JPH02235215A - Magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain the magnetic recording medium which is improved in both durability and C/N by forming a perpendicularly magnetized film of a Co alloy on an undercoating layer which consists of any of Pd, Rh, Pt and is disposed on a granular base. CONSTITUTION:The undercoating layer 3 consisting of any of the Pd, Rh, Pt is disposed on the granular base 2 and the perpendicularly magnetized film 4 of the Co alloy is formed thereon. The Pd, Rh, Pt internally cause slip deformation in the granular projecting parts to be most strongly subjected to the stresses that the medium receives from a head, thereby preventing the destruction thereof. Since the surface is leveled off by the Pd, Rh, Pt, the crystallinity is more improved than with the medium formed by disposing the perpendicularly magnetized film 4 of the Co system directly on the granular base 2 and the characteristics are uniformized. The durability and C/N are improved in this way.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気テープに使用して有効な磁気記録媒体に関
するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium useful for use with magnetic tape.

従来の技術 近年、磁気記録技術の発展はめざましく、記録密度の向
上、とりわけ装置の小型化，高性能化，多機能化に於け
る進歩は著しく、この傾向は今後も続くことが予測され
、重要な要素である磁気メディアは薄膜磁気記録層，垂
直磁化薄膜の採用に向って改良が進められている。Conventional technology In recent years, the development of magnetic recording technology has been remarkable, with remarkable progress being made in the improvement of recording density, especially in the miniaturization, high performance, and multifunctionality of devices.This trend is predicted to continue in the future, and is important. Improvements are being made in magnetic media, which are important elements, toward the adoption of thin-film magnetic recording layers and perpendicularly magnetized thin films.

垂直磁化薄膜はＣｏ−Ｏｒスパッタ膜に代表され、Ｎｉ
−Ｆ●とＣｏ−Ｏｒのいわゆる積層２層媒体と単磁極ヘ
ッドの組み合わせでは、ｅｓｏＫＦＲＰＬの記録再生が
報告され〔アイイーイーイー　トランザクシ璽ンズ　オ
ン　マグネティクス（ＩＫＥＫＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮ
Ｓ　ＯＮ　ＭＡＧＮＲＴＩＣＳＩ　Ｖｏｌ，ＭＡＧ−２
３，凪５　　２０７２　（１　９８７　）’）　　るに
至っている一方、Ｃｏ−Ｏｒ−Ｎｂ　単層膜とリングヘ
ッドの既存のインターフェース技術によっての高密度化
も確認され〔特開昭８１　−７７１　２８号公報〕実用
化への期待が高まってきている。Perpendicular magnetization thin films are represented by Co-Or sputtered films, and Ni
It has been reported that esoKFRPL recording and playback is possible with a combination of a so-called laminated dual-layer medium of -F● and Co-Or and a single magnetic pole head.
S ON MAGNRTICSI Vol, MAG-2
3, Nagi 5 2072 (1987)') On the other hand, it has also been confirmed that high density has been achieved using the existing interface technology between a Co-Or-Nb single layer film and a ring head [JP-A-81-771-28]. [Publication] Expectations for practical application are increasing.

実用化にあたって今日重要なテーマは、耐久性に優れ、
記録性能の良好な磁気ディスク，磁気テープ等の磁気記
録媒体を再現よく高速で製造する技術の確立であるとい
える。かかる事情に鑑み、電子ビーム蒸着技術〔アイイ
ーイーイー　トランザクシッンズ　オン　マグネティク
ス　Ｉ［］ＥＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ　　ＯＮ　　Ｍ
ＡＧＮＫＴＩＣＳ）Ｖｏ５．輩▲Ｇ−２３，隘５　，Ｐ
，２４４９（１９８７））は基板を２００゜Ｃ以上の高
温に保持したり、チタン下地〔同誌　Ｍ　Ａ　Ｇ　−２
　０　，　Ｐ　６８７（１９８４　３）やゲノレマニウ
ム下地〔同誌Ｍ五Ｇ−２１　，　Ｐ，１　４２６（１９
８５））を配することで、製膜速度は小さいが特性の良
好なスパッタリング法〔同誌，’ｉｏｌ．輩▲ｅ−２３
，Ｐ，２４４３（１９８７））で得ることの出来る膜特
性に近づけるべく検討が続けられている。The important theme today for practical application is excellent durability,
This can be said to be the establishment of a technology for manufacturing magnetic recording media such as magnetic disks and magnetic tapes with good recording performance at high speed and with good reproducibility. In view of these circumstances, we developed the electron beam evaporation technology [Transactions on Magnetics I].
AGNKTICS) Vo5. ▲G-23, 隘5, P
, 2449 (1987)) maintains the substrate at a high temperature of 200°C or higher, or heats the substrate with a titanium base [Ibid. MAG-2
0, P 687 (1984 3) and Genolemanium base [same magazine M5G-21, P, 1 426 (19
85)), a sputtering method with low film forming speed but good characteristics [same magazine, 'iol. Senior▲e-23
, P., 2443 (1987)).

発明が解決しようとする課題 しかしながらチタン，Ｇｅ等の下地層を配したものは、
耐久性が不十分なことから、オーバコート層、潤滑剤〔
特開昭６１　−１　２６６２７号公報，特開昭６１　−
１　３１　２２４号公報，特開昭６１１　３１　２３１
号公報〕を配した構成で、スペーシ公報〕この方法でも
スペーシング損失が問題となり、耐久性があってＣ／Ｎ
の良い垂直磁気記録媒体を得ることは重要な課題である
。Problems to be Solved by the Invention However, those with a base layer of titanium, Ge, etc.
Due to insufficient durability, overcoat layer, lubricant [
JP-A-61-1 26627, JP-A-61-1
Publication No. 1 31 224, Japanese Patent Application Publication No. 611 31 231
This method also suffers from spacing loss, and is durable and C/N.
Obtaining a perpendicular magnetic recording medium with good performance is an important issue.

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、下地層を
改良することで耐久性とＣ／Ｎを共に改良した磁気記録
媒体を提供するものである。The present invention was made in view of the above-mentioned circumstances, and it is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium with improved durability and C/N by improving the underlayer.

課題を解決するだめの手段 上記した課題を解決するため、本発明の磁気記録媒体は
、粒状ペース上にＰ（１　，Ｒｈ　，Ｐｔのいずれかの
下地層を配した上でＣｏ系合金垂直磁化膜を配したもの
であり、更に、Ｐ（１　，Ｒｈ　，Ｐｔのいずれかに６
〜２０原子チのＴｉ　，Ｚｒ　，Ｉｆ　，Ｒｕ　，Ｚｎ
　，Ｃ４のいずれかを添加した下地層を配した上でＣｏ
系合金垂直磁化膜を配したものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the magnetic recording medium of the present invention has a Co-based alloy perpendicularly magnetized on a granular paste with an underlayer of P(1, Rh, or Pt). In addition, P(1, Rh, Pt has 6
~20 atoms of Ti, Zr, If, Ru, Zn
, C4 is added, and then Co
A perpendicularly magnetized alloy film is arranged.

作用 本発明の磁気記鎌媒体は粒状ベース上のＰｄ，Ｒｈ，Ｐ
ｔのいずれかの下地層上にＣｏ系合金垂直磁化膜を配し
た媒体がヘッドから受ける応力を最も強く応力を受ける
粒状突起部でＰ（１　，Ｒｈ　，Ｐｔがすべり変形を内
部で起こして、破壊に至らずにすむので、耐久性が向上
し、Ｐｄ，Ｒｈ，Ｐｔによって表面が均一化されるので
粒状ベースに直接Ｃｏ系合金垂直磁化膜を配したものよ
りも結晶性改善がなされ特性の均一化によるＣ／Ｎ　向
上がはかれることになる。又耐久性が上記したように向
上することで粒状ベースの突起サイズを小さくできるの
で、スペーシング改善による出力増もＣ／Ｎ向上に寄与
する。Function The magnetic recording medium of the present invention is composed of Pd, Rh, P on a granular base.
A medium in which a Co-based alloy perpendicular magnetization film is disposed on one of the underlayers of t receives the stress from the head most strongly at the granular protrusions where P(1, Rh, Pt causes sliding deformation internally, Since it does not lead to destruction, durability is improved, and since the surface is made uniform by Pd, Rh, and Pt, the crystallinity is improved and the characteristics are improved compared to when a Co-based alloy perpendicular magnetization film is placed directly on the granular base. C/N can be improved through uniformity. Furthermore, as the durability is improved as described above, the size of the protrusions on the granular base can be reduced, so the increase in output due to improved spacing also contributes to the improvement in C/N.

更にＰ（１　，Ｒｈ　，Ｐｔに５〜２０原子％のＴｉ，
Ｚｒ，Ｈｆ　，Ｒｕ　，Ｚｎ　，Ｃｄのいずれかを添加
した下地層を用いれば、結晶性は、添加元素がｈ，ｃ．
ｐ，構造であることからＣｏ系合金垂直磁化模のｈ　，
ｃ　，ｐ構造での配向性改善がなされ、Ｃ／Ｎはより改
善される。Furthermore, P(1, Rh, 5 to 20 atomic % of Ti to Pt,
If an underlayer containing any one of Zr, Hf, Ru, Zn, and Cd is used, the crystallinity can be improved by adding h, c.
p, structure, h of the Co-based alloy perpendicular magnetization model,
The orientation is improved in the c and p structures, and the C/N is further improved.

