JPH02259508A - 一体型干渉測定装置 - Google Patents
一体型干渉測定装置Info
- Publication number
- JPH02259508A JPH02259508A JP1082344A JP8234489A JPH02259508A JP H02259508 A JPH02259508 A JP H02259508A JP 1082344 A JP1082344 A JP 1082344A JP 8234489 A JP8234489 A JP 8234489A JP H02259508 A JPH02259508 A JP H02259508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light source
- interference
- integrated
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 10
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E04—BUILDING
- E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
- E04B5/00—Floors; Floor construction with regard to insulation; Connections specially adapted therefor
- E04B5/48—Special adaptations of floors for incorporating ducts, e.g. for heating or ventilating
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E02—HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
- E02D—FOUNDATIONS; EXCAVATIONS; EMBANKMENTS; UNDERGROUND OR UNDERWATER STRUCTURES
- E02D31/00—Protective arrangements for foundations or foundation structures; Ground foundation measures for protecting the soil or the subsoil water, e.g. preventing or counteracting oil pollution
- E02D31/02—Protective arrangements for foundations or foundation structures; Ground foundation measures for protecting the soil or the subsoil water, e.g. preventing or counteracting oil pollution against ground humidity or ground water
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Architecture (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Mining & Mineral Resources (AREA)
- Paleontology (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Underground Structures, Protecting, Testing And Restoring Foundations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、平面、球面等の面を持つ被測定物の面精度等
を測定する干渉測定装置であって、熱源である光源等を
分離し光学エレメントを一体化した干渉測定装置に関す
る。
を測定する干渉測定装置であって、熱源である光源等を
分離し光学エレメントを一体化した干渉測定装置に関す
る。
[従来の技術]
従来、第2図に示す様な干渉計がある。同図において、
lは可干渉性光源であって第2図紙面に平行な偏波面を
持つ周波数f+の平行光と該紙面に垂直な偏波面を持つ
周波数f2の平行光を射出する2周波発振レーザであり
、2は周波数で、とf2の光を分離する偏光ビームスプ
リッタ−である。周波数fiの光はS偏光として偏光ビ
ームスプリッタ−2で反射されて上方に向かい、位相の
進み又は遅れの軸がこの反射光の偏波面の方向に対して
45度に設定された残液長板3により円偏光とされて反
射鏡4により反射される。そして、再び電波長板3を透
過することで偏波面は最初と比べて90度回転されて紙
面と平行となり、今度は偏光ビームスプリッタ−2を透
過して下方に向かう。
lは可干渉性光源であって第2図紙面に平行な偏波面を
持つ周波数f+の平行光と該紙面に垂直な偏波面を持つ
周波数f2の平行光を射出する2周波発振レーザであり
、2は周波数で、とf2の光を分離する偏光ビームスプ
リッタ−である。周波数fiの光はS偏光として偏光ビ
ームスプリッタ−2で反射されて上方に向かい、位相の
進み又は遅れの軸がこの反射光の偏波面の方向に対して
45度に設定された残液長板3により円偏光とされて反
射鏡4により反射される。そして、再び電波長板3を透
過することで偏波面は最初と比べて90度回転されて紙
面と平行となり、今度は偏光ビームスプリッタ−2を透
過して下方に向かう。
他方、周波数f1の光はP偏光として偏光ビームスプリ
ッタ−2を透過し1位相の進み又は遅れの軸がこの透過
光の偏波面の方向に対して45度に設定された残液長板
5により円偏光とされ、集光レンズ6により被測定物S
に測定波面として照射される。そして、被測定物Sの被
検面で反射され、再び集光レンズ6.4波長板5を透過
して偏波面が90度回転されて紙面に垂直な偏光となり
、今度は偏光ビームスプリッタ−2で反射されて下方に
向かう。
ッタ−2を透過し1位相の進み又は遅れの軸がこの透過
