JPH02222200A - 電子部品自動装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、電子部品をプリント基板、リードフレーム等
に装着するためにＸＹ移動可能な装着ヘッドに上下動可
能に部品を吸着する吸着コレットを設けると共に前記部
品の吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品自動
装着装置に関する。

（ロ）従来の技術 従来技術として、本出願人が先に出願した特願昭６３−
１２２３３２号に添付した明細書等に電子部品をプリン
ト基板、リードフレーム等に装着するためにＸＹ移動可
能な装着ヘッドに、上下動可能及び着脱可能に部品吸着
コレットを設けた電子部品装着装置に於いて、前記装着
ヘッドに上下動可能にセンサーを設け、該センサーはそ
の下降状態では前記コレットが電子部品を吸着している
か否かを検出し、上昇状態では前記コレットの着脱状態
を検出するようにした技術が開示されている。

然し乍ら、前記着脱時に別のコレットと交換することに
より、当然長さの異なるコレットをも扱わなければなら
ないということも起り得て、各コレット毎にセンサーの
上下動位置を変更しなければならなかった。

また、厚さの異なるペレットを吸着した場合にも前記同
様センサーの上下動位置を変更しなければ吸着状態の検
出が不安定であった。

（ハ〉発明が解決しようとする課題 そのため、コレットの長さ及びペレットの厚きの違いに
対応してコレットに吸着された部品とセンサーとの相対
位置を調整することである。

（ニ）課題を解決するための手段 そこで本発明は、電子部品をプリント基板、ノードフレ
ーム等に装着するためにＸＹ移動可能な装着ヘッドに一
］二下動可能に部品を吸着する吸着コレラ１〜を設ける
と共に前記部品の吸着状態を検知Ｊるセンサーを設けた
電子部品自動装着装置に於いて、ある基準となる部品の
厚さに対する他の部品の厚さに関するデータを記憶する
記憶装置と、該記憶装置に記憶されたデータを基に前記
吸着コレットに吸着された部品とセンサーとの相対位置
を調整する制御装置とを設けたものである。

また本発明は、電子部品をプリント基板、リドフレーム
等に装着するためにＸＹ移動可能な装着ヘッドに上下動
可能及び着脱可能に部品吸着コレットを設けると共に前
記部品の吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品
自動装着装置に於いて、ある基準となる吸着コレットの
長さに対する他の吸着コレットの長さに関するデータを
記憶する記憶装置と、該記憶装置に記憶されたデータを
基に前記吸着二ルットに吸着された部品とセンサーとの
相対位置を調整する制御装置とを設けたものである。

（ホ）作用 以上の構成により、記憶装置に記憶された基準となる部
品の厚さに対する他の部品の厚さに関するデータを基に
制御装置により吸着コレットに吸着された部品とセンサ
ーとの相対位置が調整される。

また、記憶装置に記憶された基準となる吸着コレットの
長さに対する他の吸着コレットの長さに関するデータを
基に制御装置により吸着コレットに吸着された部品とセ
ンサーとの相対位置が調整される。

（へ）実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づき詳述する。

（１）は電子部品自動装着装置の本体で、該本体（１）
にはプリント基板Ｃ厚膜基板含む）（Ｐ）、リードフレ
ーム等を搬送するコンベア（２）と、該コンベア（２）
の途中に設けられる一対の基板位置決め装置（３）（４
）と、４個のウェハーテーブル（５）（６）を有してＸ
Ｙ丈方向の移動及び平面方向で回転可能なウェハー支持
台（７）（８）と、天板〈９）に吊持されてＸＹ丈方向
移動可能な装着ヘッド（１０）（１１）とが設けられて
いる。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（１２
）（１２）、従動スプロケット（１３）（１３）間に張
設された一対のチェーン（１４Ａ）（１４Ｂ）から成り
、該チェーン（１４Ａ）（１４Ｂ）上に載置して前記基
板（Ｐ）を上流側から下流側へ搬送する。このときチェ
ーン（１４Ａ＞、（１４Ｂ）には所定間隔を存して基板
（Ｐ）の送り方向の後端部に係止する係合片け５）が立
設され、基板（Ｐ）は両チェーン（１４Ａ）（１４Ｂ）
上に載置し且っ各係合片（１５）で係止許れた状態で上
流側から下流側に間欠的に搬送される。

