JPH0226605A - 微粒子除去エアフィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は空気中の不純物を除去するエアフィルタ装置に
係り、特に不純′ｌＩＪ微粒子の除去効率の向上に好適
なエアフィルタ装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、クリーンルーム用超高性能エアフィルタ装置は、
微粒子除去エアフィルタ即ちＨＥＰＡフィルタとしてガ
ラス繊維等の枦材を用い、特開昭６２−１１３０９９号
には、このようなエアフィルタ装置において、廃ＨＥＰ
Ａフィルタを処理するためのＰ材減容装置が開示されて
いる。

一方、従来の高分子膜は、特開昭６２−１２１６１７号
及び特開昭６２−１１３０９８号記載のようにガス分離
を目的とする気体透過膜として使用、開発されてきた。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来技術として確立されているＨ　Ｅ　Ｐ　Ａフィルタ
は、前述したようにｒ材としてガラス繊維を用いている
ため、自ずと不純物微粒子の除去効率には限界があり、
−窓以上除去効率を上げることはできなかった。また０
、３μｍを出すなめには、構造上の問題から１５〜２５
ｎｎＡｑという低差圧条件下で利用しなければならず、
エアを送るダクト径に比べて数段大きな断面が必要とな
り、エアフィルタ室の容積及び建屋が大きくなるという
問題があった。

本発明の目的は、不純物微粒子の除去効率を著しく向上
させることのできるエアフィルタ装置を提供することで
ある。

本発明の他の目的は、エアフィルタ容積を小さくし、建
屋スペースを節約することことのできるエアフィルタ装
置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記目的を達成するため、空気中の不純物微
粉子を取り除くためのエアフィルタにおいて、フィルタ
材質として高分子中空糸膜を用いたことを特徴とする微
粒子除去エアフィルタを提供する。

また本発明は、上記目的を達成するため、空気中の不純
物微粒子を取り除くためのエアフィルタにおいて、フィ
ルタ材質として高分子多孔質中空糸膜を用いたことを特
徴とする微粒子除去エアフィルタを提供する。

前記多孔質中空糸膜の展線孔径は好ましくは０゜０１〜
３．０μｍの範囲にある。

前記微粒子除去エアフィルタは、ＨＥＰＡフィルタの前
段に配置される少なくとも１つのプレフィルタとして用
いてもよい。

前記微粒子除去エアフィルタは、好ましくは、両端が開
口したハウジングに格納され、該ハウジングの径を該ハ
ウジングが接続されるダクトとほぼ同一とし、かつ該ハ
ウジングの両端に前記ダクトへの接続用のフランジを設
け、このようにしてエアフィルタ膜モジュールを構成す
る。

前記膜モジュールには、好ましくは、該膜モジュールの
使用時又は洗浄時に振動させるための加振装置を設ける
。

前記膜モジュールには、また好ましくは、前記高分子中
空糸膜の外面及び内面の少なくとも一方からエアを送り
不純物を除去するための洗浄手段を設ける。

前記膜モジュール近傍には、好ましくは、洗浄時に発生
する粉塵の取出し装置を配置する。

前記高分子中空系膜は、好ましくは、焼却処理が可能な
材質からなる。

前記高分子中空糸膜は、ポリスルホン、ポリエチレン、
ポリプロピレン、ポリアクリロニトリル、及びエチレン
誘導体ポリマー等の疎水性多孔質膜、及び酢酸セルロー
ス誘導体等の親水性多孔質膜の選択された１つから構成
することができる。

前記膜モジュールは、好ましくは、用いられる部分に適
合した交換可能なカートリッジタイプである。

本発明は、また、空気中の不純物微粒子を取り除くため
のエアフィルタにおいて、フィルタ材質として高分子膜
を用い、エアフィルタの膜形状として蛇腹状に折り畳ん
だ平膜モジュールを用いたことを特徴とする微粒子除去
エアフィルタを提供する。

