JPH0228317A - Method for carrying boat - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、ボート搬送方法に関する。[Detailed description of the invention] [Purpose of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a boat transport method.
（従来の技術）
従来、半導体装置の製造例えば拡散処理、酸化膜形成、
ＣＶＤ膜形成などに熱処理装置が使用されている。この
熱処理装置による熱処理は次のように行う。先ず、被処
理体のウェハを例えば５０枚搭載した石英製ウェハボー
トをワークポジションに置く。このボートをエレベータ
により熱処理炉のボート受渡し位置へ搬送する。そして
、搬入手段によってボートを直接エレベータから熱処理
炉へ移し、ウェハに所定の熱処理を施す。(Prior art) Conventionally, semiconductor device manufacturing, such as diffusion treatment, oxide film formation,
Heat treatment equipment is used for CVD film formation and the like. Heat treatment using this heat treatment apparatus is performed as follows. First, a quartz wafer boat loaded with, for example, 50 wafers to be processed is placed at a work position. This boat is transported by elevator to the boat delivery position of the heat treatment furnace. Then, the boat is directly transferred from the elevator to the heat treatment furnace by the carrying means, and the wafers are subjected to a predetermined heat treatment.
しかし、ボート搬入手段には、各種のタイプのものがあ
る。このため搬入手段へのボートの受渡しを円滑に行う
には、搬入手段のタイプに合致したボートやエレベータ
を用意する必要がある。However, there are various types of boat loading means. Therefore, in order to smoothly transfer the boat to the loading means, it is necessary to prepare a boat or elevator that matches the type of loading means.
例えば、非接触でウェハを熱処理炉へ出入れする搬入手
段には、ソフトランディング、カンチレバー、アトモス
キャン（商品名）と称しているものがある。For example, there are methods called Soft Landing, Cantilever, and Atmoscan (trade name) that transport wafers into and out of heat treatment furnaces in a non-contact manner.
ソフトランディング方式は、第１０図（ａ）に示すよう
な舟形のボート（１０）を第１０図（ｂ）に示す一端側
が断面円形のホークと称せられるウェハ搬入アーム（１
２）や、第１０図（ｃ）に示す一端側が断面矩形のホー
クと称せられるウェハ搬入アーム（１２’）によって下
から持上げて保持する。そして、第１１図に示す如く、
非接触でウェハ（１４）を搭載したボー１− （１０）
を熱処理炉（１６）内に搬入する。次いで、熱処理炉（
１６）内にボート（１０）を設置した後、搬送アーム（
１２） （１２’ ）を熱処理炉（１６）から外に出す
。この状態で反応炉に蓋をしてウェハ（１４）に熱処理
を施す。In the soft landing method, a boat-shaped boat (10) as shown in FIG. 10(a) is connected to a wafer loading arm (10) called a hawk with one end having a circular cross section as shown in FIG. 10(b).
2) or a wafer carrying arm (12') called a hawk, one end of which has a rectangular cross section, as shown in FIG. 10(c), lifts and holds the wafer from below. And, as shown in Figure 11,
Board 1- (10) with wafer (14) mounted without contact
is carried into the heat treatment furnace (16). Next, a heat treatment furnace (
After installing the boat (10) inside the transport arm (
12) Take out (12') from the heat treatment furnace (16). In this state, the reactor is covered and the wafer (14) is subjected to heat treatment.
また、カンチレバ一方式は、ソフトランディングと同様
にボート（１０）を搬送アーム（１２） （１２’ ）
によって下から持上げて保持する。そして、反応炉内壁
に対して非接触状態でウェハ（１４）を熱処理炉（１６
）内に搬入する。ソフトランディングと異なる点は、ボ
ート（１０）を搬送アーム（１２）（１２’）に載置し
たままの状態でウェハ（Ｉ４）に熱処理を施す点にある
。Also, with the cantilever one-way type, the boat (10) can be moved by the transport arm (12) (12') in the same way as for soft landing.
Lift it up from below and hold it. Then, the wafer (14) is placed in the heat treatment furnace (16) without contacting the inner wall of the reactor.
). The difference from soft landing is that the wafer (I4) is subjected to heat treatment while the boat (10) remains placed on the transfer arm (12) (12').
このようにソフトランディングおよびカンチレバーによ
る搬入手段は、ウェハ搬送アーム（１２）（１２’）が
ボート（１０）を下から持ち上げて保持するようになっ
ている。このため、ボート受渡し位置でのボート（１０
）の受渡しは、次のように行われる。In this manner, the soft landing and cantilever carrying means is such that the wafer transfer arms (12) (12') lift and hold the boat (10) from below. For this reason, the boat (10
) is transferred as follows.
まず、第１０図（ｂ）に示すように、ボート（１０）の
長手方向の両端に設けられた取手（１０ａ） （１０ｂ
）をエレベータにより保持する。この状態で矢印（ｂよ
）に示すようにエレベータを下降して、ウェハボート（
１０）をウェハ搬送アーム（１２）上に載置する。そし
て、エレベータによる取手（１０ａ） （１０ｂ）の把
持を解除する。この後、エレベータを矢印（ｂ２）に示
すように上方に退避させる。そして、ボート（１０）の
受渡しを完了する。First, as shown in FIG. 10(b), handles (10a) (10b) are provided at both ends of the boat (10) in the longitudinal direction.
) is held by an elevator. In this state, go down the elevator as shown by the arrow (b) and move to the wafer boat (
10) is placed on the wafer transfer arm (12). Then, the grip of the handles (10a) and (10b) by the elevator is released. Thereafter, the elevator is evacuated upward as shown by arrow (b2). Then, the delivery of the boat (10) is completed.