次に、一対の基板位置決め装置（３）（４）について説
明するが、両者は同様な構成であるため、一方（４）に
ついてのみ説明する。該位置決め装置（３〉（４）は、
基板（Ｐ）の送り方向、これと直交する幅方向及び基板
（Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうものであ
るが、以下基板（Ｐ）の送り方向の位置決めのみ説明す
る。

対の軸受（１６）（１７）を貫通ずる軸杆（１８）には
、クランプカム（１９）が設げられ、該軸杆（１８）左
端部のプーリ（２０）と位置決めモータ（２１）の出力
軸プＪ（２２）間にはベルト（２３〉が張設されている
。従ってモータ（２１）の通電にまり軸杆（１８）が回
転すると、カム（１９）が回転し、カムフォロワー（２
４）を介して上下部材（２５）が上下動し、これに伴な
いカムレバー（２６）も上下動する。

また、カムレバー（２６）が上動すると、可動クランプ
（２７Ａ　）はピン（２８〉を介して外方向に回動し、
基準クランプ（２７Ｂ）もハネ（２９）によりピン（３
０〉を介して外方向に回動し、両クランプ（２７Ａ）（
２７Ｂ＞は基板（Ｐ）より下方に位置することになる。

従って上下部材（２５）端部のカムフォロワー（２４）
は、クランプカム（１９）に圧接するので、該カム（１
９）の形状に合わぜて上下部材（２５）は上下すること
になる。

次に、ウェハー支持台（７）（８）について詳述するが
、両者は同一構造であり支持台（７〉についてのみ説明
する。（３１〉はＸＹ子テーブル、Ｘ膜用モク（３２）
、Ｙ軸角モータ（３３）により、Ｘ軸方向ガイド（３４
）及びＸ軸方向ガイド＜３５）に沿って、平面方向に移
動可能である。また該ＸＹ子テーブル３１）上に載置し
たウェハーテーブル（５）は、θ用モータ（３６）によ
り正逆回転可能である。従って、突き上げ針装置（３７
）の針（３７Ａ）上方位置に、所望のウェハーシート（
３８）が位置することになる。

次に、一方の装着ヘッドけＯ）について詳述すると、該
ヘッド（１０）は天板（９）に支持された支持部材（３
９）に支持されたボールネジ（４ＯＡ）に沿ってＸ軸周
モータ（４１）によりＸ方向の移動が可能であり、また
ガイド体（４２）　（４２）に沿ってＹ軸角モータ＜４
３）によりＹフｊ向の移動が可能となる。略箱状を呈し
たヘッド本体（４４）内に配設された上下用モータ（４
５）の出力軸プーリク４６）とネジ軸（４７）端部のプ
ーリ〈４８）との間にはベルト（４９）が張設され、上
下移動体（５０）がナツト体（５１〉によりガイド体（
５２）を介して上下移動可能となる。

そして上下移動体（５０）には、加圧用モータ（５３）
とロックソレノイド（５４）が固定されており、該モー
タ（５３）の出力軸にはバネ取付ピン（５５）を有する
レバー（５６）が設けられている。前記ソレノイド（５
４）のプランジ〜（５７〉には取付ピン＜５８）が突設
され、上下移動体く５０）に固定されたＬ字形状の支持
体＜５９）に突設した取付ピン（６０）との間にはバネ
Ａ（６１）が張架されている。

上下移動体（５０〉の軸受部（６２）には支軸（６３）
により揺動体（６４）が回動可能とされ、該揺動体（６
４）の上端部にはＵ字溝が切欠されて該溝に前記取付ピ
ン（５８）が嵌合し、また揺動体＜６４）の他端部には
加圧ベアリング体（６５）が設けられている。

（６Ｇ）はロークリジヨイント（６７）に突設した鍔体
く６８）を、前記加圧ベアリング体（６５）とで挟持す
る固定ベアリング体であり、前記支持体（５９）の端部
に設けられている。前記揺動体（６４）に突設した取付
ピン（６９）と加圧用モータ（５３）の出力軸に固定さ
れたレバー（５Ｇ）に突設した取付ピン（５５）との間
に張架されたバネＢ　（７０）により前記加圧ベアリン
グ体（６５）を下方へ付勢している。

そして、この加圧用モータ（５３）の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体（６５）によるローク
リジヨイント（６７）及び固定ベアリング体く６６）へ
の押圧力を可変とすることができる。弾性体としてのこ
のバネＢ　（７０）は、電子部品としてのペレット（７
１）を基板（Ｐ）に装着する際の押しつけ圧力を加えた
り、ウェハーシート（３８）上のペレット（７１）を吸
着する際の押しつけ圧力を加えるものである。