本発明はさらに、空気中の不純物微粒子を取り除くため
のエアフィルタにおいて、フィルタ材質として高分子膜
を用い、エアフィルタの膜形状としてスパイラルモジュ
ールを用いたことを特徴とする微粒子除去エアフィルタ
を提供する。

〔作用〕

このように構成された本発明においては、フィルタ材質
として高分子中空糸膜を用いることにより、非多孔質膜
の場合はガスの分子レベルの粒径以上の不純Ｔｈ微粒子
の透過を阻止し、多孔質膜の場合は所定粒径以上の不純
物微粒子の透過を阻止し、不純物微粒子の除去効率が大
幅に向上する。

また中空糸膜構造は、単位体積当りの膜面積を大きくす
ることと、耐圧を向上させ高差圧下での使用可能とする
。そして特に多孔質中空糸膜を用いた場合には、中空糸
膜構造の当該作用と相俟って空気透過量を大幅に増加さ
せ、エアフィルタ容積を小さくすることが可能となる。

多孔質中空糸膜としては展線孔径が０．０１〜３．０μ
ｍの範囲にあるものが使用可能である。

微粒子除去エアフィルタをプレフィルタとして使用した
場合には、プレフィルタにおいても上述した作用を得る
ことができ、エアフィルタ装置全体の除去効率が一層向
上する。

微粒子除去エアフィルタを格納するハウジングの径をダ
クトとほぼ同一とし、両端に取付は用のフランジを設け
た場合には、膜モジュールをこのフランジを介してダク
トに着脱可能に直付けでき、膜モジュールの装着及び交
換が容易に行える。

膜モジュールに洗浄手段を設けた場合には、膜に１−を
着したごみや微粒子を効率的に取り除くことができ、膜
モジュールの繰返の使用が可能である。

膜モジュール近傍に粉塵の取出し装置を配置した場合に
は、この取出し装置より洗浄時に発生した粉塵を取り出
すことができる。

膜モジュールに加振装置を設けた場合には、膜モジュー
ルの使用時又は洗浄時にエアフィルタを振動させること
ができ、洗浄回数の減少又は洗浄効率の向上が可能であ
る。

高分子中空糸膜を焼却処理が可能な材質で構成した場合
には、フィルタ廃棄物の処理が容易となる。

膜モジュールを交換可能なカートリッジタイプとした場
合には、膜モジュールの装着及び交換が容易となる。

エアフィルタの膜形状として蛇腹状に折り畳んだ平膜モ
ジュールを用いた場合、及びスパイラルモジュールを用
いた場合にも、上記中空糸膜の場合とほぼ同等の作用を
得ることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図により説明
する。

第１図において、エアフィルタ装置はエアフィルタ膜モ
ジュール１を有し、膜モジュール１は、支持部材２で支
持された所定率、数の中空糸膜集合体３と、中空糸膜集
合体３を格納するハウジング４とからなり、中空糸膜集
合体３は各々高分子多孔質中空糸膜５を多数本集めて構
成されている。

膜モジュール１のハウジング４は膜モジュール１が接続
されるダクト６．７とほぼ同径の形状になっており、ハ
ウジング４及びダクト６．７の対向端部にはそれぞれ接
続用のフランジ８が設けられ、膜モジュール１はこのフ
ランジ８によってダクト６．７に着脱可能に取り付けら
れている。

中空糸膜集合体３において中空糸膜５は、第２図に示す
ように端面を外側に露出させて支持部材９に支持され、
かつモジュール外壁１０に収納されている。また中空糸
膜１は仕切り板１１により複数の区画に分割されている
。支持部材９とモジュール外壁１０は黙過塑性樹脂を用
いるのが望ましいが、目的に応じては金属材料を用いて
もよい。

仕切り板１１は中空糸膜集合体３に空気を流した場合、
中空糸膜同志がからむことを防止する作用が有り、仕切
り間隔は用いる場所の流量、流速に応じて適当な長さに
する。