一方、アトモスキャン方式は、第１２図に示すように中
空円筒形状をした搬送アーム（１８）を使用する。この
搬送アーム（１８）内にボート（１０）を挿入する。ぞ
して、第１３図（ａ）（ｂ）に示すように、搬送アーム
（１８）内に窒素ガス等の不活性ガスを導入する。これ
によって大気中の酸素とウェハ（１４）が反応して酸化
筒が形成されないようにする。この状態で搬送アーム（
１８）を熱処理炉（１６）内に挿入し、ウェハ（１４）
に熱処理を施する。On the other hand, the Atmoscan method uses a hollow cylindrical transport arm (18) as shown in FIG. A boat (10) is inserted into this transfer arm (18). Then, as shown in FIGS. 13(a) and 13(b), an inert gas such as nitrogen gas is introduced into the transfer arm (18). This prevents oxygen in the atmosphere from reacting with the wafer (14) to form an oxidation tube. In this state, transfer arm (
18) into the heat treatment furnace (16), and the wafer (14)
Heat treatment is applied to.
このようにアトモスキャンの場合、搬送アーム（１８）
は中空筒状に形成されている。このためソフトランディ
ングやカンチレバーの方式で用いたものと同様の構造を
有するボート（１０）及びエレベータを用いると、エレ
ベータによって搬送アーム（１８）内にボー）−（１０
）を受渡することができない。そこで、エレベータは、
ボート（１０）を下から支持しながらボート受渡し位置
まで搬送する構造のものを使用する。そして、エレベー
タは、搬送アーム（１８）の先端側の底部に形成された
長溝（１８ａ）に沿って搬送アーム（１８）内にボート
（１０）を挿入する。In this way, in the case of Atmoscan, the transport arm (18)
is formed into a hollow cylinder shape. For this reason, if a boat (10) and an elevator having a structure similar to those used in the soft landing or cantilever method are used, the elevator will move the boat (10) into the transfer arm (18).
) cannot be delivered. Therefore, the elevator
A structure that supports the boat (10) from below and transports it to the boat delivery position is used. Then, the elevator inserts the boat (10) into the transport arm (18) along the long groove (18a) formed at the bottom of the distal end of the transport arm (18).
ボート（１０）が搬送アーム（１８）内に入ったところ
で、エレベータは降下する。ボート（１０）は、長溝（
１８ａ）に沿って載置された状態になっている。然る後
、エレベータを作業者側に退避する。Once the boat (10) is inside the transfer arm (18), the elevator descends. The boat (10) has a long groove (
18a). After that, the elevator is evacuated to the worker's side.
（発明が解決しようとする課題）
ところで、熱処理装置には、複数段の熱処理炉が設けら
れている場合が多い。そして、１台のエレベータにより
各熱処理炉にボートを搬送している。(Problems to be Solved by the Invention) By the way, heat treatment apparatuses are often provided with a plurality of stages of heat treatment furnaces. The boats are transported to each heat treatment furnace using one elevator.
しかし、従来のボート搬送方法は、熱処理炉のタイプが
異なると、搬送手段のタイプも異なり、使用するエレベ
ータの支持機構も異なる。その結果、種類の異なる熱処
理炉に対して、共通のエレベータを使用できない問題が
あった。However, in the conventional boat transport method, different types of heat treatment furnaces require different types of transport means, and different elevator support mechanisms are used. As a result, there was a problem in that a common elevator could not be used for different types of heat treatment furnaces.
特に、半導体装置の製造は、少品種大量生産から多品種
少量生産へと移りつつある。このような状況下で、タイ
プの異なる複数の熱処理炉を備えた熱処理装置の開発が
望まれていた。In particular, the manufacturing of semiconductor devices is moving from mass production of a small number of products to production of a large number of products in small quantities. Under these circumstances, it has been desired to develop a heat treatment apparatus equipped with a plurality of heat treatment furnaces of different types.
しかし、従来のボート搬送方法は、タイプの異なる複数
の熱処理炉に対して、共通のエレベータによってボート
の搬送ができず、上述の要望に対応できない問題があっ
た。However, the conventional boat transport method has a problem in that it is not possible to transport boats to a plurality of different types of heat treatment furnaces using a common elevator, and thus cannot meet the above-mentioned demands.
本発明は上記点に対処してなされたもので、共通のエレ
ベータにより複数の熱処理炉に円滑にボートを搬送する
ことができるボート搬送方法を提供しようとするもので
ある。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a boat transport method that allows boats to be smoothly transported to a plurality of heat treatment furnaces using a common elevator.
（課題を解決するための手段）
本発明は、複数段の熱処理炉の各ボート受渡し位置へ、
被処理体が配列支持されたボートを共通のエレベータを
用いて搬送するボート搬送方法であって、エレベータに
よりボート受渡し位置に搬送されてきたボートを昇降機
能を有するボート置台に載置し、その後このボート置台
から熱処理炉搬入手段へボートを受渡すことを特徴とす
るボート搬送方法を得るものである。(Means for Solving the Problems) The present invention provides a method for each boat delivery position of a multi-stage heat treatment furnace.
This is a boat transport method in which a boat in which objects to be processed are arranged and supported is transported using a common elevator. A method for transporting a boat is provided, which is characterized in that the boat is delivered from a boat stand to a heat treatment furnace carrying means.