光の偏波面の方向に対して45度に設定された残液長板
5により円偏光とされ、集光レンズ6により被測定物S
に測定波面として照射される。そして、被測定物Sの被
検面で反射され、再び集光レンズ6.4波長板5を透過
して偏波面が90度回転されて紙面に垂直な偏光となり
、今度は偏光ビームスプリッタ−2で反射されて下方に
向かう。
こうして偏光ビームスプリッタ−2で合成された周波数
f1とf2の光は、周波数f1とで2の偏光光に対して
位相の進み又は遅れの軸が45度に設定された残液長板
7に入射し、これを透過することで右廻りと左廻りの円
偏光となって互いに干渉し直線偏光となる、このとき、
この直線偏光となった合成光は周波数f、とf2の光の
光路差に応じた方位角を有しその偏波面はl f、−f
ヨ 1の周波数で回転することになるが、更に偏光板8
に入射してここを透過することにより明暗の干渉縞を生
じさせる。レンズLにより損保素子9に結像された干渉
縞の明暗の変化は電気的に検出され、その信号処理によ
り被測定物Sの被検面の面精度等が測定される。
f1とf2の光は、周波数f1とで2の偏光光に対して
位相の進み又は遅れの軸が45度に設定された残液長板
7に入射し、これを透過することで右廻りと左廻りの円
偏光となって互いに干渉し直線偏光となる、このとき、
この直線偏光となった合成光は周波数f、とf2の光の
光路差に応じた方位角を有しその偏波面はl f、−f
ヨ 1の周波数で回転することになるが、更に偏光板8
に入射してここを透過することにより明暗の干渉縞を生
じさせる。レンズLにより損保素子9に結像された干渉
縞の明暗の変化は電気的に検出され、その信号処理によ
り被測定物Sの被検面の面精度等が測定される。
[発明が解決しようとする課題]
しかし乍ら、上記の如き従来例では、レーザ光軸が他の
光学系に対して、振動やレーザ光伝播経路中の空気のゆ
らぎ等により傾いたり、波面が乱されることにより、参
照光と被測定物からの光との間の位相差に予期しない位
相差が生じ測定誤差が生じる恐れがある。
光学系に対して、振動やレーザ光伝播経路中の空気のゆ
らぎ等により傾いたり、波面が乱されることにより、参
照光と被測定物からの光との間の位相差に予期しない位
相差が生じ測定誤差が生じる恐れがある。
一方、この誤差を生じさせない為に、レーザ発振器など
の光源をを他の光学系と一体化させると、レーザ発振器
からの熱などにより参照光と被測定物からの光の間に新
たな光路差変化を生起させ、同様に測定誤差を起こし高
精度の測定が不可能となる。
の光源をを他の光学系と一体化させると、レーザ発振器
からの熱などにより参照光と被測定物からの光の間に新
たな光路差変化を生起させ、同様に測定誤差を起こし高
精度の測定が不可能となる。
従って、本発明の目的は、上記問題点を解決すべく、振
動や光源などからの熱による不安定要因を除去した干渉
測定装置を提供することにある。
動や光源などからの熱による不安定要因を除去した干渉
測定装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成する為の本発明においては、レーザなど
の光源からの光を分割する偏光ビームスプリッタ−やハ
ーフミラ−などの分割手段とこの分割手段からの一方の
光束から参照光を形成する参照反射鏡などの参照光形成
手段とが、上記光源から分離されて、−法化して配設さ
れている。
の光源からの光を分割する偏光ビームスプリッタ−やハ
ーフミラ−などの分割手段とこの分割手段からの一方の
光束から参照光を形成する参照反射鏡などの参照光形成
手段とが、上記光源から分離されて、−法化して配設さ
れている。
また、光源からの光から2次点光源を作る為の集光レン
ズやピンホール坂などの手段とこの手段からの光を平行
光束にするコリメータレンズ、更には分割手段からの他
方の光束から測定波面を形成して被測定物に入射させる
為の集光レンズやビーム拡大ないし縮小光学系などの測
定波面形成手段も一体化して配設されてもよい。
ズやピンホール坂などの手段とこの手段からの光を平行
光束にするコリメータレンズ、更には分割手段からの他
方の光束から測定波面を形成して被測定物に入射させる
為の集光レンズやビーム拡大ないし縮小光学系などの測
定波面形成手段も一体化して配設されてもよい。
更には、干渉縞を検出する光検出器も、光源と同様、分
離して配置されてもよい。
離して配置されてもよい。
[作用]
本発明の構成においては、熱源となる光源などが、分割
手段などから成る干渉光学系から分離され、また干渉光
学系内に安定な2次光源を作る手段を設けることもでき
るので、振動、熱変形等による精度の不安定さが除去さ
れている。
手段などから成る干渉光学系から分離され、また干渉光
学系内に安定な2次光源を作る手段を設けることもでき
るので、振動、熱変形等による精度の不安定さが除去さ
れている。
[実施例]
第1図は本発明の1実施例を示す、同図において、2周
波発振レーザ1からのレーザ光は集光レンズ10により
略スポットとされ、このスポットの近辺にピンホールi
ttが設けられることにより光束の状態が整えられる、
このピンホール板11の位置を焦点位置とするコリメー
タレンズ12は平行光束を作り、この平行光束を偏光ビ
ームスプリッタ−2に入射させる。
波発振レーザ1からのレーザ光は集光レンズ10により
略スポットとされ、このスポットの近辺にピンホールi
ttが設けられることにより光束の状態が整えられる、
このピンホール板11の位置を焦点位置とするコリメー
タレンズ12は平行光束を作り、この平行光束を偏光ビ
ームスプリッタ−2に入射させる。
この偏光ビームスプリッタ−2による光束の分割1分割
された2光束の偏光ビームスプリッタ−2への戻りにつ
いては、第2図についての説明と同じである。
された2光束の偏光ビームスプリッタ−2への戻りにつ
いては、第2図についての説明と同じである。
そして、偏光ビームスプリッタ−2から撮像素子9まで
の説明についても、プリズムミラー13による光束の直
角な折り曲げ過程を除いて、第2図における説明と同じ
である。
の説明についても、プリズムミラー13による光束の直
角な折り曲げ過程を除いて、第2図における説明と同じ
である。
本実施例では、集光レンズ10.ピンホール板11、コ
リメータレンズ12、偏光ビームスプリッタ−2、電波
