JPH02226034A - レンズ偏心測定装置 - Google Patents
レンズ偏心測定装置Info
- Publication number
- JPH02226034A JPH02226034A JP4629089A JP4629089A JPH02226034A JP H02226034 A JPH02226034 A JP H02226034A JP 4629089 A JP4629089 A JP 4629089A JP 4629089 A JP4629089 A JP 4629089A JP H02226034 A JPH02226034 A JP H02226034A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- light
- photodetector
- aperture
- incident
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 27
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、レンズ心取機のためのレンズ偏心測定装置に
関する。
関する。
レンズ心取機においては、両面を球面又は平面に研削し
たレンズの外周をレンズの光軸を中心とする円に加工す
る前に、レンズの光軸をレンズホルダ軸に一致させるた
めの心出しを行なわなければならない。
たレンズの外周をレンズの光軸を中心とする円に加工す
る前に、レンズの光軸をレンズホルダ軸に一致させるた
めの心出しを行なわなければならない。
そのために、従来のレンズ心取機では、レンズ心出しを
するためにレンズホルダ軸端に被検レンズを取付けて回
転させ、光源からの光を被検レンズに反射させてスクリ
ーン上にその像を写し出し、レンズ偏心状態を見て判断
していた。かかる構成に間しては、例えば特開昭47−
26142号公報に開示されており、かかる技術を第8
図を用いて簡単に説明する。即ち、因において1で示す
のは、レンズホルダ2に支承された被検レンズで、この
被検レンズ1の上面3の中心には、光源4、ピンホール
開口を有するマスク5、及びレンズ6より構成される光
学的投射装置7により、マスク5内のピンホールの像8
が形成されるようになっている。そして、被検レンズ1
からの反射ビームは、レンズ9、ピンホール開口を有す
る第2のマスクlO1及び位置感知光電セル11より構
成される光学的検出装置12内に入射せしめるように設
定してあり、位1感知光;セル11で得た信号を処理し
てオシロスコープ等に表示させることにより、偏心の大
きさを外部的に観察するものである。
するためにレンズホルダ軸端に被検レンズを取付けて回
転させ、光源からの光を被検レンズに反射させてスクリ
ーン上にその像を写し出し、レンズ偏心状態を見て判断
していた。かかる構成に間しては、例えば特開昭47−
26142号公報に開示されており、かかる技術を第8
図を用いて簡単に説明する。即ち、因において1で示す
のは、レンズホルダ2に支承された被検レンズで、この
被検レンズ1の上面3の中心には、光源4、ピンホール
開口を有するマスク5、及びレンズ6より構成される光
学的投射装置7により、マスク5内のピンホールの像8
が形成されるようになっている。そして、被検レンズ1
からの反射ビームは、レンズ9、ピンホール開口を有す
る第2のマスクlO1及び位置感知光電セル11より構
成される光学的検出装置12内に入射せしめるように設
定してあり、位1感知光;セル11で得た信号を処理し
てオシロスコープ等に表示させることにより、偏心の大
きさを外部的に観察するものである。
又、特開昭60−259365公報には、第9図にて示
すごとき技術が開示されている。この構成を簡単に説明
すると、図に示すように、フレーム20に円筒状の第一
レンズチャック軸すなわち下軸21が回転可能に支承さ
れており、第一レンズチャック軸21の上方にこれと同
心に第二レンズチャック軸すなわち上軸22が回転可能
にがっ上下に摺動可能に支持されている。レーザーの光
路が第一レンズチャック軸21の軸心上を通るようにレ
ーザー光823がフレーム20の下部に配置されている
。第二レンズチャック軸22の上方にあるフレーム20
の上部には、レーザー光源23の光路上に、受光面上の
レーザーの光点の位置をx−y座標電圧に変換し出力す
る光点位置検出器24が取りつけられている。なお、2
5で示すのは被検レンズ、26で示すのは光点集光用光
学系、27で示すのは演算表示装置である。
すごとき技術が開示されている。この構成を簡単に説明
すると、図に示すように、フレーム20に円筒状の第一