（作 用）
複数段の熱処理炉の各ボート受渡し位置へ、被処理体が
配列支持されたボートを共通のエレベータを用いて搬送
するボート搬送方法であって、エレベータによりボート
受渡し位置に搬送されてきたボートを昇降機能を有する
ボート置台に載置し。(Function) A boat transport method in which a boat on which objects to be processed are arrayed and supported is transported to each boat delivery position of a multi-stage heat treatment furnace using a common elevator. Place the boat on a boat stand that has a lifting function.
その後このボート置台から熱処理炉搬入手段へボートを
受渡すことにより、各種タイプの熱処理炉搬入手段に対
応した特別な構造のエレベータを用意する必要はなく、
タイプの異なる各熱処理炉のボート受渡し位置へ共通の
エレベータを用いてボートの搬送を行なうことができる
。By then transferring the boat from this boat platform to the heat treatment furnace loading means, there is no need to prepare an elevator with a special structure that corresponds to various types of heat treatment furnace loading means.
A common elevator can be used to transport the boats to the boat delivery positions of the different types of heat treatment furnaces.
特に、カンチレバーまたはソフトランディングタイプの
熱処理炉と、アトモスキャンタイプの熱処理炉の双方が
設けられている場合でも、これら各熱処理炉のボート受
渡し位置へ向は共通のエレベータを用いてボートの搬送
を行なうことができる。従って、タイプの異なる種類の
熱処理炉が設けられた多品種少量生産用の熱処理装置に
適用することにより、各種半導体の製造を効率良く行な
うことができる。In particular, even if both a cantilever or soft landing type heat treatment furnace and an atmoscan type heat treatment furnace are installed, a common elevator is used to transport the boats to the boat delivery position of each of these heat treatment furnaces. be able to. Therefore, by applying the present invention to a heat treatment apparatus for high-mix, low-volume production that is equipped with different types of heat treatment furnaces, it is possible to efficiently manufacture various semiconductors.
さらに、エレベータは、ボートを単にボート受渡し位置
に設けられたボート置台へ載置すれば良く、従来のよう
に、熱処理炉搬入手段との間の直接的な受渡し動作を行
なう必要がない。このため、エレベータによるボート搬
送作業をスピーデイ−にかつ効率良く行なうことができ
る。Furthermore, the elevator only needs to place the boat on a boat platform provided at the boat delivery position, and there is no need to perform a direct transfer operation between the boat and the heat treatment furnace carrying means as in the conventional case. Therefore, the boat transport work using the elevator can be carried out quickly and efficiently.
（実施例）
以下、本発明方法の一実施例について図面を参照して説
明する。(Example) Hereinafter, an example of the method of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は、本発明の一実施例の構成を示す説明図である
。この熱処理装置は、拡散炉、ＣＶＤ（Ｃｈｓ＋ｍ１ｃ
ａＱＶａｐｏｒ Ｄｓｐｏｓｔｉｏｎ）炉、酸化炉等の
用途に使用される。この熱処理装置は、タイプの異なる
複数段の熱処理炉（１６ａ） （１６ｂ） （１６Ｃ）
（１６ｄ）を有している。FIG. 1 is an explanatory diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention. This heat treatment equipment includes a diffusion furnace, CVD (Chs+m1c
It is used for applications such as aQVapor Dposition furnaces and oxidation furnaces. This heat treatment equipment has multiple stages of different types of heat treatment furnaces (16a) (16b) (16C).
(16d).
熱処理炉（１６ａ）は、アトモスキャンタイプとして形
成され、熱処理炉（１６ｂ）はカンチレバータイプ、熱
処理炉（１６ｃ） （１６ｄ）はソフトランディングタ
イプに夫々形成されている。The heat treatment furnace (16a) is formed as an atmoscan type, the heat treatment furnace (16b) is formed as a cantilever type, and the heat treatment furnaces (16c) and (16d) are formed as a soft landing type.
各熱処理炉（１６ａ） （１６ｂ） （１６ｃ） （１
６ｄ）の入口部前方には、ボート受渡し位置が設けられ
ている。この各ボート受渡し位置には、ボート載置台（
６０）が夫々設けられている。Each heat treatment furnace (16a) (16b) (16c) (1
A boat delivery position is provided in front of the entrance section 6d). Each boat delivery position is equipped with a boat loading platform (
60) are provided respectively.
熱処理装置の前面部下部には、ワークポジション（２０
）が設定されている。このワークポジション（２０）に
は、多数のウェハ（１４）を搭載したボート（１０）が
載置される。ワークポジション（２０）に載置されたボ
ート（１０）は、矢印（１００）に示すように所望の熱
処理炉（１６）のボート受渡し位置へ搬送されるように
なっている。このボート（１０）の搬送は、熱処理装置
の前面部に昇降自在に設けられたエレベータ（３０）に
より行われる。There are work positions (20
) is set. A boat (10) carrying a large number of wafers (14) is placed on this work position (20). The boat (10) placed at the work position (20) is transported to a boat delivery position of a desired heat treatment furnace (16) as shown by an arrow (100). The boat (10) is transported by an elevator (30) provided at the front of the heat treatment apparatus so that it can be raised and lowered.
ボート（１０）は、第２図に示すように、その長手方向
に沿う両端部に被支持部となる一対のボート取手（１０
ａ）（１０ａ）を有している。エレベータ（３０）は、
チャック（４２） （４２）によってこのボート取手（
１０ａ）（１０ａ）を支持するようになっている。As shown in FIG. 2, the boat (10) has a pair of boat handles (10) that serve as supported parts at both ends along its longitudinal direction.
a) It has (10a). The elevator (30) is
This boat handle (
10a) (10a).