長板3.5.7、反射fi14、集光レンズ6、偏光板
8、プリズムミラー13などは、互いに固定ないし可動
設置された1つの装置として一体化されて干渉光学系を
構成し、熱源であるレーザ1、撮像素子9はこれから物
理的に分離して置かれている。更に、レーザlからの光
束が、−法化した干渉計に対して傾いても、ピンホール
板11とコリメータレンズ12が偏光ビームスプリッタ
−2等の干渉光学系に対して不変に保持されているので
、干渉縞の精度に影響を及ぼさない安定的な設計となっ
ている。
リメータレンズ12、偏光ビームスプリッタ−2、電波
長板3.5.7、反射fi14、集光レンズ6、偏光板
8、プリズムミラー13などは、互いに固定ないし可動
設置された1つの装置として一体化されて干渉光学系を
構成し、熱源であるレーザ1、撮像素子9はこれから物
理的に分離して置かれている。更に、レーザlからの光
束が、−法化した干渉計に対して傾いても、ピンホール
板11とコリメータレンズ12が偏光ビームスプリッタ
−2等の干渉光学系に対して不変に保持されているので
、干渉縞の精度に影響を及ぼさない安定的な設計となっ
ている。
第1図の実施例では、集光レンズ6が設けられて測定波
面が球面とされた球面測定例となっているが、平面測定
の場合には、集光レンズ6を除いた系としたり、平行光
束の径のみを変換するビーム拡大又は縮小光学系に置き
換えればよい、また、被測定物Sの被検面の口径や曲率
半径に従って最適な集光レンズが光路内に置かれるよう
に、種々の集光レンズから選択された適当なものが着脱
可能に配置される構成とすると有効である。
面が球面とされた球面測定例となっているが、平面測定
の場合には、集光レンズ6を除いた系としたり、平行光
束の径のみを変換するビーム拡大又は縮小光学系に置き
換えればよい、また、被測定物Sの被検面の口径や曲率
半径に従って最適な集光レンズが光路内に置かれるよう
に、種々の集光レンズから選択された適当なものが着脱
可能に配置される構成とすると有効である。
第1図の実施例では、光源に2周波発振のレーザな使用
したが、1周波発振のレーザを用いて撮像素子9上に干
渉縞を形成し、その干渉縞の線形状から面精度を測定し
てもよい。更に、第1図の参照光形成用の反射鏡4を光
軸方向に振動させて、搬像素子9上の干渉縞の強度が周
期的に変化させられる縞走査型干渉測定装置としてもよ
い。
したが、1周波発振のレーザを用いて撮像素子9上に干
渉縞を形成し、その干渉縞の線形状から面精度を測定し
てもよい。更に、第1図の参照光形成用の反射鏡4を光
軸方向に振動させて、搬像素子9上の干渉縞の強度が周
期的に変化させられる縞走査型干渉測定装置としてもよ
い。
[発明の効果]
以上説明した様に、本発明においては、光源などの熱源
となるエレメントを他の光学エレメントから分離してい
るので干渉測定の精度が安定化できる。
となるエレメントを他の光学エレメントから分離してい
るので干渉測定の精度が安定化できる。
また、ビームスプリッタ−などを含む干渉光学系内に2
次点光源とコリメータレンズを一体化することにより1
分離配置された光源の位置変動によらない安定な干渉測
定装置となり、測定精度が向上させられる。
次点光源とコリメータレンズを一体化することにより1
分離配置された光源の位置変動によらない安定な干渉測
定装置となり、測定精度が向上させられる。
第1図は本発明の1実施例の構成図、第2図は従来例を
説明する図である。 1・・・・・レーザ、2・・・・・偏光ビームスプリッ
タ−3,5,7・・・・・図波長板、4・・・・・反射
鏡、6.10・・・・・集光レンズ1,8・・・・・偏
光板、9・・・・・撮像素子、11・・・・・ピンホー
ル板、12・・・・・コリメータレンズ、13・・・・
・プリズムミラー
説明する図である。 1・・・・・レーザ、2・・・・・偏光ビームスプリッ
タ−3,5,7・・・・・図波長板、4・・・・・反射
鏡、6.10・・・・・集光レンズ1,8・・・・・偏
光板、9・・・・・撮像素子、11・・・・・ピンホー
ル板、12・・・・・コリメータレンズ、13・・・・
・プリズムミラー
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、平面、球面、非球面等の形状を有する被測定物の面
精度等を、参照光と被測定物からの光との干渉作用を利
用して測定する干渉測定装置において、 光源からの光を分割する分割手段と該分割 手段からの一方の光束から参照光を形成する参照光形成
手段とを、前記光源から分離して、一体化して配設して
いる一体型干渉測定装置。 2、前記光源からの光から2次点光源を作る手段と該2
次点光源形成手段からの光を平行光束にするコリメータ
レンズも一体化して配設されている請求項1記載の一体
型干渉測定装置。 3、前記分割手段からの他方の光束から測定波面を形成
して被測定物に入射させる測定波面形成手段も一体化し
て配設されている請求項1記載の一体型干渉測定装置。 4、前記参照光と前記被測定物からの光との干渉作用に
よる干渉縞を検出する光検出器も、前記光源と同様、分
離して設けられている請求項1記載の一体型干渉測定装
置。 5、前記参照光形成手段が前記一方の光束を分割手段に
戻す反射鏡を有する請求項1記載の一体型干渉測定装置
。 6、前記2次点光源形成手段が集光レンズとピンホール
板から成る請求項2記載の一体型干渉測定装置。 7、前記測定波面形成手段が前記他方の光束を被測定物
にほぼ垂直に入射させるレンズを有する請求項3記載の
一体型干渉測定装置。 8、前記反射鏡が光軸方向に振動されて縞走査測定を行
なう請求項5記載の一体型干渉測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1082344A JPH02259508A (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 一体型干渉測定装置 |