レンズチャック軸すなわち下軸21が回転可能に支承さ
れており、第一レンズチャック軸21の上方にこれと同
心に第二レンズチャック軸すなわち上軸22が回転可能
にがっ上下に摺動可能に支持されている。レーザーの光
路が第一レンズチャック軸21の軸心上を通るようにレ
ーザー光823がフレーム20の下部に配置されている
。第二レンズチャック軸22の上方にあるフレーム20
の上部には、レーザー光源23の光路上に、受光面上の
レーザーの光点の位置をx−y座標電圧に変換し出力す
る光点位置検出器24が取りつけられている。なお、2
5で示すのは被検レンズ、26で示すのは光点集光用光
学系、27で示すのは演算表示装置である。
上記構成においては、第一レンズチャック軸21の上に
、上方および下方球面を研削したレンズ25を載せてレ
ーザー光aUSからレーザーを投射すると、レーザー光
がレンズ25を透過して光点が光点位置検出器24に投
影される。そして、光点位置検出器24から光点のχ、
y座標値が演算表示装置27に入力され、これらの入力
を装置27が演算してレンズ位置の補正量指令ar’
および補正方向指令値−〇を求めるものである。
、上方および下方球面を研削したレンズ25を載せてレ
ーザー光aUSからレーザーを投射すると、レーザー光
がレンズ25を透過して光点が光点位置検出器24に投
影される。そして、光点位置検出器24から光点のχ、
y座標値が演算表示装置27に入力され、これらの入力
を装置27が演算してレンズ位置の補正量指令ar’
および補正方向指令値−〇を求めるものである。
上記従来技術においては、それぞれ次のような問題点を
有するため満足できるものではなかった。
有するため満足できるものではなかった。
即ち、第8図にて示す特開昭47−26142号公報開
示のレンズ偏心測定機では、光学系が極めて大きくなる
ためにレンズ偏心測定機を心取機スピンドルとは別の部
分に取り付けなければならず、そのために心取機装置全
体が極めて太き(なるという問題点があった。
示のレンズ偏心測定機では、光学系が極めて大きくなる
ためにレンズ偏心測定機を心取機スピンドルとは別の部
分に取り付けなければならず、そのために心取機装置全
体が極めて太き(なるという問題点があった。
又、第9図にて示すごとき特開昭60−259365号
公報開示のレンズ偏心測定41I(レーザ光透過形)は
、レンズ25の両面に光を透過させての測定のために、
片面単独での偏心測定ができず、従って、レンズ25の
光軸がスピンドル中心軸がらずれている場合、レンズ2
5が傾いているのか、あるいは横にずれているのか判断
できないという問題点がある。又、この装置を用いて偏
心測定する場合には、透過形なのでレーザ光を2つのス
ピンドル(第1.第2レンズチヤツク軸)21.22内
に通さなければならず、そのために、片側のスピンドル
部に例えばレンズ真空吸着装置(図示せず)を取り付け
る場合には、スピンドル内部を真空に保ち、かつレーザ
光を透過させうる構成としなければならない、従って、
スピンドルにおけるレンズホルダ部の他端部にガラスカ
バーを取付ける必要性が生じる等、装置の構成が掻めて
複雑化するとともに大型化し、さらにコスト高になると
いう問題点もあった。
公報開示のレンズ偏心測定41I(レーザ光透過形)は
、レンズ25の両面に光を透過させての測定のために、
片面単独での偏心測定ができず、従って、レンズ25の
光軸がスピンドル中心軸がらずれている場合、レンズ2
5が傾いているのか、あるいは横にずれているのか判断
できないという問題点がある。又、この装置を用いて偏
心測定する場合には、透過形なのでレーザ光を2つのス
ピンドル(第1.第2レンズチヤツク軸)21.22内
に通さなければならず、そのために、片側のスピンドル
部に例えばレンズ真空吸着装置(図示せず)を取り付け
る場合には、スピンドル内部を真空に保ち、かつレーザ
光を透過させうる構成としなければならない、従って、
スピンドルにおけるレンズホルダ部の他端部にガラスカ
バーを取付ける必要性が生じる等、装置の構成が掻めて
複雑化するとともに大型化し、さらにコスト高になると
いう問題点もあった。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもので
あって、小型かつ安価な構成にてレンズの偏心をインラ
インで測定可能とし、レンズ6取りの良品率の向上を図
りうるとともに、保持したレンズの横ずれ、傾きを判断
することのできるレンズ偏心測定装置を提供することを
目的とする。
あって、小型かつ安価な構成にてレンズの偏心をインラ
インで測定可能とし、レンズ6取りの良品率の向上を図