第３図は、エレベータ（３０）の構成を示す斜視図であ
る。このエレベータ（３０）は、筐体内に立設されたガ
イドレール（３４）に沿って上下方向（図中のＺ軸方向
）に昇降動するスライド本体（３２）を有している。こ
のスライド本体（３２）の前面部には、固定アーム（３
６）が突設（図中のＸ軸方向に突設）されている。この
固定アーム（３６）には、一対の揺動アーム（３ｇ）
（３８）が、矢印（３００）にて示すように所定の水平
面内で揺動自在に軸支されている。これらの揺動アーム
（３８） （３８）の先端部によって、１つの支持アー
ム（４０）が保持されている。支持アーム（４０）の両
端部には、一対のチャック（４２） （４２’ ）が取
付けられている。一対のチャック（４２） （４２’
）は、支持アーム（４０）の長手方向に沿う対向間隔を
矢印（３１０）にて示すように開閉シリンダ（４４）（
４４）により調整できるようになっている。夫々の開閉
シリンダ（４４）、（４４）は、筒状支持アーム（４０
）内に内蔵され発塵対策されている。スライド本体（３
２）は、筐体の下部に設けられたＺ＃用ステッピングモ
ータ（４６）を駆動することにより、２軸ボールネジ（
４８）が回転して昇降動するようになっている。Ｚ＃氷
ボールジ（４８）は、スライド本体（３２）を貫挿する
ようにして筐体内に立設されている。FIG. 3 is a perspective view showing the structure of the elevator (30). This elevator (30) has a slide main body (32) that moves up and down in the vertical direction (Z-axis direction in the figure) along a guide rail (34) provided upright within the housing. The front part of this slide body (32) has a fixed arm (3
6) is provided protrudingly (protrudingly provided in the X-axis direction in the figure). This fixed arm (36) has a pair of swinging arms (3g).
(38) is pivotably supported within a predetermined horizontal plane as shown by the arrow (300). One support arm (40) is held by the tips of these swing arms (38) (38). A pair of chucks (42) (42') are attached to both ends of the support arm (40). A pair of chucks (42) (42'
) is an opening/closing cylinder (44) (
44). Each opening/closing cylinder (44), (44) has a cylindrical support arm (40
) to prevent dust generation. Slide body (3
2) is a two-axis ball screw (
48) rotates and moves up and down. The Z# ice ballge (48) is installed upright within the housing so as to penetrate through the slide body (32).
スライド本体（３２）の下部には、Ｙ軸周ステッピング
モータ（５０）が設けられている。このＹ軸周ステッピ
ングモータ（５０）には、Ｙ軸ボールネジ（５２）が取
付けられている。このＹ軸周ボールネジ（５２）には、
一対の棒状の駆動体（５４）の夫々の端部が螺合してい
る。駆動体（５４）の夫々の端部は、揺動アーム（３８
） （３８）に接続されている。そして、Ｙ軸周ステッ
ピングモータ（５０）を駆動することにより、Ｙ軸ボー
ルネジ（５２）が回転し、駆動体（５４）を介して支持
アーム（４０）を矢印（３００）で示す方向に揺動する
ようになっている。この操作によって支持アーム（４０
）はＹ軸方向へ平行移動するようになっている。また、
開閉シリンダ（４４） （４４）を駆動することにより
、矢印（３１０）で示すように雨チャック（４２） （
４２’ ）の対向間隔を調節できるようになっている。A Y-axis circumferential stepping motor (50) is provided at the bottom of the slide body (32). A Y-axis ball screw (52) is attached to this Y-axis circumferential stepping motor (50). This Y-axis circumferential ball screw (52) has
The respective ends of the pair of rod-shaped drive bodies (54) are screwed together. Each end of the driver (54) is connected to a swing arm (38).
) (38). By driving the Y-axis circumferential stepping motor (50), the Y-axis ball screw (52) rotates, and the support arm (40) swings in the direction shown by the arrow (300) via the driver (54). It is supposed to be done. By this operation, the support arm (40
) is arranged to move in parallel in the Y-axis direction. Also,
By driving the opening/closing cylinder (44) (44), the rain chuck (42) (
42') can be adjusted.
次に、第２図を参照しながらワークポジション（２０）
上にＩｔｌｉ置されたボート（１０）を、エレベータ（
３０）を用いて搬送する場合について説明する。まず、
シリンダ（４４） （４４）を駆動して両チャック（４
２）（４２）の間の間隔を広げる。次に、エレベータ（
３０）を図中矢印（２０ＯＡ）で示すように下降させる
。Next, while referring to Figure 2, set the work position (20).
Take the boat (10) placed on top of the elevator (
30) will be explained. first,
Both chucks (4) are driven by driving the cylinder (44) (44).
2) Increase the distance between (42). Next, take the elevator (
30) is lowered as shown by the arrow (20OA) in the figure.
次に、シリンダ（４４） （４４）を駆動して、チャッ
ク（４２） （４２）の間隔を図中矢印（２００Ｂ）で
示すように狭め、ボート取手（１０ａ） （１０ａ）の
下に位置させる。Next, the cylinders (44) (44) are driven to narrow the gap between the chucks (42) (42) as shown by arrows (200B) in the figure, and position them below the boat handle (10a) (10a). .
次に、Ｚ軸周ステッピングモータ（４６）を駆動し。Next, the Z-axis circumferential stepping motor (46) is driven.
矢印（２００Ｃ）で示すようにボート（１０）の両方の
取手（１０ａ） （１０ａ）をチャック（４２）（４２
）を用いて下から持上げる。As shown by the arrow (200C), chuck both handles (10a) (10a) of the boat (10) (42) (42).