また前記上下移動体（５０）に突設した取付ピン（７２
〉とロータリジヨイント（６７）から突設した取付ピン
（７３）との間には、バランスバネＣ（７４）が張架さ
れ、該バネＣ（７４）の弾性力と吸着ノズル体（７５）
及び吸着コレット（７６）の自重が略等しくなるように
この弾性力が設定されている。

前記ロークリジヨイント＜６７〉にはピン（７７）が突
設しており、このピン（７７）に嵌合する係止片（７８
）により該ジヨイント（６７）自身の回転は防止されて
いる。

吸着ノズル体（７５）は、ロータリジヨイント（６７）
、ホース（６８Ａ）を介して図示しない真空源と連結し
ている。該吸着ノズル体〈７５）は、上下ガイド体（７
９）内を上下動可能であるが、該ノズル体（７５）の上
部には面取部（８０）が形成されて規制ベアリング（８
１〉により上下ガイド体（７９）内でのθ回転はできな
い。

また前記ヘッド本体（４４〉内には、駆動モータ（８２
）が配設されその出力軸プーリ（８３）と前記上下ガイ
ド体（７９）周囲に固定されたプーリ（８４）間にはベ
ルト（８５）が張設され、前記モータ（８２）の通電に
よりベルト（８５）を介して上下ガイド体（７９〉がベ
アリング体く８６〉に案内されつつ回転し吸着ノズル体
（７５）をもθ回転させることになる。該吸着ノズル体
（７５）の下端には、吸着コレラ１−（７６）がロック
機構（８７）の施錠、解錠により着脱可能に設けられる
。

（８８）は前記ヘッド本体（４４）の側面に取付けられ
たＤＣソレノイドで、そのプランジャ（８９）には中間
部が枢支された作動レバー（９０）が回転可能に連結し
ている。（９１）はヘッド本体＜４４）に上下に延びた
図示しないガイドレールに沿って上下動可能な上下スラ
イダーで、該スライダー（９１）に突設したピン（９３
）とヘッド本体（４４）上部に突設したピン（９４〉と
の間にはバネＤ（９５）が張架され、該スライダー（９
１）を上方へ付勢している。

そしてこのスライダー（９１）には、カムフォロワー（
９６）が設けられており、ヘッド本体（４４）には上限
ストッパ（９７〉及び下限ストッパ（９８）が設けられ
前記作動レバー（９０）がカムフォロワー（９６）に当
接しているので、前記ソレノイド（８８）が励磁すると
作動レバー（９０〉は反時計方向へ回転してスライダー
（９１〉を押下（ずカムフォロワー（９６）がストッパ
（９８〉に当接して停止し同様に消磁すると作動レバー
（９０）が時計方向へ回転し該レバー＜９０）が上限ス
トッパ（９７）に当接するまでバネＤ　（９５）により
スライダー（９１）を押上げる。

従って、発光素子（９９）及び受光素子（１００）によ
りペレッ）（７１）の吸着検出を行なう光電検知装置（
１０１）を下端部に備えているので、この上下スライダ
ー（９１）の上下により光電検知装置（１０１）も上下
することになる。

このため、検知装置（１０１）が下方位置にあるとき、
吸着コレット（７６）が吸着しているペレット（７１）
の有無状態を検知でき（第６図参照）、上方位置にある
とき、吸着コレット（７６）自体の有無状態を検知でき
る（第７図参照）。

次に前記吸着コレット（７６〉について説明すると、前
記ノズル体（７５）の下端部には、ロック機構取付部（
１０２）を形成し、該取付部（１０２）にロック機構（
８７）を設ける。そして該取付部（１０２）には、中空
の取付空間（１０３）が形成され前記吸着コレット（７
６）のアダプタ（１０４）が嵌合する。また取付部（１
０２）の両側部には軸受体（１０５）（１０５）間に夫
々ロック爪体（１０６）を配設してこれらを支軸（１０
７）が貫通し、ロック爪体（１０６）の夫々を対向する
ように配設してバネ（１０８）によりその下端が互いに
近づくように付勢している。＜１０９）は取付部（１０
２）下面に突設した位置決゛めピンであり、後述のＵ字
溝（１１０）に嵌合可能である。

