JPH02218783A - 感圧接着剤組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は感圧接着剤組成物に関する。さらに詳しくは、
紫外線照射によって接着力を低減させることができる感
圧接着剤組成物に関する。

［従来の技術・発明が解決しようとする課題］一般に、
基材シート上に感圧接着剤を塗布した感圧接着性シート
または粘着シートは、一般家庭および各種産業分野にお
いて種々の用途に使用されている。したがって、感圧接
着性シートに対する要求特性も多様になっており、多岐
の用途に応じて種々の機能が要求されるに至っている。

たとえば、集積回路の製作に際して、シリコンウェハー
を所定の寸法に裁断して（ダイシングを行なって）ダイ
スをうるためには、いわゆるダイシングフィルムと呼ば
れる感圧接着性シート上にシリコンウェハーを載置し、
感圧接着により固定して裁断したのち、これをダイシン
グフィルムから剥離させてピックアップされる。

したがって、シリコンウェハーを正確にダイシングする
ためには、ダイシング時にはダイシングフィルムがシリ
コンウェハーに対して強い接着力を有し、一方、えられ
たダイスをダイシングフィルムからピックアップするに
際しては、ダイシングフィルムの接着力が弱いことが必
要である。たとえばシリコンウェハーのダイシングに際
しては、一般にダイシングフィルムは１００〜８００ｇ
／２５鰭程度の接着力を有し、一方、ダイスのピックア
ップに際しては、ダイシングフィルムは数十ｇ／２５ｍ
ｍ程度またはこれ以下の接着力を有することが望ましい
といわれている。

また、ピックアップ前に粘着シートを延伸（エキスバン
ド）することにより、裁断したシリコンウェハー間の間
隔を拡げ、ピックアップじゃすくする技術が近年採用さ
れてきている。

このばあいには、その接着剤の基材となるシートの延伸
に耐えうる特性も重要となる。

このように被着面に適用後に接着力を低減させることが
必要な際には、かかる特性を備えた感圧接着剤組成物が
、またピックアップ前に粘着シートをエキスバンドする
ことが必要な際には、かかる特性を備えた粘着シートが
必要とされ、これらについて種々の検討がなされてきて
いる。

たとえば特開昭６２−１５３３７８号公報にはウレタン
アクリレートオリゴマーを使用する方法が開示されてい
るが、ウレタンアクリレートオリゴマーが高分子量であ
り、紫外線照射により接着力を低減させるためには長時
間の照射が必要であり、そのうえ接着力がそれほど低減
せず、人為的な剥離が必要であったりする。さらに被着
物から剥離させたばあいに、被着物に接着剤が賎存（糊
残り）することがあり、その除去のために洗浄操作など
が必要になる。とくに硬化後の接着剤層にフレキシビリ
ティ−がないと割れの現象が生じ、被着物への糊残りが
おこりやすくなる。

以上のように、被着面に適用後に接着力を低減させるこ
とが必要な際には、かかる特性を備えた感圧接着剤組成
物が必要とされているが、充分な性能を有するものが未
だ知られていないというのが実情である。

［課題を解決するための手段］ 本発明者らは、最初は強い接着力を有し、必要に応じて
その接着力を低減させうる感圧接着剤をつるために鋭意
研究を重ねた結果、予期しないことに、弾性重合体と紫
外線架橋性アクリル酸エステルとを主成分として含有す
る混合物からなる感圧接着剤組成物が、これに紫外線を
照射するとき、その接着力が著しく低減することを見出
した。さらにポリイソシアネートを用いた感圧接着剤組
成物にすると、初期接着力は強いが、これに紫外線を照
射すると接着力が一層顕著に低減または実質的に消滅す
ること、さらに、かかる感圧接着剤組成物に含有させる
紫外線架橋性アクリル酸エステルとして、特定構造を有
するウレタン基含有（メタ）アクリル酸エステルを用い
ることにより、形成された接着剤層がフレキシビリティ
−を有し、エキスバンド性にもすぐれることを見出して
、本発明を完成するに至った。

すなわち本発明は、 （ω弾性重合体 （ｂ）紫外線架橋性（メタ）アクリル酸エステル（ｃ）
ポリイソシアネートおよび ＋ｄ＋一般式（１）： （Ｒ１１ｉｊ２はいずれも飽和炭化水素基、不飽和炭化
水素基、２価の芳香族基およびそれらにオキシアルキレ
ン基が付加した２価の基から選ばれた基、またｐは１〜
１０）で示されるポリエステル基含有ジオール残基また
は一０ＲＩ　０−（Ｒ１は前記に同じ）で示されるアル
キレンジオール残たはＣＨ３、Ｒ４は炭素数１〜５で（
ｑ＋１）価の炭化水素基、ｑは１〜５．９個のＲ３は同
じである必要はない）で示される（メタ）アクリル酸記
に同じ）で示されるウレタン基、■は１〜ｌＯ１旧およ
びｎ２はそれぞれ１以上であり、−数式（１）で表わさ
れる化合物の平均分子量が７００〜２５００となる数）
で示されるウレタン基含有紫外線架橋性（メタ）アクリ
ル酸エステル を主成分として含有し、かつ（小成分であるウレタン基
含有紫外線架橋性（メタ）アクリル酸エステルが、（ω
成分の弾性重合体１００部（重量部、以下同様）に対し
て１〜１５０部使用されることを特徴とする紫外線照射
により−で接着力を低減しうる感圧接着剤組成物 に関する。