) to lift it from below.
このようにして、エレベータ（３０）は、ボート（１０
）を持上げた後、第１図の矢印（１００）で示すように
所望の熱処理炉（１６）のボート置台（６０）へ向はボ
ート（１０）を搬送する。そして、搬送したボート（工
０）を、前述したボートをつかむ場合とは逆の手順で、
ボート置台（６０）上に載置する。In this way, the elevator (30)
), the boat (10) is transported toward the boat mounting stand (60) of the desired heat treatment furnace (16) as shown by the arrow (100) in FIG. Then, the transported boat (work 0) is carried out in the reverse procedure of grabbing the boat mentioned above.
Place it on the boat stand (60).
ボート置台（６０）は、第４図に示すように、基台（６
２）と、この基台（６２）上にガイド（６６）を介して
図中上下方向へ移動可能に取り付けられた受板（６４）
とを有する。そして、受板（６４）は、基台（６２）上
に設けられたエアシリンダ（６８）を用いて、図中上下
方向へ昇降制御される。The boat stand (60) is a base (60) as shown in FIG.
2), and a receiving plate (64) mounted on the base (62) via a guide (66) so as to be movable in the vertical direction in the figure.
and has. The receiving plate (64) is controlled to rise and fall in the vertical direction in the figure using an air cylinder (68) provided on the base (62).
また、この受板（６４）上には、石英などを用いて形成
された複数のボート受（７０）が設けられている。Furthermore, a plurality of boat supports (70) made of quartz or the like are provided on the support plate (64).
そして、このボート置台（６０）上には、第５図に示す
ようにボート（１０）が、その長手方向をボート置台（
６０）の長手方向と二数するようにして載置される。As shown in FIG.
60) is placed so as to be parallel to the longitudinal direction.
次に、ボート置台（６０）上に載置されたボート（１０
）を、アトモスキャン用の熱処理炉搬入手段へ受は渡す
場合を例に取り説明する。Next, the boat (10
) is transferred to a heat treatment furnace carrying means for Atmoscan as an example.
アトモスキャンタイプの熱処理炉搬入手段は、第５図に
示すように、略中空円筒状に形成された搬送アーム（１
８）を有する。As shown in FIG. 5, the Atmoscan type heat treatment furnace loading means has a transport arm (1
8).
この搬送アーム（１８）は、耐熱性を有する材料。This transfer arm (18) is made of a heat-resistant material.
例えば石英ガラスなどを用いて形成されている。For example, it is formed using quartz glass.
その開口端側底部には、矢印（ＳＯＯ）で示すアーム移
動方向に沿ってボート（１０）の長さに対応した長溝（
１８ａ）が形成されている。At the bottom of the opening end, there is a long groove (
18a) is formed.
また、この搬送アーム（１８）は、その他端側か第６図
に示すようにアーム保持部（８０）を介してスライド台
（８２）へ取り付けられている。Further, the other end of the transfer arm (18) is attached to the slide table (82) via an arm holding portion (80) as shown in FIG.
このスライド台（８２）は、トラック（８４）に沿って
熱処理炉（１６ａ）に向はスライド移動自在に形成され
ている。このスライド台（８２）上には、モータ（８６
）が搭載されたキャリッジ（８８）が、ベアリング（９
０）を用いてアーム進向方向へ移動自在に取り付は固定
されている。このキャリッジ（８８）は、一対のスプリ
ング（９２） （９２）を用いてスライド台後方に向は
付勢されている。そして、モータ（８Ｇ）を回転駆動す
ることにより、そのモータ（８６）の回転力がピニオン
（９４ａ）を介してラック（９４ｂ）に伝えられ。This slide table (82) is formed to be slidable along a track (84) toward the heat treatment furnace (16a). On this slide stand (82), a motor (86
) is loaded with a bearing (9).
0), the mounting is fixed so as to be movable in the direction in which the arm advances. This carriage (88) is biased toward the rear of the slide table using a pair of springs (92) (92). By rotating the motor (8G), the rotational force of the motor (86) is transmitted to the rack (94b) via the pinion (94a).
スライド台（８２）を熱処理炉（１６ａ）の方向に向は
スライド駆動するようになっている。The slide table (82) is slid in the direction of the heat treatment furnace (16a).
また、アーム保持具（８０）は、ボール（８１ａ） 、
ソケット（ａｔｂ）を用いて搬送アーム（１８）の他端
側上端部を着脱自在に支持している。The arm holder (80) also includes a ball (81a),
The upper end of the other end of the transfer arm (18) is detachably supported using a socket (atb).
そして、搬送アーム（１８）を支持する高さを、スライ
ド台（８２）側に垂直方向に沿って設けられた縦溝（９
６）に沿って調整する。また搬送アーム（１８）を支持
する傾きを、三叉スパイダ（９８）の左右両脚に設けら
れた調整ネジ（１００）により調整している。Then, the height for supporting the transfer arm (18) is determined by a vertical groove (9) provided along the vertical direction on the slide table (82) side.
6). Further, the inclination of supporting the transport arm (18) is adjusted by adjustment screws (100) provided on both the left and right legs of the trident spider (98).
また、アーム保持部（８０）には、不活性ガス例えば窒
素などのガスを搬送アーム（１８）内に導入するための
ガス導入口（１０２）が設けられ、搬送アーム（１８）
内を熱処理炉（１６ａ）内と同じ雰囲気とすることがで
きるように形成されている。そして、この搬送アーム（
１８）内に導入された不活性ガスは、排気口（１０２ａ
） （１０４ｂ）を介して外部に排出される。Further, the arm holding portion (80) is provided with a gas inlet (102) for introducing an inert gas such as nitrogen into the transfer arm (18).