実施例 以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

〔実施例１〕 第１図は本発明の第１の実施例の磁気記録媒体の拡大断
面図である。第１図で１は、ポリエチレンテレフタレー
ト，ポリエチレンナフタレート．ボリ７エニレンサルフ
ァイド．ポリエーテルケトン　，％　リエーテルサ／Ｌ
／　７オン．ポリエーテノレエーテルケトン，ポリアミ
ドイミド，ポリイミド等の高分子フィルムテ、２はＡｌ
２０５，ＣａＣｏ５，Ｔｉ０２，Ｓｉ０２　，　Ｃｒ２
０５　，カーボン，ポリエチＬ／７球，ポリイミド球，
高分子ラテックス等の微粒子を塗布して成る微粒子塗布
層で、１．２よシ粒状ベースが構成される。粒子の大き
さは６０人から５００人で・密度は０．１〜１００ケ／
（μｍ＋）２の範囲が好ましい。３はＰ（１　，Ｒｈ　
，Ｐｔのうちのいずれかの下地層で、電子ビーム蒸着法
．イオンプレーティング法，スパッタリング法等で形成
するもので、膜厚は３００人から１　０００人の範囲が
好ましい。[Example 1] FIG. 1 is an enlarged sectional view of a magnetic recording medium according to a first example of the present invention. In Figure 1, 1 is polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate. Boli 7 enylene sulfide. Polyetherketone, % Lietherketone/L
/ 7 on. Polymer film such as polyether ether ketone, polyamide imide, polyimide, etc.
205, CaCo5, Ti02, Si02, Cr2
05, carbon, polyethylene L/7 ball, polyimide ball,
A granular base 1.2 is constituted by a fine particle coating layer formed by applying fine particles of polymer latex or the like. The particle size is 60 to 500 particles/density is 0.1 to 100 particles/
A range of (μm+)2 is preferred. 3 is P(1, Rh
, Pt by electron beam evaporation method. It is formed by an ion plating method, a sputtering method, etc., and the film thickness is preferably in the range of 300 to 1,000 layers.

４はＣｏ又はＣｏ−ＮｉにＯｒ，Ｔｉ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
，Ｚｒ，Ｖ等を添加した垂直磁化膜で、電子ビーム蒸着
法が高速性に優れているが、他の方法で製膜したものに
ついても効果は同様にある。６は保護潤滑層で、プラズ
マ重合膜カーボン膜，脂肪酸，脂肪酸エステノレ，パー
フルオロボリエーテル等から適宜組み合わせたものより
構成すればよい。６はパックコート層で、樹脂，フィラ
ー必要ならば潤滑剤等を含んだ構成より成るもので走行
性改良の補助目的で配するのが好ましい。4 is Co or Co-Ni, Or, Ti, Ta, Mo, W
, Zr, V, etc., and the electron beam evaporation method is excellent in high speed, but films formed by other methods have similar effects. Reference numeral 6 denotes a protective lubricating layer, which may be composed of a suitable combination of plasma polymerized carbon film, fatty acids, fatty acid esters, perfluoroboriethers, and the like. Reference numeral 6 denotes a pack coat layer, which is composed of a resin, a filler, and, if necessary, a lubricant, etc., and is preferably provided for the purpose of assisting in improving running properties.

以下、更に具体的な例で比較例対比で説明する。Hereinafter, more specific examples will be explained in comparison with comparative examples.

厚み１０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に直径６ｏ人のＦｅ３０４微粒子を６０ケＸμ諺》２配
し、その上に、▲ｒ圧０　，ｏ１　〜ｏ　，１　（Ｔｏ
ｒｒ　），高周波条件１３．５６（Ｍ｝−Ｉｚ）０．６
〜１．２（ｎ）でターゲットにＰｄ　，Ｒｈ　，Ｐｔを
用い、スパッタリング法でＰｄ　，Ｒｈ　，Ｐｔ薄膜の
いずれかから成る下地層を配しＣｏ−Ｏｒ　，　Ｃｏ−
Ｔｉ　，　Ｃｏ−Ｍｏ等の垂直磁化膜を形成した。垂直
磁化膜はいずれも高周波スパッタリング法により、▲ｒ
圧０　．００４〜０　．０２　（Ｔｏｒｒ　）　，１　
３　．５６　（Ｍ｝−１２　）　，０．７〜１　．５　
（ＫＷ　）　＋７）条件範囲で形成した。その上に１　
．１　，３　．３一二トラメチルジシラザンをモノマー
ガスとし、真空度０．０８（Ｔｏｒｒ），２０　（Ｋ｝
ｆｚ）　，１（ＫＷ）でプラズマ重合膜を８０人形成し
その上に、ステアリノレステアレートヲ０．６Ｃｌｆ／
ｄ＞塗布し、ポリエステル樹脂中に、等重量のカーボン
を分散させたバックコート層を配し８ミリ幅のテープに
した。夫々のテープを改造した８ミリビデオによりＣ／
Ｎとステノレ特性を比較した。ギャップ長０．１８μｍ
の積層合金型アモ／Ｌ／７アスヘッドにより、トラック
ピッチ８μｍ，波長０　．３６μｍ　記録し、Ｃ／Ｎを
比較し、スチ／Ｌ／％性は、出力が初期から３ｄＢ低下
するまでの時間で比較した。尚比較例▲は直径２５０人
のＳｉ０２微粒子を２０ケ／（μｍ》２配した上に直接
Ｃｏ　−ｃｒ（　ｃｏ　：　ｓｏｗｔ％）垂直磁化膜０
．２　μｍ　を配し他は実施例と同じと・したもので比
較例Ｂはチタンのスパッタ膜４００人を配してからＧ　
ｏ　−Ｏ　ｒ垂直磁化膜を配し他は実施例と同じとした
ものを用いた。60 pieces of Fe304 particles with a diameter of 6 degrees are placed on a polyethylene terephthalate film with a thickness of 10 μm, and on top of that,
rr ), high frequency condition 13.56 (M}-Iz) 0.6
In ~1.2(n), Pd, Rh, and Pt were used as targets, and a base layer made of either Pd, Rh, or Pt thin film was deposited by sputtering to form Co-Or, Co-
A perpendicularly magnetized film of Ti, Co-Mo, etc. was formed. All perpendicularly magnetized films are made by high-frequency sputtering.
Pressure 0. 004~0. 02 (Torr) ,1
3. 56 (M}-12), 0.7-1. 5
(KW) +7) Formed under the following conditions. 1 on top of that
．． 1, 3. 3-2 tramethyldisilazane as monomer gas, vacuum degree 0.08 (Torr), 20 (K}
fz), 1 (KW) to form 80 plasma polymerized films, and on top of that, 0.6 Clf/stearate of stearinolestearate.
d> was coated, and a back coat layer with an equal weight of carbon dispersed in polyester resin was arranged to make a tape with a width of 8 mm. C/ by 8mm video modified from each tape.
Comparison of N and stainless steel characteristics. Gap length 0.18μm
The track pitch is 8 μm and the wavelength is 0.5 μm using the laminated alloy type AMO/L/7 ass head. Recording was performed at 36 μm, C/N was compared, and the strength/L/% characteristics were compared based on the time required for the output to decrease by 3 dB from the initial stage. Comparative example ▲ is a Co-cr (co: sowt%) perpendicularly magnetized film directly on 20 pieces/(μm)2 of Si02 fine particles with a diameter of 250.
．． In Comparative Example B, a titanium sputtered film of 400 layers was deposited and then G
An o - Or perpendicularly magnetized film was arranged, and the rest was the same as in the example.

主なテープのパラメータと特性を第１表にまとめて示し
た。The main tape parameters and characteristics are summarized in Table 1.

（以下余白） 第１表 本発明によれば、微粒子にかかる応力で、結晶内でのす
べりが起こり、微粒子のサイズを小さくしても、比較例
のように大きな微粒子を用いて構成したのとほとんど同
じスチル特性が得られている。このように耐久性を同じ
程度にした上で、微粒子の大きさの差で生じるスベーシ
ング損失の差が、測定したような短波長では大きく影響
するので、垂直磁化膜自体の材料による性能差はみられ
るが、同一のＣｏ−Ｃｒで比較すれば、チタンを配し改
良したものとの差でも３（ｄＢ）の差があり、本発明品
の有価値性は大きい。(Margins below) Table 1 According to the present invention, the stress applied to the fine particles causes slippage within the crystal, and even if the size of the fine particles is reduced, it will be different from the structure using large fine particles as in the comparative example. Almost the same still characteristics are obtained. In this way, even if the durability is kept at the same level, the difference in subbasing loss caused by the difference in particle size has a large effect at short wavelengths as measured, so the performance difference due to the material of the perpendicular magnetization film itself is ignored. However, when compared with the same Co-Cr, there is a difference of 3 (dB) compared to the one improved by disposing titanium, so the product of the present invention has great value.

〔実施例２〕 課題を解決するための別の手段は、下地層のＰｄ　，Ｐ
ｔ　，Ｒｈに６〜２０原子チのＴｉ　，Ｚｒ　，Ｈｆ　
，Ｒｕ　，Ｚｎ　，Ｃ（１のいずれかの元素を添加した
上に垂直磁化膜を配するようにしたものである。本発明
の磁気記録媒体は上記した構成により、実施例１でのべ
たｐａ，ｐｔ，ｐｈの原子間のスペリでの応力吸収作用
に加えて、τｉ　，Ｚｒ　，Ｈｆ　，Ｒｕ　，Ｚｎ　，
ＯｅｌのＣｏ−Ｏｒ膜等の結晶性改善作用をバランスさ
せて耐久性を殆んど変えずにさらに短波長でのＣ／Ｎを
改善するもので、６原子チ以下になると、Ｃ／Ｎ改善効
果が弱く、２０原子チ以上になるとスチル特性のパラツ
キが大きくなることで好ましい範囲が決っているのであ
る。[Example 2] Another means for solving the problem is to reduce Pd and P of the base layer.
t, Rh with 6 to 20 atoms of Ti, Zr, Hf
, Ru, Zn, C (1), and a perpendicularly magnetized film is disposed on top of the element.The magnetic recording medium of the present invention has the above-described structure, and has the same solid pa as in Example 1. , pt, ph, and τi, Zr, Hf, Ru, Zn,
It balances the crystallinity improving effect of OEL's Co-Or film, etc., and further improves C/N at short wavelengths without changing durability. The preferable range is determined by the fact that the effect is weak and when the concentration exceeds 20 atoms, the variation in still characteristics increases.