りうるとともに、保持したレンズの横ずれ、傾きを判断
することのできるレンズ偏心測定装置を提供することを
目的とする。
上記問題点を解決するために、本発明に係るレンズ偏心
測定装置は、レンズ心取機フレームに回転自在に支承さ
れた第1レンズホルダ軸と、前記第1レンズホルダ軸と
同一軸線上に配置され、前記第1レンズホルダ軸と協同
して被検レンズを保持自在の中空の第2レンズホルダ軸
と、その出射光が前記各レンズホルダ軸の軸線上を通る
ように配設された光源と、前記光源からの出射光束を平
行光にするためのコリメートレンズと、前記コリメート
レンズからの光束を被検レンズに入射させるべく前記第
2レンズホルダ軸内に配備された集光レンズと、前記集
光レンズと前記コリメートレンズとの間に配設されたビ
ームスプリッタと、被検レンズからの反射光を受けるホ
トディテクタと、そのホトディテクタへ入射する光束を
絞るための絞りと、前記ホトディテクタで得られた情報
を電気信号に変換して演算処理する装置とより構成しで
ある。
測定装置は、レンズ心取機フレームに回転自在に支承さ
れた第1レンズホルダ軸と、前記第1レンズホルダ軸と
同一軸線上に配置され、前記第1レンズホルダ軸と協同
して被検レンズを保持自在の中空の第2レンズホルダ軸
と、その出射光が前記各レンズホルダ軸の軸線上を通る
ように配設された光源と、前記光源からの出射光束を平
行光にするためのコリメートレンズと、前記コリメート
レンズからの光束を被検レンズに入射させるべく前記第
2レンズホルダ軸内に配備された集光レンズと、前記集
光レンズと前記コリメートレンズとの間に配設されたビ
ームスプリッタと、被検レンズからの反射光を受けるホ
トディテクタと、そのホトディテクタへ入射する光束を
絞るための絞りと、前記ホトディテクタで得られた情報
を電気信号に変換して演算処理する装置とより構成しで
ある。
上記構成においては、光源から出射された光がコリメー
トレンズを介して平行光となり、さらに集光レンズを介
して被検レンズに入射される。そして、被検レンズから
の反射光は、ビームスプリッタ、絞りを介してホトディ
テクタに入射され、ホトディテクタで得られた情報が電
気変換されて演算処理部に入力され、偏心が演算処理さ
れる。
トレンズを介して平行光となり、さらに集光レンズを介
して被検レンズに入射される。そして、被検レンズから
の反射光は、ビームスプリッタ、絞りを介してホトディ
テクタに入射され、ホトディテクタで得られた情報が電
気変換されて演算処理部に入力され、偏心が演算処理さ
れる。
(実 施 例〕
以下、図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明
する。
する。
(第1実施例)
第1図は、本発明に係るレンズ偏心測定装置30の第1
実施例を示すものである。
実施例を示すものである。
図において31で示すのは心数機フレームで、二〇心取
機フレーム31には円筒状の第1レンズホルダ軸32が
軸受33を介して支承しである。
機フレーム31には円筒状の第1レンズホルダ軸32が
軸受33を介して支承しである。
又、第1レンズホルダ軸32の軸線と同一軸線上には、
第1レンズホルダ軸32に対して進退自在(即ち、l[
[1M方向に往復移動自在)であり、かつ、軸心回りに
回転自在に支承された第2レンズホルダ軸34が配設し
である。そして、第1.第2のレンズホルダ軸32.3
4の各ベルチャック部35.36にて、被検レンズ37
をベルチャック保持しろるようになっている。
第1レンズホルダ軸32に対して進退自在(即ち、l[
[1M方向に往復移動自在)であり、かつ、軸心回りに
回転自在に支承された第2レンズホルダ軸34が配設し
である。そして、第1.第2のレンズホルダ軸32.3
4の各ベルチャック部35.36にて、被検レンズ37
をベルチャック保持しろるようになっている。
第1.第2のレンズホルダ軸32.34の軸線延長上に
は、レーザ光源3Bが配設してあり、レーザ光源38か
らの出射光は、被検レンズ37とレーザ光21!38と
の間に配設したコリメートレンズ39.ビームスプリッ
タ40を介して被検レンズ37に入射されるようになっ
ている。コリメートレンズ39は、レーザ光源38から
の出射光(レーザ光)が第2レンズホルダ軸34の軸線
上を平行に通るようにするためのものである。第2レン
ズホルダ軸32内には、絞り41.集光レンズ42が配
設してあり、コリメートレンズ39゜ビームスプリッタ
40を経て第2レンズホルダ軸34内に入射されたレー
ザ光が、絞り41.集光レンズ42を介して被検レンズ
37のレンズ表面(図において右側の表面)にピントが