中空糸膜５の材質としては、ポリスルホン、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリアクリロニトリル、及びエチ
レン誘導体ポリマー等の疎水性多孔質膜、及び酢酸セル
ロース誘導体等の親水性多孔質膜等の高分子膜を用いる
ことができる。これらの材質は全て焼却処理が可能であ
るので、フィルタ廃棄物の処理が容易である。まなＷ：
！細孔径は０．０１〜３．０μｍの範囲にあるものが使
用される。

このように構成された本実施例においては、高分子多孔
質中空糸［５は所定粒径以上の不純物微粒子の透過を阻
止し、不純物微粒子の除去効率を大幅に向上させる。ま
た中空糸膜構造は、単位体積当りの膜面積が大きく、か
つ耐圧性に優れ高差圧下での使用が可能であるので、空
気透過量が大きく、エアフィルタ容積を小さくすること
ができる。従って上述したように、ダクト６．７と同形
の小さなモジュールに設計することができる。

従って本実施例によれば、不純物微粒子の高い除去効率
を得ることができると共に、膜モジュール１をダクトラ
イン中に組み込むことが可能となり、省スペース化が図
れるという効果がある。またフランジ８を設けることに
より、膜モジュール１をカートリッジタイプに構成する
ことができ、交換が容易である。

次に第３図を用いて本実施例の膜モジュール１の上記作
用の根拠を説明する。第３図は多孔質膜の平均孔径と空
気透過量について行った基礎実験の結果を示すものであ
る。この基礎実験より、円管内の流体として扱った理論
値に比較して５倍以上の透過量が見込めることが分った
。これは非多孔質の気体分ＵＳの透過量に比べ２桁以上
高い値であり、微粒子の分離を目的とするエアフィルタ
として用いるには好適であると考えられる。

次に第４図に種々の多孔質膜について差圧と透過量につ
いて行った基礎実験の結果を示す、ここで用いた膜はＡ
、Ｂ、Ｃの３種類であり、全て１００ｍＨｇ　（１３６
０ｍＡｑ）までの耐圧性を示した。これは従来の枦材か
らなるＨＥＰＡフィルタより約２桁高い耐圧を示してお
り、差圧の上昇に伴った透過量の増加効果と合わせて膜
モジュールの小型化に寄与する。

次に第５図を用いて実際にダクトライン中で用いる場合
の実施例について説明する。ダクト７はコンプレッサ１
２及び圧力調整器１３に接続され、また下方に不純物粒
子だめ１４及びごみ取出し口１５を有している。ダクト
ラインのコンプレッサ１２から圧力調整器１３を経て送
られてきた空気はダクト７とフランジ８で直結されてい
る上記膜モジュール１で空気中の微粒子が除去される。

膜モジュール１で除去された微粒子は不純物粒子だめ１
４へ落下補集される。補集された微粒子の取り出しはコ
ンプレッサー１２を止めごみ取り出し口１５より行なう
。

次に本実施例の変形例で、中空系膜モジュールをプレフ
ィルタ−とＨＥＰＡフィルターとして用いた場合につい
て第６図を参照して説明する。第６図において、膜モジ
ュールＩＡは高分子多孔質中空糸膜によるプレフィルタ
ユニット１６と高分子多孔質中空糸１漠によるＨＥＰＡ
フィルタユニット１７とで構成される。ユニット１６と
１７はどちらか一方は中空系膜以外の膜でも良い、ダク
トラインのコンプレッサ１２から圧力調整器１３を経て
送られてきた空気はダクト７とフランジ８で直結された
ダクト６．７とほぼ同径の膜モジュールＩＡで空気中の
微粒子が除去される１ＭモジュールＩＡで除去された微
粒子は不純物粒子だめ１４へ落下補集される。補集され
た微粒子の取り出しはコンプレッサー１２を止めごみ取
り出し口１５より行なう。

