JPH02284858A - 切削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、スライシングマシン或いはダイシングマシン
等の切削装置に関する。

従来の技術 従来、シリコンウェハ等のワークをテーブルに固定し、
このワークを砥石により目的に応じて切断するスライシ
ングマシン或いはダイシングマシンがある。このような
スライシングマシン或いはダイシングマシンを含む切削
装置において、第２図に示すように、左右方向に往復動
されるテーブル５０にターンテーブル５１を設け、この
ターンテーブル５１に固定されたワーク５２をスピンド
ル５３．５４に駆動された砥石５５．５６により切削し
、ノズル５７．５８から砥石５５．５６に向けて切削液
を放出するようにした切削装置がある。複数のスピンド
ル５３．５４は上下方向に移動する一つの可動体（図示
せず）に支承されているものである。

複数の砥石５５．５６を具備する理由は種々あるが、第
３図（ａ）に示すように、まず、一方向に傾斜させた砥
石５５でワーク５２を切削し、次に、第３図（ｂ）に示
すように、組方向に傾斜させた砥石５６でワーク５２を
切削することにより、第３図（ｃ）に示すように、内方
に向かうに従い幅が広くなる溝５９を形成するような場
合が挙げられる。

また、第４図に示すように、ワーク５２に異なる複数の
溝６０．６１を互いに隣接間隔を正確に定めて形成する
場合には、それぞれの溝６０，６■の形状に合った複数
の砥石が用いられる。

さらに、第５図に示すように、ワーク５２に深い溝６２
を形成した後にこの溝６２に面取加工としてＶ字形の溝
６３を形成する場合、逆にＶ字形の溝６３を形成してか
ら深い溝６２を形成する場合には、それぞれ溝６２．６
３に合った砥石が用いられる。

さらに、第６図に示すように、異種材料のワーク６４．
．６５に溝６６．６７を形成する場合は、ワーク６４．
６５に適した材料の砥石が用いられる。

このように、使用形態に応じて複数の砥石が使い分けら
れている。

発明が解決しようとする課題 上述したように、複数のスピンドル５３．５４が一つの
可動体に支承されているため複数の砥石５５．５６が同
時にワーク５２に接触する。このため、これらの砥石５
５．５６は自ら切削した切粉や切削液を互いに飛散し影
響を及ぼし合う。また、−本のスピンドル５３又は５４
の場合はワーク５２の直径より僅かに余裕をもたせたス
トロークをもってテーブル５０を往復動させることによ
り、ワーク５２を切削することができるが、二本のスピ
ンドル５３．５４を並設した場合には略２倍のストロー
クをもってテーブル５０を移動させなければならず、装
置全体が大型化する。

課題を解決するための手段 ワークを保持するテーブルに対して相対的に３軸方向に
移動する可動体を設け、この可動体に前記テーブルの表
面に沿う軸心をもって砥石支持体を回転自在に装着し、
この砥石支持体の外周側の複数箇所に砥石を保持すると
ともに駆動部に連結された複数のスピンドルを所定の間
隔を開けて回転自在に設けた。

作用 砥石支持体を任意角回転させることにより特定の砥石を
選択してワークに接触させることができ、これにより、
複数の砥石をワークに接触させて切削加工を能率的に行
うことができ、また、常に一つの砥石をワークに接触さ
せることにより、可動体に対してテーブルを切削方向に
相対的に往復動させる時にそのストロークを小さくする
ことができ、さらに、常に一つの砥石のみをワークに接
触させるため、ワークから離れている砥石による切粉の
発生がなく、かつ、ワークから離れている砥石のための
切削液を止めることもでき、したがって、複数の砥石が
互いに切粉や切削液の影響を及ぼし合うことがない。

実施例 本発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。

ｌは左右方向に移動するベツドで、このベツドｌの上面
にはワーク２を保持するテーブルであるターンテーブル
３が回転自在に設けられている。また、前記ベツド１に
はリニアガイドベアリング４とリニアガイド５とにより
スライダ６が前後方向に移動自在に保持されている。こ
のスライダ６には可動体７が案内部材（図示せず）によ
り案内されて昇降自在に保持されている。また、スライ
ダ６の上部に固定されたモータ８に駆動されるボール螺
子９が可動体７に螺合されている。この可動体７には外
周の一部にウオームホイール１０が形成された砥石支持
体１１が支軸１２を中心として回転自在に保持されてい
る。さらに、前記可動体７には、前記ウオームホイール
ｌＯに噛合されたウオームギヤ１３と、このウオームギ
ヤ１３の軸に固定されたギヤ１４と、このギヤ１４に噛
合されたギヤ１５とが回転自在に保持され、このギヤ１
５が直結された正逆回転自在のモータ１６が可動体７に
固定されている。