US07/500,295 US5105595A (en) | 1989-03-31 | 1990-03-27 | Mold panel unit and spring-water processing structure using mold panel units |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1082344A JPH02259508A (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 一体型干渉測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02259508A true JPH02259508A (ja) | 1990-10-22 |
Family
ID=13771950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1082344A Pending JPH02259508A (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 一体型干渉測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5105595A (ja) |
JP (1) | JPH02259508A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100465538B1 (ko) * | 2001-05-10 | 2005-01-13 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 형상 측정장치 및 방법 |
JP2020176967A (ja) * | 2019-04-22 | 2020-10-29 | 康嶺有限公司Health Peak Limited | 蛍光偏光を検出する光学系及び偏光度測定ユニット |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE35369E (en) * | 1989-02-03 | 1996-11-05 | Guilford (Delaware) Inc. | Flooring system especially designed for facilities which house data processing equipment |
US5383314A (en) * | 1993-07-19 | 1995-01-24 | Laticrete International, Inc. | Drainage and support mat |
US5499476A (en) * | 1993-08-31 | 1996-03-19 | Interface, Inc. | Low profile raised panel flooring with metal support structure |
US5713168A (en) * | 1994-03-25 | 1998-02-03 | Guilford (Delaware), Inc. | Junction box for low profile raised panel flooring |
US5673522A (en) * | 1994-03-25 | 1997-10-07 | Guilford, Inc. | Junction box forlow profile raised panel flooring |
USRE39097E1 (en) | 1994-03-25 | 2006-05-23 | Guildford (Delaware), Inc. | Metal support framework for low profile raised panel flooring |
US5675950A (en) * | 1994-03-25 | 1997-10-14 | Guilford (Delaware), Inc. | Metal support framework for low profile raised panel flooring |
US5828001A (en) * | 1995-02-15 | 1998-10-27 | Guilford (Delaware), Inc. | Plastic junction box with receptacle boxes |
US6324908B1 (en) | 1996-01-31 | 2001-12-04 | Hunter Engineering Company | Wheel balancer and control circuit therefor |
US6336364B1 (en) | 1996-01-31 | 2002-01-08 | Hunter Engineering Company | Wheel balancer with wheel rim runout measurement |
US6854329B2 (en) | 1996-01-31 | 2005-02-15 | Hunter Engineering Company | Wheel balancer with variation measurement |
GB2365031B (en) * | 2000-07-13 | 2002-10-09 | Lg Mouchel & Partners Ltd | Flooring system |
US6523408B1 (en) | 2000-07-27 | 2003-02-25 | Hunter Engineering Company | Wheel balancer system with improved matching capabilities |
US6797219B1 (en) | 2000-11-28 | 2004-09-28 | Steelcase Development Corporation | Method for manufacture of floor panels |
SM200100024B (it) * | 2001-11-22 | 2003-05-28 | Donatella Sinigaglia | Elemento modulare per il supporto di manufatti edilizi, quali pavimentazioni, solai, o simili |