本発明の組成物は、紫外線を照射しないときは強い接着
力ををし、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができ、エキスバンド性にもす
ぐれた性質を示す感圧接着剤組成物である。

［実施例］ 従来、たとえば「接着ハンドブック（第２版）」（日本
接着協会編集、日刊工業新聞社発行、１９８０年）第３
９８〜４１４頁に記載されているように、種々の感圧接
着剤組成物が知られている。

代表的な感圧接着剤組成物は弾性重合体を主成分とし、
これに相溶性の良好な粘着付与剤や可塑剤、さらには、
必要に応じて充填剤、老化防止剤、着色剤などを配合し
、均一に混合した組成物である。

本発明においては、（ａ）成分の弾性重合体として、た
とえば飽和共重合ポリエステル樹脂、（メタ）アクリル
酸エステルの単独重合体、（メタ）アクリル酸エステル
の共重合体などが好ましいものとしてあげられるが、こ
れらに限定されるものではない。これらは単独で用いて
もよく、２Ｆ！以上併用してもよい。

前記飽和共重合ポリエステル樹脂の具体例としては、た
とえば「工業材料」第２５巻、第１１号１、第１０１〜
１０Ｂ頁に記載されているように、通常、異なる２ＦＪ
以上゛の飽和２価カルボン酸と飽和２価アルコールとを
重縮合させてえられるガラス転移点の比較的低い飽和共
重合樹脂があげられる。通常、飽和２価カルボン酸とし
て芳香族２価カルボン酸と脂肪族２価カルボン酸とが併
用され、飽和２価アルコールとして脂肪族または脂環式
２価アルコール、すなわち、グリコールが用いられるが
、これらに限定されるものではない。とくに、本発明に
使用する飽和共重合ポリエステル樹脂としては、芳香族
２価カルボン酸／脂肪族２価カルボン酸がモル比で８０
／　２０〜２０／　８０、好ましくは７０／　８０〜５
０／　５０である飽和２価カルボン酸混合物とグリコー
ルとを等モルにて重縮合させてえられる飽和共重合ポリ
エステル樹脂が好ましく用いられる。

前記芳香族２価カルボン酸としては、たとえばテレフタ
ル酸など、脂肪族２価カルボン酸としては、たとえばセ
バシン酸、アジピン酸など、グリコールとしては、たと
えばエチレングリコール、１，４−ブタンジオール、プ
ロピレングリコールなどがあげられ、これらを用いてえ
られる飽和共重合ポリエステル樹脂が好ましく用いられ
る。なお、飽和共重合ポリエステル樹脂を製造する際に
、必要に応じてカルボン酸成分として３価以上の飽和多
価カルボン酸や、３価以上の飽和多価アルコールが一部
併用されてもよい。

前記（メタ）アクリル酸エステルの単独重合体または（
メタ）アクリル酸エステルの共重合体の具体例としては
、従来より（メタ）アクリル酸エステル系粘着剤として
知られている粘着剤がとくに限定なく使用されうる。前
記（メタ）アクリル酸エステル系粘着剤において弾性重
合体として用いられている重合体は、通常は単独重合体
および共重合体が使用できるが、（メタ）アクリル酸エ
ステルの共重合体が使用されるばあいが多い。この共重
合体は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス転
移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチル、アク
リル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシルなどの
アクリル酸アルキルエステルを生モノマーとし、凝集性
を有せしめるために高いガラス転移点を有する硬い重合
体を形成するコモノマー、たとえば酢酸ビニル、アクリ
ロニトリル、スチレン、アクリル酸メチル、メタクリル
酸メチルなど、および架橋性や接着性の改良のためにカ
ルボン酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロ
キシルメチル基などの官能基を有する単量体、たとえば
アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキシル
エチルメタクリレート、ヒドロキシルプロピルメタクリ
レート、アクリルアミド、グリシジルメタクリレートな
どのモノマーを共重合させてなる共重合体である。

本発明において用いる（ｂ＞成分となる紫外線架橋性（
メタ）アクリル酸エステルは、紫外線の照射によって架
橋するオリゴマーまたはモノマーとしてのアクリル酸エ
ステルまたはメタクリル酸エステルをいい、分子内に少
なくとも２つのアクリロイル基またはメタクリロイル基
を存する。具体的には、かかるオリゴマーとしては、た
とえばオリゴエステルアクリレートなどを、またモノマ
ーとしては、たとえばｌ、６−ヘキサンジオールジアク
リレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、
テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジペンタ
エリスリトールへキサアクリレートなどの多価アルコー
ルとアクリル酸のエステル、または１．６−ヘキサンジ
オールジアクリレート、トリメチロールプロパントリメ
タクリレート、テトラメチロールメタンテトラメタクリ
レート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート
などの多価アルコールとメタクリル酸のエステルなどを
あげることができる。