本発明の作用効果は、Ｃｏ−Ｃｒ　，Ｃｏ−Ｔｉ　，Ｃ
ｏ−Ｔａ，Ｏｎ−Ｍｏ　，　Ｃｏ　−Ｗ　，　Ｃｏ　−
Ｒｕ　，　Ｃｏ−Ｎｉ−Ｏｒ　，　Ｃｏ−Ｏｒ−Ｎｂ，
Ｃｏ−Ｏｒ−Ｒｈ等のＣｏ系垂直磁化膜に共通してある
のは、添加元素が本来ｈ　，ｃ　，ｐ結晶をとる元素で
、Ｃｏ系合金垂直磁化膜もｈ，ｃ，ｐ結晶性が良好な程
Ｃｓ／Ｎ　　が改善されることによるものであるからで
ある。以下に更に具体的な例として、実施例１でもＣ／
Ｎが最も良好であったＯｏ−Ｏｒ−Ｎｂ垂直磁化膜をペ
ースにして試作したテープの特性で説明する。The effects of the present invention include Co-Cr, Co-Ti, C
o-Ta, On-Mo, Co-W, Co-
Ru, Co-Ni-Or, Co-Or-Nb,
What is common to Co-based perpendicular magnetization films such as Co-Or-Rh is that the additive elements are elements that originally exhibit h, c, and p crystallinity, and Co-based alloy perpendicular magnetization films also have h, c, and p crystallinity. This is because the better the Cs/N, the better the Cs/N. As a more specific example below, in Example 1, C/
This will be explained using the characteristics of a tape produced as a prototype using an Oo-Or-Nb perpendicular magnetization film in which N was the best.

実施例１と同様な微粒子層の上に各種下地層を介し（３
００人のスパッタリング膜）、００−Ｏｒ−Ｎｂ（Ｃｏ
／Ｃｒ／Ｎｂ＝ｒｅ／１ｅ／ｓ（ｗｔ％比）〕垂直磁化
膜を高周波スパッタリング法で、２２ｏＯλ形成し、他
は実施例１と同じ条件のテープを試作し、実施例１と同
じ評価をした。下地層の条件とテープ特性を第２表にま
とめて示した。スチル特性は１０回測定の平均値と最短
時間を示した。Various base layers were placed on the same fine particle layer as in Example 1 (3
00-Or-Nb(Co), 00-Or-Nb(Co)
/Cr/Nb=re/1e/s (wt% ratio)] A perpendicular magnetization film was formed using a high frequency sputtering method to form 22oOλ, and a tape was made as a prototype under the same conditions as in Example 1, and the same evaluation as in Example 1 was carried out. did. Table 2 summarizes the conditions of the base layer and the tape properties. The still characteristics show the average value of 10 measurements and the shortest time.

（以下余白） 第２表から、６原子チから２０原子チの範囲で、バラン
スよく改善がはかれることがわかる。製法にもよるが、
１０％前後で制御するのが好ましい。(Left space below) From Table 2, it can be seen that improvements can be made in a well-balanced manner in the range of 6 atoms to 20 atoms. Depending on the manufacturing method,
It is preferable to control it at around 10%.

それはスパッタリング法でも二ロージョンの進行で組成
比が長尺物に形成しようとするとずれてくることがあり
、５％と２０％の境界は、比較的クリティ力ルな動きを
するからである。This is because even in the sputtering method, the composition ratio may shift when forming a long object due to the progress of two regions, and the boundary between 5% and 20% moves relatively sharply.

以上のように本発明によれば、若干スチル耐久性が弱ま
る傾向にあるが、実用水準内にあり、Ｃ／Ｎ改善効果は
更に短波長では大きくなることからみて、今後進む高密
度記録に適した媒体が得られるといったすぐれた効果が
ある。As described above, according to the present invention, the still durability tends to be slightly weakened, but it is within the practical level, and since the C/N improvement effect becomes even greater at shorter wavelengths, it is suitable for the future high-density recording. This has an excellent effect in that a medium with a high degree of compatibility can be obtained.

〔実施例３〕 課題を解決する別の手段は、粒状ベース上にヘキサゴナ
／Ｌ／ＢＮ膜（ｈ−ＢＮ膜と記す）を配した上にＣｏ系
合金垂直磁化膜を配するようにしたものである。[Example 3] Another means to solve the problem is to arrange a Co-based alloy perpendicular magnetization film on a hexagonal/L/BN film (referred to as an h-BN film) on a granular base. It is.

本発明の磁気記録媒体は、粒状ペースが実施例１　，実
施例２でのべた無機微粒子に限らず、樹脂粒子や、山脈
状，ミミズ状等の塗布層からなる、ゆったりした凹凸に
より、よりＣ／Ｎ　改善をはかりながら耐久性を確保す
るのに好適な構成である。In the magnetic recording medium of the present invention, the granular pace is not limited to the solid inorganic fine particles described in Examples 1 and 2, but is made of resin particles, mountain range-shaped, earthworm-shaped, etc. /N This is a suitable configuration for ensuring durability while making improvements.

第２図は本発明の実施例の磁気記録媒体の拡大断面図で
、第１図と同じ構成要素については同一の番号を付して
ある。第２図で、７はミミズ状***層で、フィμムを製
造する過程で、高分子を塗布し、延伸により塗膜を引き
のばして形成するか、沸点の異なる溶剤を用いかつ溶解
性の異なる樹脂との組み合わせで、ヒダ状に形成する等
が適していて、高さは６０入から２０ＯＡまでが好まし
い。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention, in which the same components as in FIG. 1 are given the same numbers. In Figure 2, 7 is a worm-shaped raised layer, which is formed by applying a polymer and stretching the coating film in the process of manufacturing the film, or by using a solvent with a different boiling point and a soluble layer. It is suitable to form a pleat shape in combination with different resins, and the height is preferably from 60 pieces to 20 OA.

８はｈ−ＢＮ膜で、Ｂ又はＢＮをターゲットにしテ、Ｎ
　Ｈ　５　，　ＮＴｌ　５＋▲ｒ等を放電ガスとして、
グロー放電を生じさせ、スパッタリングを反応性雰囲気
で行うことで得られるもので、１１−ＢＮとなるように
実験条件の中からある適正な条件範囲を選択する必要が
ある。8 is an h-BN film, with B or BN as the target, and N
H 5 , NTl 5+▲r, etc. as discharge gas,
It is obtained by generating glow discharge and performing sputtering in a reactive atmosphere, and it is necessary to select an appropriate range of experimental conditions to obtain 11-BN.

ｈ−ＢＮ膜は条件によシ、閃亜鉛鉱型かグラファイト型
或いは両者の混合体となるが、ミミズ状***層や、ポリ
エステル球，ポリエチレン球．ポリイミド球等の樹脂粒
子上に配した場合は、硬さにより、高分子の形成する凹
凸を形を変えずに実使用下で保つ作用をし、無機粒子上
に配した場合は、グラファイト型を多く含ませることで
、応力をすベシで吸収する作用をし、耐久性の改善につ
ながり、ヘキサゴナμ型の結晶により、Ｃｏ系合金垂直
磁化膜のｈ　，ｃ　，ｐ結晶性を改良し、Ｃ／Ｎを改善
することになるものである。以下、更に本発明の実施例
について説明する。Depending on the conditions, the h-BN film can be of the zincblende type, graphite type, or a mixture of both, but it has a worm-like raised layer, polyester spheres, polyethylene spheres, etc. When placed on resin particles such as polyimide spheres, the hardness acts to maintain the irregularities formed by the polymer during actual use without changing the shape, and when placed on inorganic particles, the graphite type By including a large amount, it has the effect of fully absorbing stress, leading to improved durability, and the hexagonal μ-type crystals improve the h, c, and p crystallinity of the perpendicularly magnetized Co-based alloy film. /N. Examples of the present invention will be further described below.