It is formed so that the inside can have the same atmosphere as the inside of the heat treatment furnace (16a). And this transfer arm (
18), the inert gas introduced into the exhaust port (102a
) (104b).
そして、ボート置台（６０）から搬送アーム（１８）へ
のボート（１０）の受渡しは第５図に示したように行わ
れる。The boat (10) is transferred from the boat stand (60) to the transfer arm (18) as shown in FIG.
すなわち、この実施例では、ボート置台（６０）は、搬
送アーム（１８）の移動経路に沿って配置されている。That is, in this embodiment, the boat stand (60) is arranged along the movement path of the transfer arm (18).
そして、エレベータ（３０）により搬送されたボート（
１０）が載置されると、このボート置台（６０）の高さ
は、ウェハ（１４）を搭載したボート（１０）が、搬送
アーム（１８）が前進してきても衝突しない高さとなる
ようシリンダ（６８）により調整される。Then, the boat (
10) is placed on the cylinder, the height of the boat stand (60) is such that the boat (10) carrying the wafer (14) does not collide with the transfer arm (18) even if it moves forward. (68).
この状態で、搬送アーム（１８）は前進を開始し。In this state, the transport arm (18) starts moving forward.
ボート（１０）が中空円筒形状したその内部にすっぽり
納まった位置で停止する。The boat (10) stops at a position completely housed inside the hollow cylindrical shape.
このようにして、ボート（１０）は、第７図に示すよう
に、中空円筒形状をした搬送アーム（１８）内部に完全
に収納され、しかもボート置台（６０）は溝（１８ａ）
を介してボート（１０）を載置している状態となる。In this way, the boat (10) is completely housed inside the hollow cylindrical transfer arm (18), as shown in FIG.
The boat (10) is now placed there.
この状態で、ボート置台（６０）を下降させると。In this state, the boat stand (60) is lowered.
第８図および第９図（、）に示すように、ボート（１０
）は中空円筒形状した搬送アーム（１８）の先端側にそ
の長溝（Ｌ８ａ）に沿って支持される。これにより、搬
送アーム（１８）へのボート（１０）の受渡しが終了す
る。As shown in Figures 8 and 9 (,), the boat (10
) is supported along the long groove (L8a) on the distal end side of the hollow cylindrical transfer arm (18). This completes the transfer of the boat (10) to the transfer arm (18).
このようにして、ボート（１０）の受渡しが終了した後
、搬送アーム（１８）を第９図（ｂ）に示すように前進
させ、ボート（１０）を熱処理炉（１６ａ）内に搬入す
る。After the transfer of the boat (10) is completed in this way, the transfer arm (18) is moved forward as shown in FIG. 9(b), and the boat (10) is carried into the heat treatment furnace (16a).
この搬入時に、第６図に示す搬送アームのフランジ（１
０４）が、熱処理炉（１６ａ）側の当接フランジ（１０
６）に衝突しても、その衝撃はキャリッジ（８８）とス
ライド台（８２）との間に設けられたスプリング（９２
） （９２）により吸収される。しかもその後、スプリ
ング（９２） （９２）の付勢力によりフランジ（１０
４）側は、フランジ（１０６）に良好に圧着される。こ
のため熱処理炉（１６ａ）内を一定の雰囲気に保つこと
ができる。At the time of carrying in, the flange (1) of the transfer arm shown in Fig.
04) is the contact flange (10) on the heat treatment furnace (16a) side.
6), the impact is absorbed by the spring (92) installed between the carriage (88) and the slide base (82).
) (92). Moreover, after that, the flange (10) is
4) side is well crimped to the flange (106). Therefore, it is possible to maintain a constant atmosphere inside the heat treatment furnace (16a).
このように、ボート置台（６０）上にボート（１０）を
載置した後、ボート置台（６０）を第７図および第８図
に示すように昇降制御するのみで、ボート置台（６０）
から円筒形状した支持アーム（１８）へのボート（１０
）の受渡しをスムーズに行うことができる。In this way, after placing the boat (10) on the boat holder (60), the boat holder (60) can be moved up and down by simply controlling the boat holder (60) to move up and down as shown in FIGS. 7 and 8.
from the boat (10) to the cylindrical support arm (18).
) can be delivered smoothly.
以上は、アトモスキャンタイプの熱処理炉搬入手段へ、
ボート（１０）を受は渡す場合の動作である。The above describes how to transport the Atmoscan type heat treatment furnace.
Receiving the boat (10) is an action when passing the boat (10).
本発明は、これ以外のタイプ、例えばソフトランディン
グ、カンチレバータイプの熱処理炉搬入手段に対するボ
ート受渡し動作も同様にして行うことができることは勿
論である。Of course, the present invention can similarly perform boat transfer operations for other types of heat treatment furnace loading means, such as soft landing and cantilever types.
この場合には、例えば第７図に示すようにボート（１０
）がボート置台（６０）上に載置されているときに、ボ
ート（ｉｏ）とボート置台（６０）との間に、例えば第
１０図（ｂ）に示す搬送アーム（１２）の先端部（１２
ａ）が侵入する隙間（７００）ができるよう、ボート置
台（６０）を形成してやればよい。In this case, for example, a boat (10
) is placed on the boat stand (60), for example, the tip of the transfer arm (12) shown in FIG. 12
The boat stand (60) may be formed so as to create a gap (700) through which a) can enter.