しかして、前記砥石支持体１１の外周部には、それぞれ
異なる砥石１７．１８が固定された複数のスピンドル１
９．２０が所定の間隔を開けて回転自在に支承されてい
るとともに、砥石１７．１８の両側及び上部を覆う砥石
カバー２１．２２が固定されている。一方のスピンドル
１９は時計方向に、他方のスピンドル２０は反時計方向
に駆動されるように、これらのスピンドル１９．２０は
、図示しないが、前記砥石支持体１１の回転軸心上で共
通のモータに駆動されるプーリにベルトにより連結され
ているが、他の動力伝動装置を用いても良い。さらに、
前記可動体７には、前記ワーク２に向けて切削液を放出
するノズル（図示せず）が設けられている。

このような構成において、モータ９の回転方向を交互に
変えることにより、砥石支持体１１が時計方向と反時計
方向とに交互に回転し、砥石１７゜１８が交互にワーク
２に接触する。ワーク２に対する砥石１７．１８の切り
込み量はモータ８により可動体７を上方又は下方へ移動
させることにより行う。そして、ベツドｌをターンテー
ブル３とともに左右方向に往復動させることによりワー
ク２が砥石１７又は１８により切削される。

ここで、ベツド１の反転動作と砥石支持体１１の反転動
作とを同期させ、ベツド１が左方へ移動する時に時計方
向に回転する砥石１７で切削を行い、ベツド１が右方へ
移動する時に反時計方向に回転する砥石１８で切削を行
うことにより、常にアンダーカットの方法で切削を行う
ことができる。

したがって、アッパーカットの方法に比較して、切削抵
抗が小さく、これにより、砥石１７．１８の摩耗を少な
くするとともにワーク２の欠損を防止することができ、
ベツドｌの移動方向と砥石１７．１８の回転方向とに合
わせて切削液を放出することにより、ワーク２と砥石１
７．１８との間に切削液を入れ易くすることができる。

また、常に一つの砥石１７又は１８をワーク２に接触さ
せることにより、砥石支持体１１に対してターンテーブ
ル３をベツド１とともに切削方向に相対的に往復動させ
る時にそのストロークを小さくすることができ、これに
より、切削装置の設置面積を小さくすることができる。

さらに、常に一つの砥石１７又は１８のみをワーク２に
接触させるため、ワーク２から離れている砥石１８又は
１７による切粉の発生がなく、ワーク２から離れている
砥石１８又は１７のための切削液を止めることもでき、
したがって、複数の砥石１７．１８が互いに切粉や切削
液の影響を及ぼし合うことがない。さらに、砥石１７．
１８が互いに逆方向に回転するため、振動を相殺するこ
とができる。

発明の効果 本発明は上述のように構成したので、砥石支持体を任意
角回転させることにより特定の砥石を選択してワークに
接触させることができ、これにより、複数の砥石を順番
にワークに接触させて切削加工を能率的に行うことがで
き、また、常に一つの砥石をワークに接触させることに
より、砥石支持体に対してテーブルを切削方向に相対的
に往復動させる時にそのストロークを小さくすることが
でき、さらに、常に一つの砥石のみをワークに接触させ
るため、ワークから離れている砥石による切粉の発生が
なく、かつ、ワークから離れている砥石のための切削液
を止めることもでき、したがって、複数の砥石が互いに
切粉や切削液の影響を及ぼし合うことを防止することが
できる等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図ないし
第６図は従来例を示すもので、第２図は複数の砥石の配
列状態を示す正面図、第３図ないし第６図はワークに対
する切削加工を示す側面図である。 ２・・・ワーク、３・・・テーブル、７・・・可動体、
１１・・・砥石支持体、１７．１８・・・砥石、１９．
２０・・・スピンドル 出願人　株式会社　開本工作機械製作所〜肩 図 ノ°ｆ、」０　　・Ｊ］へλシ Ｊ’！、２０−スピンド１し

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ワークを保持するテーブルと、前記ワークに対して相対
   的に３軸方向に移動する可動体と、前記テーブルの表面
   に沿う軸心をもって前記可動体に回転自在に保持された
   砥石支持体と、駆動部に連結されて前記砥石支持体の外
   周側の複数箇所に所定の間隔を開けて回転自在に保持さ
   れた複数のスピンドルと、これらのスピンドルに着脱自
   在に連結された砥石とよりなることを特徴とする切削装
   置。