吸着コレラ１〜（７６）は、前記取付部（１０２）の取
付空間（１０３）に嵌合するアダプタ（１０４）と、該
アダプタ（１０４）の下部には前記嵌合した際に前記取
付体（１０２）下面に当接するアダブクフランジ部（１
１１）と、ペレット（７１）を直接吸着する吸着部（ｕ
２）とから構成される。前記フランジ部（１１１）の両
側部には、下部が内方へ凹んだ係止部（１１３）が形成
され、前記ロック爪体（１０６）の下端が該係止部（１
１３）に入り込んでロックすることになる。

次に吸着コレット交換装置（１１４）　、　（１１５）
について述べるが、両者は同一構造であるため、一方（
１１４）についてのみ述べる。該交換装置（１１４）は
、大きく分けて取付板（１１６）に対して図示しない駆
動源により上下動可能なツールストッカー（１１７）及
びストッカー台（１１８）と、所定間隔を存して複数の
ロック解除ピン（１１９）を有するピン取付台（１２０
）とから構成きれる。

前記ストッカー（１１７）及びストッカー台（１１８）
とは、略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに
合致する取付孔（１２１）（１２２）が複数穿設されて
いる。そしてストッカー（１１７）及びストッカー台（
１１８）に穿設した孔には２本のコンプライアンスピン
（１２３）が遊嵌し、頭部（１２４）とコイルスプリン
グ（１２５）によりス１〜ツカ−（１１７）及びストッ
カー台（１１８）は、該ストッカー台（１１８）の上面
に開設した溝内にあるスチールボール（１２６）を介し
て互いに圧接される。このボール（１２６）によってス
トッカー台（１１８）Ｊ二をストッカー（１１７）が転
がれるようになる。前記コンプライアンスピン（１２３
）の径より該ピン（１２３）が嵌合する孔径をやや犬さ
くとることによって、吸着コレラ１−（７６）の着脱時
の吸着ノズル体り７５）のセンターとストッカー（１１
７）に収納された吸着コレット＜７６）とアダプタ（１
０４）のセンターの芯ずれを吸収できる。

前記ピン取付台（１２０）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（１１９）は、前記ストッカー（１１７）及
びストッカー台（１１８）を貫通している。

ストッカー（１１７）の取付孔（１２１）の上面側開口
周縁部の前後部には、吸着コレット支持台（１２７）が
立設され、夫々位置決めピン（１２８）＜１２８＞が突
設している。従って該交換装置（１１４）に吸着コレッ
ト（７６）が置かれている場合には、前記支持台（１２
７）上に前記フランジ部（１１１）が当接し、然も該フ
ランジ部（１１１）の長手方向側の端部にはＵ字溝（１
１０）（ｉｔｏ）が形成され、夫々位置決めピン（１２
８）（１２ｇ＞が該溝（１１０）（１１０）に嵌合し、
該コレット（７６）のθ回転を阻止する。

前記ピン取付台（１２０）は取付板（１１６）に取付け
られたシリンダー（１２９）により、ガイド（１３０）
（１３０）に軸杆（１３１）（１３１）が案内されなが
ら上下動が可能である。（１３２）　（１３２）は前記
ストッカー台（１１８）に設けられた軸受体で、該軸受
体（１３２）に所定間隔を存して複数の押え部材（１３
３）が固定された軸杆（１３４）が回動自在に支持され
ている。該押え部材（１３３）は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部（１１１）に上面か
ら係合するもので、任意の押え部材（１３３）の他端部
には回動用駆動源としてのシリンダー（１３５）が連結
している。

尚、前記ツールストッカー（１１７）及びストッカー台
（１１８）に開設した複数の取付孔（１２１）（１２２
）の開設ピッチ、同じくロック解除ビン（１１９）が嵌
合する孔（図示せず）の開設ピッチ、ロック解除ビン（
１１９）の取付ピッチは全て同ピツチである。尚、前記
吸着コレット（７６）には番号（以下コレラトナ＝１６
− ンバーと言う。）が付されており、ここでは４種類の吸
着コレット（７６〉を使用しているためコレ・ントナン
バー’　ＣＩ　Ｊ　’　Ｃ２Ｊ　「Ｃ３Ｊ　’　Ｃ４Ｊ
となる。

