JPH02252981A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
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- JPH02252981A JPH02252981A JP7448789A JP7448789A JPH02252981A JP H02252981 A JPH02252981 A JP H02252981A JP 7448789 A JP7448789 A JP 7448789A JP 7448789 A JP7448789 A JP 7448789A JP H02252981 A JPH02252981 A JP H02252981A
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- Japan
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- piping
- compressor
- pressure medium
- pipe
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- Pending
Links
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はクライオポンプに関する。
［従来の技術及びその問題点］
例えばクライオポンプにおいて、低温に保つ必要のある
装置を複数、同時に１台の圧縮機で冷却することがある
。このようにクライオポンプをマルチ運転する際、第２
図に示すように従来方法では、冷凍機用の圧縮機（１）
に圧縮機側高圧ヘリウム配管継手（２）を介して高圧ヘ
リウム配管分岐管（８）が接続され、これに複数の高圧
ヘリウム送給用フレキシブルホース（ｌＯ）が接続され
て、さらにクライオポンプ測高圧ヘリウム配管継＋−＋
１２）を介いて各クライオポンプ（１４）に接続される
。低圧側も同様に、圧縮機（１）に圧縮機側低圧ヘリウ
ム配管継手（３）を介して低圧ヘリウム配管分岐管（９
）が接続され、これに複数の低圧ヘリウム還流用フレキ
シブルホース（１１）が接続されて、さらにクライオポ
ンプ側低圧ヘリウム配管継手（１３）を介して各クライ
オポンプ（１４）に接続される。以上のように接続され
た循環回路を通って冷却用媒体であるヘリウムが圧縮機
（１）から各クライオポンプ（１４）に循環されるので
あるが、高圧及び低圧ヘリウム配管分岐管（８） （９
）が圧縮機ｍ に近い側に設けられるので、高圧ヘリウ
ム送給用及び低圧ヘリウム還流用フレキシブルホース（
１０） （１１）が長くなる。
装置を複数、同時に１台の圧縮機で冷却することがある
。このようにクライオポンプをマルチ運転する際、第２
図に示すように従来方法では、冷凍機用の圧縮機（１）
に圧縮機側高圧ヘリウム配管継手（２）を介して高圧ヘ
リウム配管分岐管（８）が接続され、これに複数の高圧
ヘリウム送給用フレキシブルホース（ｌＯ）が接続され
て、さらにクライオポンプ測高圧ヘリウム配管継＋−＋
１２）を介いて各クライオポンプ（１４）に接続される
。低圧側も同様に、圧縮機（１）に圧縮機側低圧ヘリウ
ム配管継手（３）を介して低圧ヘリウム配管分岐管（９
）が接続され、これに複数の低圧ヘリウム還流用フレキ
シブルホース（１１）が接続されて、さらにクライオポ
ンプ側低圧ヘリウム配管継手（１３）を介して各クライ
オポンプ（１４）に接続される。以上のように接続され
た循環回路を通って冷却用媒体であるヘリウムが圧縮機
（１）から各クライオポンプ（１４）に循環されるので
あるが、高圧及び低圧ヘリウム配管分岐管（８） （９
）が圧縮機ｍ に近い側に設けられるので、高圧ヘリウ
ム送給用及び低圧ヘリウム還流用フレキシブルホース（
１０） （１１）が長くなる。
その結果
■ 配管が乱雑になる。
■ 配管が長いのでコストが高くつく。
という問題点があった。
本発明は以上のような問題に鑑みてなされ、配管が簡素
化され、かつコストを低減できるクライオポンプを提供
することを目的としている。
化され、かつコストを低減できるクライオポンプを提供
することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
上記目的は、圧縮機から高圧媒体配管分岐管を介して複
数の被冷凍体に供給した冷媒を、低圧媒体配管分岐管を
介して前記圧縮機に還流するようにしたクライオポンプ
において、前記圧縮機と前記高圧媒体配管分岐管とが高
圧媒体送給用配管を介して接続されるとともに、前記圧
縮機と前記低圧媒体配管分岐管とが低圧媒体還流用配管
を介して接続されていることを特徴とするクライオポン
プによって達成される。
数の被冷凍体に供給した冷媒を、低圧媒体配管分岐管を
介して前記圧縮機に還流するようにしたクライオポンプ
において、前記圧縮機と前記高圧媒体配管分岐管とが高
圧媒体送給用配管を介して接続されるとともに、前記圧
縮機と前記低圧媒体配管分岐管とが低圧媒体還流用配管
を介して接続されていることを特徴とするクライオポン
プによって達成される。
［作 用］
以上のように構成されるクライオポンプにおいては従来
方法のように配管が乱雑になることがなく、コストを低
減することもできる。
方法のように配管が乱雑になることがなく、コストを低