次に本発明では中空糸膜エアフィルタの逆洗を含む洗浄
も考えており、その実施例について第７図を用いて説明
する。高分子多孔質中空糸ｙ！：！５をエアフィルタと
する膜モジュールＩＢのハウジング２０には２つの洗浄
口２１．２２が付いており、中空糸膜５の支持部材２３
はこれら洗浄口２１゜２２の間に配置されている。洗浄
口２１は逆洗口として用いられるので、以下逆洗口とい
う、逆洗口２１及び洗浄口２２にはそれぞれ逆洗及び洗
浄に用いる空気あるいは空気以外の気体が導入される。

また逆洗口２１及び洗浄口２２は膜モジュールＩＢのハ
ウジング２０とフランジ２４を介して脱着可能になって
おり、不用の場合や通常運転時にはフタが出来る。下側
ダクト２５には可動式仕切り板２６を有したごみ収集ス
ペース２７とごみ取り出し口２８が設けられている。洗
浄時には、可動式仕切り板２６を実線で示す位置に動が
し、逆洗口２１又は洗浄口２２より例えば空気を導入し
、空気の流れにより膜に付着しなごみや微粒子を取り除
く。逆洗口２１より空気を導入した場合には、中空糸膜
５の内側から外側に空気が流れ、内（ＩＩＩより逆洗さ
れ、粒子が取り除かれる。洗浄口２２より空気を導入し
た場合には中空糸膜５の外側より洗浄され、粒子が取り
除かれる。取り除かれなごみや微粒子はごみ収集スペー
ス２７へ落下補集される。補集された粒子はごみ取り出
し口２８より取り出される。

次に洗浄口２２を用いた洗浄システムについて第８図と
第９図を用いて説明する。ダクト７にはハンドル３０の
操作で開閉する開閉弁３１が設けられている。圧力調整
器１３からは洗浄ライン３２が膜モジュールＩＢの中空
糸膜部分（第７図の洗浄口２２に相当する位置）に接続
されている。

通常運転時、空気はコンプレッサー１２、圧力調節器１
３を経て膜モジュール１により微粒子を落とされ、ダク
ト６へと導入されるが、洗浄時にはハンドル３０によっ
て開閉弁３１を閉じ、洗浄ライン３２を通して膜モジュ
ールＩＢの内部へ空気を送り込む、これにより中空糸膜
５の外側からごみや微粒子が取り除かれ、膜モジュール
ＩＢから落ちた粒子は不純物粒子だめ１４に補集される
。

補集された粒子はコンプレッサー１２を止めた後ごみ取
り出し口１５により取り出される。洗浄時はごみ取り出
し口１５が空気出口となるのでごみ取り出し口１５にネ
ット等を用いることも可能である。なおこの洗浄に用い
る流体としては、空気以外の気体を用いても良く、又は
水や霧を吹きつけることにより洗浄してもよい。

続いて第９図により逆洗口２１を用い中空糸膜の内側か
ら逆洗する場合について説明する。圧力調整器１３から
は逆洗ライン３３が膜モジュール１Ｂの中空系膜部分の
出口側外部（第７図の逆洗口２１に相当する位置）に接
続されている。逆洗ライン３３には空気浄化装置３４が
設けられている。ダクト６にもハンドル３５の操作で開
閉する開閉弁３６が設けられている９通常使用時はコン
プレッサー１２及び圧力調整器１３を介した空気は膜モ
ジュールＩＢへ導入され、微粒子を除去される。逆洗時
にはハンドル３０．３５の操作で開閉する開閉弁３１．
３６を両方とも閉じ、逆洗ライン３３より空気浄化装置
２１で処理されたきれいな空気又は逆洗用の空気以外の
気体を膜モジュールＩＢの中空糸膜部分の出口側外部へ
導入する。

逆洗用空気か中空糸膜５の内側から外側へ吹き出すこと
により膜に付着しなごみや微粒子を落とす。

落ちた粒子は不純物粒子だめ１４へ補足された後、ごみ
取り出し［１１５を介して取り出される。逆洗時に膜モ
ジュールＩＢの透過側から流す気体はボンベから直接導
入しても、膜モジュールが小型の場合は効率が良い。