次に、第１図の構成回路図について詳述する。

（１３６）は制御装置としてのＣＰＵで、電子部品自動
装着装置全体の総括的制御を行なうものである。

（１３７）は装着動作に関するプログラムを記憶するＲ
ＯＭである。

（１３８）は入力装置（１３９）により設定される種々
のデータを記憶するＲＡＭである。

（１４０）は前記入力装置（１３９）の操作により所定
の画面を映し出すＣＲＴである。

（１４１）はインターフェースである。

以下、動作について詳述する。

図示しない駆動モータが通電されると、駆動スプロケッ
ト（１２）　（１２）が回転し、従動スブロケ・ント（
１３）（１３）により、チェーン（Ｌ４Ａ）（１４Ｂ＞
上の基板（Ｐ）は間欠的に搬送され、位置決め装置（３
）の位置に到達したら前記駆動モータの通電は断たれ基
板（Ｐ）の搬送は停止される。

すると、位置決めモータフ２１）が通電されベルト（２
３）を介して軸杆り１８）が回転するので、クランプカ
ム（１９）も回転し、該カム（１９）の形状に合わせて
カムフォロワー（２４）を介して、各上下部材（２５）
は上下動することになる。これにより基板（Ｐ）の送り
方向の位置規制が行なわれる。

即ち、モータ（２１）の通電により回転するクランプカ
ム（１９）に合わせて、上下部材（２５）が下降すると
、可動クランプ（２７Δ）が、バネ（２９）に抗して基
準クランプ（２７Ｂ）が夫々回動して基板（Ｐ）の送り
方向の位置規制が行なわれる。

前述のように位置規制された状態にある基板（Ｐ）にペ
レット（７１〉を装着するわけであるが、この装着前に
ウェハーテーブル（５）上の所望のウェハーシート（３
８）がステーション（Ａ）に移動するように、ウェハー
支持台（７〉をθ用モータ（３６〉により正逆いずれか
に回転きせる。

次に、Ｘ軸周モータ（３２）、Ｙ軸周モータ（３３）に
より各ガイド（３４）（３５）に沿って、ＸＹテーブル
（３１）及び支持台（７〉を平面）ｊ向に移動させて、
突き上げ針装置（３７）の上方位置に所望のウェハーシ
ート、（３８）のペレット（７１）が位置されるように
する。

尚、該ウェハーシー１−（３８）−ヒづｊには装着ヘッ
ド（１０）が位置される。

そして、前記装着へラド（１０）の近傍に設けられた電
子部品認識装置（図示せず）によりペレット（７１）の
良否判定、位置ズし、θスレが検出され、適と判断され
たペレット（７１）は吸着コレラＩ４７６＞を降下きせ
ることにより吸着される。この点につき以下詳述する。

先ず、上下用モータ（４５）に通電して、各プーリ（４
６）’、　（４８）、ベルト（４９）を介してネジ軸（
４７）を回転させ、上下移動体く５０）を降下さ七↓°
る。すると、加圧用モータフ５３）によりハネＢ（７０
）によって、加圧ヘアリング体＜６５〉がロークリジヨ
イント（６７）及び固定ベアリング体く６６）に押圧し
ているので、吸着ノズル体（７５）は上下ガイド体（７
９）に沿ってウェハーシート（３８）まで降下する。こ
のため、前述の如く突き１ユは針装置（３７）の針（３
７Ａ）と相俟−）てペレッ１−（７１）を確実に吸着で
きる。

そして、この吸着後は前記モータ（４５）の回転を逆転
させて、ネジ軸（４７）により上下移動体く５０）を上
昇させるが、この上昇後はロックソレノイド（５４）を
励磁させる。このため、吸引されたプランジ＋（５７）
によりバネＡ（６１）に抗して揺動体（６４）を支軸（
６３）を支点として回動させる。従って上下移動体（５
０）に固定された支持体（５９〉に設Ｌ−Ｊらた固定ベ
アリング体＜６６〉と加圧ベアリング体（６５）とで、
ロークリジョイン１−（６７）の鍔体り６８）を挾持し
た状態にロックする。勿論このロック動作は、装着ヘッ
ド（１０〉の水平移動中に行なわれ、このロック動作後
必要あらば吸着ノスル体り７５）のθ回転を行ない、ペ
レッ１−（７１，）の平面方向における向きを基板（Ｐ
）への装着向きに合わせる。