厚み１０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に、高さｉｏｏ八のミミズ状***層を形成した基板（▲
）、直径１ｏｏ人のポリサルフォン微粒子を１６ケ／（
μｍ）２配した基板（Ｂ）、直径１５０人のボリメチｐ
メタクリレート球を１０ケ７′（μｍ）２配した基板（
Ｃ）と直径６０人のＳｉＯ　２微粒子を４０ケ／（μｔ
ａ　）　２配した基板（Ｄ）を準備し、Ｂをターゲット
にして、ＮＨ５分圧：０．Ｏｏ９〜ｏ．ｏ８（τｏｒｒ
　）　，１３．５６（Ｍ｝ｌｚ）０．６　〜２　（ＫＷ
）の範囲でスパッタリングを行い、ｈ−ＢＮ膜３００人
形成し、その上で高周波スパッタリング法により２ｏｏ
Ｏ人のＣｏ−Ｏｒ　（　Ｃｏ　：　８０ｗｔ％　）垂直
磁化膜を形成し、その上に０２Ｈ２Ｆ２をモノマーガス
として、２０ＫＨｚ９　５　０（Ｗ）　，　０　．０９
　（Ｔｏｒｒ）のグロー放電により、プラズマ重合膜６
６人を形成し、その上にノくーフノレオロポリエーテノ
レとして市販のモンテフノレオス社製の“フオンブリン
ｚ−２６”を０．４　＜１１９／７７／　）塗布し、パ
ックコート層０．４μｍを配し、８ミリ幅の磁気テープ
とした。A substrate (▲
), 16 polysulfone particles with a diameter of 10 mm/(
μm) 2 substrate (B), diameter 150 people
A substrate with 10 7′ (μm) 2 methacrylate spheres (
C) and SiO2 fine particles of 60 people in diameter at 40 pieces/(μt
a) Prepare two substrates (D), set B as a target, and apply NH5 partial pressure: 0. Oo9～o. o8(τorr
) , 13.56 (M}lz) 0.6 ~ 2 (KW
) to form 300 h-BN films, and then high-frequency sputtering to form 200 h-BN films.
A Co-Or (Co: 80 wt%) perpendicularly magnetized film was formed thereon, and 02H2F2 was used as the monomer gas, and 20 KHz 950 (W), 0 . 09
(Torr) glow discharge causes the plasma polymerized film 6 to
6 layers were formed, and on top of that, "Fomblin Z-26" manufactured by Montefunoreos, commercially available as Nokufnoreolopolyetenore, was applied with a thickness of 0.4<119/77/), and a pack coat layer of 0.4 μm was applied. The tape was placed on an 8mm wide magnetic tape.

ｈ−ＢＨの条件を変えて、テープの特性を評価した結果
を第３表にまとめて示した。特性評価は実施例１と同じ
条件で行った。Table 3 summarizes the results of evaluating the characteristics of the tape by changing the h-BH conditions. Characteristic evaluation was performed under the same conditions as in Example 1.

（以下余白） 第３表より高分子のミミズ状***層や樹脂微粒子の上に
ｈ−ＢＮを配したものは、回転磁気ヘッドとの接触にお
いては柔軟性があって実効的なスペーシングは構造上最
小のＤ基板を用いたものと同等とみなせるＣ／Ｎが得ら
れていること、ｈ　一ＢＮの構成にはよらないで同じＣ
／Ｎが得られること、Ｄ基板ではｅｏＶｏｌ％以上に閃
亜鉛鉱が含まれるものは比較例のチタン下地を配したも
のに近いス｝ノレ特性で、グラファイト型リッチにした
方が好ましいことがわかる。(Left below) Table 3 shows that h-BN placed on a worm-like raised layer of polymer or fine resin particles is flexible in contact with a rotating magnetic head, and the effective spacing is limited by the structure. A C/N that can be considered equivalent to that using the minimum D board above has been obtained, h - The same C/N regardless of the BN configuration.
/N can be obtained, and the D substrate containing sphalerite at eoVol% or higher has a snore characteristic similar to that of the comparative example with a titanium base, indicating that it is preferable to make it rich in graphite type. .

又、くり返し走行に於では、ミミズ状***層や樹脂微粒
子を用いたものは、静的には凹凸が大きくても０７Ｎが
とれる一方、形状の実質変化は小さく、動摩擦係数は良
好な状態とできるが、無機微粒子のものは、微粒子を小
さくすると徐々に動摩擦係数が高くなり、デッキでの走
行系に回転ポストを増やす等の配慮が必要になってくる
ことを考慮すると、本構成はミミズ状***層や樹脂微粒
子がやや優位にたてるものといえる。In addition, in repeated running, those using earthworm-like raised layers or fine resin particles can statically maintain 07N even if the unevenness is large, while the actual change in shape is small and the coefficient of dynamic friction can be maintained in a good state. However, with inorganic fine particles, the coefficient of kinetic friction gradually increases as the fine particles become smaller, and consideration must be given to increasing the number of rotating posts in the deck running system. It can be said that layers and resin particles are somewhat advantageous.

〔実施例４〕 課題を解決するだめの別の手段は、高分子フィルム上に
、直接、又は下地層を介してｈ−ＢＮ扁平粒子を配した
上にＣｏ系合金垂直磁化膜を配したものである。[Example 4] Another means to solve the problem is to arrange h-BN flat particles directly or through an underlayer on a polymer film, and then arrange a Co-based alloy perpendicular magnetization film. It is.

第３図に本発明の磁気記録媒体の拡大断面図を示した。FIG. 3 shows an enlarged sectional view of the magnetic recording medium of the present invention.

第３図で１は高分子フィμムであるが、ここで用いるも
のは、７イラーを添加してないか、添加してもフィラー
により形成される面の粗大は平均粗さで３０人以下、最
大粗さでも６ｏ人以下の超平滑なものが好ましい。９は
ｈ−ＢＮ扁平粒子で、高さは５０人から２５０人の範囲
が好ましい。又、閃亜鉛鉱型は含まれていないか、含ん
でも４０％以下、更に好ましくは２０チ以下がよい。In Figure 3, 1 is a polymer film, but the one used here either does not contain filler, or even if filler is added, the average roughness of the surface formed by the filler is less than 30. , an ultra-smooth one with a maximum roughness of 6 degrees or less is preferable. 9 is an h-BN flat particle, and the height is preferably in the range of 50 to 250 people. Further, it is preferable that zinc blende type is not contained, or even if it is contained, it is not more than 40%, more preferably not more than 20%.

それは耐久性の確保を原子面のスベリで得るためである
。This is to ensure durability through atomic surface slippage.

ｈ−ＢＮ粒子は最大寸法がＯｊμｍまでのものが好まし
い。又、その密度は０．１〜１ケ／（μｍ　＞　２がよ
い。０．１ケ／（μＩＩ１）２以下ではスチル耐久性が
不十分で、１ケ／（μｍ　）　２以上では、かえって走
行性が悪くなるからである。Preferably, the h-BN particles have a maximum dimension of up to Oj μm. In addition, the density is preferably 0.1 to 1 pc/(μm>2). If it is less than 0.1 pc/(μm)2, the still durability is insufficient, and if it is 1 pc/(μm) 2 or more, it may cause poor running performance. This is because the sex becomes worse.

９を配するのにバインダを用いるが、特に限定はない。Although a binder is used to arrange 9, there is no particular limitation.

又９を配するのに高分子フィルムに直接配さすに、軟磁
性層や下地層を介して配してもよい。In addition, although 9 may be placed directly on the polymer film, it may be placed through a soft magnetic layer or an underlayer.

本発明は実施例１から実施例３と同じでテープに限らず
ディスクとして実施してもよいのは勿論である。As in the first to third embodiments, the present invention is of course not limited to tapes, and may be implemented as disks.

尚、第３図に於て、これまでのべた実施例と同じ構成で
よいものは同一の番号を付してある。In FIG. 3, components that may have the same configuration as the embodiments described above are given the same numbers.

以下、更に具体的な例について説明する。A more specific example will be described below.

厚み９μｍのポリエチレンナフタレートフィルム（フィ
ラーを含まず、平均粗さ２０人、最大粗さ４０人）上に
、高さ１ｏＯ人．一辺が４００人の六角板状のｈ−ＢＮ
粒子（閃亜鉛鉱型７Ｖｏｌ％）０．４ケ／（μｍ　）　
２配した基板（▲）、高周波スパッタリング法で形成し
た３５０人のボロン膜を介して、同じく、ｈ−ＢＮ粒子
を▲と同条件で配した基板申）、厚み７μｍ芳香族ポリ
アミドフィルム（フィラーを含有し、平均粗さ３６人．
最大粗さ５６人）上に高さ１４０人，ＳＯＯ人×８ｏＯ
人の長方形板状のｈ−Ｉｌｌ粒子（閃亜鉛鉱型１ｊＶｏ
／％）を０．６ケ／（μｍ）２配した基板（ｃ）、高周
波スパッタリング法で形成した４００人のクロム模を介
して（Ｃ）と同じ条件でｈ−ＢＮ粒子を配した基板中）
を準備した。比較例として、厚み１０μｍのポリエチレ
ンテレフタレートフイルム（平均粗さ２０人，最大粗さ
４０入》上に直径１６０人のＳｉＯ　２微粒子を１６ケ
／（μｍ）２配した基板を準備した。夫々の基板上に高
周波スパッタリング法にｊりＣｏ−Ｏｒ−Ｃｏ　：８０
ｗｔ％　）垂直磁化膜を０．２μｍ配し、その上で、モ
ノマーガスとしてＮ，Ｎ−ジメチルホｐムアミドを用い
、０．１　（ＴＯｒｒ），２００（Ｋ｝ｌｚ），１（Ｋ
Ｗ　）でプラズマ重合膜を６０人配し、その上に、７”
　ユホ：／社製ＯＫＲＹＴＯＸ１４３▲Ｃを０．５Ｃ１
１１ｆ／ｄ＞配し、バックスート層０．４μｍを配し８
ミリテープとした。On a polyethylene naphthalate film with a thickness of 9 μm (without filler, average roughness 20 mm, maximum roughness 40 mm), a height of 10 mm was placed. Hexagonal plate-shaped h-BN with 400 people on each side
Particles (zincblende type 7Vol%) 0.4 particles/(μm)
A substrate (▲) with h-BN particles placed on it under the same conditions as ▲, a 7 μm thick aromatic polyamide film (without filler) through a 350-layer boron film formed by high-frequency sputtering. Contains an average roughness of 36 people.
Maximum roughness 56 people) above height 140 people, SOO people x 8oO
Human rectangular plate-like h-Ill particles (zincblende type 1jVo
/%) 0.6 particles/(μm)2 (c), and a substrate with h-BN particles arranged under the same conditions as (C) through a 400-person chromium pattern formed by high-frequency sputtering method. )
prepared. As a comparative example, a substrate was prepared in which 16 particles of SiO 2 with a diameter of 160 mm were arranged on a polyethylene terephthalate film (average roughness of 20 mm, maximum roughness of 40 mm) with a thickness of 10 μm. Co-Or-Co: 80
wt%) A perpendicularly magnetized film with a thickness of 0.2 μm was disposed, and N,N-dimethylhopamide was used as a monomer gas to form a perpendicular magnetization film of 0.1 (TOrr), 200 (K}lz), 1 (K
60 plasma polymerized membranes are placed on top of the 7”
Yuho:/ OKRYTOX143▲C 0.5C1
11f/d> and a back soot layer of 0.4 μm 8
It was made into millitape.