合わされるように移動可能に配設しである。ビームスプ
リンタ40の上下両側には、レーザ光源38からの入射
光を受けるための第1のホトディテクタ43と、被検レ
ンズ37の表面からの反射光を受けるための第2のホト
ディテクタ44とが配設しである。
は、レーザ光源3Bが配設してあり、レーザ光源38か
らの出射光は、被検レンズ37とレーザ光21!38と
の間に配設したコリメートレンズ39.ビームスプリッ
タ40を介して被検レンズ37に入射されるようになっ
ている。コリメートレンズ39は、レーザ光源38から
の出射光(レーザ光)が第2レンズホルダ軸34の軸線
上を平行に通るようにするためのものである。第2レン
ズホルダ軸32内には、絞り41.集光レンズ42が配
設してあり、コリメートレンズ39゜ビームスプリッタ
40を経て第2レンズホルダ軸34内に入射されたレー
ザ光が、絞り41.集光レンズ42を介して被検レンズ
37のレンズ表面(図において右側の表面)にピントが
合わされるように移動可能に配設しである。ビームスプ
リンタ40の上下両側には、レーザ光源38からの入射
光を受けるための第1のホトディテクタ43と、被検レ
ンズ37の表面からの反射光を受けるための第2のホト
ディテクタ44とが配設しである。
そして、各ホトディテクタ43.44は、各ホトディテ
クタ43.44からの情報を演算処理し表示するための
演算表示装置45と接続しである。
クタ43.44からの情報を演算処理し表示するための
演算表示装置45と接続しである。
演算表示装置45は、ホトディテクタ43に入射される
入射光束の断面積を絞り41に入射する光束の断面積に
変換するとともに、絞り41を通過する反射光束の断面
積を記憶し、両断面積の比をとることによって偏心を測
定しうるように設定しである。
入射光束の断面積を絞り41に入射する光束の断面積に
変換するとともに、絞り41を通過する反射光束の断面
積を記憶し、両断面積の比をとることによって偏心を測
定しうるように設定しである。
次に、上記構成に基づいて被検レンズ37の偏心を測定
する作用について説明する。
する作用について説明する。
まず、レーザ光源38からレーザ光を出射させる。出射
されたレーザ光はコリメートレンズ39を経て平行光と
なり、ビームスプリンタ40を経て第2レンズホルダ軸
34内に入射され、絞り41、集光レンズ42を経て被
検レンズ37の右側表面にピントが合された状態に入射
される。又、被検レンズ37への入射光は、ビームスプ
リッタ40を介して第1のホトディテクタ43に入射さ
・れる。
されたレーザ光はコリメートレンズ39を経て平行光と
なり、ビームスプリンタ40を経て第2レンズホルダ軸
34内に入射され、絞り41、集光レンズ42を経て被
検レンズ37の右側表面にピントが合された状態に入射
される。又、被検レンズ37への入射光は、ビームスプ
リッタ40を介して第1のホトディテクタ43に入射さ
・れる。
又、被検レンズ37からの反射光は、絞り41を通過し
、ビームスプリッタ40にて入射光と分けられて第2の
ホトディテクタ44に入射される。
、ビームスプリッタ40にて入射光と分けられて第2の
ホトディテクタ44に入射される。
第1のホトディテクタ43に入射された入射光と、第2
のホトディテクタ44に入射された反射光束とは、演算
表示装置45に入力され、第1のホトディテクタ43へ
の入射光束の断面積は、絞り41に入射する光束の断面
積に変換される。そして、演算表示装置45にて、絞り
41に入射する光束の断面積に変換された断面積と、第
2のホトディテクタ44に入射された反射光束の断面積
の比を求めることにより、偏心を測定することができる
。
のホトディテクタ44に入射された反射光束とは、演算
表示装置45に入力され、第1のホトディテクタ43へ
の入射光束の断面積は、絞り41に入射する光束の断面
積に変換される。そして、演算表示装置45にて、絞り
41に入射する光束の断面積に変換された断面積と、第
2のホトディテクタ44に入射された反射光束の断面積
の比を求めることにより、偏心を測定することができる
。
又、集光レンズ42の焦点を被検レンズ37の光入射側
球面とその反対側の球面に合せた場合の偏心を測定し、
比較することにより、それらの偏心が同じ場合には被検
レンズ37が横ずれを生じていると、又、異なる場合に
は傾いていると判断することができる。
球面とその反対側の球面に合せた場合の偏心を測定し、
比較することにより、それらの偏心が同じ場合には被検
レンズ37が横ずれを生じていると、又、異なる場合に
は傾いていると判断することができる。
次に、上記偏心測定作用の原理を第2図〜第4図を用い