即し、駆動モータ（８２）の通電により各プーリ（８３
）　、　（８４）、ヘル１−（８５）を介して、」二下
ガイド体く７９）及び規制ヘアリング（８１）によって
吸着ノズル体（７５）はθ回転することになる。

この吸着ノズル体（７５）は、吸着ヘッド（１０）の水
平方向の移動によって、前述のように位置規制された状
態にある基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、該基板（Ｐ
）の所望位置にペレッ１−（７１）を装着することがで
きる。

即ち、前述の如く、モータ（４５〉に通電して、上下移
動体（５０）を降下させ、吸着ノズル体（７５）を基板
（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロックソレ
ノイド（５４）を消磁させてロック動作を解除する。

この装着時には、ハネＢ　（７０）によってペレット（
７１）は基板（Ｐ）に押圧されることになる。従って、
この押圧力を変更したい場合には、加圧用モータ（５３
）の回転角度を希望の値にデータ設定句ることにより行
なえる。

以上のように装着動作が行なわれることになるが、例え
ば次に装着したいベレン１〜が大きなペレット＜７１）
の場合には、それに合った吸着コレラ１１７６）に交換
しなければならない。以下その交換動作について、第１
３図〜第２０図に基ついて説明する。

先ず第１０図に示すように、前述の如く吸着ノズル体（
７５）及び吸着コレラ１−（７６）を降下させ、吸着コ
レット交換装置（１１４）の吸着コレットが収納されて
いないツールス！・ツカ−（１１７）の取付孔（１２１
）上方位置に移動させる。

次にシリンダー（１２９）の駆動によりピン取付台（１
２０）及び図示しない駆動源によりツールストッカー（
１１７）を上昇させる（第１３図参照）。

この後、前記ノズル体（７５）及びコレラｌ−（７６）
を更に降下させると、ロック爪体（１０６）　、　（１
０’６）がロック解除ピン（１１９）に当接して支軸＜
１０７＞　、　（１０７）を支点として回動して開く（
第１４図参照）。

このため、ロックが解除されることになるが、シリンダ
ー（１２９）によって外方に回動していた押え部材（１
３３）がこのシリンダー（１２９）の駆動により内づテ
に回動してアダプタフランジ部（１１１）を押える。

勿論、このときフランジ部（１１１）に形成きれたＵ中
溝（１１０）内に支持台＜１２７＞上の位置決めピンく
１２８）（１２８）が夫々嵌合し、吸着コレラ１−（７
６）のθ回転は防止される。

そして、第１５図に示すように駆動源によりストッカー
（１１７）を降下さぜると、アダプタ（１０４＞は取イ
ー１空間（１０３）から抜けて下がる。次に、吸着ノス
ル体（７５）は前述のように上昇し、ピン取付台（１２
０）及びロック解除ピン（１，１９）が下降する（第１
６図参照）。この後、吸着ノズル体（７５）は、大きな
ペレット（７１）用の吸着コレラｌ−＜７６＞の」三方
位置まで移動して下降し、−−３５前記ピン（１１９）
も上昇する。従って、該ピン（１１９）によってロック
爪体く１０６）（１０６）が開く（第１７図参照）。

そして、ツールストッカー（１１７）及びストッカー（
１１８＞が上昇し、吸着コレット（７Ｇ）のアダプタ（
１０４）を前記取付空間（１０３）内に挿入する。この
とき取付部＜１０２＞下面の位置決めピン（１０９）が
アダブクフランジ部（１１１）のＵ字溝（１１０）内に
嵌合することにより、この挿入時のθずれを防止してい
る。然る後、シリンダー（１２９）の駆動によって、押
え部材（１３３）を外方へ回動許せる。

この後前記解除ピン（１１９）を降下させるので、ロッ
ク爪体（１０６）（１０６）がハネ（１０８）（１０８
）により内方へ回動し、係止部（１１３）内に入り込ん
でロックすることになる（第１９図参照）。そして吸着
ノズル体（７５〉及び吸着コレラ１−（７６）は上昇し
、前記押え部材（１３３）を今度は内方へ回動さぜ、ス
トッカー＜１１７）及びス１〜ツカー台（１１８）を下
降させることによって、吸着コレット（７６）の交換動
作が終了する。

