JPH02281670A - 高周波励起ガスレーザ発振装置 - Google Patents
高周波励起ガスレーザ発振装置Info
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- JPH02281670A JPH02281670A JP10268089A JP10268089A JPH02281670A JP H02281670 A JPH02281670 A JP H02281670A JP 10268089 A JP10268089 A JP 10268089A JP 10268089 A JP10268089 A JP 10268089A JP H02281670 A JPH02281670 A JP H02281670A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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- H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は放電管の軸方向と光軸方向が一致したガスレー
ザ発振装置に関するものであシ、特に最も容易にレーザ
ビーム横モードを可変できるようにした高周波励起ガス
レーザ発振装置に関するものである。
ザ発振装置に関するものであシ、特に最も容易にレーザ
ビーム横モードを可変できるようにした高周波励起ガス
レーザ発振装置に関するものである。
従来の技術
従来の高周波励起ガスレーザ発振装置は、第３図ａに示
すものであった。この図に於て、１はガラヌなどの誘電
体よシなる放電管であシ、２．３は前記放電管１の外周
面に密着して設けられた金属電極である。４は前記電極
２．３に接続された高周波電源であり、たとえば１３．
５６ ＭＨｚ 、２ＫＶの電圧を画電極２，３間に印加
している。５は前記電極２．３間にはさまれた放電管１
内の放電空間である。６は全反射鏡、７は部分反射鏡で
あり。
すものであった。この図に於て、１はガラヌなどの誘電
体よシなる放電管であシ、２．３は前記放電管１の外周
面に密着して設けられた金属電極である。４は前記電極
２．３に接続された高周波電源であり、たとえば１３．
５６ ＭＨｚ 、２ＫＶの電圧を画電極２，３間に印加
している。５は前記電極２．３間にはさまれた放電管１
内の放電空間である。６は全反射鏡、７は部分反射鏡で
あり。
この全反射鏡６９部分反射鏡７は前記放電空間６の両端
に固定配置され、光弁振器を形成している。
に固定配置され、光弁振器を形成している。
８は前記部分反射鏡子より出力されるレーザビームであ
る。矢印９はレーザガフの流れる方向を示しており、第
３図に示すような軸流型レーザ装置の中を循環している
。１ｏは送気管であり、１１゜１２は前記放電空間５に
て放電及び送風機により温度上昇したレーザガフの温度
を下げるための熱交換器、１３はレーザガフを循環させ
るための送風機である。
る。矢印９はレーザガフの流れる方向を示しており、第
３図に示すような軸流型レーザ装置の中を循環している
。１ｏは送気管であり、１１゜１２は前記放電空間５に
て放電及び送風機により温度上昇したレーザガフの温度
を下げるための熱交換器、１３はレーザガフを循環させ
るための送風機である。
なお、送風機１３により放電区間６にて約１０゜ｍ／ｓ
ｅａ程度のガフ流を得る必要がある。
ｅａ程度のガフ流を得る必要がある。
第３図すは第３図ａの放電空間５部分の放電管１及び電
極２．３の断面を示す図である。
極２．３の断面を示す図である。
以上が従来の軸流型レーザ装置の構成であシ。
次にその動作について説明する。
まず一対の金属電極２．３に高周波電源４から高周波高
電圧を印加し、放電空間６にグロー状の放電を発生させ
る。放電空間５を通過するレーザガフは、この放電エネ
ルギーを得て励起され、その励起されたレーザガフは全
反射鏡６および部分反射鏡７によシ形成された光共振器
で共振状態となり、部分反射鏡７からレーザビーム８が
出力される。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途
に用いられる。特に、加工用途によっては、瞬時に横モ
ードを切り替えることが必要になる。
電圧を印加し、放電空間６にグロー状の放電を発生させ
る。放電空間５を通過するレーザガフは、この放電エネ
ルギーを得て励起され、その励起されたレーザガフは全
反射鏡６および部分反射鏡７によシ形成された光共振器
で共振状態となり、部分反射鏡７からレーザビーム８が
出力される。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途
に用いられる。特に、加工用途によっては、瞬時に横モ
ードを切り替えることが必要になる。
発明が解決しようとする課題
上記の構成では、レーザビームの横モードハ放電管１の
管内径及び全反射鏡６１部分反射鏡７の曲率によって支
配される。
管内径及び全反射鏡６１部分反射鏡７の曲率によって支
配される。
従って、従来は瞬時に横モードを可変することが不可能
であった。
であった。
この発明は、かかる課題を解決するためになされたもの
で、電気的に瞬時に横モードを可変できる高周波励起ガ
スレーザ発振装置を提供することを目的とする。
で、電気的に瞬時に横モードを可変できる高周波励起ガ
スレーザ発振装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は、上記課題を解決するために放電管内の放電領
域を電気的に増減し、横モードを瞬時に変化可能な高周
波励起ガスレーザ発振装置としたものである。
域を電気的に増減し、横モードを瞬時に変化可能な高周
波励起ガスレーザ発振装置としたものである。
作用
この発明における横モードを瞬時に切り替えることによ
シ、異なる加工作業間の時間損失が大幅られ、スイッチ
１１．１２により、電極２，３への電圧印加が制御され
る。例えば５図示したようにスイッチ１１をＯＦＦし、
スイ１．．チ１２をＯＮした場合と、スイッチ１１およ
び１２をＯＮした場合、各放電管１．１内のガフの吸収
により全体の利得が低下して出てくるレーザビームの横
モード形状が異なる。
シ、異なる加工作業間の時間損失が大幅られ、スイッチ
１１．１２により、電極２，３への電圧印加が制御され
る。例えば５図示したようにスイッチ１１をＯＦＦし、
スイ１．．チ１２をＯＮした場合と、スイッチ１１およ
び１２をＯＮした場合、各放電管１．１内のガフの吸収
により全体の利得が低下して出てくるレーザビームの横
モード形状が異なる。
第２図は、電極２／ 、 ３／を傾斜させ、放電管軸方
向の電極間インピーダンヌに勾配をもたせ電気入力に応
じて放電領域を変化させ横モードを制御する実施例であ
る。この方法を用いても同様の効果が得られる。
向の電極間インピーダンヌに勾配をもたせ電気入力に応
じて放電領域を変化させ横モードを制御する実施例であ
る。この方法を用いても同様の効果が得られる。
発明の効果
以上のように、この発明によれば放電管内の放電領域を
電気的に制御することにより瞬時に横モード切り替え可