夫々のテープを実施例１と同じデッキで評価した結果を
第４表に示した。Table 4 shows the results of evaluating each tape using the same deck as in Example 1.

（以下余白） 本発明の構成によれば、走行をくり返しても耐久性が維
持されることが第４表より理解できる。(The following is a blank space) It can be understood from Table 4 that according to the structure of the present invention, durability is maintained even after repeated running.

尚本発明では下地層を介した方が、わずかではあるがＣ
／Ｎも改善され、耐久性も改善される傾向にあることも
わかる。これらはｈ−ＢＨの原子間のスベリによる耐久
性改善と、ヘキサゴナμであることからＣｏ系合金のｈ
　，ｃ　，ｐ結品性の改善効果の両者によるものである
。In the present invention, it is better to use the underlayer to reduce the amount of C.
/N is also improved, and it can be seen that the durability also tends to be improved. These improve durability due to sliding between h-BH atoms, and because of the hexagonal μ, the h-BH of Co-based alloys
, c, and p This is due to both the effect of improving solidity.

〔実施例６〕 本発明の課題を解決する別の手段は、超平滑フィルム上
に直接又は下地層を介してＣｏ系合金垂直磁化膜を配し
、その上にｈ−ＢＮ扁平粒子を配するようにしたもので
ある。[Example 6] Another means for solving the problems of the present invention is to arrange a Co-based alloy perpendicularly magnetized film on an ultra-smooth film directly or through an underlayer, and arrange h-BN flat particles thereon. This is how it was done.

本発明の磁気記録媒体は、上記した構成により、Ｃｏ系
合金垂直磁化膜に形状的な異方性や、不均一性から生じ
るノイズを最小にでき、表面に生じるスベーシングは、
ｈ−ＢＮ粒子の界面のスベリによシ、応力分散がはから
れることで、ｈ−ＢＮ粒子の高さを低くできるので、出
力ロスも小さくてきＣ／Ｎとしてトータル的に改善でき
ることになる。第４図に本発明の磁気記録媒体の拡大断
面図を示した。第４図で既にのべた実施例と同じ構成で
よいものは同一の番号を付してある。１は高分子フイル
ムであるが、平滑性については、平均粗さで４０人以下
、最大粗さ８０人以下が好ましい。１ｏはＣｏ系合金垂
直磁化膜４上に固定したｈ−ＢＮ扁平粒子で、″閃亜鉛
鉱型結晶よシもグラファイト型で構成するのが好ましく
、混品であっても閃亜鉛鉱型は２ｏｖＯｌ％以下である
ものが望ましい。最大寸法は０．１μｍ程度までで形状
は特に限定されるものではないが、平板状で板厚は５０
八から２００人の範囲が好ましい。又その密度は０．１
〜６ケ／（μｍ）２の範囲がよｌ／”１。０．１ケ／（
μ！ｌ１）２以下では耐久性が不十分で、６ケ／（μｍ
）２以上になると潤滑剤の作用が環境により不十分にな
り、走行性がかえって悪くなるからである。With the above-described configuration, the magnetic recording medium of the present invention can minimize noise caused by geometrical anisotropy and non-uniformity in the Co-based alloy perpendicularly magnetized film, and suppress spacing that occurs on the surface.
Since the height of the h-BN particles can be lowered by smoothing the interface of the h-BN particles and dispersing the stress, the output loss is also reduced and the C/N can be improved in total. FIG. 4 shows an enlarged sectional view of the magnetic recording medium of the present invention. Components that may have the same configuration as the embodiments already described in FIG. 4 are given the same numbers. 1 is a polymer film, and in terms of smoothness, the average roughness is preferably 40 or less and the maximum roughness is 80 or less. 1o are h-BN flat grains fixed on the Co-based alloy perpendicular magnetization film 4, preferably composed of graphite type crystals as well as zinc blende type crystals. % or less.The maximum dimension is up to about 0.1 μm and the shape is not particularly limited, but it is flat and the thickness is 50 μm.
A range of 8 to 200 people is preferred. Also, its density is 0.1
The range of ~6 pieces/(μm)2 is good l/”1.0.1 pieces/(
μ! l1) If it is less than 2, the durability is insufficient and 6 pieces/(μm
)2 or more, the effect of the lubricant becomes insufficient depending on the environment, and the running performance becomes worse.

以下、更に具体的な実施例について比較例との対比で説
明する。Hereinafter, more specific examples will be explained in comparison with comparative examples.

厚み９μｍのポリエチレンナフタレートフィ７レム（平
均粗さ２０人，最大粗さ４６人）上に、高周波スパッタ
リング法で、Ｇ　ｏ　−Ｏ　ｒ　−Ｎ　ｂ　−Ｓ　ｎ（
Ｃｏ／Ｏｒ／Ｎｂ／Ｓｎ＝７９／１５／５，４／０，６
Ｗｔ％　）垂直磁化膜を０．２２μ一形成しその上にｈ
−ＢＮ扁平粒子を配し、潤滑剤として、パーフｐオロボ
リエーテノレとして市販のモンテ７〜オス社製の“７オ
ンプリンｚ−２５”をｏ　，　ｓｓ　（Ｗ／７７／　）
配し、バックコート層０．４μｍを配し、８ミリ幅のテ
ープに加工した。一方比較例は、同じフィ）Ｖム上に直
径２００人のＳｉｎ２微粒子を２０ケ／（μｍ）２配し
、その上に高周波スパッタリング法でＣｏ−Ｃｊｘ−Ｎ
　ｂ　−Ｓ　ｎ　を同じ条件で垂直磁化膜として形成し
その上にパーフルオロポリエーテルを同じ条件で配し１
０．４μ冨のバックコート層を配し、同じく８ミリテー
プとしたものを準備した。Go - Or - N b - Sn (
Co/Or/Nb/Sn=79/15/5, 4/0, 6
Wt%) A perpendicular magnetization film of 0.22μ is formed and h
-BN flat particles were arranged, and as a lubricant, “7onpurin Z-25” manufactured by Monte 7-Os, which is commercially available as Perf P Oroboliate Nore, was used as a lubricant.O, SS (W/77/)
A back coat layer of 0.4 μm was applied, and the tape was processed into an 8 mm wide tape. On the other hand, in a comparative example, 20 pieces/(μm) of Sin2 fine particles with a diameter of 200 were arranged on the same film, and Co-Cjx-N
b -S n was formed as a perpendicular magnetization film under the same conditions, and perfluoropolyether was placed on it under the same conditions.
An 8 mm tape with a back coat layer of 0.4 μm thickness was also prepared.

第４表に示したのと同じ条件で特性評価した結果を第６
表に示した。The results of characteristic evaluation under the same conditions as shown in Table 4 are shown in Table 6.
Shown in the table.

（以下余白，） 以上のように本発明によれば、耐久性とＣ／Ｎが共に改
善された高密度磁気記録媒体が得られる。(Hereinafter referred to as "margin") As described above, according to the present invention, a high-density magnetic recording medium with improved durability and C/N ratio can be obtained.

〔実施例６〕 本発明の課題を解決する別の手段は、超平滑フィルム上
に直接又は下地層を介してＣｏ系合金垂直磁化膜を配し
、該表面を酸化処理し、ｈ−ＢＮ扁平粒子を分散させた
潤滑剤を配するようにしたものである。[Example 6] Another means for solving the problems of the present invention is to arrange a Co-based alloy perpendicularly magnetized film on an ultra-smooth film directly or through an underlayer, and oxidize the surface to form an h-BN flat film. A lubricant containing particles dispersed therein is arranged.

本発明の磁気記録媒体は、Ｃｏ系合金垂直磁化膜に自然
酸化による５０人程度以下の表面酸化層と異なり、強制
的に酸化し１ｏＯ〜２００人の酸化層により、表面硬化
がはかられ、耐久性が改善されるので、それと組み合わ
せるｈ−ＢＮ扁平粒子の厚みを小さくでき、スペーシン
グを改善できる。又ｈ−ＢＮ扁平粒子は超平滑フィｌレ
ム上のＣｃ系合金垂直磁化膜の表面も平滑であり良好な
滑りをうることかできるので潤滑剤とあわせ、ヘッドと
の高速摺動でも良好な潤滑を保持でき耐久性を確保でき
Ｃ／Ｎも確保できるようになる。The magnetic recording medium of the present invention has a Co-based alloy perpendicularly magnetized film having a surface oxidation layer of about 50 or less by natural oxidation. Since the durability is improved, the thickness of the h-BN flat particles combined with it can be reduced, and the spacing can be improved. In addition, the h-BN flat particles have a smooth surface on the perpendicularly magnetized Cc alloy film on the ultra-smooth film and can provide good sliding, so when combined with a lubricant, they provide good lubrication even during high-speed sliding with the head. can be maintained, durability can be secured, and C/N can also be secured.