加＠機の取り付けるスペースが有る場合は通常運転時に
加振してやってもよい、第１０図はこのような実施例を
示すものであり、膜モジュールＩＣのハウジング４０に
ベローズ４１を設け、中空糸膜部分の周囲に加振機４２
を設置する０通常運転時は加振機４２で膜モジュールＩ
Ｃを振動させながら、コンプレッサー１２及び圧力調整
器１３を介した空気は膜モジュールＩＢへ導入され、微
粒子を除去される。除去された微粒子の多くは振動によ
り中空糸膜から離れ、落下する。従って、洗浄回数（逆
洗も含む）を減らすことが可能である。洗浄効率（逆洗
も含む）を上げるために膜モジュールＩＢを加振しても
良い、即ち第１０図において、加振１！１４２で膜モジ
ュールＩＣを振動させながら、逆洗ライン３３又は洗浄
ライン３２より空気を導入し、中空糸膜に付着したごみ
や微粒子を落とす。

以上中空糸膜によるエアフィルタについて実施例を説明
してきたが、次に平膜を用いた実施例について説明する
。膜形状は平膜を蛇腹状に折り畳んだ形になり、装置の
外観は概ね円筒形になる。

即ち第１１図において、膜モジュール５０は、ダクト５
１とフランジ５２で直結した導入孔５３を有する円筒形
のハウジング５４を有し、ハウジング５４内には空気が
透過し易い２枚のネット状の支持板即ち支持ネット５５
．５６を配置し、支持ネット５５．５６の間に挟まれる
ようにして高分子多孔質平膜５７が蛇腹状に折り畳んで
円筒状に配置されている。空気はダクト５２から膜モジ
ュール５０へ導入され、膜５７により浄化される。

浄化された空気は膜モジュール５０の内側支持ネット５
６により規定される中央開口部５８を通って外に出され
る。尚、支持ネット５５．５６塗膜５７は一体に取り外
しが可能であり、ユニットとして交換できるものである
。

次に第１２図により平膜を２段以上に用いた実施例につ
いて説明する。膜モジュール６０はハウジング６１内に
、２組の支持ネット６２．６３及び６４．６５で挾まれ
折り重った２段の平膜６６゜６７が設置される。展線孔
径は外側の膜６６が大で、内側の膜６７が小という組み
合せが望ましいが、同じ孔径のものが２段以上あっても
良い、処理される空気はダクト５１からフランジ５２で
直結されてた膜モジュール６０へ導入口５３を介して導
入される。ｒ１１モジュール内で浄化された空気はモジ
ュール中央の支持ネット６５により規定される開口部６
８より排出される。

次に第１３図によりスパイラルモジュールを用いて本発
明を実施した場合について説明する。スパイラルモジュ
ールとは、中心開口部を有する出口導管の外周に袋状に
なった平膜が多数フィン状に付いたものを出口導管に沿
って丸めたものである。

即ち第１３図において、膜モジュール７０は、ハウジン
グ７１内に空気の透過し易いのネット状の支持板即ち支
持ネット７２を配置し、支持ネット７２の内側にスパイ
ラル膜（高分子多孔質の平膜の螺旋状に巻いたもの）７
３及びスパイラル膜７３が付いた中央の出口導管７４を
配置して構成されている。空気はダクト５１から導入孔
５３を介して膜モジュール７０に導入され、スパイラル
膜７３により浄化される。浄化された空気は膜モジュー
ル７０の中央にある出口導管７４を通って外に出される
。尚、支持ネット７２、スパイラル１Ｉｉ７３及び出口
導管７４は一体に取り外しが可能であり、ユニットとし
て交換可能である。

第１４図を参照して本発明のさらに他の実施例を説明す
る。前述したように多孔質中空糸膜を用いたフィルタは
大きな空気透過量を持っており、装置をきわめてコンパ
クトにすることができる。