ITTV20020034A1 (it) * | 2002-04-04 | 2003-10-06 | Marcello Toncelli | Lastra rinforzata in conglomerato cementizio, procedimento per la suafabbricazione e relativa struttura di rinforzo |
WO2005061804A1 (en) * | 2003-12-23 | 2005-07-07 | The Australian Steel Company (Operations) Pty Ltd | Cavity former |
AU2004303436B2 (en) * | 2003-12-23 | 2011-03-24 | The Australian Steel Company (Operations) Pty Ltd | Cavity former |
US20080035830A1 (en) * | 2004-05-11 | 2008-02-14 | The Australian Steel Company (Operations) Pty Ltd | Cavity Former |
US8453335B2 (en) * | 2007-04-04 | 2013-06-04 | Hunter Engineering Company | Method and apparatus determination of wheel assembly configuration |
US9188348B2 (en) | 2009-08-28 | 2015-11-17 | Progress Profiles Spa | Method and apparatus for positioning heating elements |
USD813421S1 (en) | 2009-08-28 | 2018-03-20 | Progress Profiles Spa | Floor underlayment |
US9448002B2 (en) * | 2011-12-15 | 2016-09-20 | Ignacio Marc Asperas | Snow man making device for making a snow person having light emitting structures |
US9314994B2 (en) * | 2012-03-21 | 2016-04-19 | Kirsch Research And Development, Llc | Pedestaled roof underlayment |
US8950141B2 (en) | 2012-09-12 | 2015-02-10 | Schluter Systems L.P. | Veneer underlayment |
US20140157688A1 (en) * | 2012-12-06 | 2014-06-12 | Udecx, Llc | Modified pier for modular, portable, interlocking system |
US9038342B2 (en) * | 2012-12-31 | 2015-05-26 | Playsafer Surfacing LLC a division Rubberecycle | Unitary safety surface tiles and associated structures |
US9016018B2 (en) | 2013-01-22 | 2015-04-28 | Laticrete International, Inc. | Support plate for installing tile |
US10215423B2 (en) | 2014-08-18 | 2019-02-26 | Progress Profiles S.P.A. | Method and apparatus for positioning heating elements |
ES2733817T3 (es) | 2014-08-18 | 2019-12-03 | Progress Profiles Spa | Bajo suelo para el posicionamiento de elementos de calefacción y conjunto de suelo |
USD806911S1 (en) | 2015-03-17 | 2018-01-02 | Silcart S.P.A. | Floor underlayment |
US10859274B2 (en) | 2016-04-01 | 2020-12-08 | Progress Profiles S.P.A. | Support for radiant covering and floor heating elements |
US9726383B1 (en) | 2016-06-17 | 2017-08-08 | Progress Profiles S.P.A. | Support for radiant covering and floor heating elements |
USD971449S1 (en) | 2016-04-13 | 2022-11-29 | Progress Profiles S.P.A. | Floor underlayment |
IT201600114685A1 (it) * | 2016-11-14 | 2018-05-14 | Silcart Spa | Dispositivo per il supporto e fissaggio di condutture riscaldanti di un sistema di riscaldamento collocato in sottopavimenti, pareti o soffitti di edifici |
CN106906934B (zh) * | 2017-01-22 | 2019-05-24 | 黄伟洪 | 中空楼板模板、中空楼板结构和中空楼板结构的施工方法 |
AU201711371S (en) * | 2017-03-07 | 2017-05-15 | Nxt Ip Pty Ltd | Void former |
DE202017101349U1 (de) | 2017-03-09 | 2018-06-12 | Werner Schlüter | Entkopplungsmatte |