本発明の実施例の磁気記碌媒体の拡大断面図を第５図に
示した。第６図で１は超平滑フィｐムで、３はＣｏ系合
金垂直磁化膜で両者の間にチタン．Ｃｏ　，Ｓｉ　，Ｏ
ｒ　，Ｔａ等やバー？０イ等やＰｌｉ，Ｒｈ，Ｐｔ，Ｐ
ｄ一τｉ，Ｐａ−Ｈｆ等から成る下地層を配してあって
もよい。１１は表面酸化処理層で、表面処理は大気中で
熱ローノレに沿わせてフィμムを移動しながら酸化する
方法、酸素原子照射による方法、酸素プラズマ処理する
方法等が挙げられる。１２はｈ−ＢＮ扁平粒子で、最大
寸法は０．１μｍ程度までの微粒子で、形状は特に限定
はないが、厚みは６ｏ人から１００八が好ましい。又密
度は均一分散状態で０．１〜６ケ／（μｍ）２の範囲が
好ましい。FIG. 5 shows an enlarged sectional view of a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention. In Fig. 6, 1 is an ultra-smooth fipm, 3 is a Co-based alloy perpendicularly magnetized film, and between them is a titanium film. Co, Si, O
r, Ta etc. or bar? 0i, etc., Pli, Rh, Pt, P
A base layer made of d-τi, Pa-Hf, etc. may be provided. Reference numeral 11 denotes a surface oxidation treatment layer, and examples of the surface treatment include a method of oxidizing the film while moving it along a thermal roller in the atmosphere, a method of oxygen atom irradiation, and a method of oxygen plasma treatment. Reference numeral 12 denotes h-BN flat particles, which are fine particles with a maximum dimension of about 0.1 μm. Although the shape is not particularly limited, the thickness is preferably from 6 mm to 100 mm. Further, the density is preferably in the range of 0.1 to 6 particles/(μm) 2 in a uniformly dispersed state.

以下、更に具体的に本発明の実施例について比較例との
対比で説明する。Examples of the present invention will now be described in more detail in comparison with comparative examples.

，厚み１３μｍの芳香族ポリアミド７イ７レム（平均粗
さ２６人．最大粗さ４０人）上に３００人チタンを電子
ビーム蒸着し、キャン温度２１０’ＣでＣｏ−Ｃｒ（Ｃ
ｏ　ｓｏｗｔ％）を４　Ｘ　１０　’　（’ｒｏｒｒ）
入射角１６°以内で電子ビーム蒸着し、２０６０人の垂
直磁化膜を形成し、引き続き、中性酸素原子（　１０　
”　ａｔｏｍｓ／ｄ　，平均エネルギー１００ｅＶ）で
２秒間処環し、表面にＣｏｏを主体とした表面酸化層を
ｉｏｏ人形成し（Ａ）たもの、酸素分圧０．１　（Ｔｏ
ｒｒ　）４００（Ｋ田）　，　１　（ＫＷ）　ｆ）酸素
プラズマで３秒間処理し表面酸化層を１００人形成し（
Ｂ）たもの、大気中に取り出し、直径５０（’＋１１の
熱ロールで２５０゜Ｃ２秒間処理し、表面酸化層を１０
０人形成したもの（Ｃ）、２５０’０　　２秒間雰囲気
にオゾン（４００ｐｐｍ　ｌを加えて処理し、表面酸化
層を１４０人形成したものΦ）を準備した。又比較例と
して、同じフィルム上に、直径１４０人のＴｉ０２微粒
子を配してから、（▲）と同じ条件で加工した。夫々の
基板を用い、ｈ−ＢＮ（グラファイト型）を分散させた
潤滑剤を配し、バックコート層０．６μｍを配し、凭イ
ンチ幅の磁気テープにした。, Co-Cr (C
o sowt%) 4 X 10'('rorr)
Electron beam evaporation was performed at an incident angle of 16° to form a perpendicular magnetization film of 2060 atoms, followed by neutral oxygen atoms (10
"atoms/d, average energy 100 eV) for 2 seconds to form a surface oxide layer mainly composed of Coo on the surface (A), oxygen partial pressure 0.1 (To
rr) 400 (Kada), 1 (KW) f) Treated with oxygen plasma for 3 seconds to form a surface oxide layer (
B) The material was taken out into the atmosphere and treated with a heated roll with a diameter of 50 ('+11) at 250°C for 2 seconds to remove the surface oxidation layer.
A sample (C) in which no surface oxidation layer was formed, and a sample (Φ) in which a surface oxidation layer was formed by adding ozone (400 ppm l) to the atmosphere for 250'0 2 seconds were prepared. As a comparative example, TiO2 fine particles with a diameter of 140 were placed on the same film, and then processed under the same conditions as (▲). Using each substrate, a lubricant containing h-BN (graphite type) dispersed therein and a back coat layer of 0.6 μm were provided to form a magnetic tape with a width of about an inch.

夫々のテープを相対速度１　０　（　ｍ／ｓｅｃ　）の
高速化条件で比較評価した。デッキはＭＵフォーマット
（▲Ｕ−６５０Ｐ，松下電器製）のものを改造して用い
た。Ｃ／Ｎは２０（Ｍｌ−ＩＺ）で比較した値である。The respective tapes were comparatively evaluated under conditions of increased relative speed of 10 (m/sec). The deck used was a modified MU format (▲U-650P, manufactured by Matsushita Electric). C/N is a value compared at 20 (Ml-IZ).

ヘッドはギャップ長０．２μｍの積層合金型を用いた。A laminated alloy head with a gap length of 0.2 μm was used as the head.

テープの条件と得られた特性について第６表にまとめて
示した。Table 6 summarizes the tape conditions and properties obtained.

（以下余白） 第６表 第６表よりわかるように本発明品によれば、酸化層の効
果と、ｈ−ＢＮ分散粒子の潤滑耐久向上効果とがあわさ
って、Ｃ／Ｎと耐久性に優れた磁気記録媒体が得られる
ことがわかる。尚ｈ−ＢＨ粒子はグラファイト型を用い
たが、閃亜鉛鉱型が含まれていても２　０　ＶＯｌ％以
下であれば、第５表に近い特性が得られるが、スチノレ
特性の下限が少し低くなることから８ミリビデオでは十
分であるが捧系のフォーマットではグラファイト型でま
とめるのが好ましい。潤滑剤は比較のため狭い範囲しか
記載してないが、自由選択事項であるのは勿論である。(The following is a blank space) Table 6 As can be seen from Table 6, the product of the present invention has excellent C/N and durability due to the combination of the effect of the oxidation layer and the lubrication durability improvement effect of the h-BN dispersed particles. It can be seen that a magnetic recording medium can be obtained. Note that graphite type h-BH particles were used, but even if zinc blende type is included, if it is less than 20 VOl%, properties close to those shown in Table 5 can be obtained, but the lower limit of the stynole properties is a little lower. For this reason, 8mm video is sufficient, but it is preferable to use graphite type for dedicated formats. Although only a narrow range of lubricants is listed for comparison, it is of course an optional matter.

〔実施例７〕 本発明の課題を解決する別の手段は、超平滑フィ〜ム上
に直接又は下地層を介してＣｏ系合金垂直磁化膜を配し
、その上に炭素膜を配し、ｈ−ＢＮ扁平粒子を分散させ
た潤滑剤を配するようにしたものである。[Example 7] Another means for solving the problems of the present invention is to arrange a Co-based alloy perpendicular magnetization film on an ultra-smooth film directly or through an underlayer, and arrange a carbon film on top of it, A lubricant in which h-BN flat particles are dispersed is arranged.

本発明の磁気記碌媒体は、実施例６０表面酸化膜の果た
した役割を同程度か或いは更に少いスベーシング損失内
で炭素膜が果たすことで、より短波長域での広帯域Ｃ／
Ｎ確保を耐久性を維持した上で実現できるものである。In the magnetic storage medium of the present invention, the carbon film fulfills the role played by the surface oxide film of Example 60 within the same level of spacing loss or even less, so that it can achieve broadband C// in a shorter wavelength range.
This makes it possible to secure N while maintaining durability.

第ｅ図は本発明の実施例の磁気記録媒体の拡大断面図で
、超平滑高分子フィルム１上に直接又は下地層を介して
配したＣｏ−Ｃｒ　，Ｃｏ−Ｔｉ等のＣｏ系合金垂直磁
化膜３上に、炭素膜１３を配した上に、実施例６と同様
にｈ−ＢＮ扁平粒子１２を分散させた潤滑剤６を配した
ものである。FIG. A carbon film 13 is disposed on the film 3, and a lubricant 6 in which h-BN flat particles 12 are dispersed is disposed in the same manner as in Example 6.

本発明で用いることの出来る炭素膜は、ダイヤモンド膜
又はダイヤモンド状硬質炭素膜、グラファイト膜又はこ
れらの混合膜で、混合膜の中でも、厚み方向にダイヤモ
ンド状からグラファイト型に変化しているものはより好
ましい結果をもたらすことができる。本発明の構成は最
適化により、実効的なスペーシングを１５０人以下にす
ることができるので、最短波長が０．２μｍの条件での
記録再生に用いることが可能になるもので以下、更に具
体的に本発明の実施例と比較例について説明する。The carbon film that can be used in the present invention is a diamond film, a diamond-like hard carbon film, a graphite film, or a mixture thereof.Among the mixed films, those that change from diamond-like to graphite-like in the thickness direction are more preferable. can bring about favorable results. The configuration of the present invention can be optimized to reduce the effective spacing to 150 people or less, so it can be used for recording and reproducing under conditions where the shortest wavelength is 0.2 μm. Examples and comparative examples of the present invention will be explained in detail.