て説明する。なお、図中の各構成部は第1図と同一であ
るので、その構成部の説明は省略する。
て説明する。なお、図中の各構成部は第1図と同一であ
るので、その構成部の説明は省略する。
測定時において、例えば第2図にて示すように、被検レ
ンズ37の光入射側球面の半径R8の中心OIがεだけ
第1レンズホルダ軸32の軸線より傾いているとすると
、絞り41を通り、集光レンズ42に入射する光は第1
レンズホルダ軸32の軸線に対して2εだけずれて反射
していくことになる。このとき、集光レンズ42の焦点
距離をrとすると、絞り41の位置の断面上で第1レン
ズホルダ軸32軸線からの反射光中心点へのずれXは、
””fti@2とで表わすことができる。このとき、絞
り41を通り、被検レンズ37が偏心のない場合でのホ
トディテクタで受ける反射光束の断面積を51、被検レ
ンズ37の光軸が第1レンズホルダ軸32の軸線よりε
だけ傾いている場合でのホトディテクタで受ける反射光
束の断面積をSl、絞りの開口径をD、この光学系のカ
ットオフをX、とすると、S、/Sは次の関係式で与え
られる。
ンズ37の光入射側球面の半径R8の中心OIがεだけ
第1レンズホルダ軸32の軸線より傾いているとすると
、絞り41を通り、集光レンズ42に入射する光は第1
レンズホルダ軸32の軸線に対して2εだけずれて反射
していくことになる。このとき、集光レンズ42の焦点
距離をrとすると、絞り41の位置の断面上で第1レン
ズホルダ軸32軸線からの反射光中心点へのずれXは、
””fti@2とで表わすことができる。このとき、絞
り41を通り、被検レンズ37が偏心のない場合でのホ
トディテクタで受ける反射光束の断面積を51、被検レ
ンズ37の光軸が第1レンズホルダ軸32の軸線よりε
だけ傾いている場合でのホトディテクタで受ける反射光
束の断面積をSl、絞りの開口径をD、この光学系のカ
ットオフをX、とすると、S、/Sは次の関係式で与え
られる。
(以下余白)
この関係を図で表わすと第3図に示すような関係になり
、S、/Sを求めることにより第3図を用いてftaa
?、ここでfは既知量であるので、レンズ中心軸のレン
ズホルダ軸線からのずれ角εを求めることができる。
、S、/Sを求めることにより第3図を用いてftaa
?、ここでfは既知量であるので、レンズ中心軸のレン
ズホルダ軸線からのずれ角εを求めることができる。
また、本実施例では被検レンズ37の偏心が横ずれによ
るものなのか、傾きによるものなのかの判別ができるも
のであるが、その原理について第4図(a)、 (b)
により説明する。
るものなのか、傾きによるものなのかの判別ができるも
のであるが、その原理について第4図(a)、 (b)
により説明する。
第4図において、(4図は被検レンズ37が横丁れを起
こしている場合、但)図は被検レンズ37が傾いている
場合を表している。被検レンズ37が第4図(a)のよ
うに横ずれを起こしている場合には、集光レンズ42の
焦点を光入射側球面■に合わせた場合の被検レンズ37
の傾きεと反対側の球面■に集光レンズ42の焦点を合
わせた場合の被検レンズ37の1頃きθとが同じになる
ことがら、損ずれと判断できる。又、被検レンズ37が
第4図5)のようにレンズが傾いている場合には、球面
■(半径R1、中心0+)と球面■(半径R8、中心O
X)との傾きεとθが違った値になるため、レンズが傾
いていると判断できる0以上のように、被検レンズ37
の両面を片面ずつ集光レンズ42の焦点を合わせて単独
で測定し、それらの偏心の大きさを比較することにより
、被検レンズが横ずれ杏起こしているのか、あるいは(
頃いているのかを判断することができるものである。
こしている場合、但)図は被検レンズ37が傾いている
場合を表している。被検レンズ37が第4図(a)のよ
うに横ずれを起こしている場合には、集光レンズ42の
焦点を光入射側球面■に合わせた場合の被検レンズ37
の傾きεと反対側の球面■に集光レンズ42の焦点を合
わせた場合の被検レンズ37の1頃きθとが同じになる
ことがら、損ずれと判断できる。又、被検レンズ37が
第4図5)のようにレンズが傾いている場合には、球面
■(半径R1、中心0+)と球面■(半径R8、中心O
X)との傾きεとθが違った値になるため、レンズが傾
いていると判断できる0以上のように、被検レンズ37
の両面を片面ずつ集光レンズ42の焦点を合わせて単独
で測定し、それらの偏心の大きさを比較することにより
、被検レンズが横ずれ杏起こしているのか、あるいは(
頃いているのかを判断することができるものである。
以上のように本実施例においては測定系を第2レンズホ