能な高周波励起ガスレーザ発振装置を提供でき、加工時
間を大幅に短縮可能となシランニングコストの安い経済
的なレーザ加工に優れた効果を発揮する。
電気的に制御することにより瞬時に横モード切り替え可
能な高周波励起ガスレーザ発振装置を提供でき、加工時
間を大幅に短縮可能となシランニングコストの安い経済
的なレーザ加工に優れた効果を発揮する。
第１図は本発明の一実施例を示すガスレーザ発振装置の
回路図およびレーザビームの横モード形状を示す図、第
２図は本発明の他の実施例を示すガスレーザ発振装置の
回路図およびレーザビームの横モード形状を示す図、第
３図２Ｌは従来のガスレーザ発振装置の回路図、第３図
すは同要部断面図である。 １・・・・・・放電管−２，２’、３．３’・・山・電
極、４・・・・・・高周波電源、１１．１２・・・・・
・ヌイ・ンチ。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名第 図 第 図 第 図 （ｂ）
回路図およびレーザビームの横モード形状を示す図、第
２図は本発明の他の実施例を示すガスレーザ発振装置の
回路図およびレーザビームの横モード形状を示す図、第
３図２Ｌは従来のガスレーザ発振装置の回路図、第３図
すは同要部断面図である。 １・・・・・・放電管−２，２’、３．３’・・山・電
極、４・・・・・・高周波電源、１１．１２・・・・・
・ヌイ・ンチ。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名第 図 第 図 第 図 （ｂ）
Claims (3)
- （１） 誘電体よりなる放電管内を光軸方向にレーザガ
スを流し、前記放電管の外周面に設けられた金属電極間
に高周波電圧を印加し、前記放電管内に高周波放電を発
生させ、この高周波放電をレーザ励起源として前記放電
管の軸方向にレーザビームを発生する高周波励起ガスレ
ーザ発振装置において、前記放電管内の高周波放電領域
を増減させることによりレーザビームの横モードを変化
可能としたことを特徴とする高周波励起ガスレーザ発振
装置。 - （２） 放電管を複数個軸方向に設け、各種横モードに
応じて放電する放電管数を電気信号により制御可能とし
た特許請求の範囲第１項記載の高周波励起ガスレーザ発
振装置。 - （３） 金属電極間の間隔を放電管内ガス上流から下流
にむけて変化させた特許請求の範囲第１項記載の高周波
励起ガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10268089A JPH02281670A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 高周波励起ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10268089A JPH02281670A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 高周波励起ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02281670A true JPH02281670A (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=14333951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10268089A Pending JPH02281670A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 高周波励起ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02281670A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000046891A1 (de) * | 1999-02-03 | 2000-08-10 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Laser mit einer einrichtung zur veränderung der verteilung der intensität des laserlichtes über den laserstrahlquerschnitt |
| US7173954B2 (en) * | 2002-12-10 | 2007-02-06 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillation device |
| JP5653444B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2015-01-14 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP10268089A patent/JPH02281670A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000046891A1 (de) * | 1999-02-03 | 2000-08-10 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Laser mit einer einrichtung zur veränderung der verteilung der intensität des laserlichtes über den laserstrahlquerschnitt |
| US6539045B1 (en) | 1999-02-03 | 2003-03-25 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Laser with device for modifying the distribution of laser light intensity across the laser beam cross-section |
| US7173954B2 (en) * | 2002-12-10 | 2007-02-06 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillation device |
| EP1429432B2 (en) † | 2002-12-10 | 2012-11-28 | Fanuc Corporation | Gas laser oscillation device |
| JP5653444B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2015-01-14 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
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