このようにすれば、ボート（１０）が載置されたボート
置台（６０）を昇降制御するのみで、カンチレバーまた
はソフトランディングタイプの搬送アーム（１２）に対
しても、ボート置台（６０）からボート（１０）の受渡
しを簡単に行うことができる。In this way, by simply controlling the elevation of the boat platform (60) on which the boat (10) is placed, the boat can be moved from the boat platform (60) to the cantilever or soft landing type transfer arm (12). (10) Delivery can be easily performed.
以上説明したように、この実施例によれば、タイプの異
なる複数の熱処理炉（１６ａ） （１６ｂ） （１６ｃ
） （１６ｄ）が複数段にわたって設けられている場合
でも。As explained above, according to this embodiment, there are a plurality of heat treatment furnaces (16a) (16b) (16c) of different types.
) (16d) is provided in multiple stages.
ウェハ（１４）が搭載されたボート（１０）を共通のエ
レベータ（３０）を用いて各熱処理炉（１６）のボート
受渡し位置へ搬送し、各熱処理炉搬入手段へ受は渡すこ
とができる。A boat (10) loaded with wafers (14) is transported to a boat delivery position of each heat treatment furnace (16) using a common elevator (30), and the boat can be delivered to each heat treatment furnace carrying means.
また、エレベータ（３０）はボート置台（６０）へ搬送
してきたボート（ｌＯ）を載置するのみで、すぐに次の
ボート搬送作業へ移ることができるため、ボート搬送作
業を極めて能率良く行うことができる。In addition, the elevator (30) only needs to place the transported boat (lO) on the boat platform (60) and can immediately move on to the next boat transport operation, making the boat transport work extremely efficient. I can do it.
本発明は、このようにタイプの異なる複数の熱処理炉が
設けられた熱処理装置に対して特に効果的なものである
。しかし、本発明はこれに限らず、同じタイプの熱処理
炉が複数段にわたって設けられている熱処理装置に対し
ても適用することができる。The present invention is particularly effective for a heat treatment apparatus provided with a plurality of heat treatment furnaces of different types. However, the present invention is not limited to this, and can also be applied to a heat treatment apparatus in which heat treatment furnaces of the same type are provided in multiple stages.
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。Note that the present invention is not limited to the above embodiments,
Various modifications are possible within the scope of the invention.
例えば、前記実施においては、第１図に示すようにカン
チレバータイプの熱処理炉（１６ｂ） （１６ｃ）。For example, in the above implementation, cantilever type heat treatment furnaces (16b) (16c) are used as shown in FIG.
ソフトランディングタイプの熱処理炉（１６ｄ）の各ボ
ート受渡し位置にもボート置台（６０）を設けた場合を
例に取り説明したが、このようなソフトランディングま
たはカンチレバータイプの熱処理炉のボート受渡し位置
へボートを搬送してきた場合には、ボート置台（６０）
を用いずに、エレベータ（３０）から直接熱処理炉搬入
手段へボートを受は渡しても良い。The explanation has been given by taking as an example a case where a boat stand (60) is also provided at each boat delivery position of a soft landing type heat treatment furnace (16d). If you have transported a boat, use the boat stand (60)
The boat may be transferred directly from the elevator (30) to the heat treatment furnace loading means without using the elevator (30).
すなわち、このようなソフトランディングまたはカンチ
レバータイプの熱処理炉搬入手段に対しては、従来と同
様エレベータ（３０）から搬入手段へ直接ボート（１０
）の受渡しを行っても良い。In other words, for such soft landing or cantilever type heat treatment furnace loading means, the boat (10
) may be delivered.
このようにすることにより、例えば第１図に示すように
タイプの異なる複数の熱処理炉（１６ａ）（１６ｂ）・
・・（１６ｄ）が設けられている場合に、アトモスキャ
ンタイプの熱処理炉のボート受渡し位置にのみボート置
台（６０）を設けるのみでよく、装置全体の構成を簡単
なものとすることができる。By doing this, for example, as shown in FIG. 1, a plurality of heat treatment furnaces (16a), (16b), and
(16d), it is only necessary to provide the boat stand (60) at the boat delivery position of the Atmoscan type heat treatment furnace, and the configuration of the entire apparatus can be simplified.
また、前記実施例においては、スイング式のエレベータ
（３０）を用いた場合を例に取り説明したが、本発明は
これに限らずｘＹＺ軸に沿って移動機構が設けられたも
のを用いても良い。Further, in the above embodiment, the case where a swing-type elevator (30) is used is explained as an example, but the present invention is not limited to this, and the present invention can also be applied to an elevator provided with a movement mechanism along the xYZ axes. good.
また、本実施例においてはボート置台（６０）の昇降手
段としてエアシリンダー（６８）を設けた場合を例に取
り説明したが、本発明はこれに限らず、これ以外の各種
タイプの昇降手段を必要に応じて用いることもできる。Further, in this embodiment, an example is explained in which an air cylinder (68) is provided as a means for raising and lowering the boat stand (60), but the present invention is not limited to this, and various types of means for raising and lowering the boat stand (60) can be used. It can also be used as needed.
以上説明したように、本発明によれば、エレベータによ
り搬送されてきたボートを、ボート受渡し位置に設けら
れた昇降機能を有するボート置台上に載置し、その後こ
のボート置台から熱処理炉搬入手段へボートを受は渡す
ことにより、複数段の熱処理炉のボートを受渡し位置へ
、共通のエレベータを用いてボートを搬送することがで
きるという効果がある。As explained above, according to the present invention, a boat transported by an elevator is placed on a boat platform having a lifting function provided at a boat delivery position, and then transferred from this boat platform to a heat treatment furnace carrying means. By transferring the boats, it is possible to transport the boats of the multi-stage heat treatment furnace to the transfer position using a common elevator.