厚み１０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（
表面粗さ２０人．最大粗さ４０入｝上に高周波スパッタ
リング法でＣｏ−Ｃｒ−Ｈｆ（Ｃｏ／Ｃｒ／Ｈ　ｒ　＝
　ｇｏ／１　ｓ／２　）　　垂直磁化膜を２５００人形
成し、その上に、グラファイトをターゲットにして▲ｒ
＋Ｈ２＝ｏ．ｏｓ（τｏｒｒ　）▲ｒ：Ｈ２＝１　：　
４　，１３．５６（Ｍｌ−１，），０．９５（ＫＷ）で
スノクツタリングを行い、ダイヤモンド状硬質炭素膜を
８０入形成し、その上に一辺４５０人の六角形板状（板
厚６ｏ人）ｈ−ＢＮ扁平粒子（グラファイト型９５ＶＯ
ｌ％，閃亜鉛鉱型ｓＶｏｌ％）を平均３ケ／（μｍ）２
分散さセタフオンブＩ）ンＺ−２５を０．４　（　Ｍｆ
／ｄ　）塗布し、バックコート層０．４μを配し、８ミ
リテーブ▲とじた。テーブ▲の炭素膜を電子ビーム蒸着
法により形成したグラファイト膜８０人に置きかえた以
外は同じ条件で試作した８ミリテープをテープＢとした
。テープ▲の炭素膜を６０人，テープＢの炭素膜を４０
人積層した炭素膜を配した以外はテープ▲と同じ条件で
試作した８ミリテープをテープＣとした。10 μm thick polyethylene terephthalate film (
Surface roughness 20 people. Co-Cr-Hf (Co/Cr/H r =
go/1 s/2) 2,500 perpendicularly magnetized films are formed, and on top of that, ▲r with graphite as a target.
+H2=o. os(τorr)▲r:H2=1:
4, 13.56 (Ml-1,), 0.95 (KW), a diamond-like hard carbon film was formed with 80 diamond-like hard carbon films, and a hexagonal plate shape (plate thickness of 450 people per side) was formed on it. 6o) h-BN flat particles (graphite type 95VO
l%, zincblende sVol%) on average 3 pieces/(μm)2
Dispersed cetafone Z-25 at 0.4 (Mf
/d), a back coat layer of 0.4 μm was applied, and the tape was closed with an 8 mm tape. Tape B was an 8 mm tape manufactured under the same conditions except that the carbon film of tape ▲ was replaced with a graphite film formed by electron beam evaporation. 60 people applied the carbon film of tape ▲, 40 people applied the carbon film of tape B.
Tape C was an 8 mm tape that was prototyped under the same conditions as tape ▲, except that a layered carbon film was arranged.

比較例として、フィルム表面にあらかじめ直径２６０人
のＩＣｕ２０５　微粒子を配し、その上に同じＣｏ−Ｏ
ｒ−Ｉｆ膜を配し、フオンプリｙＺ−２５のみをｏ　，
　４５　＜Ｅｌｆ／ｒｄ　）配したテープを準備した。As a comparative example, ICu205 fine particles with a diameter of 260 people were placed on the film surface in advance, and the same Co-O
The r-If film is arranged, and only the fonpri yZ-25 is o,
45 <Elf/rd) was prepared.

これらのテープを改造した８ミリビデオにより１ｓ（Ｍ
｝ｌｚ）（λ＝０．２μｍＦ）広帯域Ｃ／Ｎを比較し、
くり返し走行でのＣ／Ｎ変化と走行後のスチル特性を比
較した結果を第７表にまとめて示した。With 8mm video modified from these tapes, 1s (M
}lz) (λ=0.2μmF) Compare the broadband C/N,
Table 7 summarizes the results of comparing the C/N change during repeated running and the still characteristics after running.

（以下余白） 第７表より本発明品は、比較例より、Ｃ／Ｎ劣化も小さ
く、スチノレ特性も殆んど同じであり、その上Ｃ／Ｎ自
体も高い値を得ていることからその有価値性は大きい。(Left below) Table 7 shows that the products of the present invention have smaller C/N deterioration and almost the same stinore characteristics than the comparative examples, and also have a higher C/N value. It has great value.

尚上記した例に限らず、ディスクとしても有用であるし
、チタンやＳｉ，Ｇｅ　等を３００人配した上での構成
にすれば、耐久性は同一で更にＣ／Ｎを１（（ｉＢ３〜
１　．５（ｄＢ　）改善できることから高密度記録の推
進に対する貢献は大きい。In addition to the above example, it is also useful as a disk, and if it is configured with 300 titanium, Si, Ge, etc., the durability is the same and the C/N is 1 ((iB3 ~
1. 5 (dB), it will greatly contribute to the promotion of high-density recording.

〔実施例８〕 本発明の課題を解決する別の手段は、超平滑フィルム上
に直接又は下地層を介してＣｏ系合金垂直磁化膜を配し
た上にＢ膜を配し、その一部をｈ一ＢＮ化しかつその部
分が突出するようにしたことを特徴とする磁気記録媒体
である。本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、
ｈ−ＢＮ突起が低くても、Ｂ膜で補強された形になり、
外部応力に対して強くなり、ステμ状態でも良好な出力
特性を得ることができる。又ｈ−ＢＮ突起高さの制御も
容易であることから均一な突起群で、応力分散が確実で
あることからテープは勿論、フロッピーディスクに於で
も十分な出力特性と耐久性が得られることになるもので
ある。第７図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図であ
る。第７図で、１は超平滑高分子フィ〜ムで、３はＣｏ
系合金垂直磁化膜で、Ｎｉ−Ｆｅ　，Ｓｉ　，Ｇｅ　，
τ１膜等を介して配してもよいのは勿論である。１４け
電子ビーム蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタ
リング法等で形成したボロン膜で１００人から２６０人
の範囲が好ましい。１６はイオン注入法で形成したｈ−
ＢＮ突起部で、グラファイト型を６０ＶＯｌ％以上とす
るため、基板を２００″Ｃ以上に加熱するか、窒素イオ
ン電流密度を０．２〜４μ髪９にするかを選択しかつ、
突起を耐久性のある状態で形成するため、窒素イオンの
エネルギーを１５０時から１０ＫＶまでの範囲で傾斜さ
せ、注入深さを最初深く以降浅くしていくようにする。[Example 8] Another means for solving the problems of the present invention is to arrange a Co-based alloy perpendicularly magnetized film on an ultra-smooth film directly or through an underlayer, and then arrange a B film on top of it, and partially This is a magnetic recording medium characterized by being made into h-BN and having that portion protruded. The magnetic recording medium of the present invention has the above configuration,
Even if the h-BN protrusion is low, it is reinforced with the B film,
It is strong against external stress and can obtain good output characteristics even in the step μ state. In addition, since the h-BN protrusion height can be easily controlled, the protrusion group is uniform and stress distribution is reliable, so sufficient output characteristics and durability can be obtained not only for tapes but also for floppy disks. It is what it is. FIG. 7 is an enlarged sectional view of the magnetic recording medium of the present invention. In Figure 7, 1 is an ultra-smooth polymer film and 3 is a Co
perpendicular magnetization film of Ni-Fe, Si, Ge,
Of course, it may be arranged via a τ1 film or the like. The number of boron films formed by electron beam evaporation, ion blating, sputtering, etc. is preferably in the range of 100 to 260. 16 is h- formed by ion implantation method.
In order to increase the graphite type to 60 VOl% or more at the BN protrusion, select whether to heat the substrate to 200"C or more or set the nitrogen ion current density to 0.2 to 4 μH9, and
In order to form the protrusions in a durable manner, the energy of the nitrogen ions is ramped in the range from 150 to 10 KV, and the implantation depth is initially deep and then gradually reduced.

突起部の拡がりは円形と仮定し０，４μφから１．６μ
φが好ましく、密度は０．００５　〜０．５ケ／Ｃμｍ
）２カ好ましい。突起部はボロン表面から５０人〜１０
０人程度の突出量でよい。密度が０．００５ケ／（μＩ
ｎ）２にするには突出量を増さねばならず、そうすると
出力が低下してくるので好ましくない。０．５ケ／（μ
ｍ）２以上とすると突起がなくて均一なｈ−ＢＮ膜その
ものと同じになり、摩擦力が環境条件で大きくなり、ヘ
ッドダメージが生じ、結果的に出力低下が起ることで好
ましくない。The extension of the protrusion is assumed to be circular, from 0.4μφ to 1.6μ
φ is preferable, and the density is 0.005 to 0.5 pieces/Cμm
) 2 are preferred. The protrusion is 50 to 10 times from the boron surface.
A projection amount of about 0 people is sufficient. The density is 0.005 cells/(μI
n) In order to make it 2, the amount of protrusion must be increased, which is not preferable because the output will decrease. 0.5 pieces/(μ
m) If it is 2 or more, it will be the same as a uniform h-BN film itself without any protrusions, and the frictional force will increase under environmental conditions, causing damage to the head and resulting in a decrease in output, which is undesirable.

潤滑剤６は、特に限定されるものではないが突起部の高
さ程度の塗工量は必要である。Although the lubricant 6 is not particularly limited, it is necessary to apply the lubricant 6 in an amount equivalent to the height of the protrusion.

以下、更に具体的な実施例について比較例との対比で説
明する。Hereinafter, more specific examples will be explained in comparison with comparative examples.