ルダ軸34内に配設しであるので、装置の大幅な小型化
が図れ、コストダウン化が図れる。
ルダ軸34内に配設しであるので、装置の大幅な小型化
が図れ、コストダウン化が図れる。
又、測定系を第2レンズホルダ軸34内に組込むことに
より、被検レンズ37の偏心をインラインで測定可能と
なり、レンズ心数りの良品率の向上と、保持した被検レ
ンズ37の横ずれ、傾きを判断できるという著効がある
。
より、被検レンズ37の偏心をインラインで測定可能と
なり、レンズ心数りの良品率の向上と、保持した被検レ
ンズ37の横ずれ、傾きを判断できるという著効がある
。
なお、本実施例では、光源としてレーザ光を用いている
が、−aの光源を用いても同様の測定が行えるのは勿論
である。
が、−aの光源を用いても同様の測定が行えるのは勿論
である。
(第2実施例)
第5図に本発明に係るレンズ偏心測定装置30の第2実
施例を示す0本実施例の特徴は、第1図における絞り4
1と同形状の絞り50.51をそれぞれ第1.第2のホ
トディテクタ43.44の直前に配設し、第2のレンズ
ホルダ軸34内の絞り41を取り除いて構成した点にあ
る。その他の構成は、第1図に示した構成と同一である
ので、同様の構成部には同一符号を付してその説明を省
略する。
施例を示す0本実施例の特徴は、第1図における絞り4
1と同形状の絞り50.51をそれぞれ第1.第2のホ
トディテクタ43.44の直前に配設し、第2のレンズ
ホルダ軸34内の絞り41を取り除いて構成した点にあ
る。その他の構成は、第1図に示した構成と同一である
ので、同様の構成部には同一符号を付してその説明を省
略する。
本実施例においても、第1実施例と同様の測定原理にて
被検レンズ37の偏心測定ができるものであるが、特に
本実施例の構成においては、絞り50.51を第2レン
ズホルダ軸34外に配設しであるので、第2レンズホル
ダ軸34内の構成が簡単化し、製作コストのコストダウ
ン化が図れる利点がある。その他の作用、効果は、第1
実施例と同様であるのでその説明を省略する。
被検レンズ37の偏心測定ができるものであるが、特に
本実施例の構成においては、絞り50.51を第2レン
ズホルダ軸34外に配設しであるので、第2レンズホル
ダ軸34内の構成が簡単化し、製作コストのコストダウ
ン化が図れる利点がある。その他の作用、効果は、第1
実施例と同様であるのでその説明を省略する。
(第3実施例)
第6図に本発明に係るレンズ偏心測定装置30の第3実
施例を示す6本実施例の特徴は、第5図にて示す構成に
おいて、第1のホトディテクタ43、絞り50の代りに
0点を中心として回転可能なビームスプリンタ60を配
設して構成した点である。その他の構成は第5図にて示
すものと同様であるので、同様の構成部には同一符号を
付してその説明を省略する。
施例を示す6本実施例の特徴は、第5図にて示す構成に
おいて、第1のホトディテクタ43、絞り50の代りに
0点を中心として回転可能なビームスプリンタ60を配
設して構成した点である。その他の構成は第5図にて示
すものと同様であるので、同様の構成部には同一符号を
付してその説明を省略する。
本実施例にて、偏心測定を行なう場合には、測定前にま
ずビームスプリッタ60を図に示すような状態にしてお
き、レーザ光を入射させ、入射光がすべて絞り510開
口部を通る位置に絞り51をホトディテクタ44の前面
を平行に移動させる。
ずビームスプリッタ60を図に示すような状態にしてお
き、レーザ光を入射させ、入射光がすべて絞り510開
口部を通る位置に絞り51をホトディテクタ44の前面
を平行に移動させる。
そして、そのときのホトディテクタ44で受ける絞り5
1を通過した光束の断面積を演算表示装置45に記憶さ
せる。m定においては、ビームスプリッタ40を図の状
態にし、レーザ光を被検レンズ37に入射し、その反射
光の絞り51を通る断面積をホトディテクタ44を用い
て測定し、前に演算表示装置45に記憶した断面積との
比をとることによって偏心を測定する。
1を通過した光束の断面積を演算表示装置45に記憶さ
せる。m定においては、ビームスプリッタ40を図の状
態にし、レーザ光を被検レンズ37に入射し、その反射
光の絞り51を通る断面積をホトディテクタ44を用い
て測定し、前に演算表示装置45に記憶した断面積との
比をとることによって偏心を測定する。
以上のように本実施例によれば、測定系の調整が容易に
行なえ、又、ホトディテクタが1個で済むので、よりい
っそうの小型化、低コスト化が図れる利点がある。その
他の効果は、第1実施例と同様であるのでその説明を省
略する。
行なえ、又、ホトディテクタが1個で済むので、よりい