＋ｂ＞成分である紫外線架橋性（メタ）アクリル酸エス
テルの使用量としては、（ω成分の弾性重合体１００部
に対して一般に１５〜２００部程度が好ましく、５０〜
１５０部程度がさらに好ましい。（ｂ）成分の使用量が
１５部未満になるとえられる接着剤組成物に紫外線を照
射してもその接着力は実質的に変化せず、２００部をこ
えると紫外線照射によって、その接着力を低減させるこ
とはできるが、たとえばシリコーンウェハーのダイシン
グ後のダイスのピックアップ時にダイスに接着剤が残留
することがあり好ましくない。

本発明に用いる＜Ｃ）成分であるポリインシアネートに
は、とくに限定はなく、ポリイソシアネートである限り
使用しうるが、ジイソシアネートおよびトリイソシアネ
ートが工業的に入手容易であり、使用される。

前記ジイソシアネートの具体例としては、たとえば２．
４−）ルエンジイソシアネート、−一フェニレンジイソ
シアネート、−キシリレンジイソシアネート、４，４°
−ジフェニルジイソシアネート、４，４°−ジフェニル
メタンジイソシアネート、■、５−ナフタレンジイソシ
アネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレ
ンジイソシアネートなどがあげられる。

トリイソシアネートも種々のものが市販されており、た
とえば住友化学工業■より「スミジュールＬ」として市
販されているトリメチロールプロパントルエントリイソ
シアネートなどが、本発明に用いるトリイソシアネート
の好適な具体例の一例としてあげることができる。

また、ジイソシアネートとポリオールとをジイソシアネ
ートの過剰量の存在下で反応させてえられる末端イソシ
アネート化合物、たとえば一般式（１）で示される化合
物の中間体としてえられるウレタンオリゴマーもポリイ
ソシアネートとして用いることができる。

（ｃ）成分であるポリイソシアネートの使用量としては
、〈小成分の弾性重合体１００部に対してＯ８１〜２０
部が好ましく、１〜１５部がさらに好ましい。

本発明においては、（小成分として一般式（１）：％式
％） （ＲＩ　　　Ｒ２はいずれも飽和炭化水素基、不飽和炭
化水素基、２価の芳香族基およびそれらにオキシアルキ
レン基が付加した２価の基から選ばれた基、またｐは１
〜１０）で示されるポリエステル基含有ジオール残基ま
たは一０ＲＩ　０−（Ｒ１は前記に同じ）で示されるア
ルキレンジオール残たはＣＨ３、Ｒ４は炭素数１〜５で
＜ｑ＋１）価の炭化水素基、ｑは１〜５、Ｑが２以上の
ばあい９個のＲ３は同じである必要はない）で示される
（メタ）アクリル酸エステル含有基、Ｕはウレタン基、
■は１〜ｌ口、旧およびｎ２はそれぞれ１以上であり、
一般式（１）で表わされる化合物の平均分子量が７００
〜２５００となる数）で示されるウレタン基含有紫外線
架橋性（メタ）アクリル酸エステルが使用される。

萌成分は紫外線硬化後の接着剤層のフレキシビリティ−
およびエキスバンド性を改良するために使用される成分
であり、一般式（１）中のＡの部分は主として他成分と
の相溶性向上、硬化物物性の向上、Ｂの部分は主として
紫外線硬化性、Ｕの部分は主として樹脂のフレキシビリ
ティ−エキスバンド性の向上としての作用をはたす。

一般式（１）における＾は、 チル基含有ジオール残基または一０Ｒ１０−で示される
アルキレンジオール残基であり、前記残基中のＲＩ　　
　Ｒ２がいずれも飽和炭化水素基、不飽和炭化水素基、
２価の芳香族基およびそれらにオキシアルキレン基が１
個以上、好ましくは２〜１０個程度付加した２価の基か
ら選ばれた基であり、ｐが１〜ＩＯであり、式（１）の
分子ｆｆｉ　７００〜２５００の範囲内になるように変
更可能であり、実質上、分子量が大きいほどフレキシビ
リティ、エキスバンド性は向上するが、大きすぎると紫
外線硬化速度が遅くなり、紫外線照射後の接着力が低下
しない原因となる。

また、一般式（１）におけるＢは クリル酸エステル基であり、該基中のＲ３はＩｔまたは
ＣＨ３、Ｒ４は炭素数１〜５で（ｑ＋１）価の炭化水素
基であり、ｑが１〜５であるため、紫外線硬化時の硬化
が速く、糊残りが少なくなる。