厚み２９μｍのポリイミドフィルム（平均粗さ２２人，
最大粗さ４０人）上に、高周波スパッタリング法で、パ
ーマロイ薄膜を０．４μｍ形成し、その上に同じく高周
波スパッタリング法でＣｏ　−Ｏｒ（ＣｊＯ：８０Ｗｔ
％）垂直磁化膜１５００人を形成し、その上に高周波ス
パッタリング法でボロン膜を配し、基板を２　４　０　
’Ｃに加熱しながら、０，８μφにしぼった窒素イオン
ビームを２０μ▲／ｊで照射し、１　４０ｋｅＹ，１　
ｏｏｋｅｖ，ｅｏｋｅｖ，４ｏｋａｖ，１ｏｋｅ▼のエ
ネルギーの組み合わせで、ｈ−ＩＮ突出部を形成し潤滑
剤を配し、５．２５インチのフロッピーディスクを試作
したつ夫々のディスクを、積層合金型薄膜ヘッド（片面
アクセス型で媒体のパーマロイ薄膜を含めて磁路を形成
するタイプ）により記録再生し、再生出力を比較した。Polyimide film with a thickness of 29 μm (average roughness of 22 people,
A permalloy thin film with a thickness of 0.4 μm was formed on the surface (with a maximum roughness of 40%) by high-frequency sputtering, and a Co-Or (CjO:80Wt
%) A perpendicularly magnetized film of 1,500 layers was formed, a boron film was placed on it by high frequency sputtering, and the substrate was
While heating to
By combining the energies of ookev, eokev, 4okav, and 1oke▼, we formed an h-IN protrusion and applied lubricant to create a prototype 5.25-inch floppy disk. Recording and reproduction were performed using a single-sided access type (one-sided type that forms a magnetic path including the permalloy thin film of the medium), and the reproduction output was compared.

トラック１幅は６０μ１！Ｉ”で、線記録密度は１２ｏ
ＫＢＰＩとした。尚比較例は、フィルム上にあらかじめ
直径２００人のＳｉＯ　２微粒子を４６ケ／（μＩ！Ｉ
）２配し、Ｂ膜ｈ−ＢＮ突出部を形成しないで試作した
フロッピーディスクを用いた。第８表に媒体条件と評価
結果を示した。Track 1 width is 60μ1! I”, the linear recording density is 12o
KBPI. In addition, in the comparative example, 46 particles/(μI!I
) 2 and a prototype floppy disk was used without forming the B film h-BN protrusion. Table 8 shows the medium conditions and evaluation results.

（以下余白） 第８表 第８表より明らかなように、本発明の磁気記録媒体は比
較例にみられる形状効果と同じ形状効果に加えてＣｏ系
合金垂直磁化膜上に配したｈ−ＢＮ突出部のスベリの効
果で、再生出力は安定していることがわかる。又、凹凸
が、Ｃｏ系合金垂直磁化膜の下にないので、雑音が改善
されるので、第８表には出力のみで比較したが、０７Ｎ
比較をすれば更に優位性が大きくなるものでその有価値
性は大きい。(Left below) Table 8 As is clear from Table 8, the magnetic recording medium of the present invention has the same shape effect as that seen in the comparative example, as well as h-BN arranged on a Co-based alloy perpendicularly magnetized film. It can be seen that the playback output is stable due to the sliding effect of the protruding parts. Also, since the unevenness is not under the Co-based alloy perpendicular magnetization film, the noise is improved, so Table 8 compares only the output.
The advantage becomes even greater when compared, and its value is great.

発明の効果 以上のように本発明によれば、形状効果と、界面のすべ
りにより応力集中をさける効果とにより、高密度記録域
での再生出力、Ｃ／Ｎ特性を確保した上で、耐久性の改
善された磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効果
がある。Effects of the Invention As described above, according to the present invention, due to the shape effect and the effect of avoiding stress concentration due to the sliding of the interface, the reproduction output and C/N characteristics in the high-density recording area are secured, and the durability is improved. This has an excellent effect in that a magnetic recording medium with improved properties can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図から第７図は本発明の実施例の磁気記録媒体の拡
大断面図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・微粒子
塗布層、３．・・・．・Ｐａ，Ｒｈ又はｐｔ層、４・・
・・・・Ｃｏ系合金垂直磁化膜、６・・・・・・潤滑剤
、６・・・・・・バックコート層、７・・・・・・ミミ
ズ状***層、８・・・・・・ヘキサゴナ〜・ＢＮ膜、９
　，　１　０　．　１　２−・・・・・ｈ−Ｂ　Ｎ扁平
粒子、１１・・・・・・表面酸化処理層、１３・・・・
・・炭素膜、１４・・・・・・ボロン膜、１６・・・・
・ｈ−ＢＮ突起。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名第ｌ
図 ！−−一 ４一一 ｌｆ，分子フイルム ぼ歇子書弔層 ＰＣ．Ｒｈ．Ｈのいずれケの下如層 Ｃｏ４含１ｉ！！ｊ［！ｌｌｅｇ 潤滑個 バックコート肩 ７　−　　ミ　　ミ　　ｉ　ｔＣ　陽　起　層第 図 ？一一一 孔−ａＮａｑ−ａ子 第 図 第 図 第 図 １Ｉ一　　浸ＷＪＩ１忙処巡層 ｌ２一　　孔−ＢＮ烏早粒子 ｌ３−一一　次 素 ！！ ｔ手〜　ポロン護 ！５−−ｈ−Ｂ〜　９Ｒ1 to 7 are enlarged cross-sectional views of magnetic recording media according to embodiments of the present invention. 1... Polymer film, 2... Fine particle coating layer, 3.・・・．・Pa, Rh or pt layer, 4...
... Co-based alloy perpendicular magnetization film, 6 ... Lubricant, 6 ... Back coat layer, 7 ... Earthworm-like raised layer, 8 ...・Hexagona~・BN film, 9
, 10. 1 2-... h-B N flat particles, 11... Surface oxidation treatment layer, 13...
...Carbon film, 14...Boron film, 16...
・h-BN protrusion. Name of agent: Patent attorney Shigetaka Awano and 1 other person
figure! ---1411lf, Molecular Film Bokenshi Condolence Layer PC. Rh. The lower layer of H, including Co4, is 1i! ! j [! Lleg lubricated back coat shoulder 7 - Mimi itC positive layer diagram? 111 Hole-aNaq-a Child Figure Figure Figure 1I- Soaked WJI1 Busy Cycle Layer l2- Hole-BN Karasuhaya Particles l3-1st Element! ! T-hand~ Poron Mamoru! 5--h-B~9R

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）粒状ベース上にＰｄ、Ｒｈ、Ｐｔのいずれかから
成る下地層を介してＣｏ系合金垂直磁化膜を配したこと
を特徴とする磁気記録媒体。(1) A magnetic recording medium characterized in that a Co-based alloy perpendicularly magnetized film is disposed on a granular base via an underlayer made of Pd, Rh, or Pt. （２）下地層がＰｄ、Ｒｈ、Ｐｔに５〜２０原子％のＴ
ｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｒｕ、Ｚｎ、Ｃｄのいずれかの元素を
添加したもので構成された請求項１記載の磁気記録媒体
。(2) Underlayer is Pd, Rh, Pt with 5 to 20 atomic% T
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is doped with any one of the following elements: i, Zr, Hf, Ru, Zn, and Cd. （３）粒状ベース状にヘキサゴナル状のＢＮ膜を配した
上にＣｏ系合金垂直磁化膜を形成したことを特徴とする
磁気記録媒体。(3) A magnetic recording medium characterized in that a Co-based alloy perpendicular magnetization film is formed on a hexagonal BN film arranged on a granular base. （４）高分子フィルム上に直接又は下地層を介してヘキ
サゴナルＢＮ扁平粒子を配した上にＣｏ系合金垂直磁化
膜を配したことを特徴とする磁気記録媒体。(4) A magnetic recording medium characterized in that hexagonal BN flat particles are arranged on a polymer film directly or via an underlayer, and a Co-based alloy perpendicular magnetization film is arranged on top of the polymer film. （５）超平滑フィルム上に直接又は下地層を介してＣｏ
系合金垂直磁化膜を配した上にヘキサゴナルＢＮ扁平粒
子を配したことを特徴とする磁気記録媒体。(5) Co on the ultra-smooth film directly or through a base layer
A magnetic recording medium characterized in that hexagonal BN flat grains are arranged on a perpendicularly magnetized alloy film. （６）超平滑フィルム上に直接又は下地層を介してＣｏ
系合金垂直磁化膜を配し、該表面を酸化処理し、ヘキサ
ゴナルＢＮ扁平粒子を分散させた潤滑剤を配したことを
特徴とする磁気記録媒体。(6) Co on the ultra-smooth film directly or through a base layer
1. A magnetic recording medium comprising a perpendicularly magnetized alloy film, the surface of which is oxidized, and a lubricant containing hexagonal BN flat particles dispersed therein. （７）Ｃｏ系合金垂直磁化膜上に炭素膜を配し、ヘキサ
ゴナルＢＮ扁平粒子を分散させた潤滑剤を配したことを
特徴とする磁気記録媒体。(7) A magnetic recording medium characterized in that a carbon film is disposed on a Co-based alloy perpendicularly magnetized film, and a lubricant in which hexagonal BN flat particles are dispersed is disposed. （８）Ｃｏ系合金垂直磁化膜上にボロン膜を配しその一
部をヘキサゴナル−ＢＮ突起としたことを特徴とする磁
気記録媒体。(8) A magnetic recording medium characterized in that a boron film is disposed on a perpendicular magnetization film of a Co-based alloy, and a portion of the boron film is formed into a hexagonal-BN protrusion.