従って、場合によってはダクト径より細いフィルタに構
成することができる。第１４図はこのような実施例を示
すものである。

即ち第１４図において、膜モジュール８０は、ダクト６
．７と同径の端部とタクト６．７より径の細い中央部と
を持つハウジング８１を有し、ダクト６．７と同径の端
部には取り付は用のフランジ８が設けられて、ダクト６
．７に着脱可能に直結される。ダクト径よりも細いハウ
ジング中央部には高分子多孔質中空糸膜からなるフィル
タ８２が設置され、高い差圧が得られるようになってい
る、フィルタ８２の中空系膜で除去された不純物微粒子
は不純物粒子だめ１４に補集される。コンプレッサを止
めダクトラインが休止した後、ごみ取出し口１５を介し
て粒子の除去が行われる。この小型モジュール８０に対
しても前述した実施例と同様に逆洗設備を設置すること
ができ、この場合は逆洗の後中空糸膜は再使用される。

なお以上の全ての実施例において、不純物粒子だめ１４
とごみ取出し口１５はダクトダクト７と一体構造であっ
ても良いし、フランジ止めで追設置できる４１１造であ
っても良い。

また以上に実施例では、フィルタ材質として高分子多孔
質中空糸膜又は平膜を用いたが、非多孔質の高分子中空
系膜または平膜を用いてよく、この場合は、空気透過量
は少なくなるがガスの分子レベル以上の粒径の不純物微
粒子の透過を阻止することができ、不純物微粒子の除去
効率を大幅に向りさせる効果は得られるものである。

〔発明の効果〕

本発明によれば、フィルタ材質として高分子中空糸膜を
用いたので、不純物微粒子の除去効率を大幅に向上させ
ることができる。そして特に多孔質中空糸膜を用いた場
合には、従来のエアフィルタに比べ２桁以上高い差圧条
件下での使用が可能となるので、空気透過量を大幅に増
加させることができ、エアフィルタを小形化できる。そ
の結果、建屋内でのエアフィルタ設備のスペースを従来
の１／１０程度にもすることができるので、コストダウ
ン及び省スペースの効果かある。

微粒子除去エアフィルタをプレフィルタとして使用した
場合には、プレフィルタにおいても上述した作用を得る
ことができ、−層高い除去効率を得ることができる。

微粒子除去エアフィルタを取り付は用のフランジを有す
る膜モジュールとして構成した場合には、膜モジュール
をカートリッジタイプになり、ユニットとして装着及び
交換ができ、洗浄手段を設けた場合には、膜に付着した
ごみや微粒子を効率的に取り除くことができ、粉ｎの取
出し装置を配置した場合には、洗浄時に発生した粒子を
取り出すことができ、加振装置を設けた場合には、洗浄
回数の低減又は洗浄効率の向上が可能であり、高分子中
空糸膜を焼却処理が可能な材質で構成した場合には、フ
ィルタ廃棄物の処理が容易となる。

エアフィルタの膜形状として蛇腹状に折り畳んた平膜モ
ジュールを用いた場合、及びスパイラルモジュールを用
いた場合にも、上記中空糸膜の場合と同様、高い除去効
率を持つ小型のフィルタを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるエアフィルタ膜モジュ
ールの概略構造図であり、第２図（Ａ）は第１図に示す
膜モジュールの中空糸膜集合体の拡大断面図であり、第
２図（Ｂ）は同中空糸膜集合体の上面図であり、第３図
は多孔質膜の平均孔径と空気透過量の関係について行っ
た実験結果を示す図であり、第４図は多孔質膜の差圧と
空気透過量との関係について行った実験結果を示す図で
あり、第５図は上記膜モジュールを実際にダクトライン
に適用した実施例を示す図であり、第６図は膜モジュー
ルをＨＥ　Ｐ　Ａフィルタとプレフィルタの２段に構成
した実施例を示す図であり、第７図は逆洗口及び洗浄口
を設けた膜モジュールの実施例を示す図であり、第８図
は洗浄システムを示す図であり、第９図は逆洗システム
を示す図であり、第１０図は加振装置を設けた実施例を
示す図であり、第１１図は膜モジュールを平膜で構成し
た実施例を示す図であり、第１２図は平膜モジュールを
２段に配置したした実施例を示す図であり、第１３図は
スパイラルモジュールで膜モジュールを構成した実施例
を示す図であり、第１４図はダクＩ−より小径の膜モジ
ュールを有する実施例を示す図である。 符号の説明 １、ＬＡ、ＩＢ、ＩＣ，５０，６０，７０，８０・・・
膜モジュール ４・・・ハウジング　　　　５・・・中空糸膜６．７・
・・ダクト　　　　８・・・フランジ１４・・・不純物
粒子だめ　１５・・・こみ取出し口１６・・・ＨＥ　Ｐ
　Ａフィルタ