さらに、一般式（１）におけるＵが め、紫外線硬化後の接着剤層のフレキシビリテイー、エ
キスバンド性の向上に寄与する。

一般式（１）における量はフレキシビリティ−エキスバ
ンド性の向上の意味からは、大きいほど好ましいが、大
きすぎるとｐと同様に紫外線硬化速度が遅く、接着力が
低減しにくくなるという点から１〜１０、好ましくは１
〜２であり、旧およびｎ２はいずれも１以上で旧＋　ｎ
２≧２、好ましくは４≧旧＋０２≧１であるのが、一般
式（１）で示されるウレタン基含有（メタ）アクリル酸
エステルの平均分子量が７００〜２５００゜好ましくは
１０００〜２５００のものが使用されるということもあ
わせて好ましい。なお、一般式（１）で示されるウレタ
ン基含有（メタ）アクリル酸エステルの平均分子量が７
００よりも小さいばあいは糊残りが多くなり、２５００
よりも大きいばあいには紫外線照射後の接着力が低下し
なくなり、好ましくない。

一般式（１）で示される化合物は、ジオール成分とイン
シアネート成分との反応によって合成される末端イソシ
アネート化ウレタンオリゴマーと、（メタ）アクリロイ
ルオキシ話合をヒドロキシル化合物との反応によってえ
られる末端（メタ）アクリル酸エステル化ウレタン化合
物である。

一般式（１）で示される化合物の合成に用いるジオール
成分は、前記のごとくアルキレンジオールであってもよ
く、ポリエステル話合存ジオール、ポリオキシアルキレ
ン基含有ジオールなどであってもよい。たとえば１．４
−ブタンジオール、゛ｌ、６−ヘキサンジオールなどの
脂肪族ジオール、ポリエチレングリコール、ポリプロピ
レングリコール、ポリテトラエチレングリコールなどの
ポリオキシアルキレングリコール、脂肪族ジオールのア
ルキレンオキサイド付加物、ビスフェノールＡアルキレ
ンオキサイド付加体などの芳香族基含有ポリオキシアル
キレングリコールなどの両末端ヒドロキシ化合物、さら
には前記ヒドロキシ化合物とコハク酸、フマル酸、アジ
ピン酸、フタル酸などのジカルボン酸化合物とのエステ
ル化によってえられる両末端ヒドロキシポリエステル化
合物などをあげることができる。

また、イソシアネート成分としては、ジイソシアネート
やトリイソシアネートが好適であり、ジイソシアネート
としては、たとえば２．４−）ルエンジイソシアネート
、１−フ二二レンジイソシアネート、■−キシリレンジ
イソシアネート、４゜４°−ジフェニルジイソシアネー
ト、４，４°−ジフェニルメタンジイソシアネート、１
．５−ナフタレンジイソシアネート、イソホロンジイソ
シアネート、ジアニシジンジイソシアネート、ヘキサメ
チレンジイソシアネートなどを例示することができる。

また、トリイソシアネートとしては、たとえばトリフェ
ニルメタントリイソシアネート、トリメチロールプロパ
ンのトリレントリイソシアネート付加体（たとえば日本
ポリウレタン工業■製のコロネートし）などがあげられ
る。

（メタ）アクリロイルオキ°シ話合有ヒドロキシル化合
物の具体例としては、たとえばヒドロキシエチルアクリ
レート、ヒドロキシプロピルアクリレート、トリメチロ
ールプロパンジアクリレート、グリセリンジアクリレー
　ト、ペンタエリスリトールトリアクリレート、さらに
はこれらのアクリレートがメタクリレートになったメタ
クリレート類などがあげられる。

一般式（１）で示されるウレタン基含有紫外線架橋性（
メタ）アクリル酸エステルの具体例としては、たとえば
ビスフェノールへのエチレンオキシド４モル付加物（１
モル）とキシレンジイソシアネート（２モル）およびヒ
ドロキシエチルアクリレート（２モル）の反応物；ビス
フェノールＡのエチレンオキシド４モル反応物（２モル
）とインホロンジイソシアネート（３モル）およびヒド
ロキシエチルアクリレート（２モル）の反応物；Ｌ、６
−ヘキサンジオール（５モル）とアジピン酸（４モル）
とのエステル化でできるポリエステルジオール（１モル
）と２．４−）ルエンジイソシアネート（２モル）、グ
リセリンジアクリレート（１モル）、ヒドロキシプロピ
ルアクリレート（１モル）の反応物；ジエチレングリコ
ール（６モル）とコハク酸（５モル）とのエステル化で
できるポリエステルジオール（１モル）とキシリレンジ
イソシアネート（２モル）、ヒドロキシプロピルアクリ
レート（２モル）との反応物；ビスフェノ−・ルＡのエ
チレンオキシド４モル付加物（２モル）とキシリレンジ
イソシアネート（３モル）、ヒドロキシエチルアクリレ
ート（１モル）、ペンタエリスリトールトリアクリレー
ト（１モル）の反応物などがあげられる。