NO344327B1 (en) * | 2018-07-03 | 2019-11-04 | Glavatech As | An improved cladding panel of exterior building walls |
CN111044715B (zh) * | 2018-10-15 | 2021-11-30 | 重庆河邦建材有限公司 | 一种空心楼盖石膏填充箱破坏性试验方法 |
USD1036242S1 (en) | 2020-04-22 | 2024-07-23 | Progress Profiles S.P.A. | Floor underlayment |
USD1036243S1 (en) | 2020-10-09 | 2024-07-23 | Progress Profiles S.P.A. | Floor underlayment |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3334458A (en) * | 1963-10-21 | 1967-08-08 | John C Leemhuis | Structural member |
US3352079A (en) * | 1965-04-30 | 1967-11-14 | John G Strong | Floor form structure |
CA1181215A (en) * | 1981-02-04 | 1985-01-22 | Wolfgang Radtke | Hollow floor |
JPS6040436A (ja) * | 1983-08-15 | 1985-03-02 | Kajima Corp | 地下構造物の二重スラブ構造 |
US4702048A (en) * | 1984-04-06 | 1987-10-27 | Paul Millman | Bubble relief form for concrete |
DE3803062A1 (de) * | 1988-01-29 | 1989-08-10 | Herbst Donald | Biegsame schalungsfolie |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP1082344A patent/JPH02259508A/ja active Pending
-
1990
- 1990-03-27 US US07/500,295 patent/US5105595A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100465538B1 (ko) * | 2001-05-10 | 2005-01-13 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 형상 측정장치 및 방법 |
JP2020176967A (ja) * | 2019-04-22 | 2020-10-29 | 康嶺有限公司Health Peak Limited | 蛍光偏光を検出する光学系及び偏光度測定ユニット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5105595A (en) | 1992-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH02259508A (ja) | 一体型干渉測定装置 | |
US4576479A (en) | Apparatus and method for investigation of a surface | |
JPH073344B2 (ja) | エンコ−ダ− | |
US5164791A (en) | Minute displacement detector using optical interferometry | |
JPH0319482B2 (ja) | ||
WO2022105533A1 (zh) | 干涉仪位移测量***及方法 | |
JP2003279309A (ja) | レーザ測長器及びレーザ測長方法 | |
JPH02228505A (ja) | 干渉計 | |
US5053628A (en) | Position signal producing apparatus for water alignment | |
JPH0519927B2 (ja) | ||
JPH0455243B2 (ja) | ||
US5231467A (en) | Reflective alignment position signal producing apparatus | |
US6954273B2 (en) | Laser-based measuring apparatus for measuring an axial run-out in a cylinder of rotation and method for measuring the same utilizing opposing incident measuring light beams | |
JPS5979104A (ja) | 光学装置 | |
JPH11325848A (ja) | 非球面形状測定装置 | |
JPH02259512A (ja) | 一体型干渉測定装置 | |
JP2592254B2 (ja) | 変位量及び変位速度の測定装置 | |
JPS60104206A (ja) | 光学測定装置 | |
JPH0549922B2 (ja) | ||
JP2000018918A (ja) | レーザ干渉式可動体の移動量検出装置 | |
RU2002105688A (ru) | Способ интерферометрического измерения отклонения формы оптических поверхностей и система для его осуществления | |
CN114322825A (zh) | 可视化超大尺寸光学平面检测装置及方法 | |
JPH05180643A (ja) | 表面形状測定装置 | |
JPH10260007A (ja) | 相対位置検出装置 | |
JPS61272605A (ja) | 面形状測定用干渉計 |