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. （１）空気中の不純物微粒子を取り除くためのエアフィ
   ルタにおいて、フィルタ材質として高分子中空糸膜を用
   いたことを特徴とする微粒子除去エアフィルタ。
2. （２）空気中の不純物微粒子を取り除くためのエアフィ
   ルタにおいて、フィルタ材質として高分子多孔質中空糸
   膜を用いたことを特徴とする微粒子除去エアフィルタ。
3. （３）前記多孔質中空糸膜の膜細孔径が０．０１〜３．
   ０μｍの範囲にあることを特徴とする請求項２記載の微
   粒子除去エアフィルタ。
4. （４）請求項１又は２記載の微粒子除去エアフィルタを
   、ＨＥＰＡフィルタの前段に配置される少なくとも１つ
   のプレフィルタとして用いたことを特徴とする微粒子除
   去エアフィルタ。
5. （５）請求項１又は２記載の微粒子除去エアフィルタを
   格納する両端の開口したハウジングを有し、前記ハウジ
   ングをこれが接続されるダクトとほぼ同一の直径とし、
   かつ該ハウジングの両端に前記ダクトへの接続用のフラ
   ンジを設けたことを特徴とするエアフィルタ膜モジュー
   ル。
6. （６）請求項１又は２記載のエアフィルタで構成された
   膜モジュールを有し、この膜モジュールに、該膜モジュ
   ールの使用時又は洗浄時に振動させるための加振装置を
   設けたことを特徴とするエアフィルタ装置。
7. （７）請求項１又は２記載のエアフィルタで構成された
   膜モジュールを有し、前記膜モジュールに前記高分子中
   空糸膜の外面及び内面の少なくとも一方からエアを送り
   不純物を除去するための洗浄手段を設けたことを特徴と
   するエアフィルタ装置。
8. （８）請求項１又は２記載のエアフィルタで構成された
   膜モジュールを有し、前記膜モジュール近傍に洗浄時に
   発生する粉塵の取出し装置を配置したことを特徴とする
   エアフィルタ装置。
9. （９）前記高分子中空糸膜は焼却処理が可能な材質から
   なることを特徴とする請求項１又は２記載の微粒子除去
   エアフィルタ。
10. （１０）前記高分子中空糸膜は、ポリスルホン、ポリエ
    チレン、ポリプロピレン、ポリアクリロニトリル、及び
    エチレン誘導体ポリマー等の疎水性多孔質膜、及び酢酸
    セルロース誘導体等の親水性多孔質膜の選択された１つ
    からなることを特徴とする請求項１又は２記載の微粒子
    除去フィルタ。
11. （１１）請求項１又は２記載のエアフィルタで構成され
    た膜モジュールを有し、前記膜モジュールは用いられる
    部分に適合した交換可能なカートリッジタイプであるこ
    とを特徴とするエアフィルタ装置。
12. （１２）空気中の不純物微粒子を取り除くためのエアフ
    ィルタにおいて、フィルタ材質として高分子膜を用い、
    エアフィルタの膜形状として蛇腹状に折り畳んだ平膜モ
    ジュールを用いたことを特徴とする微粒子除去エアフィ
    ルタ。
13. （１３）空気中の不純物微粒子を取り除くためのエアフ
    ィルタにおいて、フィルタ材質として高分子膜を用い、
    エアフィルタの膜形状としてスパイラルモジュールを用
    いたことを特徴とする微粒子除去エアフィルタ。