（小成分である一般式（１）で示されるウレタン基含有
紫外線架橋性（メタ）アクリル酸エステルは、（小成分
の弾性重合体１００部に対して５〜１５０部使用するの
が、初期接着力が強く、紫外線照射による接着力の低減
が大きく、紫外線照射後にピックアップしたときの糊残
りが少なく、エキスバンド性が良好になるなどの点から
好ましく、１０〜１３０部であるのがさらに好ましい。

本発明による感圧接着剤組成物には、通常光重合開始剤
が含有され、さらに光増感剤を含有せしめてもよく、ま
た重合禁止剤を含有せしめてもよい。

前記光重合開始剤は、前記紫外線架橋性アクリル酸エス
テルの紫外線照射による架橋重合のために用いられる。

このような光重合開始剤は、一般に紫外線架橋重合の技
術分野においてよく知られており、本発明においては従
来より一般によく知られている光重合開始剤を用いるこ
とができる。かかる重合開始剤の具体例としては、たと
えばベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピ
ルエーテルなどのベンゾインアルキルエーテル類や、ベ
ンゾイン、ベンジル、ベンゾフェノンなどの芳香族オキ
シケトン類や芳香族ケトン類をあげることができるが、
これらに限定されるものではない。

前記重合禁止剤は、（小成分である一般式（１）で表わ
される化合物および（ｂ）成分である紫外線架橋性（メ
タ）アクリル酸エステルが紫外線照射によらず、たとえ
ば熱によって重合することを防止するために添加される
ものであり、かかる重合禁止剤として従来より知られて
いる通常の重合禁止剤を用いることができる。このよう
な重合禁止剤としては、たとえばハイドロキノン、ハイ
ドロキノンモノメチルエーテルなどをあげることができ
る。

前記光重合開始剤および重合禁止剤の配合量は、紫外線
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、たとえば重合開始剤のばあい、〈ｂ＞およ
び（小成分の合計量１００部に対して１〜２０部程度が
好ましく、重合禁止剤のばあい、必要に応じて０．０１
〜１部の範囲で用いられる。

本発明の感圧接着剤組成物は、前記配合量にて弾性重合
体、紫外線架橋性（メタ）アクリル酸エステル、−数式
（１）で表わされるウレタン基含有紫外線架橋性アクリ
ル酸エステルおよびポリイソシアネートを、必要に応じ
て重合開始剤、アクリル酸エステル系粘着付与剤、重合
禁止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤などとともに、こ
れらを溶解する適当な有機溶剤、たとえば芳香族炭化水
素類、ケトン類、これらの混合溶剤などに溶解させるこ
とによって均一な溶液状組成物としてうろことができる
。具体的な溶剤としては、たとえばトルエンとメチルエ
チルケトンとの混合溶剤が好ましく用いられるが、これ
に限定されるものではない。

また、感圧接着剤組成物における弾性重合体の含有量は
、用途などに応じて適宜に選べばよいが、通常、１０〜
５０％（重量％、以下同様）の範囲である。しかし、こ
の範囲に限定されるものではない。

本発明の感圧接着剤組成物の調製方法には何ら制限はな
いが、通常、弾性重合体および粘着付与剤は溶液の形態
にて市販されており、これらを使用することが便利であ
るので、たとえばこれらの溶液を混合し、これに紫外線
架橋性（メタ）アクリル酸エステル、−数式（１）で表
わされるウレタン基含有紫外線架橋性アクリル酸エステ
ルおよびポリイソシアネート、さらに必要に応じて重合
開始剤、アクリル酸エステル重会衆止剤、充填剤、老化
防止剤、着色剤などを添加混合し、溶解させればよい。

さらに、本発明の感圧接着剤組成物には、必要に応じて
、液状ポリアクリル酸エステル、液状ポリブテン、鉱油
、ラノリンなどの可塑剤などを適宜に含有せしめてもよ
い。

本発明の感圧接着剤組成物は、たとえば紫外線を透過さ
せうる基材シー′ト上に感圧接着剤組成物の層が形成さ
れ、感圧接着性シートとして使用される。したがって、
たとえば前述のごとき液状の感圧性接着剤組成物が基材
シート上に塗布され、乾燥せしめられることによって前
記感圧接着性シートが製造される。

前記基材シートとしては、紫外線を透過しうるシートで
ある限りとくに制限はなく、種々のシートを用いること
ができるが、通常は、透明〜半透明の合成樹脂シートが
用いられる。このような合成樹脂シートの具体例として
は、たとえば塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−塩化ビニリ
デン共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化
ビニリデン樹脂、ポリオレフィン、アセチルセルロース
、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリエステル、
ポリカーボネートなどからなる厚さ５０〜３００−程度
の樹脂シートが好適に用いられる。

基材シートとして用いる前記樹脂シートのなかでも、ポ
リ塩化ビニルまたは塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合
体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−ア
クリル酸エステル共重合体などの塩化ビニル共重合体か
らなる樹脂シートは、柔軟であり、さらに廉価であるの
で、とくに好ましい。