っそうの小型化、低コスト化が図れる利点がある。その
他の効果は、第1実施例と同様であるのでその説明を省
略する。
(第4実施例)
第7図に本発明に係るレンズ偏心測定装置30の第4実
施例を示す0本実施例は、第1図にて示す構成において
ビームスプリッタ40とホトディテクタ44との間に第
2のビームスプリッタ70を配設し、第2のビームスプ
リンタ7oと演算表示装置45との間に、第2のビーム
スプリ7タ70を通ったレーザ光を微小径に絞るための
絞り71と、絞り71を通ったレーザ光を受けるホトデ
ィテクタ72とを配設して構成したものである。
施例を示す0本実施例は、第1図にて示す構成において
ビームスプリッタ40とホトディテクタ44との間に第
2のビームスプリッタ70を配設し、第2のビームスプ
リンタ7oと演算表示装置45との間に、第2のビーム
スプリ7タ70を通ったレーザ光を微小径に絞るための
絞り71と、絞り71を通ったレーザ光を受けるホトデ
ィテクタ72とを配設して構成したものである。
その他の構成は、第1図にて示すものと同様であるので
、同様の構成部には同一符号を付してその説明を省略す
る。
、同様の構成部には同一符号を付してその説明を省略す
る。
本実施例においては、被検レンズ37で反射したレーザ
光は、絞り41を通り、ビームスプリッタ40.70を
通ってホトディテクタ44.72に入射される。ここで
、ホトディテクタ72の前面に配置した絞り71の開口
部に被検レンズ37からの反射光が通るように絞り71
をホトディテクタ2の前面部と平行に移動させる。そし
て、第1、第2.第3実施例での偏心のない場合の絞り
41を通る反射光の逝面積Sに代えて、絞り71を通過
するレーザ光束の断面積S、をとり、絞り41を通って
ホトディテクタ44に入射するレーザ光束の断面積Sl
との比S、/S、をとってから演算表示装置45により
SoをSに変換して演算を行なうことにより、レンズ偏
心を求めるものである。
光は、絞り41を通り、ビームスプリッタ40.70を
通ってホトディテクタ44.72に入射される。ここで
、ホトディテクタ72の前面に配置した絞り71の開口
部に被検レンズ37からの反射光が通るように絞り71
をホトディテクタ2の前面部と平行に移動させる。そし
て、第1、第2.第3実施例での偏心のない場合の絞り
41を通る反射光の逝面積Sに代えて、絞り71を通過
するレーザ光束の断面積S、をとり、絞り41を通って
ホトディテクタ44に入射するレーザ光束の断面積Sl
との比S、/S、をとってから演算表示装置45により
SoをSに変換して演算を行なうことにより、レンズ偏
心を求めるものである。
本実施例によれば、第1実施例の作用、効果に加えて、
測定系の調整がより容易となり、又、被検レンズ37か
らの反射光のみを2つのホトディテクタ44.72で同
時に受け、測定できるので、より精度の高い測定が可能
となる利点がある。
測定系の調整がより容易となり、又、被検レンズ37か
らの反射光のみを2つのホトディテクタ44.72で同
時に受け、測定できるので、より精度の高い測定が可能
となる利点がある。
以上のように本発明によれば、小型かつ安価な構成にて
レンズの偏心をインラインで測定可能となり、レンズ6
取りの良品率の向上を図りうるとともに、保持したレン
ズの横ずれ、傾きを判断することができる等の著効を奏
するものである。
レンズの偏心をインラインで測定可能となり、レンズ6
取りの良品率の向上を図りうるとともに、保持したレン
ズの横ずれ、傾きを判断することができる等の著効を奏
するものである。
第1図は、本発明に係る装置の第1実施例を示す構成説
明図、 第2図〜第4図(川、ら)は、第1図の構成に基づく測
定原理を説明するための図であって、第1図は要部の拡
大図、第2図は傾きを生じている場合の傾きとS、/S
との関係を表わすグラフ図、第4図(a)、 (b)は
横ずれ、傾きを判断するための原理図、 第5図〜第7図は、それぞれ本発明に係る装置の第2.
第3.第4実施例を示す構成説明図、第8図、第9図は
、従来技術の説明図である。 4・・・第2レンズホルダ軸 7・・・被検レンズ 8・・・光源 9・・・コリメートレンズ 0・・・ビームスブリツタ ト・・絞り 2・・・集光レンズ 3.44・・・ホトディテクタ 5・・・演算表示装置
明図、 第2図〜第4図(川、ら)は、第1図の構成に基づく測
定原理を説明するための図であって、第1図は要部の拡
大図、第2図は傾きを生じている場合の傾きとS、/S
との関係を表わすグラフ図、第4図(a)、 (b)は
横ずれ、傾きを判断するための原理図、 第5図〜第7図は、それぞれ本発明に係る装置の第2.