特に、本発明によれば、タイプの異なる複数段の熱処理
炉が設けられている場合にも、共通のエレベータを用い
てボートの搬送を行うことができるため１例えば、ワー
クポジションに異なるタイプの熱処理炉へ搬送すべきボ
ートがランダムに送られてくる場合にも、ボートの搬送
作業を極めて効率良くしかも簡単な装置で行うことがで
きる。In particular, according to the present invention, even when multiple stages of heat treatment furnaces of different types are provided, boats can be transported using a common elevator. Even when boats to be transported to the furnace are sent at random, the boat transport work can be carried out extremely efficiently and with a simple device.
第１図は本発明方法が適用された熱処理装置の一例を示
す説明図、第２図は第１図に示す装置のワークポジショ
ン部分の概略斜視図、第３図は本実施例に用いられるエ
レベータの説明図、第４図は本発明に用いられるボート
置台の概略斜視図、第５図は第４図に示すボート置台上
にボートが載置された状態の一例を示す説明図、第６図
はアトモスキャンタイプの熱処理炉にボートを搬入する
ボート搬入手段の外観斜視図、第７図および第８図はボ
ート置台からボート搬入手段へのボート受渡し動作の説
明図、第９図は受は渡されたボートを熱処理炉へ搬入す
る動作の説明図であり、同図（ａ）はアトモスキャンタ
イプの搬送アームにボートを受は渡した直後の説明図、
同図（ｂ）は受は渡されたボートを熱処理炉内へ搬入し
た状態を示す説明図、第１０図はカンチレバー、ソフト
ランディングに使用される搬送アームおよびボートを説
明するための概略斜視図、第１１図は第１０図に示す搬
送アームおよびボートを使用して熱処理炉内への搬入動
作を示す概略断面図、第１２図はアトモスキャンに使用
される搬送アームおよびボートの概略斜視図、第１３図
は、第１２図に示す搬送アーム内に不活性ガスを導入し
ている状態の説明図である。
１０・・・ボート １０ａ・・・ボート取手
１２・・・搬送アーム １４・・・ウェハ１６・
・・熱処理炉 １８・・・搬送アーム２０・・
・ワークポジション ３０・・・エレベータ６０・・・
ボート置台Fig. 1 is an explanatory diagram showing an example of a heat treatment apparatus to which the method of the present invention is applied, Fig. 2 is a schematic perspective view of the work position portion of the apparatus shown in Fig. 1, and Fig. 3 is an elevator used in this embodiment. FIG. 4 is a schematic perspective view of a boat stand used in the present invention, FIG. 5 is an explanatory view showing an example of a state in which a boat is placed on the boat stand shown in FIG. 4, and FIG. is a perspective view of the boat loading means for loading the boat into the Atmoscan type heat treatment furnace, Figures 7 and 8 are explanatory diagrams of the boat transfer operation from the boat stand to the boat loading unit, and Figure 9 is the FIG. 2 is an explanatory diagram of the operation of transporting a boat into a heat treatment furnace; FIG.
FIG. 10(b) is an explanatory view showing the state in which the boat received by the receiver is carried into the heat treatment furnace, and FIG. 10 is a schematic perspective view for explaining the cantilever, the transfer arm used for soft landing, and the boat. FIG. 11 is a schematic sectional view showing the transporting operation into the heat treatment furnace using the transfer arm and boat shown in FIG. FIG. 13 is an explanatory diagram of a state in which an inert gas is introduced into the transfer arm shown in FIG. 12. 10... Boat 10a... Boat handle 12... Transfer arm 14... Wafer 16.
... Heat treatment furnace 18 ... Transfer arm 20 ...
・Work position 30...Elevator 60...
boat stand
Claims (1)
配列支持されたボートを共通のエレベータを用いて搬送
するボート搬送方法であって、エレベータによりボート
受渡し位置に搬送されてきたボートを昇降機能を有する
ボート置台に載置し、その後このボート置台から熱処理
炉搬入手段へボートを受渡すことを特徴とするボート搬
送方法。A boat transport method in which a boat on which objects to be treated are arranged and supported is transported to each boat delivery position of a multi-stage heat treatment furnace using a common elevator, and the boat that has been transported to the boat delivery position by the elevator is raised and lowered. 1. A method for transporting a boat, which comprises placing the boat on a functional boat platform, and then transferring the boat from the boat platform to a heat treatment furnace carrying means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2200689A JP2639723B2 (en) | 1988-02-05 | 1989-01-31 | Boat transport method and heat treatment device |
Applications Claiming Priority (3)
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|---|---|---|---|
| JP2550588 | 1988-02-05 | ||
| JP63-25505 | 1988-02-05 | ||
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH0228317A true JPH0228317A (en) | 1990-01-30 |
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Family
ID=26359165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2639723B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112747601A (en) * | 2019-10-31 | 2021-05-04 | 光洋热***股份有限公司 | Heat treatment apparatus |
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|---|---|---|---|---|
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-
1989
- 1989-01-31 JP JP2200689A patent/JP2639723B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112747601A (en) * | 2019-10-31 | 2021-05-04 | 光洋热***股份有限公司 | Heat treatment apparatus |
| JP2021071260A (en) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | 光洋サーモシステム株式会社 | Heat treatment device |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2639723B2 (en) | 1997-08-13 |
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