この吸着コレット（７６）の交換により、大きなペレッ
１−（７１）の装着に対応できることになる。

次に、この吸着コレラｌ−＜７６）の交換が確実に行な
われたか否かの確認動作について詳述する。

先ず、ある所定高さで吸着コレット（７６）が待機され
ている時に、ＤＣソレノイド（８８）が励磁している状
態では、バネＤ　（９５）に抗して作動レバー（９０）
がカムフォロワー＜９６）を介して上下スライダ〈９１
）を下方に押圧し、前記カムフォロワ＝（９６）が下限
ストッパ（９８）に当接して係止している状態となり、
第６図に示すように光電検知装置（１０１）により吸着
コレット（７６）かペレット（７１）を吸着しているか
否かの検知が行なわれる。

また、前記ソレノイド（８８〉を消磁させることによっ
て吸着コレット（７６）の交換が正確に行なわれたか否
か検知できる。即し、消磁によって上下スライダー（９
１）はハネＤ（９５）により上昇し、作動レバー（９０
）が上限ストッパ（９７）に当接して係止する状態とな
り、第７図に示すように光電検知装置（１０１）は吸着
コレット（７６）の存在を確認でさる。仮に、存在１無
」を検知すると、以後の動作を中止すると共に、作業者
に図示しない報知装置により報知する。

ここで、前記光電検知装置（１０１）による吸着コレッ
トの存在の有無、ペレッｌ−（７１）の吸着状態を検知
す、る際は、吸着コレラ１−（７６）の交換により長さ
寸法の異なる吸着コレラ１〜（７６）を使用する場合と
か、同種の吸着コレラ１−（７６）において加工精度に
よる公差がある場合とか、厚さの異なる種々のペレット
（７１）を扱う場合とか等を考慮して、上下用モータ（
４５）の駆動による吸着コレット（７６）の移動量を調
整する。

以下、この移動量調整動作について詳述する。

先ず、作業者は上下用モータ（４５）の上下動ピッチを
装置内に設定する。即ち、上下動ピッチ設定用吸着コレ
ット（７６）を使用して前記モータ（４５）を駆動させ
、ウェハーシート（３８）上まで該コレット＜７６）を
下降許せることにより設定上下動ピッチを教示する。

第２１図はＲＡＭ（１３８）内に記憶された前記設定用
吸着コしット（７６〉の長さに対する実際に使用される
コレットナンバー”ＣＩＪ’Ｃ２Ｊ’Ｃ３Ｊ’Ｃ４」の
吸着コレラ１−（７６）の長さの違い（公差による誤差
も含んでいる。）に関するデータ（以下コレット長オフ
セットデータという。）を示すＣＲＴ　（１４０）の画
面である。尚、ここでのｍレット＋ンハ−’ＣＩ　Ｊ　
’Ｃ２Ｊ　’Ｃ３Ｊ　’Ｃ４」の吸着コレット＜７６〉
のオフセットデータは夫々Ｏ，−５，＋１０．＋３［：
μｍ〕である。

第２２図はペレットナンバー’ＰＩＪ’、Ｐ２ヨ「Ｐ３
．’Ｐ４．の各種ペレット（７１）の厚さ等のタイプデ
ータに関するデータを示すＣＲＴ　（１４０）の画面で
ある。尚、ここでは４個のウェハーテーブル（５）（６
）に夫々４種類のペレット（７１）を搭載している。

この両データを基に任意の吸着コレラｈ（７６）を使用
して任意のペレット（７１）を吸着し、その吸着状態も
しくは該吸着コレット（７６）の交換完了状態を検知す
る際の前記所定高さ位置（光電検知装置（１０１）の発
光素子（９９）、受光素子（１００）の水平位置）への
移動量を変更する。即ち、例えばコレットナンバー’ｃ
ｉ、の吸着コレット（７６〉を使用してベレットナンバ
ー「Ｐｌ」のペレット（７１＞を吸着する場合は、前記
両データを基に図示しない計算装置で前記設定上下動ピ
ッチにコレット長オフセットデークＯ〔μｍ〕及び該ベ
レット厚のにの値を加味した値を計算し、その値に前記
上下動ピッチを変更して吸着コレット（７６）を移動さ
せる。

また、コレットナンバー１Ｃ２」の吸着コレット（７６
）で厚さが前記ペレットナンバー「Ｐｌ」のペレッ１−
（７１）と同じであるペレットナンバー「Ｐ２」のペレ
ッ１−（７１）を吸着する場合は（第２３図参照）は、
同様にして設定上下動ピッチにコレット長オフセットチ
ータ　−５〔μｍ〕及び該ペレット厚のにの値を加味し
た値（上下動ピッチ−八ρ）を計算し、その値に前記上
下動ピッチを変更して吸着コレット（７６）を移動させ
る（第２４図参照）。