第3.第4実施例を示す構成説明図、第8図、第9図は
、従来技術の説明図である。 4・・・第2レンズホルダ軸 7・・・被検レンズ 8・・・光源 9・・・コリメートレンズ 0・・・ビームスブリツタ ト・・絞り 2・・・集光レンズ 3.44・・・ホトディテクタ 5・・・演算表示装置
Claims (1)
- レンズ心取機フレームに回転自在に支承された第1レン
ズホルダ軸と、前記第1レンズホルダ軸と同一軸線上に
配置され、前記第1レンズホルダ軸と協同して被検レン
ズを保持自在の中空の第2レンズホルダ軸と、その出射
光が前記各レンズホルダ軸の軸線上を通るように配設さ
れた光源と、前記光源からの出射光束を平行光にするた
めのコリメートレンズと、前記コリメートレンズからの
光束を被検レンズに入射させるべく前記第2レンズホル
ダ軸内に配備された集光レンズと、前記集光レンズと前
記コリメートレンズとの間に配設されたビームスプリッ
タと、被検レンズからの反射光を受けるホトディテクタ
と、そのホトディテクタへ入射する光束を絞るための絞
りと、前記ホトディテクタで得られた情報を電気信号に
変換して演算処理する装置とより構成したことを特徴と
するレンズ偏心測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1046290A JP2505042B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | レンズ偏心測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1046290A JP2505042B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | レンズ偏心測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02226034A true JPH02226034A (ja) | 1990-09-07 |
JP2505042B2 JP2505042B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=12743081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1046290A Expired - Lifetime JP2505042B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | レンズ偏心測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2505042B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109946046A (zh) * | 2017-12-21 | 2019-06-28 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 偏心测试装置及方法 |
CN112526697A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-03-19 | 业成科技(成都)有限公司 | 镜片对位方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59205263A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-20 | Ricoh Co Ltd | レンズ心取加工の心出し装置 |
JPS61275636A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ系の偏芯測定装置 |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP1046290A patent/JP2505042B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59205263A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-20 | Ricoh Co Ltd | レンズ心取加工の心出し装置 |
JPS61275636A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ系の偏芯測定装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109946046A (zh) * | 2017-12-21 | 2019-06-28 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 偏心测试装置及方法 |
CN112526697A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-03-19 | 业成科技(成都)有限公司 | 镜片对位方法 |
CN112526697B (zh) * | 2020-12-10 | 2022-07-22 | 业成科技(成都)有限公司 | 镜片对位方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2505042B2 (ja) | 1996-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4647867B2 (ja) | センサの測定用アパーチャーよりも大きなターゲットの評価に用いる装置及び方法 | |
JPS61247944A (ja) | 反射率測定装置 | |
JPH02165029A (ja) | 光導波路の光軸の位置を調べる方法および装置 | |
WO2002093567A2 (en) | Focus error correction method and apparatus | |
JPH02226034A (ja) | レンズ偏心測定装置 | |
JPH0943456A (ja) | 光モジュール光軸調整装置及び方法 | |
JPH06213623A (ja) | 光学式変位センサ | |
JP2001166202A (ja) | 焦点検出方法及び焦点検出装置 | |
JP2003097924A (ja) | 形状測定装置および測定方法 | |
JPS62502421A (ja) | 二次元の対象物を整向、検査及び/または測定するための装置 | |
JPS61242779A (ja) | レ−ザ加工装置におけるレ−ザ光の傾斜及び焦点を検出する方法 | |
JPS6255542A (ja) | 光学系検査装置 | |
JPH1047938A (ja) | レーザビーム拡がり角測定装置 | |
JPH1196583A (ja) | 光ヘッドの非点隔差補正方法及び補正装置 | |
JPS63128213A (ja) | 光学測定機 | |
JPS63206682A (ja) | 光電スイツチ | |
JP3066056B2 (ja) | レンズの偏心量測定方法およびその装置 | |
JP3204726B2 (ja) | エッジセンサ | |
JPS61120912A (ja) | 距離測定装置 | |
JPH09257684A (ja) | 散乱光検出器 | |
JPH02272514A (ja) | 光切断顕微鏡装置及びその光学手段の位置合わせ方法 | |
JPH0812126B2 (ja) | 非球面レンズ偏心測定装置 | |
JPS63182547A (ja) | 粒子解析装置 | |
JPH09210620A (ja) | 面位置検出装置 | |
JPH04240811A (ja) | 位置検出装置 |