塩化ビニル系樹脂シートのほかにも、柔軟性を有する基
材シートとして、たとえばポリ塩化ビニリデン、アセチ
ルセルロースなど製のシートが好適に使用されつる。

感圧接着性シートの基材樹脂シートとして、可塑剤を含
有する樹脂シートを用いるばあいは、この樹脂シートか
ら可塑剤が感圧接着剤組成物中に移行し、また、樹脂シ
ートによっては紫外線架橋性アクリル酸エステルとは相
溶性がよいために、感圧接着剤組成物に含まれる紫外線
架橋性アクリル酸エステルが樹脂シート中に移行し、こ
のような相互移行によって、感圧接着性シートの紫外線
照射後の接着力の低減効果が著しく減少する。

したがって、本発明においては、感圧接着性シートの基
材シートとして、この基材シートと感圧接着性シー、ト
、との間に可塑剤および紫外線架橋性アクリル酸エステ
ルを透過させない樹脂層からなるバリヤー層を介在させ
ることが好ましい。ただし、このバリヤー層は、紫外線
の透過を妨げるものであってはならない。

すなわち、このバリヤー層は、紫外線の透過は何ら妨（
グ違いが、基材樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧
接着剤組成物中に移行するのを阻止するとともに、感圧
接着剤組成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エ
ステルが基材樹脂シートに移行するのを阻止し、このよ
うにして、基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの
基材中に保持し、感圧接着剤組成物に含まれている紫外
線架橋性アクリル酸エステルを接着剤組成物中に保持す
る。

前記バリヤー層としては、ポリエチレン、ポリプロピレ
ンなどのポリ　−α−オレフィン、ポリエチレンテレフ
タレートなどのポリアルキレンテレフタレートのフィル
ムや、樹脂塗膜、たとえば変性ポリアクリル樹脂などの
樹脂塗膜層が好適に用いられる。したがって、バリヤー
層は、基材樹脂シート上に前記例示した樹脂からなるフ
ィルムを圧着し、またはこの樹脂の溶融液を塗布して冷
却し、または上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することに
よって、形成することができる。また、たとえば変性ポ
リアクリル樹脂溶液を塗布し、必要に応じて加熱乾燥さ
せて、塗膜を形成させることによっても、バリヤー層を
うろことができる。

前記変性ポリアクリル樹脂としては、従来、種々のもの
が知られているが、本発明においては、一般に耐溶剤性
にすぐれ、したがって、紫外線架橋性アクリル酸エステ
ルや基材樹脂シートに含まれる可塑剤に溶解、膨潤しな
いアルキド変性ポリアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアク
リル樹脂が好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂として
は、たとえば酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型な
どが好適に用いられる。

しかし、本発明においては、バリヤー層は前述したよう
に感圧接着剤組成物に含まれる紫外線架橋性アクリル酸
エステルおよび基材樹脂シートに含まれる可塑剤を実質
的に透過させない限りは、とくにその素材において制限
されるものではないことは容易に理解されるところであ
って、本発明において用いられる個々の具体的な紫外線
架橋性アクリル酸エステルおよび可塑剤に応じて選択さ
れる。

つぎに実施例に基づき本発明の組成物をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。

合成例１　（ウレタンアクリレートＡの合成例）２−ヒ
ドロキシエチルアクリレート１１６ｇ（１モル）および
重合禁止剤であるハイドロキノンモノメチルエーテル０
．２５ｇ−をＩＩＩ容四つロフラスコに入れ、撹拌した
。内温を６０℃まで加温して、キシリレンジイソシアネ
ート１８８ｇ（１モル）を添加した。発熱するので、必
要に応じて冷却し、内温を８０℃以下に押さえるように
した。

添加後２時間で発熱はおさまったが、゛さらに７５〜８
０℃にて１時間撹拌を続けた。

つぎにグリセリンジアクリレート（ヒドロキシル価２８
０１ケン化価５６２、臭素価１Ｇｏ）２００　ｇ（１モ
ル）を添加し、７５〜８０℃で撹拌した。４時間後、ジ
ブチル錫ジラウレート１ｇを添加し、さらに１時間後２
−ヒドロキシエチルアクリレ−）１１．８ｇ（０，１モ
ル）を追加した。遊離イソシアネート量が０．２％（重
量％、以下同様）以下になるまで反応をつづけ、反応を
終了させた。

反応物をゲルクロマトグラフにて分析したところ、比較
的分子量分布幅は狭く、平均分子量は５００であった。

合成例２（ウレタンアクリレートＢの合成例）２−ヒド
ロキシエチルアクリレート２３２ｇ　（２モル）および
重合禁止剤であるハイドロキノンモノメチルエーテル０
．５０ｇを１ｇ容四つロフラスコに入れ、攪拌した。内
温を６０℃まで加温し、キシリレンジイソシアネート３
７６ｇ・（２モル）を添加した。合成例１と同様な反応
条件にて反応させた。キシリレンジイソシアネート添加
３時間後にビスフェノールＡ酸化エチレン４モル付加体
（ヒドロキシル価２７７）４０５ｇ　（１モル）を添加
し、７５〜８０℃にて攪拌した。以後、合成例１と同様
に反応させ、遊離イソシアネート量が０．２％以下にな
ってから反応を終了させた。