減することもできる。
次に実施例について図面を参照して説明する。
第１図に示すように、圧縮機（１）から複数のクライオ
ポンプ（１４）に循環される冷却用媒体としてのヘリウ
ムの高圧側の配管は、圧縮機（１）からクライオポンプ
（１４）に向って、圧縮機（１）、圧縮機側高圧ヘリウ
ム配管継手（２）、高圧ヘリウム送給用配管（４）、分
岐管側高圧ヘリウム配管継手（６）高圧ヘリウム配管分
岐管（８）、高圧ヘリウム送給用フレキシブルホース（
１０）、クライオポンプ側高圧ヘリウム配管継手（１２
）、クライオポンプ（１４）の順で接続される。又同様
に低圧側の配管は、圧縮機（１）、圧縮機側低圧ヘリウ
ム配管継手（３）、低圧ヘリウム還流用配管（５）、分
岐管側低圧ヘリウム配管継手（７）、低圧ヘリウム配管
分岐管（９）低圧ヘリウム還流用フレキシブルホース（
１１）、クライオポンプ側低圧ヘリウム配管継手（１３
）、クライオポンプ（１４）の順で接続される。ヘリウ
ムは圧縮機（１）によって圧縮され、高圧側の配管を通
って複数のクライオポンプ（１４）に送給され、低圧側
の配管を通って再び圧縮機（１）に還流される。クライ
オポンプ（１４）と真空槽（１５）とをつなぐバルブ（
１６）を開けると、真空槽（１５）内のガスがヘリウム
によって冷却されたクライオポンプ（１４）のクライオ
面（特に図示しない）に吸着されて真空槽（１５）内が
排気される。
ポンプ（１４）に循環される冷却用媒体としてのヘリウ
ムの高圧側の配管は、圧縮機（１）からクライオポンプ
（１４）に向って、圧縮機（１）、圧縮機側高圧ヘリウ
ム配管継手（２）、高圧ヘリウム送給用配管（４）、分
岐管側高圧ヘリウム配管継手（６）高圧ヘリウム配管分
岐管（８）、高圧ヘリウム送給用フレキシブルホース（
１０）、クライオポンプ側高圧ヘリウム配管継手（１２
）、クライオポンプ（１４）の順で接続される。又同様
に低圧側の配管は、圧縮機（１）、圧縮機側低圧ヘリウ
ム配管継手（３）、低圧ヘリウム還流用配管（５）、分
岐管側低圧ヘリウム配管継手（７）、低圧ヘリウム配管
分岐管（９）低圧ヘリウム還流用フレキシブルホース（
１１）、クライオポンプ側低圧ヘリウム配管継手（１３
）、クライオポンプ（１４）の順で接続される。ヘリウ
ムは圧縮機（１）によって圧縮され、高圧側の配管を通
って複数のクライオポンプ（１４）に送給され、低圧側
の配管を通って再び圧縮機（１）に還流される。クライ
オポンプ（１４）と真空槽（１５）とをつなぐバルブ（
１６）を開けると、真空槽（１５）内のガスがヘリウム
によって冷却されたクライオポンプ（１４）のクライオ
面（特に図示しない）に吸着されて真空槽（１５）内が
排気される。
高圧ヘリウム送給用配管（４）と低圧ヘリウム還流用配
管（５）はステンレス製としたが、他の金属、例えば鋼
管でも良く、あるいはフレキシブルホースでも良い。高
圧ヘリウム送給用フレキシブルホース［１０）と低圧ヘ
リウム還流用フレキシブルホース（１１）は内部がベロ
ーズで構成され、その外側に保護用金網がかぶせられた
ものであり、通常の配管に比べて単価の高いものである
。
管（５）はステンレス製としたが、他の金属、例えば鋼
管でも良く、あるいはフレキシブルホースでも良い。高
圧ヘリウム送給用フレキシブルホース［１０）と低圧ヘ
リウム還流用フレキシブルホース（１１）は内部がベロ
ーズで構成され、その外側に保護用金網がかぶせられた
ものであり、通常の配管に比べて単価の高いものである
。
本実施例の構成によれば、高圧ヘリウム送給用配管（４
）及び低圧ヘリウム還流用配管（５）が圧縮機側継手（
２） ＋３）と分岐管側継手（６） （７）とを介して
、圧縮機（１）と分岐管（１１１（９）との間に接続さ
れるので、両分枝管（８） （９）がその分クライオポ
ンプ（１４）に近（なり、各フレキシブルホース（１０
１（１１）が短くて済む。従って全体のコス１〜も低下
させることができる。
）及び低圧ヘリウム還流用配管（５）が圧縮機側継手（
２） ＋３）と分岐管側継手（６） （７）とを介して
、圧縮機（１）と分岐管（１１１（９）との間に接続さ
れるので、両分枝管（８） （９）がその分クライオポ
ンプ（１４）に近（なり、各フレキシブルホース（１０
１（１１）が短くて済む。従って全体のコス１〜も低下
させることができる。
以上、本発明の実施例について説明したが、勿論本発明
はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基
づき種々の変形が可能である。
はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基
づき種々の変形が可能である。
例えば、分岐管側高圧及び低圧ヘリウム配管継手［６）
（７）を用いずに、高圧及び低圧ヘリウム配管分岐管
（８） （９１の分岐する前の元管が長いものを用いて
、圧縮機側高圧及び低圧ヘリウム配管継手ｆ２１ （３
）に直接、接続しても良い。
（７）を用いずに、高圧及び低圧ヘリウム配管分岐管
（８） （９１の分岐する前の元管が長いものを用いて
、圧縮機側高圧及び低圧ヘリウム配管継手ｆ２１ （３
）に直接、接続しても良い。
冷却用媒体として本発明ではヘリウムを用いたが、窒素
も用いることができる。又クライオポンプに限らず、ソ
ープションポンプやその他一般の冷凍機にも本発明は適
用可能である。