次に、コレットナンバー「Ｃ１」の吸着コレラ１−（７
６）でペレットナンバー’Ｐｉ、’Ｐ２」と厚きの違う
ペレットナンバー「Ｐ３」のペレット（７１〉を吸着す
る場合（第２５図参照）は、同様に各データを基に前記
設定上下動ピッチにコレット長オフセットデータ０〔μ
ｍ〕及び該ペレット厚のにの値を加味した値（上下動ピ
ッチ−Δｔ）を計算し、その値に前記上下動ピッチを変
更して前記吸着コレット（７６）を移動させる（第２６
図参照）。

以下、同様にして、コレット長、ペレット厚が変わる度
に上下動ピッチを変更する。

尚、本実施例でペレット厚のにの値としたのは、光電検
知装置（１０１）がその下限時に吸着コレット（７６）
で吸着されたペレット（７１）を検知する光軸位置をペ
レット厚のにの所としたためである。

また、本実施例ではペレット厚をそのままデータとして
記憶させたが、コレット長オフセットデータと同様に、
基準となるペレット（７１）に対する他のペレット（７
１）の厚きの違いに関するペレット厚オフセットデータ
を記憶させるようにしても良い。

更に、吸着コレット（７６）の上下動ピッチを変更して
光電検知装置（１０１）でのペレット（７１〉の吸着状
態等の安定検出を行なうようにしでいるが、光電検知装
置（１０１）側を移動させるような構造としても良いし
、両側を移動させて吸着コレット（７６）の長さ及びペ
レッ１−（７１）の厚さの違いに対処するようにしても
良い。

（ト）発明の効果 以上の構成により、吸着コレットの長き及び電子部品の
厚さの違いに対応可能となり、安定した検出が行なえる
。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図及び第３図は本発明の電子部品自動装
着装置の構成回路図及び平面図及び正面図、第４図は装
着ヘッドの一部断面せる正面図、第５図は装着ヘッドの
縦断右側面図、第６図は装着ヘッドの一部切欠せる右側
面図、第７図は上下スライダーが上昇した状態の装着ヘ
ッドの一部切欠せる右側面図、第８図は吸着ノズル下端
部を縦断した状態及び吸着コレットの正面図、第９図は
吸着ノズル下端部の左側面図、第１０図は吸着ノズル交
換装置の縦断正面図、第１１図は同交換装置の平面図、
第１２図は同交換装置の左側面図、第１３図乃至第２０
図は吸着コレットの交換動作を示す図、第２１図はコレ
ット長オフセットデータを示す図、第２２図はペレット
に関するデータを示す図、第２３図及び第２４図はコレ
ット長の異なる吸着コレットを使用した際の吸着コレッ
トの移動量を示す図、第２５図及び第２６図はぺレット
厚の異なるペレットを吸着する際の吸着コレットの移動
量を示す図を示す。 （７１）・・・ペレット、（７６）・・・吸着コレ・７
ト、（１０１）・・・光電検知装置、　（１３６）・・
・ＣＰＵ、　（１３８）・・・ＲＡＭ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子部品をプリント基板、リードフレーム等に装
   着するためにＸＹ移動可能な装着ヘッドに上下動可能に
   部品を吸着する吸着コレットを設けると共に前記部品の
   吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品自動装着
   装置に於いて、ある基準となる部品の厚さに対する他の
   部品の厚さに関するデータを記憶する記憶装置と、該記
   憶装置に記憶されたデータを基に前記吸着コレットに吸
   着された部品とセンサーとの相対位置を調整する制御装
   置とを設けたことを特徴とする電子部品自動装着装置。
2. （２）電子部品をプリント基板、リードフレーム等に装
   着するためにＸＹ移動可能な装着ヘッドに上下動可能及
   び着脱可能に部品吸着コレットを設けると共に前記部品
   の吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品自動装
   着装置に於いて、ある基準となる吸着コレットの長さに
   対する他の吸着コレットの長さに関するデータを記憶す
   る記憶装置と、該記憶装置に記憶されたデータを基に前
   記吸着コレットに吸着された部品とセンサーとの相対位
   置を調整する制御装置とを設けたことを特徴とする電子
   部品自動装着装置。