反応物をゲルクロマトグラフにて分析したところ、比較
的狭い分子量分布幅を有し、平均分子量は１０１０であ
った。

合成例３（ウレタンアクリレートＣの合成例）ジエチレ
ングリコールとアジピン酸とのエステル化により合成さ
れた両末端にヒドロキシル基を有するポリエステルジオ
ール（ヒドロキシル価９３）　　ＢＯ３，５ｇ　　（０
，５モル）を１ｇ容四つロフラスコに入れ、６０℃に加
温し、キシリレンジイソシアネート１８８ｇ　（１モル
）を添加した。発熱するので、必要に応じて冷却し、内
温を８０℃以下に押さえるようにした。添加後２時間で
発熱はおさまったが、７５〜８０℃にてさらに２時間攪
拌を続けた。

つぎに、２−ヒドロキシエチルアクリレート８３．８ｇ
　　（０，５５モル）、トリメチロールプロパンジアク
リレート（ガスクロマトグラフ分析での純度は６０％、
他はトリメチロールプロパントリアクリレート、ヒドロ
キシル価１３９）　２０２ｇ。

ハイドロキノンモノメチルエーテル０．５３ｇを添加し
、７５〜８０℃にて攪拌した。４時間後、ジブチル錫ジ
ラウレート　１．ｏｇを添加し、さらに加温攪拌を続け
、遊離イソシアネート量が０．２％以下になってから反
応を終了させた。

反応物をゲルクロマトグラフにて分析したところ、不純
物として含まれるトリメチロールプロパントリアクリレ
ートを除いた平均分子量は１９５０であった。

合成例４（ウレタンアクリレートＤの合成例）合成例３
で用いたポリエステルジオール（ヒドロキシル価９３）
　　４８２．７ｇ　　（０，４モル）を１ｆｌ容四つロ
フラスコに入れ、６０℃に加温して攪拌した。キシリレ
ンジイソシアネート１１２．８ｇ（０，６モル）を加え
、必要に応じて冷却して内温を８０℃以下に保った。添
加後３時間、７５〜８０℃に保持して攪拌したのち、２
−ヒドロキシエチルアクリレート２５．８ｇ　　（０，
２２モル）、トリメチロールプロパンジアクリレート（
ガスクロマトグラフ分析純度６０％、ヒドロキシル価１
３９）１１０．８ｇ　、ハイドロキノンモノメチルエー
テル０．３５ｇを添加し、７５〜８０℃に保持して攪拌
した。

４時間後、ジブチル錫ジラウレート　１．０ｇを添加し
、さらに加温攪拌を続け、遊離インシアネート量が０．
２％以下になってから反応を終了させた。

反応物をゲルクロマトグラフ分析したところ、平均分子
量は３３００であった。

実施例１〜４および比較例１〜６ 第１表に示す配合物に第２表に示すウレタンアクリレー
トを、第１表に示す弾性重合体１００部に対して第２表
に示すウレタンアクリレートが第２表に示す部数になる
ように配合して感圧接着剤組成物を調製した。えられた
組成物を離型紙上に塗布し、１２０℃で１分間乾燥させ
、固形分として１０１ｓの厚さの感圧接着剤組成物の層
を形成した。

つぎに、平均重合度１３００のポリ塩化ビニル１００部
、可塑剤としてジオクチルフタレート３５部および適宜
量の安定剤からなる塩化ビニル樹脂組成物から成形した
厚さ　０．１ｍｍのシート上に、変性アクリル樹脂溶液
を塗布し、乾燥させて、バリヤー層を形成させた。この
のち、この基材樹脂シートのバリヤー層の表面に離型紙
上に形成した前記感圧接着剤層を重ねて貼り合わせて、
感圧接着性シートをえた。

このようにしてえられたそれぞれの感圧接着性シートを
室温で２０分間放置したのち、離型紙を剥離して、その
まま接着力を測定した。また、別に塩化ビニル樹脂シー
ト側から主波長３６５１μ、１２０　Ｗ　／　ａｍにて
紫外線を７秒間照射したのち、接着力を測定した。また
、糊残り性、エキスバンド性を下記方法により評価した
。結果を第２表に示す。

（接着力） 感圧接着性シートを幅２５ｍｍ、長さ１００ｍｍに裁断
して試験片とし、これを被着体であるステンレス板（Ｓ
ＵＳ−３０４）上に重ね、３ｋｇローラにて５回往復し
て押圧したのち、ショツパーを用いて引張速度３００ｍ
ｍ／分にて１８０°剥離試験を行なった。