も用いることができる。又クライオポンプに限らず、ソ
ープションポンプやその他一般の冷凍機にも本発明は適
用可能である。
高圧及び低圧ヘリウム配管分岐管（８１（９１は第１図
に示される形に限定されることなく、１本の元管とマル
チ運転するポンプの数に対応する枝管とから成るもので
あれば良い。
に示される形に限定されることなく、１本の元管とマル
チ運転するポンプの数に対応する枝管とから成るもので
あれば良い。
［発明の効果］
本発明は以上のような構成になっているので、従来は分
岐管と、クライオポンプとをつなぐフレキシブルホース
が長く乱雑になり、時には操作者がひっかかることもあ
ったが、本発明ではそのようなこともなく、配管構成が
簡素化される。又、コストも低減される。さらに、冷凍
機と被冷凍体の間の配管が短くなるため、外部からの熱
の流入量が減り、クライオポンプの性能が向上する。
岐管と、クライオポンプとをつなぐフレキシブルホース
が長く乱雑になり、時には操作者がひっかかることもあ
ったが、本発明ではそのようなこともなく、配管構成が
簡素化される。又、コストも低減される。さらに、冷凍
機と被冷凍体の間の配管が短くなるため、外部からの熱
の流入量が減り、クライオポンプの性能が向上する。
第１図は複数クライオポンプを同時運転する際の本発明
による配管図、第２図は従来の配管図である。 なお図において、 （１）・・・・・・圧縮機 ２）・・・・・・圧縮機側高圧ヘリウム配管継手３）・
・・・・・圧縮機側低圧ヘリウム配管継手４）・・・・
・・高圧ヘリウム送給用配管５）・・・・・・低圧ヘリ
ウム還流用配管６）・・・・・・分岐管側高圧ヘリウム
配管継手７）・・・・・・分岐管側低圧ヘリウム配管継
手８）・・−・・・高圧ヘリウム配管分岐管９）・・・
・・・低圧ヘリウム配管分岐管１４１・・・・・クライ
オポンプ 代 理 人 飯 阪 泰 雄 第２図 １４・・・・・・クライオポンプ
による配管図、第２図は従来の配管図である。 なお図において、 （１）・・・・・・圧縮機 ２）・・・・・・圧縮機側高圧ヘリウム配管継手３）・
・・・・・圧縮機側低圧ヘリウム配管継手４）・・・・
・・高圧ヘリウム送給用配管５）・・・・・・低圧ヘリ
ウム還流用配管６）・・・・・・分岐管側高圧ヘリウム
配管継手７）・・・・・・分岐管側低圧ヘリウム配管継
手８）・・−・・・高圧ヘリウム配管分岐管９）・・・
・・・低圧ヘリウム配管分岐管１４１・・・・・クライ
オポンプ 代 理 人 飯 阪 泰 雄 第２図 １４・・・・・・クライオポンプ
Claims (3)
- （１）圧縮機から高圧媒体配管分岐管を介して複数の被
冷凍体に供給した冷媒を、低圧媒体配管分岐管を介して
前記圧縮機に還流するようにしたクライオポンプにおい
て、前記圧縮機と前記高圧媒体配管分岐管とが高圧媒体
送給用配管を介して接続されるとともに、前記圧縮機と
前記低圧媒体配管分岐管とが低圧媒体還流用配管を介し
て接続されていることを特徴とするクライオポンプ。 - （２）前記圧縮機に接続される圧縮機側高圧媒体配管継
手に前記高圧媒体送給用配管が接続され、前記圧縮機に
接続される圧縮機側低圧媒体配管継手に前記低圧媒体還
流用配管が接続される請求項（１）記載のクライオポン
プ。 - （３）前記高圧媒体送給用配管と前記高圧媒体配管分岐
管とが分岐管側高圧媒体配管継手を介して接続され、前
記低圧媒体還流用配管と前記低圧媒体配管分岐管とが分
岐管側低圧媒体配管継手を介して接続される請求項（１
）又は（２）記載のクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7448789A JPH02252981A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7448789A JPH02252981A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02252981A true JPH02252981A (ja) | 1990-10-11 |
Family
ID=13548696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7448789A Pending JPH02252981A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02252981A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5946380A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-15 | Hitachi Ltd | クライオポンプ |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7448789A patent/JPH02252981A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5946380A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-15 | Hitachi Ltd | クライオポンプ |
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