17又は18をワーク2に接触さ
せることにより、砥石支持体11に対してターンテーブ
ル3をベツド1とともに切削方向に相対的に往復動させ
る時にそのストロークを小さくすることができ、これに
より、切削装置の設置面積を小さくすることができる。
せることにより、砥石支持体11に対してターンテーブ
ル3をベツド1とともに切削方向に相対的に往復動させ
る時にそのストロークを小さくすることができ、これに
より、切削装置の設置面積を小さくすることができる。
さらに、常に一つの砥石17又は18のみをワーク2に
接触させるため、ワーク2から離れている砥石18又は
17による切粉の発生がなく、ワーク2から離れている
砥石18又は17のための切削液を止めることもでき、
したがって、複数の砥石17.18が互いに切粉や切削
液の影響を及ぼし合うことがない。さらに、砥石17.
18が互いに逆方向に回転するため、振動を相殺するこ
とができる。
接触させるため、ワーク2から離れている砥石18又は
17による切粉の発生がなく、ワーク2から離れている
砥石18又は17のための切削液を止めることもでき、
したがって、複数の砥石17.18が互いに切粉や切削
液の影響を及ぼし合うことがない。さらに、砥石17.
18が互いに逆方向に回転するため、振動を相殺するこ
とができる。
発明の効果
本発明は上述のように構成したので、砥石支持体を任意
角回転させることにより特定の砥石を選択してワークに
接触させることができ、これにより、複数の砥石を順番
にワークに接触させて切削加工を能率的に行うことがで
き、また、常に一つの砥石をワークに接触させることに
より、砥石支持体に対してテーブルを切削方向に相対的
に往復動させる時にそのストロークを小さくすることが
でき、さらに、常に一つの砥石のみをワークに接触させ
るため、ワークから離れている砥石による切粉の発生が
なく、かつ、ワークから離れている砥石のための切削液
を止めることもでき、したがって、複数の砥石が互いに
切粉や切削液の影響を及ぼし合うことを防止することが
できる等の効果を有する。
角回転させることにより特定の砥石を選択してワークに
接触させることができ、これにより、複数の砥石を順番
にワークに接触させて切削加工を能率的に行うことがで
き、また、常に一つの砥石をワークに接触させることに
より、砥石支持体に対してテーブルを切削方向に相対的
に往復動させる時にそのストロークを小さくすることが
でき、さらに、常に一つの砥石のみをワークに接触させ
るため、ワークから離れている砥石による切粉の発生が
なく、かつ、ワークから離れている砥石のための切削液
を止めることもでき、したがって、複数の砥石が互いに
切粉や切削液の影響を及ぼし合うことを防止することが
できる等の効果を有する。
第1図は本発明の一実施例を示す正面図、第2図ないし
第6図は従来例を示すもので、第2図は複数の砥石の配
列状態を示す正面図、第3図ないし第6図はワークに対
する切削加工を示す側面図である。 2・・・ワーク、3・・・テーブル、7・・・可動体、
11・・・砥石支持体、17.18・・・砥石、19.
20・・・スピンドル 出願人 株式会社 開本工作機械製作所〜肩 図 ノ°f、」0 ・J]へλシ J’!、20−スピンド1し
第6図は従来例を示すもので、第2図は複数の砥石の配
列状態を示す正面図、第3図ないし第6図はワークに対
する切削加工を示す側面図である。 2・・・ワーク、3・・・テーブル、7・・・可動体、
11・・・砥石支持体、17.18・・・砥石、19.
20・・・スピンドル 出願人 株式会社 開本工作機械製作所〜肩 図 ノ°f、」0 ・J]へλシ J’!、20−スピンド1し
Claims (1)
- ワークを保持するテーブルと、前記ワークに対して相対
的に3軸方向に移動する可動体と、前記テーブルの表面
に沿う軸心をもって前記可動体に回転自在に保持された
砥石支持体と、駆動部に連結されて前記砥石支持体の外
周側の複数箇所に所定の間隔を開けて回転自在に保持さ
れた複数のスピンドルと、これらのスピンドルに着脱自
在に連結された砥石とよりなることを特徴とする切削装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10537789A JPH02284858A (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10537789A JPH02284858A (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 切削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02284858A true JPH02284858A (ja) | 1990-11-22 |
Family
ID=14405993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10537789A Pending JPH02284858A (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02284858A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04315567A (ja) * | 1991-04-12 | 1992-11-06 | Tekunisuko:Kk | 切削装置 |
JP2010069564A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 研削方法 |
-
1989
- 1989-04-25 JP JP10537789A patent/JPH02284858A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04315567A (ja) * | 1991-04-12 | 1992-11-06 | Tekunisuko:Kk | 切削装置 |
JP2010069564A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 研削方法 |
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