紫外線照射前は接着力は高いほどよい。しかし、接着剤
層が凝集破壊し、接着剤としての作用をなさな、↓１ば
あいには判定として×を印した。

紫外線照射後は１００　ｇ　／　２５ｍｍ以下ならば使
用に耐えるが、５０　ｇ　／　２５＋ｅｍ未満は０１５
０〜１００ｓｒ／２５ｍｍはΔ、　１００　ｇ　／　２
５＋ｓｍこえるばあいはＸと判定した。

（糊残り性） ウェハーをダイシングマシーン（ＤＩＳＣＯ社製）を用
いて切断し、Ｕｖ照射後ピックアップマシーンにチデン
機械■製）でウェハーチップをピックアップし、えられ
たウェハーチップの裏面を観察し、裏面に糊が残ってい
ないものを○、わずかに残っているものを△、裏面全面
に数多く残っているものを×として評価した。

（エキスバンド性） ウェハーを当感圧性接着シートに貼り、ダイシングマシ
ーン（ＤＩＳＣＯ社製）にて切断し、そののちＵｖ照射
してからエキスバンドマシーンにチデン機械■製）にて
約２５％エキスバンドし、チップの乱れ、テープの切れ
などを観察し、チップの乱れがなく、テープの切れもな
く、等間隔にチップが開いているものを０、そうでない
ものを×として評価した。

［以下余白］ 本発明の感圧接着剤組成物を用いて製造した感圧接着性
シートは、長期間保存後も紫外線照射による接着力の低
下がとくに顕著であり、適当な配合設計によって、当初
数百ｇ／２５關の接着力を有せしめ、紫外線照射後は数
十ｇ／２５ｍｍ程度にまで接着力を減少または実質的に
消滅させることができるので、前述したように、シリコ
ンウェハーのダイシングに好適に用いることができる。

第２表の結果から、添加するウレタンアクリレートの種
類によって性能は大きく異なり、平均分子量が７００未
満であるウレタンアクリレートＡおよび分子量が２５０
０超であるウレタンアクリレートＤでは、紫外線照射後
の接着力、糊残り、エキスバンド性が著しく劣ることが
わかる。

なお、ウレタンアクリレートの添加量が多過ぎたり、少
な過ぎても接着力において劣り好ましくない。

［発明の効果］ 本発明の感圧接着剤組成物は、当初は強い接着力を有す
るが、これに紫外線を照射するとその接着力が著しく低
減する。したがって、この感圧接着剤組成物を紫外線を
透過させうる基材シート上に塗布して感圧接着性シート
を製造すると紫外線の照射により接着力が著しく減少し
、この感圧接着性シートを被着面から容易に剥離させる
ことが可能となり、糊残り（被着面への接着層の残存）
が少なく、被着面の剥離後の洗浄操作などが不要となる
。

したがって、本発明の組成物を用いて製造した前記のご
とき感圧接着性シートは、たとえば前述したようにシリ
コーンウェハーのダイシング用フィルムとして好適に用
いることができる。

特許出願人　　バンド−化学株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　（ａ）弾性重合体 （ｂ）紫外線架橋性（メタ）アクリル酸エステル（ｃ）
   ポリイソシアネートおよび （ｄ）一般式（１）： ▲数式、化学式、表等があります▼（１） （式中、Ａは▲数式、化学式、表等があります▼ （Ｒ＾１、Ｒ＾２はいずれも飽和炭化水素基、不飽和炭
   化水素基、２価の芳香族基およびそれらにオキシアルキ
   レン基が付加した２価の基から選ばれた基、またｐは１
   〜１０）で示されるポリエステル基含有ジオール残基ま
   たは −ＯＲ＾１Ｏ−（Ｒ＾１は前記に同じ）で示されるアル
   キレンジオール残基、Ｂは ▲数式、化学式、表等があります▼（Ｒ＾３はＨまたは ＣＨ＿３、Ｒ＾４は炭素数１〜５で（ｑ＋１）価の炭化
   水素基、ｑは１〜５、ｑ個のＲ＾３は同じである必要は
   ない）で示される（メタ）アクリル酸エステル含有基、
   Ｕは▲数式、化学式、表等があります▼（Ｒ＾１ は前記に同じ）で示されるウレタン基、ｍは１〜１０、
   ｎ＿１およびｎ＿２はそれぞれ１以上であり、一般式（
   １）で表わされる化合物の平均分子量が７００〜２５０
   ０となる数）で示されるウレタン基含有紫外線架橋性（
   メタ）アクリル酸エステル を主成分として含有し、かつ（ｄ）成分であるウレタン
   基含有紫外線架橋性（メタ）アクリル酸エステルが、（
   ａ）成分の弾性重合体１００重量部に対して５〜１５０
   重量部使用されることを特徴とする紫外線照射によって
   接着力を低減る感圧接着剤組成物。 ２　（ａ）成分である弾性重合体が、飽和共重合ポリエ
   ステル樹脂、（メタ）アクリル酸エステルの単独重合体
   および（メタ）アクリル酸エステルの共重合体から選ば
   れた重合体である請求項１記載の組成物。